JPS6018446A

JPS6018446A - 搬送車

Info

Publication number: JPS6018446A
Application number: JP12613383A
Authority: JP
Inventors: 圭一柴田
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1983-07-13
Filing date: 1983-07-13
Publication date: 1985-01-30

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の技術分野〕本発明は、とくに半導体製造のだめのクリーンルーム内
での使用に適する搬送車に関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

近時、超微細化された半導体装置が本格的に生産されて
いる。このような半導体装置の製造は、塵芥を極度にき
らうゆえに高度のクリーン度を達成できるクリーンルー
ム内で半自動的に行わねばならない。通常、このような
りリーンルーム内での被搬送物の搬送は第１図及び第２
図に示すような搬送車によシ行っている。この搬送車の
本体（１）の下面側一端部には、車軸（２）が軸支され
ていて、この車軸（２）の両端部には、一対の車輪（３
ａ）、　（３ｂ）が同軸に取付けられている。また、本
体（１）には、電動機及び減速機からなる正逆回転駆動
自在な駆動機構（４）が取付けられていて、この駆動機
構（４）の回転軸（４ａ）先端に環装されたプーリと、
上記車軸（２）の中央に環装されたプーリとの間にはベ
ルト（５）が巻き掛けられ、駆動機構（４）により車輪
（３ａ）、（３ｂ）が回転駆動されるようになっている
。さらに、本体（１）の下拘側他端部には、一対の方向
変更用の車輪（６）、（７）が図示せぬ方向変更仮構に
より回転軸位置変更自在に軸支されている。

ところで、上記搬送車の送行方向の変更を上記方向変更
機構によシ第２図想像線で示すように行うと、車輪ｔ６
）　、　（７）は、走行面に対してすベシを生じながら
移動するので、減耗によシ塵芥が発生してしまう。した
がって、このような従来の搬送車の使用は、高度のクリ
ーン度が要求されるクリーンルーム内では好ましくなか
った。さらに、上記搬送車は、走行方向を変更する場合
、走行車幅以上の面積を必要とするので、高価な建設費
及び設備費を要する上記クリーンルーム内では、必要以
上のスペースを確保しなければならず、生産合理化の障
害となっていた。

〔発明の目的〕

本発明は、上記事情を参酌してなされたもので、塵芥を
発生させることなく、走行方向の変更が容易で、しかも
方向変更のためのむだなスペースを必要としない搬送車
を提供することを目的とする。

〔発明の概要〕

本体下ｔｈ側に少なくとも３個以上の車輪からなシ走行
方向が一定の車輪機構を異なる走向方向ごとに複数個設
け、上記各車＠機構ごとに回転駆動させるとともに、各
車輪を必要に応じて走行面に対して接離させる昇降機構
を設けたものである。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳述する。

第３図は、本実施例の搬送車の下面図であって、上面に
被搬送物が載置される直方体状の本体（８）の下面側の
端縁（９ａ）細巾央部には、車輪（１０ａ）がその回転
軸（ｈａ）が端縁（９ａ）と平行になるように軸支され
ている。また、本体（８）の下面側の端縁（９ａ）と対
向する端縁（９ｂ）細雨端部には、一対の車輪（１０ｂ
）、　（ＩＯＣ）が、これらの回転軸（図示せず）が上
記回転軸（１１りと平行になるように軸支されている。

これら車輪（１ｏａ）、　（１０ｂ）、　（ＩＯＣ）は
、第１の車輪機構０２を構成している。そして、車輪（
１０ａ）に近接した本体（８）下面位置には、電動機及
び減速機からなる正逆回転駆動自在な第１の駆動機構鰭
が取付けられている。この第１の駆動機構（１３）の回
転軸（１ａａ）は、車輪（１０りの回転軸（１１ａ）と
平行に設定されている。そして、回転軸（１３ａ）と回
転軸（１１りに環装された２゛個のプーリ（図示せず）
間にはベルトα荀が巻き掛けられている。一方、端縁（
９ａ）、　（９ｂ）に直交する端縁（９Ｃ）細巾央部に
は、車輪（１５ａ）が、その回転軸（１６ａ）の延長線
が回転軸（ｌｌａ）の延長線と直交するように軸支され
ている。また、本体（８）の下面側の端縁（９Ｃ）と対
向する端縁（９ｄ）細雨端部には、一対の車輪（１５ｂ
）、　（１５Ｃ）が、これらの回転軸（図示せず）が上
記回転軸（１６ａ）と平行になるように軸支されている
。これら車輪（１５ａ）、　（１５ｂ）、　（１５Ｃ）
は、第２の車輪機構（１ηを構成している。そして、車
輪（１５ａ）に近接した本体（８）下面位置には、電動
機及び減速機からなる正逆回転駆動自在な第２の駆動機
構（１（至）が取付けられている。この第２の駆動機構
（１８）の回転軸（１８ａ）は、車輪（ＩＳａ）の回転
軸（１６ａ）と平行に設定されている。そして、回転軸
（１８ａ　）と回転軸（１６ａ）に環装された２個のプ
ーリ（図示せず）間にはベルト０９が巻き」１［けられ
ている。しかして、上記車輪（ｘＯａ）、　（１ｕｂ）
、　（ｘｏｃ）、　（１５ａ）、　０ｓｂ）、　（ｔｓ
ｃ７）には、各別に第４図に示すような昇降機構翰・・
・が連設されている。すなわちこの昇降機ｖＩ（２）・
・・は、一端部に例えば車輪（ｉｏａ）が軸支されてい
る揺動杆（２１）−と、この揺動杆（２１）の他端部に
連結されこの揺動杆Ｑυを一定の範囲内で矢印（２３ａ
）、　（２３ｂ）方向に回動させる歯車列及び電動機か
らな−る回動機構（図示せず）とから構成されている。

しかして、上記構成の搬送車を第３図矢印（財）方向に
送行させる場合、車輪（ｘｓａ）、　（１５ｂ）、　（
１ｓｃ）に連設されている昇降機構（２０・・・を作動
させて、揺動杆Ｃ２１）・・・を矢印（２３ｂ）方向に
回動させ、車輪（１ｓａ）。

（１５ｂ）、　（１５Ｃ）を走行面（ハ）に接触させる
。逆に、車輪（１０ａ）、　（１０ｂ）、　（１０ｃ）
については、これらに連設されている昇降機構（２（１
・・・を作動させて、これらの揺動杆（２］）・・・を
矢印（２３ａ　）方向に回動させ、第４図想像線で示す
ように、走行面（２５１から離間させる。

しかして、本体（８）は、これら車輪（１５ａ）、　（
１５ｂ）。

（１５Ｃ）によシ支持され、第２の駆動機構ａ樽を起動
して、ベルト四を介して車輪（１５ａ）を回転駆動する
。すると、車輪（１ｓｂ）、　（１５Ｇ）は、車輪（１
５ａ）に追従して回転し、本体（８）は矢印＋２４１方
向に走行する。

さらに、搬送車を第３図矢印（イ）方向に走行させる場
合には、矢印（財）方向に走行させる場合とは逆に、車
輪（］Ｏａ）、　（１０ｂ）、　（ＩＯＣ）を走行ｒｍ
＋２５１に接触させて、これらの車輪（１０ａ）、　（
１０ｂ）、　（ＩＯＣ）によシ本体（８）を支持させる
とともに、昇降機構シ■・・・によシ車輪（１５ａ）、
　（１５ｂ）、　（１５Ｃ）を走行面（ハ）から離間さ
せる。

しかして、第１の駆動機構（Ｉ３１を起動して、ベルト
ａａを介して車輪（１０ａ）を回転駆動する。すると。

車輪（１０ｂ）、　（ＩＯＣ）は、車輪（１０ａ）に追
従して回転し、本体（８）ハ矢印（至）方向に走行する
。力Ｚくて、本実施例の搬送車は走行方向を変更する除
に、車輪（１０ａ）、　（１０ｂ）、　（ＩＯＣ）、　
（１５ａ）、　（１５ｂ）、　（１５Ｃ）が走行面（ハ
）に対してすべりを生じることがないので、両者のうち
いずれか一方若しくは両方が減耗して塵芥が発生する虞
がない。しかも、走行方向の変更も、第１及び第２の車
輪機構ｕａ、＋ｔ７）のうちいずれか一方を走行面（２
最に接触させ、回転駆動できるように切替えるだけでよ
いのですこぶる容易である。また、方向変更に安する走
行幅は、搬送車の幅の範囲内でよいので、搬送車の送行
のために宗分なスペースを確保する必要がない。したが
って、本実施例の搬送車は、Ｖ−ＬＳＩ　（Ｖｅｒｙ　
Ｌａｒｇｅ　５ｃａｌｅ　Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄｃｉｒ
ｃｕｉｔ　；超大規模集積回路）製造用のりＩ）　−ｙ
ルーム内での使用に最適なものとなっている。

なお、上記実施例における昇降機構（イ）・・・は、揺
動を利用しているが、リンク及びカムを利用して平行移
動させるようにしてもより０さらに、上記実施例におい
ては、走行方向は互に直交する２方向であるが、これに
限ることなく、たとえば第５図に示すように、ｍｌの車
輪機構（１シの各車輪（１０ａ）。

（１０ｂ）、　（ＩＯＣ）の走行方向が第２の車輪機構
（１７）の各車輪（１５ａ）、　（１５ｂ）、　（１５
Ｃ）の走行方向に対して斜めに横切る角度αとなるよう
に車１＋倫（ｘｏａ）、　（Ｊｏｂ）。

（ＩＯＣ）を取付けてもよい。のみならず、第１の車輪
機構住り及び第２の車輪機構ｆ１７）のいずれか一方又
は両方の各車輪を走行方向調整自在に重設してもよい。

さらにまた、各車輪機′構ｕｚ、Ｈの車輪の数は３個以
上であれば任意に選択してよい。また、車輪機構につい
ても、場合によっては、異なる走行方向ごとに３個以上
設置してよい。また、上記実施例においては、昇降機構
＠・・・は、各車輪（ｉｏａ）。

（１０ｂ）、　（ＩＯＣ）、　（ｔｓａ）、　（１５１
＞）、　（１５Ｃ）ととに設置しているが、各車＠機構
ｏ、ｒｔ７）ごとに−、１個ずつ設け、各車輪機＋？＋
ｆｆ　（１６、（１７１ごとに一体的に車輪を昇降させ
てもよい。

〔発明の効果〕

本発明の搬送車は、車輪が走行面に対してすべることが
ないので、摩擦減耗による塵芥の発生の虞がない。しか
も、走行方向の変更が容易で、かつ走行方向変更のため
にむだなスペースを必要としない。したがって、本装置
を半導体装ＲＭ造のためのクリーンルームで使用するこ
とにより、半導体装置の信頼性が向上するとともに、生
産性を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の搬送車の正面図、第２図は同じく下面図
、第３図は本発明の一実施例の搬送車の下面図、第４図
は第３図の歓送車の昇降機構を示す要部拡大図、第５図
は本発明の他の実施例の搬送車の下面図である。（８）二本体、（１０ａ）、　（１０ｂ）、　（ＩＯＣ
）、　０ｓａ）、　（１５ｂ）。（１５Ｇ）　：車輪、　ｆ１３１　、　（１８１：駆動
機構、　（イ）：昇降機構。代理人　弁理士　則　近　尉　佑（ほか１名）

Claims

【特許請求の範囲】下記構成を具備することを特徴とする搬送車。（イ）被搬送物が載置される本体（ロ）上記本体の走行面側に走向方向が同一に取付けら
れた少なくとも３個の車輪からなり異なる走向方向ごと
に複数個設けられた車輪機構（ハ）上記複数の車輪機構
を各別に回転駆動する駆動機構に）上記車輪を上記走行面に対して接離させる昇降機構