JPS60187676A - ベ−スフイルムの曲面走行方法 - Google Patents
ベ−スフイルムの曲面走行方法Info
- Publication number
- JPS60187676A JPS60187676A JP4184384A JP4184384A JPS60187676A JP S60187676 A JPS60187676 A JP S60187676A JP 4184384 A JP4184384 A JP 4184384A JP 4184384 A JP4184384 A JP 4184384A JP S60187676 A JPS60187676 A JP S60187676A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- belt
- base film
- film
- roller
- curved surface
- Prior art date
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の分野〕
この発明は、磁気記録テープを製造するために、長尺な
ベースフィルムに磁性材料を蒸着する場合等に、同フィ
ルムを所定の曲面に沿って走行させる方法に関する。
ベースフィルムに磁性材料を蒸着する場合等に、同フィ
ルムを所定の曲面に沿って走行させる方法に関する。
従来における磁気記録テープの製造装置は。
第１図に示すようなもので、アンワイングーロール３側
から繰り出された高分子フィルム等のベースフィルム２
が冷却ドラム２に密着状態で添えられた後、ワイングー
ロール５側に巻き取られるようになっている。他方冷却
ドラム４の下位には１強磁性材料からなる蒸発源１が配
置され、電子線の照射等により、同蒸発源１から蒸発し
た蒸気の内、ベースフィルム２に対して所定の成分（図
示の場合は垂直成分）の蒸気のみが入射角規制用のマス
ク６に開設されたスリット７を介して同フィルム２に入
射し、磁性膜を形成するようになっている。
から繰り出された高分子フィルム等のベースフィルム２
が冷却ドラム２に密着状態で添えられた後、ワイングー
ロール５側に巻き取られるようになっている。他方冷却
ドラム４の下位には１強磁性材料からなる蒸発源１が配
置され、電子線の照射等により、同蒸発源１から蒸発し
た蒸気の内、ベースフィルム２に対して所定の成分（図
示の場合は垂直成分）の蒸気のみが入射角規制用のマス
ク６に開設されたスリット７を介して同フィルム２に入
射し、磁性膜を形成するようになっている。
しかしながら、この従来の装置では１発生した蒸気の内
、狭いスリット７を通過した僅かな蒸気しか磁性膜の作
製に寄与しないため、蒸着効率が極めて低い。また、仮
にスリット７を相当狭くしても、これが有限の幅を持っ
ていることから、ペースフィルム２に対する蒸気の入射
角も目的とする成分を中心として成る程度の幅を持って
おり、厳密に成る一定の入射角成分を得ることが不可能
である。さらに、ペースフィルム２を冷却ドラム４に密
着状態で添えるためには、その間でペースフィルム２に
テンションを与えなりればならず、蒸着中に同フィルム
２に歪が生じるという欠点もある。
、狭いスリット７を通過した僅かな蒸気しか磁性膜の作
製に寄与しないため、蒸着効率が極めて低い。また、仮
にスリット７を相当狭くしても、これが有限の幅を持っ
ていることから、ペースフィルム２に対する蒸気の入射
角も目的とする成分を中心として成る程度の幅を持って
おり、厳密に成る一定の入射角成分を得ることが不可能
である。さらに、ペースフィルム２を冷却ドラム４に密
着状態で添えるためには、その間でペースフィルム２に
テンションを与えなりればならず、蒸着中に同フィルム
２に歪が生じるという欠点もある。
そこで本件発明者らは、上記のような問題を解決するた
め、凹状の曲面に沿って走行するヘルドとペースフィル
ムの間に電磁気的な吸引力を帯有させ、ペースフィルム
にヘルドと同じ速度の送りを与えながらこれをヘル１−
に密着させて走行させるといった方法を提案した。これ
によれば１例えば上記曲面の曲率中心上に蒸発源を配置
することにより、蒸気の入射角をマスクで規制すること
なく、放射状に発射される蒸気のはソ全てを垂直成分と
してペースフィルムに入射させることができ、また走行
中に同フィルムが変形を受けることもない。
め、凹状の曲面に沿って走行するヘルドとペースフィル
ムの間に電磁気的な吸引力を帯有させ、ペースフィルム
にヘルドと同じ速度の送りを与えながらこれをヘル１−
に密着させて走行させるといった方法を提案した。これ
によれば１例えば上記曲面の曲率中心上に蒸発源を配置
することにより、蒸気の入射角をマスクで規制すること
なく、放射状に発射される蒸気のはソ全てを垂直成分と
してペースフィルムに入射させることができ、また走行
中に同フィルムが変形を受けることもない。
この方法において重要な点は、ヘルドをどのうようにし
て所定の曲面に沿って正確に走行させるか７ といった
点である。
て所定の曲面に沿って正確に走行させるか７ といった
点である。
この発明は、上記の点に鑑みてなされたものであって、
ヘースフィルム走行用のベルトを所定の凹面に沿って正
確に、かつ確実に走行させることを目的とするものであ
る。
ヘースフィルム走行用のベルトを所定の凹面に沿って正
確に、かつ確実に走行させることを目的とするものであ
る。
この発明による走行方法は、第２図で示すように、平滑
な凹面２４にヘルド１４を添えて、同ヘルド１４が同門
面２４を滑りながら走行するようになし、かつこのとき
上記四面２４の始点側でヘルド１４に与えられる送りを
、終点側において制動しながら同ヘルド１４を送るよう
にしたものである。
な凹面２４にヘルド１４を添えて、同ヘルド１４が同門
面２４を滑りながら走行するようになし、かつこのとき
上記四面２４の始点側でヘルド１４に与えられる送りを
、終点側において制動しながら同ヘルド１４を送るよう
にしたものである。
この方法を図示の装置と共にさらＧこ詳しく説明すると
、真空槽（図示せず、以下間し）の中にジャケット２２
が配置されており、このジャケット２２には、所定の曲
率を持った凹面２４が形成されている。この四面２４の
始点と終点には、それぞれ駆動ローラ１８と制動ローラ
１９とがあって。
、真空槽（図示せず、以下間し）の中にジャケット２２
が配置されており、このジャケット２２には、所定の曲
率を持った凹面２４が形成されている。この四面２４の
始点と終点には、それぞれ駆動ローラ１８と制動ローラ
１９とがあって。
ごれら各ローラ１８．１９は、それぞれサブローラ２０
、２１を有している。さらに上記駆動ローラ１Ｂと制動
ローラ１９の間にあって、ベルト１４の戻り側には、弛
緩ローラ２３が配置されている。
、２１を有している。さらに上記駆動ローラ１Ｂと制動
ローラ１９の間にあって、ベルト１４の戻り側には、弛
緩ローラ２３が配置されている。
ベルト１４ば、ステンレス等で作られたループ状のもの
で、先ず駆動ロー月８とサブローラ２０の間に挾まれ、
送りを与えられた後、凹面２４に添えられ、この表面を
滑るようにして走行した後、制動ローラ１９とサブロー
ラ２１の間に挟まれる。ここでは、ブレーキ機構（図示
せず）によってヘルド１４がや＼制動されながら送られ
ることから、駆動ローラ１９と制動ローラ２１との間。
で、先ず駆動ロー月８とサブローラ２０の間に挾まれ、
送りを与えられた後、凹面２４に添えられ、この表面を
滑るようにして走行した後、制動ローラ１９とサブロー
ラ２１の間に挟まれる。ここでは、ブレーキ機構（図示
せず）によってヘルド１４がや＼制動されながら送られ
ることから、駆動ローラ１９と制動ローラ２１との間。
即ら凹面２４においてへル目４に圧縮方向の荷重が作用
する。従ってこの荷重の分力がベルト１４を上記四面２
４の法線方向に均一な力で押すように作用し、これによ
って同ベルｌ−１４が凹面２４に密着せしめられる。
する。従ってこの荷重の分力がベルト１４を上記四面２
４の法線方向に均一な力で押すように作用し、これによ
って同ベルｌ−１４が凹面２４に密着せしめられる。
この状態でアンワインダ−ロール１３側から高分子フィ
ルム等のベースフィルム１２ヲ駆動ロール１８とサブロ
ール２０の間に供給し、これとヘルド１４の間に静電気
による吸引力を帯有させてペースフィルム１２をベル目
４に密着させることにより、同フィルム１２をベルト１
４と共に走行させることができる。さらにこのヘルド１
２は、ヘルド１４と共に制動ロール１９とザブロール２
１の間を通った後、ワインダーロール１５に巻き取られ
る。
ルム等のベースフィルム１２ヲ駆動ロール１８とサブロ
ール２０の間に供給し、これとヘルド１４の間に静電気
による吸引力を帯有させてペースフィルム１２をベル目
４に密着させることにより、同フィルム１２をベルト１
４と共に走行させることができる。さらにこのヘルド１
２は、ヘルド１４と共に制動ロール１９とザブロール２
１の間を通った後、ワインダーロール１５に巻き取られ
る。
なお、第２図の装置では、この走行装置を磁気記録媒体
製造用の真空蒸着装置に通用しているものである。従っ
て上記凹面２４の曲率中心上に強磁性材料からなる蒸発
源１１が配置され、ここからペースフィル１２に同材料
の蒸気が入射される。この場合、ジャケット２２を冷却
することによっ′乙ベル目４を介してペースフイルム１
２を冷却する。
製造用の真空蒸着装置に通用しているものである。従っ
て上記凹面２４の曲率中心上に強磁性材料からなる蒸発
源１１が配置され、ここからペースフィル１２に同材料
の蒸気が入射される。この場合、ジャケット２２を冷却
することによっ′乙ベル目４を介してペースフイルム１
２を冷却する。
以上のようにしてこの発明によれば、ヘルド１４を所定
の凹面２４に均一な力で密着させながら走行させること
ができることから、これに吸着させたベースフィルム１
２を上記凹面２４に沿って正確、かつ確実に走行させる
ことができる。
の凹面２４に均一な力で密着させながら走行させること
ができることから、これに吸着させたベースフィルム１
２を上記凹面２４に沿って正確、かつ確実に走行させる
ことができる。
第１図は、従来のベースフィルムの走行装置を示す説明
図、第２図は、この発明の実施例を示す説明図である。 １２−ベースフィルム １４−ベルト ２４−凹面 特許出願人 太陽誘電株式会社 代理人 弁理士 北條和由
図、第２図は、この発明の実施例を示す説明図である。 １２−ベースフィルム １４−ベルト ２４−凹面 特許出願人 太陽誘電株式会社 代理人 弁理士 北條和由
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、所定の曲面に沿って走行するベルトと、ベースフィ
ルムに、電磁気的吸引力を帯有させ。 かつ同ベルトの走行速度と等しい速度の送りをベースフ
ィルムに与えながら、同フィルムをベルトの凹面側に密
着させ、当該密着状態で同フィルムを上記曲面に沿って
走行させるようにしｔ、−ベースフィルムの曲面走行方
法において、平滑な凹面に沿ってベルトが滑りながら走
行するようになし、かつこのとき上記凹面の始点側で送
りを与え、終点側でこの送りを制動しながら上記ベルト
を送るようにしたことを特徴とするベースフィルムの曲
面走行方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4184384A JPS60187676A (ja) | 1984-03-05 | 1984-03-05 | ベ−スフイルムの曲面走行方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4184384A JPS60187676A (ja) | 1984-03-05 | 1984-03-05 | ベ−スフイルムの曲面走行方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60187676A true JPS60187676A (ja) | 1985-09-25 |
| JPH0416546B2 JPH0416546B2 (ja) | 1992-03-24 |
Family
ID=12619533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4184384A Granted JPS60187676A (ja) | 1984-03-05 | 1984-03-05 | ベ−スフイルムの曲面走行方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60187676A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04209856A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-31 | Toyoda Spinning & Weaving Co Ltd | 繊維集積体の製造方法 |
| WO1997018342A1 (de) * | 1995-11-13 | 1997-05-22 | Balzers Aktiengesellschaft | Beschichtungsverfahren und substratträger hierfür |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4716621U (ja) * | 1971-03-27 | 1972-10-26 | ||
| JPS5798142A (en) * | 1980-12-08 | 1982-06-18 | Ricoh Co Ltd | Optical recording disk |
-
1984
- 1984-03-05 JP JP4184384A patent/JPS60187676A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4716621U (ja) * | 1971-03-27 | 1972-10-26 | ||
| JPS5798142A (en) * | 1980-12-08 | 1982-06-18 | Ricoh Co Ltd | Optical recording disk |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04209856A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-31 | Toyoda Spinning & Weaving Co Ltd | 繊維集積体の製造方法 |
| WO1997018342A1 (de) * | 1995-11-13 | 1997-05-22 | Balzers Aktiengesellschaft | Beschichtungsverfahren und substratträger hierfür |
| US5738729A (en) * | 1995-11-13 | 1998-04-14 | Balzers Aktiengesellschaft | Coating chamber, accompanying substrate carrier, vacuum evaporation and coating method |
| CH692000A5 (de) * | 1995-11-13 | 2001-12-31 | Unaxis Balzers Ag | Beschichtungskammer, Substratträger hierfür, Verfahren zum Vakuumbedampfen sowie Beschichtungsverfahren. |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0416546B2 (ja) | 1992-03-24 |
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