JPS60180729A - 放電加工装置 - Google Patents
放電加工装置Info
- Publication number
- JPS60180729A JPS60180729A JP3525284A JP3525284A JPS60180729A JP S60180729 A JPS60180729 A JP S60180729A JP 3525284 A JP3525284 A JP 3525284A JP 3525284 A JP3525284 A JP 3525284A JP S60180729 A JPS60180729 A JP S60180729A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- discharge machining
- cooling
- electrode
- electrical discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H11/00—Auxiliary apparatus or details, not otherwise provided for
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、対向する電極と被加工物との間に放電を発
生させて加工を行なう放電加工機の冷却装置に関するも
のである。
生させて加工を行なう放電加工機の冷却装置に関するも
のである。
従来この種の放電加工機としては第１図に示すものがあ
った。図において、（１）は加工槽、（２）は加工液、
（３）は電極、（４）は主軸、（５）は被加工物で、主
軸（４）によ・りて上下動するｍ Ｔｈ （３）と被加
工物（５１は加工槽（１１内の加工液（２）に浸されて
いる。（６）は、テーブルで、加工槽（１）を固定して
図よりみて前後方向に移動する、また、（７）はサドル
で左右に移動してテーブル（６）とともに電極（３）に
対する被加工物（５）の水平方向の相対位置を変更する
。、（８）はヘッド、（９）はコラム、αＯはベッドで
、ヘッド（８）は上下に移動する主軸（４）を支持して
コラム（９）に取付けられている、０℃は冷却ファンで
、コラム（９）に取付けられてコラム（９）内を強制空
冷する。α２は駆動用ボールねじて、駆動用ｒ）Ｃモー
タα３の出力軸に接続され、サドル（７）に設けられた
ねじ部に結合された駆動用ボールねじ＠の回転によって
サドル（７）を左右に移動するように々つでいる。
った。図において、（１）は加工槽、（２）は加工液、
（３）は電極、（４）は主軸、（５）は被加工物で、主
軸（４）によ・りて上下動するｍ Ｔｈ （３）と被加
工物（５１は加工槽（１１内の加工液（２）に浸されて
いる。（６）は、テーブルで、加工槽（１）を固定して
図よりみて前後方向に移動する、また、（７）はサドル
で左右に移動してテーブル（６）とともに電極（３）に
対する被加工物（５）の水平方向の相対位置を変更する
。、（８）はヘッド、（９）はコラム、αＯはベッドで
、ヘッド（８）は上下に移動する主軸（４）を支持して
コラム（９）に取付けられている、０℃は冷却ファンで
、コラム（９）に取付けられてコラム（９）内を強制空
冷する。α２は駆動用ボールねじて、駆動用ｒ）Ｃモー
タα３の出力軸に接続され、サドル（７）に設けられた
ねじ部に結合された駆動用ボールねじ＠の回転によって
サドル（７）を左右に移動するように々つでいる。
次に動作について説明する。テーブル（６）の操作によ
って前後（図示のＸ方向）の位置が、丑たサドル（７）
の操作によって左右（図示のＹ方向）の位置を足められ
、被加工物（５）に対して、図示しない電源部より電極
（３）にパルス電圧が供給し、主軸（４）を下降させな
がら電極（３）を被加工物（５）に近接対向させると、
電極（３）と被加工物（５）との間の加工液（２）を介
して、電極（３）と被加工物（５）間にパルス電圧が印
加されて放電電流が発生し、この放電電流による被加工
物（５）の放電痕の累積によって、対向する電極（３）
の形状に応じた加工が行なわれる。
って前後（図示のＸ方向）の位置が、丑たサドル（７）
の操作によって左右（図示のＹ方向）の位置を足められ
、被加工物（５）に対して、図示しない電源部より電極
（３）にパルス電圧が供給し、主軸（４）を下降させな
がら電極（３）を被加工物（５）に近接対向させると、
電極（３）と被加工物（５）との間の加工液（２）を介
して、電極（３）と被加工物（５）間にパルス電圧が印
加されて放電電流が発生し、この放電電流による被加工
物（５）の放電痕の累積によって、対向する電極（３）
の形状に応じた加工が行なわれる。
従来の放電加工装置は以上のように構成されているので
、被加工物（５）の放電加工を行うにつれて、駆動用Ｄ
Ｃモータ（至）の発熱がボニルねじ（２）に伝わり、ボ
ールねじａ３が膨張してサドル（７）が図の点線で示し
た左方へ移動するので、テーブル（６）も移動する。こ
の結果、被加工物（５）がサドル（７）の移動量、すな
わち図示の６だけ左方へ移動するため、被加工物（５）
の加工精度が悪くなる欠点があった。
、被加工物（５）の放電加工を行うにつれて、駆動用Ｄ
Ｃモータ（至）の発熱がボニルねじ（２）に伝わり、ボ
ールねじａ３が膨張してサドル（７）が図の点線で示し
た左方へ移動するので、テーブル（６）も移動する。こ
の結果、被加工物（５）がサドル（７）の移動量、すな
わち図示の６だけ左方へ移動するため、被加工物（５）
の加工精度が悪くなる欠点があった。
また、室温の変化に対する応答性がボールねじ０２付近
は他の部分と比較して良くないので、他の部分との温度
差が生じ易く、上記と同様の被加工物（５）の位置のず
れが発生する欠点があった。第２図は室温の変化によっ
て生じる電極と被加工物との相対位置のずれのｘ、ｙ、
ｚ各軸方向のそれぞれの時間的変化の一例を示したもの
である。
は他の部分と比較して良くないので、他の部分との温度
差が生じ易く、上記と同様の被加工物（５）の位置のず
れが発生する欠点があった。第２図は室温の変化によっ
て生じる電極と被加工物との相対位置のずれのｘ、ｙ、
ｚ各軸方向のそれぞれの時間的変化の一例を示したもの
である。
し発明の概要〕
この発明は、上記のような従来のものの欠点を除去する
ためになされたもので、ベッドの上面で駆動用ボールね
じに面する部分に通風口を設け、外部に設置したブα了
等の送風装置によってベッド内部に送風された空気を上
記通風口より駆動用ボールねじ部に吹きつ、けて強制空
冷することにより、機械構造体の熱変形による電極と被
加工物と９間の相対位置のずれを低減させて、精度の高
い加工を行なうことのできる放電加工装置を提供するも
のである。
ためになされたもので、ベッドの上面で駆動用ボールね
じに面する部分に通風口を設け、外部に設置したブα了
等の送風装置によってベッド内部に送風された空気を上
記通風口より駆動用ボールねじ部に吹きつ、けて強制空
冷することにより、機械構造体の熱変形による電極と被
加工物と９間の相対位置のずれを低減させて、精度の高
い加工を行なうことのできる放電加工装置を提供するも
のである。
以下、この発明の実施例を図について説明する。
第６図はこの発明の構成全体を示す一部断面側面図、第
４図、第５図および第６図は駆動用ボー−−−ルねじ部
に対する強制空冷の吹き出し口の構成が異なるそれぞれ
の詳細図である。図において、００はベッド、（１０ａ
）はベッド（１０に開口、して設けられた通風口、（１
０ｂ）は図示しない外部からの送風装置からのダクトと
接続される通風口、ａ２は駆動用ボールねじ、（至）は
駆動用ＤＣモータ、（１４はプロアダクトである。
４図、第５図および第６図は駆動用ボー−−−ルねじ部
に対する強制空冷の吹き出し口の構成が異なるそれぞれ
の詳細図である。図において、００はベッド、（１０ａ
）はベッド（１０に開口、して設けられた通風口、（１
０ｂ）は図示しない外部からの送風装置からのダクトと
接続される通風口、ａ２は駆動用ボールねじ、（至）は
駆動用ＤＣモータ、（１４はプロアダクトである。
次に以上の構成にもとづく作用についで説明する。放電
加工装置が設置しである室内の空気とほとんど温度差の
ない空気が、送風装置によってブロアダク）Ｈを経由し
て送風口（１０ｂ）へ送られ、図の矢印で示したように
送風口（１０ａ）へ導かれて駆動用ボールねじαａへ吹
付けられるので、駆動用ＤＣモータ０３の発熱によって
伝導される熱による影響がなく、駆動用ボールねじ（２
）は常に室温ｔｉｃ近い温度に保持される。このため熱
膨張に゛よるサドル（７）の変位、すなわちこのサドル
（７）に定置されたテーブル（６）の変位が放電加工装
置の運転中に発生しないので、従来技術の説明で述べた
電極と被加工物との相対位置のずれがなく、高精度で電
極の形状に応じた形状に被加工物を形成できる放電加工
が可能となる。
加工装置が設置しである室内の空気とほとんど温度差の
ない空気が、送風装置によってブロアダク）Ｈを経由し
て送風口（１０ｂ）へ送られ、図の矢印で示したように
送風口（１０ａ）へ導かれて駆動用ボールねじαａへ吹
付けられるので、駆動用ＤＣモータ０３の発熱によって
伝導される熱による影響がなく、駆動用ボールねじ（２
）は常に室温ｔｉｃ近い温度に保持される。このため熱
膨張に゛よるサドル（７）の変位、すなわちこのサドル
（７）に定置されたテーブル（６）の変位が放電加工装
置の運転中に発生しないので、従来技術の説明で述べた
電極と被加工物との相対位置のずれがなく、高精度で電
極の形状に応じた形状に被加工物を形成できる放電加工
が可能となる。
第４図は通風口（１０ａ）および駆動用ボールねじ←２
の強制空冷部の要部を示す斜視図で、通Ｉｔ ｔコ−ｔ
ｌｏａ）の形状が駆動用ボールねじα２に沿った矩形状
の場合を示し、第５図はｌｌｌ数の通風口（１’Ｏｃ）
を駆動用ボールねじ（６）に沿って配列して冷却する場
合を、さらに第６図は送風装置からの冷却空気中に含ま
れるほこり等をＦ遇するために通風口（Ｉｎｃ）にフィ
ルタ（・１０ｄ）を設けた場合を示す。
の強制空冷部の要部を示す斜視図で、通Ｉｔ ｔコ−ｔ
ｌｏａ）の形状が駆動用ボールねじα２に沿った矩形状
の場合を示し、第５図はｌｌｌ数の通風口（１’Ｏｃ）
を駆動用ボールねじ（６）に沿って配列して冷却する場
合を、さらに第６図は送風装置からの冷却空気中に含ま
れるほこり等をＦ遇するために通風口（Ｉｎｃ）にフィ
ルタ（・１０ｄ）を設けた場合を示す。
また、上記実施例ではベースの内部へ外部に設けた送風
装置よりの空気を送り込み、ベースの上部に設けた通風
口より駆動用ボールねじに対して強制空冷する場合につ
いて説明したが、第７図に示すように送風装置（ト）よ
り駆動用ボールねじ（ハ）の下部に至るまで管路００を
設け、この管路に通風口（１６ａ）を穿設して駆動用ボ
ールねじｏ２を強制空冷してもよい−。この空冷空気の
吹き出し口の構成として、第８図に示すように単列にし
て駆動用ボールねじ０２の直下に設けてもよく、第９図
に示すように管路ＯＱを複数にして配列して通風口（１
６ａ）を設けてもよい。また、第１０図に示すように駆
動用ボールねじ←３の直下の空冷管路の終端にフィルタ
０７）を接続すれば送風装置からのちり等の影響のない
冷却ができる。
装置よりの空気を送り込み、ベースの上部に設けた通風
口より駆動用ボールねじに対して強制空冷する場合につ
いて説明したが、第７図に示すように送風装置（ト）よ
り駆動用ボールねじ（ハ）の下部に至るまで管路００を
設け、この管路に通風口（１６ａ）を穿設して駆動用ボ
ールねじｏ２を強制空冷してもよい−。この空冷空気の
吹き出し口の構成として、第８図に示すように単列にし
て駆動用ボールねじ０２の直下に設けてもよく、第９図
に示すように管路ＯＱを複数にして配列して通風口（１
６ａ）を設けてもよい。また、第１０図に示すように駆
動用ボールねじ←３の直下の空冷管路の終端にフィルタ
０７）を接続すれば送風装置からのちり等の影響のない
冷却ができる。
さらに、第１１図に示すように冷却油循環ポンプ０８の
作用でろ過装置０燵を経由して、冷却油供給管０Ｑに至
る管路と、この冷却油供給管０Ｑより流入して駆動用ボ
ールねじαのを冷却した冷却油ｅ］）の回収容器ψ砂か
ら冷却油循環ポンプ０印へ至る管路を設け、ファンクー
ラ（２）の作用で冷却油循環ポンプ０樟内の冷却油を空
冷する装置でもよく、上記実施例と同様の効果を奏する
。
作用でろ過装置０燵を経由して、冷却油供給管０Ｑに至
る管路と、この冷却油供給管０Ｑより流入して駆動用ボ
ールねじαのを冷却した冷却油ｅ］）の回収容器ψ砂か
ら冷却油循環ポンプ０印へ至る管路を設け、ファンクー
ラ（２）の作用で冷却油循環ポンプ０樟内の冷却油を空
冷する装置でもよく、上記実施例と同様の効果を奏する
。
以上のように、この発明によれば駆動用ＤＣモータの温
度上昇によって熱変形し易い駆動用ボールねじを室温と
同じ温度で冷却するので、電極と被加工物との相対位置
のずれがないため、高精度の加工が可能な放電加工装置
が得られる効果がある。
度上昇によって熱変形し易い駆動用ボールねじを室温と
同じ温度で冷却するので、電極と被加工物との相対位置
のずれがないため、高精度の加工が可能な放電加工装置
が得られる効果がある。
第１図は従来の放電加工装置を示す側面図、第２図は電
極と被加工物との相対位置のずれの時間的変化の一例を
示した線図、第６図はこの発明の一実施例を示した一部
断１イ１」側面図、第４図は第６図の要部を示した斜視
図、第５図は第４図に示した要部と異なる実施例を示し
た斜ネＭ１図、第６図は第４図および第５図に示した要
部と異なる他の実施例を示した斜視図、第７図は第６図
と異なる実施例を示した側面図、第８図は第７図の要部
を示した斜視図、第９図は第８図に示した要部と異なる
実施例を示した斜視図、第１０図は第８図および第９図
を示した要部と異なる他の実施例を示した斜視図、第１
１図は第６図および第７図と異りる実施例を示しｆＣ側
面図である。 図において、（１）は加工槽、（２）は加工液、（３）
は電極、（４）は主軸、（５）は被加工物、（６）はテ
ーブル、（７）はサドル、（８）はヘッド、（９）はコ
ラム、αＯはベッド、０９は冷却ファン、０２は駆動用
ボールねじ、αＪは駆動用ＤＣモータ、Ｃ１４はプロア
ダクト、（１５は送風装置、αＱは管路、０８は冷却油
循環ポンプ、α場はろ過装置、似多は回収容器、Ｑｌ）
は冷却油である。 なお、図中同一符号は同一部分または相当部分を示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 第３図 １０ｂ 第４図 第５図 ９ 第６図 第７図 第８図 第９図 ９ 第１０図 ９、 手 粘“Ｃ抽 １ト 式： （自発） 昭和６０イ１−５ 月１４１］ 特、：′ｌ庁艮官１段 ■、事件の表示 特１９０昭 ５９−３５２５２号２、
発明の名称 放電加工装置 ３、補〒［゛をする者 代表者 ハ１１ 仁 八 部 ４、代理人 ５庁、祉Ｉ正のえ１象 明細書の「特許請求の範囲」及び「発明の詳細な６、補
正の内容 （１）明細書の［特許請求の範囲一１を別紙のとおり補
正する。 ［２１１ｉｔＨＩＩＩ！第６ ＴＩ［＋８行の「ベース
の」を「ベースであるベッド（１０）のを」と補正する
。 （３）明細書第６頁第１９行の「ベースの−１を「、＜
、７ド（１０）の」と補正する。 以 」ニ 別 紙 特許請求の範囲 （補正） ［（１）対向する電極と被加工物との間に放電を発生さ
せて加工を行なう放電加工機において、上記被加工物を
固定し −るとと に 工 の を且互墨且に対して強
制冷却する乙とを特１栽とするｈｙ、生加工装置。 （２）強制冷却が、送風装置によってベッド内部へ送り
込まれ１．＝空気を、」二記ベッド上壁に設けた穴より
吹き出ず空ｌ令式であることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の放電加工装置。 （３）強制冷却が、送風装置Ｊり管路を経由（７て送ら
れる空気を、」−配管路の終端部に設けた穴より吹き出
す空冷式であることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の放電加工装置。 （４）強制冷却が、循環装置より管路を経由１７て送ら
第１る冷却ｉ１＋を、−」１記管路の終端部に設けた穴
Ｊ：り流出させる１ｌｌｌｌ 冷式であることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の放電加工装置。 （５）空気の吹き出し口の穴にフィルタを設けたことを
特徴とする特許請求の範囲第２項および第３項記載の放
電加工装置。」
極と被加工物との相対位置のずれの時間的変化の一例を
示した線図、第６図はこの発明の一実施例を示した一部
断１イ１」側面図、第４図は第６図の要部を示した斜視
図、第５図は第４図に示した要部と異なる実施例を示し
た斜ネＭ１図、第６図は第４図および第５図に示した要
部と異なる他の実施例を示した斜視図、第７図は第６図
と異なる実施例を示した側面図、第８図は第７図の要部
を示した斜視図、第９図は第８図に示した要部と異なる
実施例を示した斜視図、第１０図は第８図および第９図
を示した要部と異なる他の実施例を示した斜視図、第１
１図は第６図および第７図と異りる実施例を示しｆＣ側
面図である。 図において、（１）は加工槽、（２）は加工液、（３）
は電極、（４）は主軸、（５）は被加工物、（６）はテ
ーブル、（７）はサドル、（８）はヘッド、（９）はコ
ラム、αＯはベッド、０９は冷却ファン、０２は駆動用
ボールねじ、αＪは駆動用ＤＣモータ、Ｃ１４はプロア
ダクト、（１５は送風装置、αＱは管路、０８は冷却油
循環ポンプ、α場はろ過装置、似多は回収容器、Ｑｌ）
は冷却油である。 なお、図中同一符号は同一部分または相当部分を示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 第３図 １０ｂ 第４図 第５図 ９ 第６図 第７図 第８図 第９図 ９ 第１０図 ９、 手 粘“Ｃ抽 １ト 式： （自発） 昭和６０イ１−５ 月１４１］ 特、：′ｌ庁艮官１段 ■、事件の表示 特１９０昭 ５９−３５２５２号２、
発明の名称 放電加工装置 ３、補〒［゛をする者 代表者 ハ１１ 仁 八 部 ４、代理人 ５庁、祉Ｉ正のえ１象 明細書の「特許請求の範囲」及び「発明の詳細な６、補
正の内容 （１）明細書の［特許請求の範囲一１を別紙のとおり補
正する。 ［２１１ｉｔＨＩＩＩ！第６ ＴＩ［＋８行の「ベース
の」を「ベースであるベッド（１０）のを」と補正する
。 （３）明細書第６頁第１９行の「ベースの−１を「、＜
、７ド（１０）の」と補正する。 以 」ニ 別 紙 特許請求の範囲 （補正） ［（１）対向する電極と被加工物との間に放電を発生さ
せて加工を行なう放電加工機において、上記被加工物を
固定し −るとと に 工 の を且互墨且に対して強
制冷却する乙とを特１栽とするｈｙ、生加工装置。 （２）強制冷却が、送風装置によってベッド内部へ送り
込まれ１．＝空気を、」二記ベッド上壁に設けた穴より
吹き出ず空ｌ令式であることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の放電加工装置。 （３）強制冷却が、送風装置Ｊり管路を経由（７て送ら
れる空気を、」−配管路の終端部に設けた穴より吹き出
す空冷式であることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の放電加工装置。 （４）強制冷却が、循環装置より管路を経由１７て送ら
第１る冷却ｉ１＋を、−」１記管路の終端部に設けた穴
Ｊ：り流出させる１ｌｌｌｌ 冷式であることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の放電加工装置。 （５）空気の吹き出し口の穴にフィルタを設けたことを
特徴とする特許請求の範囲第２項および第３項記載の放
電加工装置。」
Claims (4)
- （１）対向する電極と被加工物との間に放電を発生させ
て加工を行なう放電加工機において、上記被加工物を固
定し保持している部材に対して＠制冷却することを特徴
とする放電加工装置。 - （２）強制冷却が、送風装置によってベッドｌ’Ｅ都へ
送り込まれた空気を、上記ベッド土壁に設けた穴より吹
き出す空冷式であることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の放電加工装置。 - （３）強制冷却が、送風装置より管路を経由」７て送ら
れる空気を、上記管路の終端部に設けた穴よりグき出す
空冷式であることを特徴とする特ｌｖｆ請求の範囲第１
項記載の放電加工装置。 - （４）強制冷却が、循環装置エリ管路を経由して送られ
る冷却Ｊ油を、上記管路の＃！端部に設けた穴より流出
させる油冷式であることを特徴とする特許１１會高ωＮ
■Ｅｌ ｓｒ １Ｃ百偶２僻σ）垢Ｗ →＋ｎ”Ｔ木蝕
種瞥（５）空気の吹き出し口の穴にフィルタを設けたこ
とを特徴とする特ＦｆＮ求の範囲第２項および第６項記
載の放電加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3525284A JPS60180729A (ja) | 1984-02-28 | 1984-02-28 | 放電加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3525284A JPS60180729A (ja) | 1984-02-28 | 1984-02-28 | 放電加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60180729A true JPS60180729A (ja) | 1985-09-14 |
Family
ID=12436629
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3525284A Pending JPS60180729A (ja) | 1984-02-28 | 1984-02-28 | 放電加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60180729A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6242349A (ja) * | 1985-08-19 | 1987-02-24 | Tdk Corp | 光磁気記録媒体の製造方法 |
| US4737408A (en) * | 1985-08-21 | 1988-04-12 | Tdk Corporation | Magneto-optical recording medium having plasma-polymerized protective layers |
| CN113199102A (zh) * | 2021-05-31 | 2021-08-03 | 南京交通职业技术学院 | 一种可有效避免电火花造成损伤的电火花机床 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5256548U (ja) * | 1975-10-20 | 1977-04-23 | ||
| JPS57184653A (en) * | 1981-04-30 | 1982-11-13 | Osaka Kiko Co Ltd | Device for relieving thermal deformation in a metal working machine |
| JPS5890427A (ja) * | 1981-11-16 | 1983-05-30 | Mitsubishi Electric Corp | 放電加工装置 |
-
1984
- 1984-02-28 JP JP3525284A patent/JPS60180729A/ja active Pending
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| JPS5890427A (ja) * | 1981-11-16 | 1983-05-30 | Mitsubishi Electric Corp | 放電加工装置 |
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