JPS6241767A - 窒化アルミニウム焼結体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は高純度、高密度でかつ特に熱伝導性に優れた窒
化アルミニウム焼結体に関する。

〔従来の技術及び発明の解決しようとする問題点〕窒化
アルミニウム焼結体は公知で、その耐熱性、耐食性ある
いは強度などの優れた物性の他に高熱伝導性を有する絶
縁体として最近特に注目されている物質である。

窒化アルミニウム焼結体は、常圧焼結させる場合、通常
は窒化アルミニウム粉末と焼結助剤との混合粉末を焼成
することにより得られる。しかしながら、このようにし
て得られた窒化アルミニウム焼結体の中には、焼結助剤
に由来する不純物が数％程度含まれている。従って、こ
れらの不純物の影響により、窒化アルミニウム焼結体本
来の優れた性質、例えば高い熱伝導性を具備した窒化ア
ルミニウム焼結体を得ることば困難であった。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明者らは、上記の問題点に鑑み、窒化アルミニウム
焼結体本来の優れた性質、特に高い熱伝導性を有する窒
化アルミニウム焼結体を得ることを目的として鋭意研究
を行なってきた。その結果、窒化アルミニウム粉末の焼
結に必要な比較的多量の焼結助剤を用いて窒化アルミニ
ウム粉末の焼結を行なっても、焼結を特定の条件下に行
なうことによって、焼結体中に含まれる焼結助剤の量が
極めて少なくなることが判明した。そして、焼結助剤の
残留量が極めて少ないために、窒化アルミニウム焼結体
の有する優れた特性、特に高い熱伝導性を具備した窒化
アルミニウム焼結体を見い出し、本発明を完成させるに
至った。

即ち、本発明は、 （Ａ）窒化アルミニウムが９５重量％以上（Ｂ）アルカ
リ土類金属の化合物よりなる焼結助剤が酸化物換算で０
．０００５重量％以上０．０２重量％未満 且つ （Ｃ）密度が３．０ｇ／ｃｄ以上 である窒化アルミニウム焼結体である。

本発明の窒化アルミニウム焼結体中に含まれる焼結助剤
は、アルカリ土類金属の化合物よりなる。

アルカリ土類金属としては、ベリリウム、マグネシウム
、カルシウム、バリウム、ストロンチウムが使用される
。これらのアルカリ土類金属の化合物としては、公知の
化合物が何ら制限なく使用され、本発明に於いて好適な
化合物として例えば、酸化物、硝酸塩、亜硝酸塩、炭酸
塩、ハロゲン化物等を挙げることができる。また、上記
したアルカリ土類金属の酸化物とアルミナとで構成され
、下記一般式（Ｉ） ｍＭｏ−ＡＲｚＯｙ’　ｎＨｚｏ　　　　　（Ｉ）（但
し、Ｍはアルカリ土類金属を示し、ｍは１以上の数、ｎ
は０以上の数を示す。） で示されるアルカリ土類金属のアルミネート化合物も本
発明で好適に使用される。

上記したアルカリ土類金属の中でも、得られる窒化アル
ミニウム焼結体の熱伝導性を良好なものとするためには
、カルシウム、バリウム、ストロンチウムを用いること
が好ましい。

本発明に於いて特に好適に用いられる焼結助剤を例示す
ると次の′とおりである。例えば、酸化カルシウム、酸
化バリウム、酸化ストロンチウム、硝酸カルシウム、硝
酸バリウム、硝酸ストロンチウム、フッ化カルシウム、
フッ化バリウム、フッ化ストロンチウム、シェラ化カル
シウム、シュウ化バリウム、シュウ化ストロンチウム、
ヨウ化カルシウム、ヨウ化バリウム、ヨウ化ストロンチ
ウム等のアルカリ土類金属の化合物；及び３ＣａＯ−Ａ
　ｌ　　ｚ（ｈ　　、　　１２ＣａＯ−７八　ｌ　　２
０３　　、　５ＣａＯ・３八７！　２０３　、Ｃａ０−
Ａ　１　ｔＯｚ　、　３ＢａＯ−Ａ　ｌ　ｚ０３．３Ｓ
ｒＯ・Ａ　６２０３等のアルカリ土類金属の酸化物のア
ルミネート化合物又はこれらの水和物等が挙げられる。

上記したアルカリ土類金属の化合物は、本発明の窒化ア
ルミニウム焼結体中に酸化物換算で０．０００５重量％
以上０．０２重量％未満の範囲で含まれている。アルカ
リ土類金属の量が少ない程、得られる窒化アルミニウム
焼結体の熱伝導性等の性質が良好となる。従って、アル
カリ土類金属の化合物の量は少ない方が好ましく、０．
０１５重量％以下、さらには０．０１２重量％以下であ
ることが好ましい。

また、本発明の窒化アルミニウム焼結体は、焼結密度が
３．０ｇ／−以上の焼結体である。特に焼結密度が３．
２ｇ／ｃＩＡ以上の焼結体は、焼結体の熱伝導性がより
優れたものとなり、さらには透光性の焼結体ともなるた
めに好ましい。

本発明の窒化アルミニウム焼結体中の酸素含有量は少な
い方が熱伝導性や透光性に優れた窒化アルミニウム焼結
体を得ることができる。従って、窒化アルミニウム焼結
体中の酸素含有量は０．５重量％以下、さらに０．４重
量％以下、最も好ましくは０．３重量％以下であること
が好適である。

また、本発明の窒化アルミニウム焼結体中には焼結助剤
以外の不可避的に混入する陽イオン不純物の少ない方が
好ましい。

不可避的に混入する陽イオン不純物は種々のものが考え
られる。例えば窒化アルミニラ１、焼結体の原料である
窒化アルミニウム粉末中に残存する未反応のアルミナ及
びカーボンもその１つであるし、上記の窒化アルミニウ
ム粉末の製造工程中の溶媒、混合器、配管等で混入する
不純物成分等である。従って、本発明で云う上記不可避
的に混入する陽イオン不純物は、得られる窒化アルミニ
ウム焼結体中のＡｌｘ及び積極的に添加する焼結助剤に
起因する化合物以外の化合物の陽イオンと考えることも
出来る。前記窒化アルミニウム焼結体中の酸素含有量を
基準に本発明で得られる窒化アルミニウム焼結体中のＡ
４Ｎ含を量を示せば一般に９５重量％以上で、特に高い
熱伝導性や透光性を要求する場合は９８重量％以上とす
れば好ましい。

また、前記不可避的に混入する陽イオン不純物の代表的
なものを例示すると、鉄、クロム、ニッケル、コバルト
、銅、チタン、珪素等の窒化アルミニラｌ、粉末の製造
原料及び窒化アルミニウム粉末の製造装置に起因して混
入するものと窒化アルミニウム粉末合成後に残留する未
反応のアルミナ、カーボンとして含まれるものがある。

さらにまた、金属アルミニウムも陽イオン不純物である
。これらの不可避的に混入して来る陽イオン不純物のう
ち、未反応のアルミナ、カーボン、金属アルミニウム或
いは窒化アルミニウム粉末の表面が酸化されてアルミナ
に変化したもの等は極端に本発明の窒化アルミニウム焼
結体の性状を悪化させるものではないが、高熱伝導性焼
結体作成を勘案すると、これらの含有率は低い方が極端
である。即ち焼結体に高熱伝導性を付与するためには上
記金属アル”ニウム、アルミナ、カーボン等の陽イオン
不純物の含有量を０．５重量％以下好ましくは０，３重
量％以下に制御することが好ましい。また特に珪素、鉄
、クロム、ニッケル、コバルト、銅皮ヒチタンの各成分
は窒化アルミニウム焼結体の熱伝導性に悪影響を与える
のでこれらの成分の混入を出来るだ６［少させるのがよ
い。従って、本発明に於ける前記不可避的に混入する陽
イオン不純物の量は０．５重量％以下好ましくは０．３
重量％以下に制御するのがよい。また窒化アルミニウム
焼結体に十分な熱伝導性を与えるためには上記不可避的
に混入する陽イオン不純物のうち、珪素、鉄、クロム、
ニッケル、コバルト、銅、及びチタンの含有量合計が０
．１重量％を越えないように制御するのが好ましい。

本発明の窒化アルミニウム焼結体は従来公知の焼結体と
比較して純度および密度の点で大幅に改良されているた
めに熱的性質、機械的性質において優れた性能を有する
。さらにまた、可視光〜赤外光に対して著しく高い透光
性を有する窒化アルミニウム焼結体とすることもできる
。

上記に述べた本発明の窒化アルミニウム焼結体の中でも
次に述べる焼結体は、特に熱伝導性に優れており、透光
性をも備えたものである。即ち、（ｉ）窒化アルミニウ
ムが９８重量％以上、（ｉｉ）焼結助剤としてアルカリ
土類金属の化合物が酸化物に換算して０．０００５重量
％以上０．０２重量％未満 （ｉｉｉ　）酸素原子が０．５重量％以下、（ｉｖ）　
珪素、鉄、クロム、ニッケル、コバルト、銅及びチタン
よりなる群から選ばれた金属化合物の含有量が金属とし
て０．１重量％以下及び （Ｖ）上記（１ｖ）以外の不可避的に混入する金属化合
物が金属として０．３重量％以下 １つ密度が３．２０　ｇ　／ｃｔ以上である窒化アルミ
ニウム焼結体である。

上記の窒化アルミニウム焼結体は、熱伝導率が通算は１
２０ｗ／ｍ−に以上のものであり、好ましくは１４．０
Ｗ／ｍ−に以上という極めて優れた熱伝導性を存してい
る。また、下記のＬａｍｂｅｒｔ−Ｂｅｅｒの弐におい
て６μｍの波長の光に対する吸収係数は６０ｃｍ−’以
下の優れた透光性を有している。

本発明の窒化アルミニウム焼結体は、その製法の如何に
かかわらず前記要件を満すものであれば特に限定されな
い。一般に好適に採用される代表的な製造方法を例示す
れば次の通りである。

即ち、窒化アルミニウム粉末と、アルカリ土類金属の化
合物よりなる焼結助剤との混合粉末を少くとも１３００
〜１７００℃の温度領域に於ける平均昇温時間を１〜４
０″Ｃ／ｍｉｎとして焼成する方法である。この方法に
よれば、窒化アルミニウム粉末の焼結に必要な量、即ち
数重量％の焼結助剤を加えるにもかかわらず、焼結後の
窒化アルミニウム焼結体中には、わずかに０．０００５
重量％以上０．０２重量％未満の焼結助剤が含まれてい
るに過ぎないという驚くべき結果が得られるのである。

これは、焼成することにより焼結助剤が揮散するためで
あると考えられるが、さらに驚くべきことには、焼結助
剤の揮散に伴って酸素原子も減少するという現象が見い
出された。従って、上記の方法に従って得た窒化アルミ
ニウム焼結体中の焼結助剤の量は勿論、酸素原子の量も
焼成前の量に比べて極めて少ない量となっている。

原料とする窒化アルミニウム粉末とアルカリ土類金属の
化合物よりなる焼結助剤との混合粉末は、い）窒化アル
ミニウムを９０重量％以上含有し、（ｉｉ）アルカリ土
類金属化合物を酸化物に換算して０．０２〜５．０重量
％を含有し、 （ｉｉｉ　）酸素原子を４．５重量％以下含有し、且つ
（１ｖ）不可避的に混入する陽イオン不純物が金属とし
て０．３重量％以下含有する 平均粒子径が、３μｍ以下の窒化アルミニウム粉末が好
適に使用される。

このような窒化アルミニウム粉末は、その製法が特に限
定されるものではなく、公知の方法が何ら制限なく採用
される。

本発明における上記焼結助剤の使用量は、焼結体に要求
される性状に応じて異なり一部に限定できないが、一般
には窒化アルミニウム粉末と焼結助剤の混合物中に含ま
れる量が０．０２〜５重量％の範囲となるように選べば
好適である。

本発明における…１記窒化アルミニウム粉末と焼結助剤
との混合は特に限定されず、乾式混合であっても湿式混
合であってもよい。特に好適な実施態様は湿式混合すな
わち液体分散媒体を使用する湿式状態での混合である。

該液体分散媒体は特に限定されず、一般に使用される水
、アルコール類、炭化水素類またはこれらの混合物が好
適に使用される。特に工業的に最も好適に採用されるの
は、メタノール、エタノール、ブタノールなどの炭素原
子数４以下の低級アルコール類である。

また、前記原料の混合に使用する湿式混合装置としては
、特に限定されず公知のものが使用されるが、材質に基
因する不純物成分を生じないものを選ぶのが好ましい。

例えば、材質としては窒化アｌレミニウム自身あるいは
ポリエチレン、ポリウレタン、ナイロンなどのプラスチ
ック材料あるいはこれらで被覆された材質などを選定す
ればよい。

本発明における焼成の具体的な態様としては、前記窒化
アルミニウム粉末に焼結助剤を添加した混合粉末を適当
に成形手段、例えば乾式プレス法、ラバープレス、押出
し法、射出法、ドクターブレードシート成形法などによ
って目的の形状に成形した後これを適当なるつぼ、サヤ
材などの上に設置して真空又は大気圧の非酸化性雰囲気
下、例えば、窒素ガス、ヘリウムガス、アルゴンガス等
の雰囲気下又は２〜１００気圧程度の窒素ガス加圧下に
裔温で焼成する方法が挙げられる。あるいは前記混合粉
末を直接、２０〜５００ｋｇ／Ｌ：４程度の機械的圧力
を加えつつ真空又は大気圧の非酸化性雰囲気下あるいは
２〜１００気圧程度の窒素ガス加圧下、高温で焼成する
方法が採用される。焼成温度としては真空又は大気圧の
非酸化性雰囲気の場合は１７００〜２１００℃、好まし
くは１７５０〜２０５０℃の温度が好適に採用され、２
〜１００気圧の窒素ガス加圧下では１７００〜２４００
℃、好ましくは１７５０〜２３００“Ｃの温度が好適に
採用される。尚、本発明に於ける温度は、混合粉末を入
れた黒鉛るつぼの表面を放射温度計により測定し、黒鉛
るつぼ内のガス温度を示すように補償した値である。

該焼成の際の焼成条件として最も重要なものは昇温速度
であり、特に１３００〜１７００℃の温度範囲の平均昇
温速度を１℃／ｍｉｎ〜４０℃／ｍｉｎの範囲とするこ
とが極めて肝要である。１３００〜１７００℃の温度範
囲の平均昇温速度が１℃／ｍｉｎより小さい場合には窒
化アルミニウム粉末のち密化は著しく遅くなり高密度で
且つ高熱伝導率の焼結体が得られなくなる。

また、平均昇温速度が４０℃／＋ｓｉｎより速いと、焼
結の際粒子が粒成長しつつ気孔が粒界を通って抜は出す
速度と粒成長による粒内への気孔封じ込みの速度との間
のバランスがとれず、ち密で且つ均一な焼結体とするこ
とが難しい。また、急速昇温するとたとえ密度が上った
場合でも焼結体にそりが出ることが多く好ましくない。

さらに焼結助剤として添加した酸化物などが必要以上に
焼結体中に残存して、焼結体の熱伝導率や透光性の妨げ
になることもある。

上記の平均昇温速度は、添加される焼結助剤の種類及び
量によって最適な範囲があるため、焼結助剤に応じて適
宜決定すれば良い。例えば焼結助剤として、前記一般式
ＣＩ）で示されるアルカリ土類金属のアルミネート化合
物を使用したときには、得られる焼結体の密度及び熱伝
導性を勘案すると、昇温速度は一般的には１〜ｂ あり、さらには、５〜ｂ より好ましい。

また、焼結助剤として、上記以外のアルカリ土類金属の
化合物を用いた場合には、１０〜ｂｗｉｎであり、さら
には１５〜ｂ ことが好ましい。

昇温速度の決定に於いて肝要な事は昇温の過程で加えた
焼結助剤の過度の蒸発がなく、又焼結後にはできるだけ
焼結助剤成分が残存しないような昇温条件を選定する事
である。前記昇温の方法としては１３００〜１７００℃
の範囲で単一の昇温速度を設定することが工業的には好
ましいが、その他にも２段あるいは３段の速度勾配をも
つ昇温プログラムを選ぶことも可能である。

１３００℃に達する迄の昇温速度、及び１７００℃から
焼成温度に昇温する必要のある場合の昇温温度は、特に
制限されず、どのような昇温速度であっても良い。しか
し、得られる焼結体の密度及び熱伝導性を勘案すると１
２００〜１３００℃の温度領域に於いても前記した平均
昇温速度が維持されていることが好ましい。また、工業
的には焼成温度までの全温度領域にわたって、単一の平
均昇温速度をとることが好ましい。

このようにして昇温された後引き続き、好ましくは１７
００〜２４００℃の焼成温度で焼成される。焼成時間は
、焼成温度、焼結助剤の種類と量、及び平均昇温速度に
よって異なるが、通常は、１０分〜２０時間の範囲から
選択される。１７００℃以上の焼成保持温度においては
焼結助剤として加えたアルカリ土類金属の化合物が溶融
してち密化助剤として作用しつつ、かつその蒸気圧に従
った蒸発を伴い最終的には焼結体中に残存する助剤の量
は初期添加量の１０％以下となる。

また、前記の製造方法のうち真空又は大気圧の非酸化性
雰囲気下例えば、窒素ガス、ヘリウムガス、アルゴンガ
ス等の雰囲気下又は２−１００気圧程度の窒素ガス加圧
下に高温で焼成する方法を採用した場合、得られる窒化
アルミニウム焼結体のＸ線回折パターンはＡβＮ単相で
あり、（００２）面（２θ−３６，２°）／（１００）
面（２θ＝　３３．２°）のピーク強度比は０．５〜０
．７である。

また、直接２０〜５００ｋｇ／ｃｆｆｌ程度の機械的圧
力を加えつつ真空又は大気圧の非酸化性雰囲気下あるい
は２〜１００気圧程度の窒素ガス加圧下、高温で焼成す
る方法を採用した場合には、得られる窒化アルミニウム
焼結体のＸ線回折パターンは／ＩＮ単相であり、また［
００２）面（２θ−３６，２°）／［１００）面（２θ
＝　３３．２°）のピーク強度比は０．７〜１．０であ
る。

〔効果〕

本発明の窒化アルミニウム焼結体は、窒化アルミニウム
粉末の焼結に必要な数重量％の焼結助剤を添加したにも
かかわらず、焼結後に含まれる焼結助剤の量が添加量の
１０％以下という著しく少ない量となっている。しかも
、焼結体中の酸素含有量も焼成前の量よりも少なくなっ
ている。

従って高純度の窒化アルミニウム焼結体、即ち、焼結助
剤の含有量が酸化物換算で２００ｐｐｍ未満のもの、さ
らに好ましくは１５０ｐｐｍ以下の窒化アルミニウム焼
結体が得られる。これらの窒化アルミニウム焼結体は、
純度が高いために熱伝導性が極めて良好である。熱伝導
率は通常、１２０Ｗ／ｍ−に以上のものかえられ、好ま
しくは１４０ｗ／ｍ−に以上の高い熱伝導性の焼結体が
得られる。しかも、優れた透光性を有する窒化アルミニ
ウム焼結体とすることもできる。

従って、本発明の窒化アルミニウム焼結体は電子機器の
放熱用基板、電子回路基板、放熱材料、絶縁材料として
工業的に極めて有用な材料となる。

以下に、実施例を挙げて本発明を説明するが、本発明は
これらの実施例に限定されるものではない。

実施例１ 平均粒子径１．５１μｍで３μｍ以下の粒子を８２容量
％含む表１に示す組成を持つＡＩＮ粉末１００ｇに対し
、平均粒径１．２μｍでＸ線回折的に唯相の３ＣａＯ−
Ａｅｚｏｘ粉末を２．０ｇ加えて均一に混合した。混合
物の約１ｇを内径１５ｍｍφの金型で２００ｋｇ／ｃＪ
の圧力で成形後１５００ｋｇ／ｃａｌの圧力でラバープ
レスして円板状の成形体とした。

この成形体の窒化ホウ素粉末で内壁をコーティングした
黒鉛製るつぼに入れ、１０００℃まで４０分間で昇温し
、１０００℃から１８００℃の温度まで１５℃／ｍｉｎ
の昇温速度で昇温し、１８００℃で１０時間保持した後
冷却した。得られた焼結体はかっ色がかった透光体であ
り、密度は３．２６ｇ　／　ｃｔであった。この焼結体
は厚さ３．０ｍｍに研削した試料の熱伝導率を、理学電
機製のレーザーフラッシュ法熱定数測定装置（ＰＳ−７
）を用いてＩｎＳｂ半導体を用いた赤外線検出器を用い
非接触法で測定したところ１５５Ｗ／ｍ　−ｋであった
。

この窒化アルミニウム焼結体を白金るつぼに入れてアル
カリ溶融し、誘導結合プラズマ発光分光分析によってカ
ルシウムの分析を行なったところ、酸化物換算で１１９
ｐｐｍであった。また、同様の方法で焼結体中のＭｇ、
Ｃｒ、Ｓｉ、Ｚｎ、Ｆｅ、Ｃｕ、Ｍｕ、、Ｎｉ、Ｔｉ、
、Ｃｏの含有率を測定したところ、焼結体中濃度に換算
して、Ｈｇ＜５ｐｐｍ、Ｃｒ＜　１０ｐｐｍ　、　Ｓ　
ｉ＝８３ｐｐｎ＋　、、Ｚｎ＜１０ｐｐｍ　。

Ｆ　ｅ＜　ｌ　Ｏｐｐｍ　ＳＣｕ＜　１０ｐｐｍ　、、
Ｍｕ＜５ｐｐｍ　。

Ｎｉ＜２０ｐｐｍ　、　Ｔｉ＝２０ｐｐｍ　、　Ｃｏ＜
１０ｐｐｍ　。

であった。

一方前記ＡＡＮと３Ｃａ○’Ａｌ２２０＊の混合物を約
３０ｍｍＸ　３０ｍｍＸ　２ｍｍｔの板状に成形したも
のを前記き全く同様の条件で焼結して密度３．２６ｇ／
ｃｒＡの焼結体を得た。この試料の酸素含有量を放射化
分析法で測定したところ、０．１９ｗｔ％の値であった
。さらに、この焼結体を０．５　ｍｍの厚さまで研削し
、両面を鏡面研摩したものについて光透過率を測定した
ところ、５．５μｍの波長に対して４５％の直線透過率
が得られた。

表　１　　　窒化アルミニウム粉末分析値Ａ　Ｉ　Ｎ含
有量　　　　　　　９８．１％元　　素　　　　　　　
含有量 Ｍｇ　　　　　　　　　＜５　　　（ＰＰＭ）Ｃｒ　　
　　　　　　〈１０　　（〃　）Ｓｌ　　　　　　　　
　４７　　（／ｌ　）Ｚｎ、　　　　　　　　　　　９
（〃　）Ｆｅ　　　　　　　　　　１４　　　（”）Ｃ
ｕ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　＜５（／／
）Ｍｎ　　　　　　　　　　５　　（〃　）Ｎｉ　　　
　　　　　　　　　　　　　　＜１０　　　　　　（〃
　　）Ｔｉ　　　　　　　　〈　５　　（〃　）Ｃｏ　
　　　　　　　　　　　　　　　　　＜　　　　５　　
　　　　　（〃　　　）Ａ／　　　　　　　　　　６４
．８　　（ｗｔ％）Ｎ　　　　　　　　　　　３３．５
（〃）０　　　　　　　　　　　１．０（〃）ＣＯ，０
３（〃） 実施例２ 平均粒子径１．５１μｍで３μｍ以下の粒子を８２容量
％含む表１に示す組成を持つＡＩＮ粉末１００ｇに対し
、表２に示した焼結助剤を用いて実施例１と同様の方法
で成形体を作成した。この成形体を窒化ホウ素粉末で内
壁をコーティングした黒鉛製るつぼに入れ、１０００℃
まで４０分間で昇温し、１０００℃以上の焼成温度条件
を表２に示した条件で焼成を行ない、窒化アルミニウム
焼結体を得た。

その結果を表２に示した。

熱伝導率は３ｍｍ厚さに研削しまた焼結体について実施
例１と同様の条件で測定した。

実施例３ 平均粒子径１．５１μｍで３μｍ以下の粒子を８２容量
％含む表１に示す組成を持つＡ１Ｎ粉末１００ｇに対し
、表３に示す種々の焼結助剤を１〜５重量％添加し、実
施例１と同様の方法で成形体を作成した。この成形体を
窒化ホウ素粉末で内壁をコーティングした黒鉛製るつぼ
に入れ、１０００℃まで４０分間で昇温し、１０００℃
以上の焼成温度条件を表３に示す条件で焼成を行ない、
焼結体を製造した。その結果を表３に示す。熱伝導率測
定は実施例１．２と同様の方法で測定した。

実施例４ 実施例１と同様の方法で成形した成形体を、窒化ホウ素
粉末で内壁をコーティングした黒鉛製るつぼに入れ１０
００℃まで４０分昇温し、１０００℃から１８００℃ま
での昇温速度をいろいろ変え、１８００℃で１０時間焼
成して５種類の窒化アルミニウム焼結体を製造した結果
を表４に示す。熱伝導率は３■厚さに研削した焼結体に
ついて実施例１．２と同様の条件で測定した。隘４、隘
５は比較例である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）（Ａ）窒化アルミニウムが９５重量％以上 （Ｂ）アルカリ土類金属の化合物よりなる焼結助剤が酸
   化物換算で０．０００５重量％以上０．０２重量％未満 且つ （Ｃ）密度が３．０ｇ／ｃｍ＾３以上 である窒化アルミニウム焼結体。