JPS60191064A - 透光性サイアロンの製造方法 - Google Patents
透光性サイアロンの製造方法Info
- Publication number
- JPS60191064A JPS60191064A JP59046437A JP4643784A JPS60191064A JP S60191064 A JPS60191064 A JP S60191064A JP 59046437 A JP59046437 A JP 59046437A JP 4643784 A JP4643784 A JP 4643784A JP S60191064 A JPS60191064 A JP S60191064A
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- Japan
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- aluminum nitride
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は新Ｍ１な透光性サイアロンの製造方法に関する
。詳しくは、Ｅｌｉ３Ｍ４、ＡＪＮ及びｈｌｚＯ３を反
応させ透光性サイアロを製造するに際し、ムｌｘとして
、平均粒子径２μｍ以下で、３μｍ以下の粒子のものを
７０容量％以上の割合で含有し且つ酸素含有量が３．０
重量％以下、不純物の金属化合物の含有量が金属として
０．５重量％以下及び窒化アルミニウムの純度が９５％
以上の窒化アルミニウム粉末を用いることを特徴とする
透光性サイアロンの製造方法である。
。詳しくは、Ｅｌｉ３Ｍ４、ＡＪＮ及びｈｌｚＯ３を反
応させ透光性サイアロを製造するに際し、ムｌｘとして
、平均粒子径２μｍ以下で、３μｍ以下の粒子のものを
７０容量％以上の割合で含有し且つ酸素含有量が３．０
重量％以下、不純物の金属化合物の含有量が金属として
０．５重量％以下及び窒化アルミニウムの純度が９５％
以上の窒化アルミニウム粉末を用いることを特徴とする
透光性サイアロンの製造方法である。
従来、サイアロン焼結体で透光性を有するものは公知で
ある。例えば特開昭５８−９８８１号明細書では、特定
の性状を有する原料を用い、特定の組成のサイアロン即
ち８１α−！ｌ Ａ ｌｚ ｏ□Ｎ８−２（但し２が１
〜４．２）で示されるサイアロンが透光性を示すと提案
されている。従来はこのように特定のサイアロ／の場合
だけ透光性があると考えられて来た。
ある。例えば特開昭５８−９８８１号明細書では、特定
の性状を有する原料を用い、特定の組成のサイアロン即
ち８１α−！ｌ Ａ ｌｚ ｏ□Ｎ８−２（但し２が１
〜４．２）で示されるサイアロンが透光性を示すと提案
されている。従来はこのように特定のサイアロ／の場合
だけ透光性があると考えられて来た。
本発明者醇は透光性セラミックに関する研究を鋭意続け
て来た結果、従来透光性の存在が認められなかった窒化
アルミニウム焼結体にあっても特定の窒化アルミニウム
粉末を使用すれば透光性の素化アルミニウム焼結体が得
られることを見出し既に提案した。更に研究を続けた結
果、サイアロンの原料として特定の窒化アルミニウム粉
末を使用すれば透光性サイアロンが得もれることを知見
し、本発明を完成し、ここに提案するに至った。
て来た結果、従来透光性の存在が認められなかった窒化
アルミニウム焼結体にあっても特定の窒化アルミニウム
粉末を使用すれば透光性の素化アルミニウム焼結体が得
られることを見出し既に提案した。更に研究を続けた結
果、サイアロンの原料として特定の窒化アルミニウム粉
末を使用すれば透光性サイアロンが得もれることを知見
し、本発明を完成し、ここに提案するに至った。
即ち、本発明は８１３Ｎ４、Ａ／Ｎ及びＡＩ、ａ３を反
応させ透光性サイアロを製造するに際し、ＡＡ’Ｎどし
て、平均粒子径２μｍ以下で、６μｍ以下の粒子のもの
を７０ｗ１％以上の割合で含有し且つ酸素含有量が３．
０３ｉｉ％以下、不純物の金属化合物の含有量が金属と
して０．５重量９に以下及び窒化アルミニウムの純度が
９５％以上の窒化アルミニウム粉末を用いることを特徴
とする透光性サイアロンの製造方法である。
応させ透光性サイアロを製造するに際し、ＡＡ’Ｎどし
て、平均粒子径２μｍ以下で、６μｍ以下の粒子のもの
を７０ｗ１％以上の割合で含有し且つ酸素含有量が３．
０３ｉｉ％以下、不純物の金属化合物の含有量が金属と
して０．５重量９に以下及び窒化アルミニウムの純度が
９５％以上の窒化アルミニウム粉末を用いることを特徴
とする透光性サイアロンの製造方法である。
透光性のサイアロンを得るために最も重要なものは原料
の１つである窒化アルミニウム粉末の性状である。原料
として使用する該窒化アルミニウム粉末がそれ自身、点
色の不透明のものであれば、透光性のサイアロンを得る
ことは非常に困難である。逆に本発明者等の知見によれ
ばサイアロン原料の１つである核窒化アルミニウム粉末
がそれ自身黒色ではなく白色の透明性のものであれば他
の原料である窒化ケイ素及びアルミナは特殊のものを使
用しなくても得ら゛れるサイアロンに透光性を付与する
ことが出来る。
の１つである窒化アルミニウム粉末の性状である。原料
として使用する該窒化アルミニウム粉末がそれ自身、点
色の不透明のものであれば、透光性のサイアロンを得る
ことは非常に困難である。逆に本発明者等の知見によれ
ばサイアロン原料の１つである核窒化アルミニウム粉末
がそれ自身黒色ではなく白色の透明性のものであれば他
の原料である窒化ケイ素及びアルミナは特殊のものを使
用しなくても得ら゛れるサイアロンに透光性を付与する
ことが出来る。
本発明で使用するサイアロン原料の１つである窒化アル
ミニウム粉末は次ぎのような性状を有する必要がある。
ミニウム粉末は次ぎのような性状を有する必要がある。
即ち、平均粒子径２μｍ以下で、３μｍ以下の粒子のも
のを７０容量％以上の割合で含有し且つ酸素含有ＩＩｋ
５．０重景％以下重量窒化アルミニウムの純度が９５％
以上の窒化アルミニウム粉末である。尚上記窒化アルミ
ニウムの純度は次ぎのような定義にしたがう。即ち、窒
化アルミニウムはアルミニウムと窒素の１：１の化合物
であり、これ以外のものを原則としてすべて不純物とし
て取扱う。但し窒化アルミニウム粉末の表面は空気中で
不可避的に酸化されＡＬ−Ｎ結合がＡＬ−０結合に置載
っているので、とのＡＬ−０結合しているアルミニウム
は陽イオン不純物とはみなさない。また前記における平
均粒子径とは光透過式の粒度分布測定器による体積基準
の中間粒子径をいう。
のを７０容量％以上の割合で含有し且つ酸素含有ＩＩｋ
５．０重景％以下重量窒化アルミニウムの純度が９５％
以上の窒化アルミニウム粉末である。尚上記窒化アルミ
ニウムの純度は次ぎのような定義にしたがう。即ち、窒
化アルミニウムはアルミニウムと窒素の１：１の化合物
であり、これ以外のものを原則としてすべて不純物とし
て取扱う。但し窒化アルミニウム粉末の表面は空気中で
不可避的に酸化されＡＬ−Ｎ結合がＡＬ−０結合に置載
っているので、とのＡＬ−０結合しているアルミニウム
は陽イオン不純物とはみなさない。また前記における平
均粒子径とは光透過式の粒度分布測定器による体積基準
の中間粒子径をいう。
前記のような性状を有する窒化アルミニウム粉末は新規
なものである。本発明に於いては上記性状を有する窒化
アルミニウムの製法までも限定するものではないが一般
に好適に使用される代表的な方法を例示すると次ぎの通
りである。
なものである。本発明に於いては上記性状を有する窒化
アルミニウムの製法までも限定するものではないが一般
に好適に使用される代表的な方法を例示すると次ぎの通
りである。
子と灰分含ｉ０．２重ｆ１％で平均粒子径が１μｍ以下
のカーボン微粉末とを水、アルコール類、粉末のＮｔ比
は１ ： ０．３．６〜１：１であり；（２）得られた
緊密混合物を、適宜乾燥し、窒素又はアンモニアの雰囲
気下で１４００〜１７００℃の温度で焼成し： ０）次いで得られた微粉末を酸素を含む雰囲気下で６０
０〜９００℃の温度で加熱して未反応のカーボンを加熱
除去し、窒化アルミニウム含量が少くとも９５軍張％で
あり、結合酸素の含量が最大６．０重量％好ましくは１
．５重量％であり、且つ不純物としての金属化合物の含
量が金属として最大０．３重！に％である平均粒子径が
２μｍ以下の窒化アルミニウム粉末を生成せしめる、こ
とによって製造することがでなる。
のカーボン微粉末とを水、アルコール類、粉末のＮｔ比
は１ ： ０．３．６〜１：１であり；（２）得られた
緊密混合物を、適宜乾燥し、窒素又はアンモニアの雰囲
気下で１４００〜１７００℃の温度で焼成し： ０）次いで得られた微粉末を酸素を含む雰囲気下で６０
０〜９００℃の温度で加熱して未反応のカーボンを加熱
除去し、窒化アルミニウム含量が少くとも９５軍張％で
あり、結合酸素の含量が最大６．０重量％好ましくは１
．５重量％であり、且つ不純物としての金属化合物の含
量が金属として最大０．３重！に％である平均粒子径が
２μｍ以下の窒化アルミニウム粉末を生成せしめる、こ
とによって製造することがでなる。
また上記方法ではアルミナとカーボンは特定の性状のも
のを用いる必要がある。一般にアルミナ微粉末としては
平均粒子径が２μｍ以下の微粉末を用いる必要があり、
好のましくは少なくとも９９．０ｆｆｆｆｉ％より好ま
しくは少なくとも９９．９重欲％の純度のものが用いら
れる。またカーボン微粉末は灰分の含有量最大０．２重
号％好ましくは最大０．１重′＃、ＣＸＯものとして用
いる必要がある。また該カーボンの平均粒子径は１μｍ
以下の微粒子として用いる必要がある。さらに該カーボ
ンとしてはカーボンブラック、黒鉛化カーボン等が使用
されうるが一般にはカーボンブラックが好ましい。そし
て窒化アルミニウム粉末中の不純物としての金属化合物
の含量を減するためには上記原料となるアルミナに該不
純物となる金属成分例えば、珪素、マンガン、鉄、クロ
ム、ニッケル、コバルト、銅、亜鉛、チタン等を陽イオ
ン成分とする化合物が金属として０．３重量％以下好ま
しくは０．２重量％以下更に好ましくは０．１重量％以
下のものを用いるのが好ましい。勿論上記不純物成分は
前記アルミナ及びカーボンの原料を湿式混合する場合も
、混合装置から混入することもあるので一般にはこれら
の不純物成分が窒化アルミニウム粉末中に混入するのを
避けるために、窒化アルミニウム自身あるいは９９．９
重量％以上の高純度アルミナとするのが好ましい。また
混合装置の原料と接する面をすべてプラスチック製とす
るかプラスチックでコーティングすることもできる。
のを用いる必要がある。一般にアルミナ微粉末としては
平均粒子径が２μｍ以下の微粉末を用いる必要があり、
好のましくは少なくとも９９．０ｆｆｆｆｉ％より好ま
しくは少なくとも９９．９重欲％の純度のものが用いら
れる。またカーボン微粉末は灰分の含有量最大０．２重
号％好ましくは最大０．１重′＃、ＣＸＯものとして用
いる必要がある。また該カーボンの平均粒子径は１μｍ
以下の微粒子として用いる必要がある。さらに該カーボ
ンとしてはカーボンブラック、黒鉛化カーボン等が使用
されうるが一般にはカーボンブラックが好ましい。そし
て窒化アルミニウム粉末中の不純物としての金属化合物
の含量を減するためには上記原料となるアルミナに該不
純物となる金属成分例えば、珪素、マンガン、鉄、クロ
ム、ニッケル、コバルト、銅、亜鉛、チタン等を陽イオ
ン成分とする化合物が金属として０．３重量％以下好ま
しくは０．２重量％以下更に好ましくは０．１重量％以
下のものを用いるのが好ましい。勿論上記不純物成分は
前記アルミナ及びカーボンの原料を湿式混合する場合も
、混合装置から混入することもあるので一般にはこれら
の不純物成分が窒化アルミニウム粉末中に混入するのを
避けるために、窒化アルミニウム自身あるいは９９．９
重量％以上の高純度アルミナとするのが好ましい。また
混合装置の原料と接する面をすべてプラスチック製とす
るかプラスチックでコーティングすることもできる。
該プラスチ、りとしては特に限定されず例えばポリエチ
レン、ポリプロピレン、ナイロン、ポリエステル、ポリ
ウレタン等が使用できる。この場合、プラスチック中に
は安定剤として種々の金属成分を含む場合があるので、
予めチェックして使用するようにすべきである。
レン、ポリプロピレン、ナイロン、ポリエステル、ポリ
ウレタン等が使用できる。この場合、プラスチック中に
は安定剤として種々の金属成分を含む場合があるので、
予めチェックして使用するようにすべきである。
本発明のサイアロン原料の他の１つは９化ケイ素粉末で
ある。ｉ！２特化ケイ素の性状は特に限定されずサイア
ロンＷ判として使用されるものが使用出来るが、得られ
るサイアロンにすぐれた透光性を付寿するためには高純
度で且つ粒子径が小さく、粒度分布が揃っているものを
使用するのが好ましい。一般には平均粒子径が２０μｍ
以下好ましくは５μＴ以下で純度が９９９ｇ以上のもの
が好適である。また原料中に含まれる金属不純物はサイ
アロンの透光性に悪影響を与えるので、一般には例えば
特開昭５８−９８８１号明細育にも記載されているよう
に、また前記９化アルミニウム粉末の製法で述べたよう
ニ、マンガン、鉄、クロム、二ｙケル、コノくルト、銅
、亜鉛、チタン等の不純物金属化合物の含有量を１重量
％以下好ましくは０．５重量％以下、更に好ましくは０
．６重量％以下のものを使用するのが好ましい。
ある。ｉ！２特化ケイ素の性状は特に限定されずサイア
ロンＷ判として使用されるものが使用出来るが、得られ
るサイアロンにすぐれた透光性を付寿するためには高純
度で且つ粒子径が小さく、粒度分布が揃っているものを
使用するのが好ましい。一般には平均粒子径が２０μｍ
以下好ましくは５μＴ以下で純度が９９９ｇ以上のもの
が好適である。また原料中に含まれる金属不純物はサイ
アロンの透光性に悪影響を与えるので、一般には例えば
特開昭５８−９８８１号明細育にも記載されているよう
に、また前記９化アルミニウム粉末の製法で述べたよう
ニ、マンガン、鉄、クロム、二ｙケル、コノくルト、銅
、亜鉛、チタン等の不純物金属化合物の含有量を１重量
％以下好ましくは０．５重量％以下、更に好ましくは０
．６重量％以下のものを使用するのが好ましい。
本発明のサイアロン原料の他の１つはアルミナである。
該アルミナについても前記窒化ケイ素粉末と同様に特に
限定されずサイアロン原料に使用されることが公知のも
のが使用出来るが一般には平均粒子径が５μｍ以下好ま
しくは２μｍ以下で、純度が９９％以上のものを使用す
るのが好ましい。アルミナ中の不純物成分の含有量も前
記窒化ケイ素粉末の場合と同様な理由から前記不純物金
属化合物を１重ｆｔ％以下好ましくは０．５重量に以下
更に好ましくは０．３重量％以下のものを使用するのが
好ましい。
限定されずサイアロン原料に使用されることが公知のも
のが使用出来るが一般には平均粒子径が５μｍ以下好ま
しくは２μｍ以下で、純度が９９％以上のものを使用す
るのが好ましい。アルミナ中の不純物成分の含有量も前
記窒化ケイ素粉末の場合と同様な理由から前記不純物金
属化合物を１重ｆｔ％以下好ましくは０．５重量に以下
更に好ましくは０．３重量％以下のものを使用するのが
好ましい。
本発明番で於ける前記窒化ケイ素、窒化アルミニウム及
びアルミナの各成分の混合比は特に限定的ではなく公知
の原料混合比例えばサイアロ／１ＩＩＩＩ成即ち８１ｇ
−２ｈ１ｇ５０２ Ｍｌ！１−１１ （ｚ ＝ Ｏ〜４
．２）の成分比に相当するように混合すればよい。また
サイアロンを得るための焼結条件も特に限定的ではなく
公知の条件が採用出来る。例えば１〜１５００Ｋｌｌ／
ｆｆｉ”好ましくは５０〜５ｏｏＫＰ／函２の圧力下に
１５００〜１８５０℃好ましくは１６００〜１７５０℃
の温度で、１０分〜２０時間焼結させると良好である。
びアルミナの各成分の混合比は特に限定的ではなく公知
の原料混合比例えばサイアロ／１ＩＩＩＩ成即ち８１ｇ
−２ｈ１ｇ５０２ Ｍｌ！１−１１ （ｚ ＝ Ｏ〜４
．２）の成分比に相当するように混合すればよい。また
サイアロンを得るための焼結条件も特に限定的ではなく
公知の条件が採用出来る。例えば１〜１５００Ｋｌｌ／
ｆｆｉ”好ましくは５０〜５ｏｏＫＰ／函２の圧力下に
１５００〜１８５０℃好ましくは１６００〜１７５０℃
の温度で、１０分〜２０時間焼結させると良好である。
本発明で得られるサイアロンは透光性にすぐれていて、
種々の分野例えば高圧ナトリウムランプの発光管累月、
高温下に使用する容器の窓材、ＩＣ基板素材等に好適に
使用される。
種々の分野例えば高圧ナトリウムランプの発光管累月、
高温下に使用する容器の窓材、ＩＣ基板素材等に好適に
使用される。
本発明を更に具体的に説明するため以下実施例を挙げて
説明するが本発明はこれらの実施例に限定されるもので
はない。
説明するが本発明はこれらの実施例に限定されるもので
はない。
以下余白
実施例 １
純度ｑｑ、ｑｑ９Ｋ（不純物分析値を表１に示す）で平
均粒子径が０．５２μｍで３μｍ以下の粒子の割合が９
５ ｖｏ１％のアルミナｊＱＯ）＃Ｍ：部と、灰分０．
０８ｗｔ％で平均粒子径が０．４５μｍのカーボンブラ
ック５０重量部とを、ナイロン製ポットとナイロンコー
ティングしたボールを用いエタノールを分散媒体として
均一にボールミル混合した。得られた混合物を乾燥後、
高純度黒鉛製平皿に入れ電気炉内に窒素ガスを３１／ｗ
ｉｎで連続的に供給しながら１６００℃の温度で６時間
加熱した。得られた反応混合物を空気中で７５０℃の温
度で４時間加熱し、未反応のカーボンを酸化除去した。
均粒子径が０．５２μｍで３μｍ以下の粒子の割合が９
５ ｖｏ１％のアルミナｊＱＯ）＃Ｍ：部と、灰分０．
０８ｗｔ％で平均粒子径が０．４５μｍのカーボンブラ
ック５０重量部とを、ナイロン製ポットとナイロンコー
ティングしたボールを用いエタノールを分散媒体として
均一にボールミル混合した。得られた混合物を乾燥後、
高純度黒鉛製平皿に入れ電気炉内に窒素ガスを３１／ｗ
ｉｎで連続的に供給しながら１６００℃の温度で６時間
加熱した。得られた反応混合物を空気中で７５０℃の温
度で４時間加熱し、未反応のカーボンを酸化除去した。
得られた白色の粉末はｘｉＩｇｉ１回折分析（Ｘｒａｙ
ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ ａｎａ’１ｙｓｉｅ ）の
結果、単相（ｓｉｎｇｌｅ ｐｈａｓｅ ） のＡｌｙ
であ’）、ＡｌｚＯｓ の回折ピークは無かった。また
該粉末の平均粒子径を粒度分布測定器（板場製作所製
ｃ＊ｐ＊−５００）を用いて測定したところ１．３１μ
ｍであり、３μｍ以下が９０容量％を占めた。走査型重
子顕微鏡による観察ではこの粉末は平均０．７μｍ程度
の均一な粒子であった。また比表面積の測定値は４．０
ｍ’／、ＩＪであった。この粉末の分析値を表２に示す
。
ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ ａｎａ’１ｙｓｉｅ ）の
結果、単相（ｓｉｎｇｌｅ ｐｈａｓｅ ） のＡｌｙ
であ’）、ＡｌｚＯｓ の回折ピークは無かった。また
該粉末の平均粒子径を粒度分布測定器（板場製作所製
ｃ＊ｐ＊−５００）を用いて測定したところ１．３１μ
ｍであり、３μｍ以下が９０容量％を占めた。走査型重
子顕微鏡による観察ではこの粉末は平均０．７μｍ程度
の均一な粒子であった。また比表面積の測定値は４．０
ｍ’／、ＩＪであった。この粉末の分析値を表２に示す
。
表 ｊ ｈ１２ｏ３粉末分析値
Ａ／！ ０３含有″ｉＦ ９９．９９％元 素 含有量
（ｐｐｙ） Ｍｇ ＜ ５ ｃｒ （１０ ８１３０ ｚｎ ＜ ｓ Ｆｅ ２２ ＣＵ ＜ Ｓ Ｏａ ＜２Ｏ Ｎｉ １５ ’ Ｔ １ 〈 ５ 表 ２ １１Ｎ粉末分析値 Ａｌ）Ｉ含有量 ９７．８％ 元 素 含有量 Ｍｇ ＜５ （ＰＰＭ） Ｏｒ ２１ （ｌ ） ｓｌ １２５ （ｙ ） Ｚｎ ９ （＃） Ｆｅ ２０ （ｙ ） Ｏｕ ＜ｓ （’） Ｍｎ ５ （ｔ ） ” ２７ （ｙ ） ＴＩ ＜ｓ （ｙ） ” ＜ｓ （ｆ） ＡＩ ６４．８ （ｗｔ％） ’ ３３．４（ｒ） ０ １．１（＃） ０ ０．１１（＃） このよう忙して得られた窒化アルミニウム粉末および表
１に示したと同じアルミナ粉末および平均粒子径１．２
μｍで５ｐｍ以下の粒子の割合が８０容級％で含有量イ
オン不純物量が０．０３重量％である窒化ケイ素粉末を
βサイアロン組成（一般式 ８１ｓ−ＩｌｌＡｌ、０ｚ
Ｎｓ−ｓ ）のＺ＝４の組成（８１２ＡＡ’４ ｏ４
Ｎ、 ）となるよう押針し、グラスチック製のボール及
び容器を用いてヘキサ／を分散媒として均一にボールミ
ル混合した。
（ｐｐｙ） Ｍｇ ＜ ５ ｃｒ （１０ ８１３０ ｚｎ ＜ ｓ Ｆｅ ２２ ＣＵ ＜ Ｓ Ｏａ ＜２Ｏ Ｎｉ １５ ’ Ｔ １ 〈 ５ 表 ２ １１Ｎ粉末分析値 Ａｌ）Ｉ含有量 ９７．８％ 元 素 含有量 Ｍｇ ＜５ （ＰＰＭ） Ｏｒ ２１ （ｌ ） ｓｌ １２５ （ｙ ） Ｚｎ ９ （＃） Ｆｅ ２０ （ｙ ） Ｏｕ ＜ｓ （’） Ｍｎ ５ （ｔ ） ” ２７ （ｙ ） ＴＩ ＜ｓ （ｙ） ” ＜ｓ （ｆ） ＡＩ ６４．８ （ｗｔ％） ’ ３３．４（ｒ） ０ １．１（＃） ０ ０．１１（＃） このよう忙して得られた窒化アルミニウム粉末および表
１に示したと同じアルミナ粉末および平均粒子径１．２
μｍで５ｐｍ以下の粒子の割合が８０容級％で含有量イ
オン不純物量が０．０３重量％である窒化ケイ素粉末を
βサイアロン組成（一般式 ８１ｓ−ＩｌｌＡｌ、０ｚ
Ｎｓ−ｓ ）のＺ＝４の組成（８１２ＡＡ’４ ｏ４
Ｎ、 ）となるよう押針し、グラスチック製のボール及
び容器を用いてヘキサ／を分散媒として均一にボールミ
ル混合した。
この混合粉末を乾燥後、内径２０龍で内壁を窒化ホウ素
コーティングした黒鉛製モールドに充填し、圧力１００
ＫＰ ／ ｃｒＩＬ”、１７００℃４時間の条件でホ
ットプレス焼結した。得られた焼結体はＸ線回折分析で
β型サイアロンであることがわかった。この得られた焼
結体を厚さ０．６非に研削研磨したものの直線透過率は
波長０．６μｍの光に対して４３％、波長４μｍの光に
対して７０％であった。またこの焼結体の光の全透過率
を積分球を用いて測定したところ０．６μｍの波長の光
に対して８８％であった。
コーティングした黒鉛製モールドに充填し、圧力１００
ＫＰ ／ ｃｒＩＬ”、１７００℃４時間の条件でホ
ットプレス焼結した。得られた焼結体はＸ線回折分析で
β型サイアロンであることがわかった。この得られた焼
結体を厚さ０．６非に研削研磨したものの直線透過率は
波長０．６μｍの光に対して４３％、波長４μｍの光に
対して７０％であった。またこの焼結体の光の全透過率
を積分球を用いて測定したところ０．６μｍの波長の光
に対して８８％であった。
実施例 ２
実施例１に使用したものと同じ窒化アルミニウム粉末、
アルミナ粉末窒化ケイ素粉末を使用して、神々のサイア
ロン組成とした後、実施例１と同条件で焼結して焼結体
を得た。これらの焼結体の光’ｘ４３Ｒ率を測定した結
果を表３に示す。
アルミナ粉末窒化ケイ素粉末を使用して、神々のサイア
ロン組成とした後、実施例１と同条件で焼結して焼結体
を得た。これらの焼結体の光’ｘ４３Ｒ率を測定した結
果を表３に示す。
測定条件は実施例１と同じである。
なお表６の隘３は比較例で、窒化アルミニウム粉末とし
て金属アルミニウムを窒化して粉砕した平均粒子径３
／Ｊ ｍで、５μｍ以下の粒子の占める割合が５０容Ｍ
１％で且つ陽イオン不純物含有１ｉ０．４重層％及び酸
素含有鮭が３．５重針％の窒化アルミニウムを使用した
時のものである。
て金属アルミニウムを窒化して粉砕した平均粒子径３
／Ｊ ｍで、５μｍ以下の粒子の占める割合が５０容Ｍ
１％で且つ陽イオン不純物含有１ｉ０．４重層％及び酸
素含有鮭が３．５重針％の窒化アルミニウムを使用した
時のものである。
表 ３
Claims (1)
- ８１３Ｎ４、ＡＩＮ及びＡｊ！２ｏ３を反応させ透光性
サイアロを製造するに際し、ムＩｎとして、平均粒子径
２μｍ以下で、５ｐＩｌｌ以下の粒子のものを７０容ｔ
％以上の割合で含有し且つ酸素含有量が３．０重１１％
以下、不純物の金属化合物の含有量が金属として０．３
重量％以下及び窒化アルミニウムの純度が９５％以上の
窒化アルミニウム粉末を用いることを特徴とする透光性
サイアロンの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59046437A JPS60191064A (ja) | 1984-03-13 | 1984-03-13 | 透光性サイアロンの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59046437A JPS60191064A (ja) | 1984-03-13 | 1984-03-13 | 透光性サイアロンの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60191064A true JPS60191064A (ja) | 1985-09-28 |
Family
ID=12747132
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59046437A Pending JPS60191064A (ja) | 1984-03-13 | 1984-03-13 | 透光性サイアロンの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60191064A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4812298A (en) * | 1985-09-27 | 1989-03-14 | Ube Industries, Ltd. | Method for producing sialon powders |
| CN107840664A (zh) * | 2016-09-20 | 2018-03-27 | 日本碍子株式会社 | 硅铝氧氮陶瓷烧结体、其制法、复合基板及电子器件 |
| JP2018048059A (ja) * | 2016-09-20 | 2018-03-29 | 日本碍子株式会社 | サイアロン焼結体、その製法、複合基板及び電子デバイス |
-
1984
- 1984-03-13 JP JP59046437A patent/JPS60191064A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4812298A (en) * | 1985-09-27 | 1989-03-14 | Ube Industries, Ltd. | Method for producing sialon powders |
| CN107840664A (zh) * | 2016-09-20 | 2018-03-27 | 日本碍子株式会社 | 硅铝氧氮陶瓷烧结体、其制法、复合基板及电子器件 |
| KR20180031588A (ko) * | 2016-09-20 | 2018-03-28 | 엔지케이 인슐레이터 엘티디 | 사이알론 소결체, 그 제조법, 복합 기판 및 전자 디바이스 |
| JP2018048059A (ja) * | 2016-09-20 | 2018-03-29 | 日本碍子株式会社 | サイアロン焼結体、その製法、複合基板及び電子デバイス |
| CN107840664B (zh) * | 2016-09-20 | 2021-09-21 | 日本碍子株式会社 | 硅铝氧氮陶瓷烧结体、其制法、复合基板及电子器件 |
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