CN212136883U - 一种环形激光器充排气装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及环形激光器制造领域，具体涉及一种环形激光器充排气装置。包括电容薄膜规，高真空挡板阀1，高真空挡板阀2，高真空挡板阀3，环形激光器，电离规，真空排气系统，手动微调阀，混合气体供应装置，充气阳极，排气阳极。其中，真空排气系统与电离规连接，电离规与高真空挡板阀2连接，高真空挡板阀2与排气阳极连接，排气阳极连接在谐振腔阳极口上，充气阳极连接在谐振腔另一阳极口上，充气阳极与高真空挡板阀1连接，高真空挡板阀1与电容薄膜规连接，电容薄膜规与高真空挡板阀3和手动微调阀依次连接，手动微调阀与混合气体供应装置连接。本实用新型充排气管路各自独立，避免了污染物在充注气体时被气体带回环形激光器的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及环形激光器制造领域，具体涉及一种环形激光器充排气装置。
背景技术
在现有技术中，环形激光器的充排气需要采用专用的充排气装置，充气和排气采用环形激光器上的同一个端口，先进行排气，在真空度达到要求后，关闭排气系统阀门，完成排气。打开充气阀门，从共用管道向环形激光器内充注混合气体，充气压力值达到要求后关闭充气阀门，完成充气。这种充排气方法需要采用预制的专用充排气设备，而且采用共用的充排气管道，在充气时容易使排气时在管壁上吸附的污染物被气体带回环形激光器，造成污染。
为了提高充排气设备的通用性，避免污染物被气体带回环形激光器的风险，设计一种环形激光器充排气设备。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种通用的充排气装置，提高设备通用性，分开充排气管道，避免污染物被带回环形激光器的风险。
为了实现上述目的，本申请实施例提供了一种环形激光器充排气装置，包括真空排气系统、电离规、高真空挡板阀1、高真空挡板阀2、高真空挡板阀3、电容薄膜规，排气阳极、环形激光器、充气阳极、手动微调阀、混合气体供应装置。所述真空排气系统与电离规连接，所述电离规与高真空挡阀板2连接，所述高真空挡板阀2与排气阳极连接，所述排气阳极连接在谐振腔阳极口上，所述充气阳极连接在谐振腔另一阳极口上，所述充气阳极与高真空挡板阀1连接，所述高真空挡板阀1与电容薄膜规连接，所述电容薄膜规与高真空挡板阀3和手动微调阀依次连接，所述手动微调阀与混合气体供应装置连接；
作为本方案的优选实施例：所述真空排气系统与电离规连接；
作为本方案的优选实施例：所述电离规与高真空挡板阀2连接；
作为本方案的优选实施例：所述高真空挡板阀2与排气阳极连接；
作为本方案的优选实施例：所述排气阳极连接在环形激光器阳极口上；
作为本方案的优选实施例：所述充气阳极连接在环形激光器另一阳极口上；
作为本方案的优选实施例：所述充气阳极与高真空挡板阀1连接；
作为本方案的优选实施例：所述高真空挡板阀1与电容薄膜规连接；
作为本方案的优选实施例：所述电容薄膜规与高真空挡板阀3和手动微调阀依次连接；
作为本方案的优选实施例：所述手动微调阀与混合气体供应装置连接；
本实用新型结构简单，通用性强，能够达到真空度要求的排气系统都可连接使用，充排气管道分开，避免了污染物被带回环形激光器的风险。
附图说明
为了更清楚的说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做简单的介绍，显而易见的，下面描述中的附图仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本申请实施例的连接示意图：
图1中， 1、电容薄膜规，2、高真空挡板阀1，3、环形激光器，4、高真空挡板阀2，5、电离规，6、真空排气系统，7、高真空挡板阀3，8、手动微调阀，9、混合气体供应装置，10、充气阳极，11、排气阳极。
具体实施方式
为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图，对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。
如图1所示，本实用新型提供了一种环形激光器充排气装置，包括1、电容薄膜规，2、高真空挡板阀1，3、环形激光器，4、高真空挡板阀2，5、电离规，6、真空排气系统，7、高真空挡板阀3，8、手动微调阀，9、混合气体供应装置，10、充气阳极，11、排气阳极。所述真空排气系统与电离规连接，所述电离规与高真空挡阀板2连接，所述高真空挡板阀2与排气阳极连接，所述排气阳极连接在环形激光器阳极口上，所述充气阳极连接在环形激光器另一阳极口上，所述充气阳极与高真空挡板阀1连接，所述高真空挡板阀1与电容薄膜规连接，所述电容薄膜规与高真空挡板阀3和手动微调阀依次连接，所述手动微调阀与混合气体供应装置连接。
在实际使用时，排气之前，高真空挡板阀1，高真空挡板阀2，手动微调阀全开，高真空挡板阀3关闭，然后打开高真空挡板阀3向环形激光器内充入氦氖混合气体，辅助排除谐振腔内杂质，到达规定时间后，关闭高真空挡板阀1，高真空挡板阀3，手动微调阀，启动真空排气系统，进行排气操作，在电离规显示真空度达到要求后，关闭高真空挡板阀2，关闭真空排气系统。打开高真空挡板阀1，高真空挡板阀3，缓慢打开手动微调阀，向环形激光器内充入氦氖混合气体，在电容薄膜规显示气体压力达到规定值后，关闭高真空挡板阀3，关闭高真空挡板阀1。用压力钳将充排气阳极掐紧密封，充排气完成。
Claims (2)
1.一种环形激光器充排气装置，包括真空排气系统、电离规、高真空挡板阀1、充气阳极、高真空挡板阀2、环形激光器、电容薄膜规，高真空挡板阀3、手动微调阀、混合气体供应装置；其特征在于所述真空排气系统与电离规连接，所述电离规与高真空挡板阀2连接，所述高真空挡板阀2与排气阳极连接，所述排气阳极连接在环形激光器阳极口上，所述充气阳极连接在环形激光器另一阳极口上，所述充气阳极与高真空挡板阀1连接，所述高真空挡板阀1与电容薄膜规连接，所述电容薄膜规与高真空挡板阀3和手动微调阀依次连接，所述手动微调阀与混合气体供应装置连接。
2.如权利要求1所述的环形激光器充排气装置，其特征在于充排气管路各自独立，没有公共管路，避免了充排气采用同一管路，排气管壁上吸附的污染物在充注气体时被带回环形激光器造成污染的问题。
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2020
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