JPS60194223A - 有害ガス排出方法 - Google Patents

有害ガス排出方法

Info

Publication number
JPS60194223A
JPS60194223A JP4924184A JP4924184A JPS60194223A JP S60194223 A JPS60194223 A JP S60194223A JP 4924184 A JP4924184 A JP 4924184A JP 4924184 A JP4924184 A JP 4924184A JP S60194223 A JPS60194223 A JP S60194223A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
valve
steam
nitrogen
noxious
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4924184A
Other languages
English (en)
Inventor
Tetsuo Iwanaga
岩永 鉄男
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Heavy Industries Ltd filed Critical Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority to JP4924184A priority Critical patent/JPS60194223A/ja
Publication of JPS60194223A publication Critical patent/JPS60194223A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Feeding And Controlling Fuel (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ボイラなど燃料ガス、有毒ガス管系を有する
装置の有害ガス排出方法の改造に関する。
従来のボイラなど燃料ガス、有毒ガス管系を有する装置
では、第1図に示すように、実線で示されるパージを要
する本管系統に、スケール等の済器IAならびにIB1
圧力調整弁2人ならびに2B、ドレン分離器3、各ユニ
ットへのガス供給弁4A乃至4C,ガス流量調整弁5、
緊急遮断弁6、ガス流量計7、バーナ弁8A、バーナ9
Aを装備し、かつ、点線で示されるパージ系統に、窒素
供給源10、窒素供給元弁兼調整手動弁11、蒸気源1
2、蒸気供給元弁兼調整手動弁13、遮断弁下流側のみ
のパージを行う場合の切替弁14A(各ユニットのそれ
を代表して14という、以下同じ)、各ユニットの系内
をパージする切替弁15A(15)、系全体をパージす
る場合の切替弁16を装備したものがある。そして、こ
の装置では、内部ガス及びパージ用ガスのための排出弁
17A(17)、19A(19)、21A(21)が設
けられているに過ぎない。なお、23は系全体へのガス
供給仕切弁である。
従って、この従来の装置では、窒素供給元弁兼調整手動
弁11又は蒸気供給元弁兼調整手動弁13のいずれかを
開いて、切替弁16と排出弁21との間や、切替弁15
と排出弁19との間、切替弁14と排出弁17との間、
及びその組合せた部分のパージを行なうが、パージ時も
管内は全て加圧(パージ用ガスや蒸気は通常kglJI
 G級)状態であシ、内部ガスを大気中へ押し出すかつ
こうとなる。
それ故に、従来の有害ガス排出方法では、■パージに大
量の不活性ガス(通常は窒素)或いは、蒸気を必要とす
る、■パージが必要なときに上記ガスや蒸気が発生成い
は供給できない場合が多い、■袋小路的になっている系
内の完全なパージは期待し難い、などの欠点がある。
また、特に、火力発電所の大出力化等に伴い、燃料ガス
配管も大径化し、かつ、遠距離化の傾向にある。そして
、パージ用の不活性ガスは発電所で発生されることは殆
んどなく、ボンベに圧封し使用毎に他所から補給してい
る。また、パージ用の蒸気はパージが必要な時には未発
生状態であることが多く、窒素が主に使われる。なお、
蒸気は高温であるため、燃料ガス配管系もその温度に耐
えるように、不必要と考えられる設計を要求され、使わ
れた後はドレーン化し系内に水分を残すことによる不具
合もある。
本発明は、このような従来技術の欠点を除去し、不利点
を解消するためになされたもので、有害ガス排出を省エ
ネルギーの下で確実に行なうことのできる新規な有害ガ
ス排出方法を提供することを目的とする。
この目的を達成するために、本発明の有害ガス排出方法
は、配管系内や室内の有害、可燃(爆発)性ガスの排出
口よシ真空ポンプを使用して有害ガスを吸引する第1工
程と、前記真空ボンダを運転しつつ前記配管系内や前記
室内の不活性ガス導入口よシ加圧不活性ガスを供給する
第2工程とを包含することを特徴とする。
以下、本発明の詳細を第2図に示す実施例を参照しなが
ら説明する。なお、第1図に示した従来の装置と共通す
る構成部分には同一符号を使用するものとする。
実線で示される、パージを要する本管系統に、スケール
等のF器IAならびにIB、圧力調整弁2人ならびに2
B、ドレン分離器3、各ユニットへのガス供給弁4A乃
至4C,ガス流量調整弁5、緊急遮断弁6、ガス流量計
7、バーナ弁8A、バーナ9A、系全体へのガス供給仕
切弁23を装備している点は、第1図の装置と同様であ
る。
これに対し、点線で示されるパージ系統に、従来のもの
に比べて小容量で足勺る窒素供給源10、従来のものと
同様の、窒素供給元弁兼調整手動弁11、蒸気源12、
蒸気供給元弁兼調整手動弁13、遮断弁下流側のみのパ
ージを行なう場合の切替弁14A(14)、各ユニット
の系内をパージする切替弁15A(15)、、系全体を
パージする場合の切替弁16を装備し、さらに、従来同
様の内部ガス及びパージ用ガスの排出弁17A (17
)、19A(19)、21A(21)を装備しているの
に加えて、排出真空ポンプ18A (18)、20A(
20)、22をも装備している。
先ず、真空ポンプ18A、20A及び22で管内部をで
きるだけ負圧になるよう内部の有害或いは可燃(爆発)
性ガスを吸引排出させる。該真空ポンプ18A、20A
及び22の限度近くになった状態で、次に、窒素或いは
蒸気の供給のための切替弁14A、15A、16等を開
き、さらに、窒素供給元弁兼調整手動弁11又は蒸気供
給元弁兼調整手動弁13を徐々に開ける。
以上述べたように、要するに、本発明の有害ガス排出方
法では、配管系内や室内の有害、或いは可燃(爆発)性
ガスの排出口゛よシ真空ポンプを使用して有害ガスを吸
引する第1工程と、前記真空ポンプを運転しつつ前記配
管系内や前記室内の不活性ガス(窒素又は蒸気)導入口
よシ加圧不活性ガスを供給する第2工程を包含するので
、先ず、系内が均一に負圧になシ(袋小路的な所も同様
)、次に、加圧された窒素又は蒸気によって、さらに、
内部の残存ガスが吸引と押出しの両件用を受け系外へ完
全に排出される。従って、不活性ガスは比較的小容量で
内部のガスと完全に置換され安全性が確保されて所期の
目的を達成するのである。
【図面の簡単な説明】 第1図は従来の有害ガス排出方法の使用に供される装置
の概要図、第2図は本発明の有害ガス排出方法の使用に
供される装置の一例を示す概要図である。 IA、IB・e漣器、2A、2B’−圧力調整弁、3m
−ドレン分離器、4A、4B、4C・・ガス供給弁、5
・・ガス流量調整弁、6・・緊急遮断弁、70.ガス流
量計、8A0.バーナ弁、9A ’・バーナ、10・・
窒素供給源、11・・窒素供給元弁兼調整手動弁、12
・・蒸気源、13・・蒸気供給元弁兼調整手動弁、14
A、15A、16・・切替弁、17A、19A、21A
 −−排出弁、18A、20A、22・・真空ポンプ、
23・・ガス供給仕切弁。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 配管系内や室内の有害、可燃性ガスの排出口よシ真空ポ
    ンプを使用して有害ガスを吸引する第1工程と、前記真
    空ポンプを運転しつつ前記配管系内や前記室内の不活性
    ガス導入口よシ加圧不活性ガスを供給する第2工程とを
    包含することを特徴とする有害ガス排出方法。
JP4924184A 1984-03-16 1984-03-16 有害ガス排出方法 Pending JPS60194223A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4924184A JPS60194223A (ja) 1984-03-16 1984-03-16 有害ガス排出方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4924184A JPS60194223A (ja) 1984-03-16 1984-03-16 有害ガス排出方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60194223A true JPS60194223A (ja) 1985-10-02

Family

ID=12825371

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4924184A Pending JPS60194223A (ja) 1984-03-16 1984-03-16 有害ガス排出方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60194223A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023084962A1 (ja) * 2021-11-10 2023-05-19 三菱重工業株式会社 浮体

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023084962A1 (ja) * 2021-11-10 2023-05-19 三菱重工業株式会社 浮体

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3822675B2 (ja) 真空室を迅速に排気するための装置
WO2002081367A3 (en) Method an apparatus for the operation of a cell stack assembly during subfreezing temperatures
JP3765925B2 (ja) 半導体装置製造設備及びこれの駆動方法
KR20030004085A (ko) 실린더캐비넷과 그 배관내의 잔류가스의 퍼지방법
US6598615B1 (en) Compact independent pressure control and vacuum isolation for a turbomolecular pumped plasma reaction chamber
JPS60194223A (ja) 有害ガス排出方法
JP2004052759A (ja) 真空ポンプシステムとその制御方法
JP2708569B2 (ja) 真空装置の脱ガス方法及び脱ガス装置
JP3982673B2 (ja) 真空排気装置の運転方法
JP2551968B2 (ja) 真空装置における排気系
JPS59133365A (ja) 真空装置
CN219309596U (zh) 腔室净化装置
JP2507518B2 (ja) 真空排気装置
CN216715874U (zh) 一种干式真空泵吹扫气体流量切换装置
JP4136405B2 (ja) 真空排気システムおよびその運転方法
CN212136883U (zh) 一种环形激光器充排气装置
CN213905418U (zh) 一种用于燃料电池的吹扫装置及吹扫系统
CN218669882U (zh) 一种封闭式高压风机
JPWO2023223481A5 (ja)
KR19980069172A (ko) 가스 공급 시스템의 잔류 가스 배기 방법
WO2020026614A1 (ja) 酸素濃縮装置
JPH07206586A (ja) エピタキシャル成長装置
JP3098907B2 (ja) 蒸気式真空排気装置のガス排出装置
JPH05121359A (ja) ガスエツチング装置のエツチングガス置換方法およびガスエツチング装置
JP2020146685A (ja) 酸素濃縮方法