JPS60177211A - 光学的距離測定装置 - Google Patents
光学的距離測定装置Info
- Publication number
- JPS60177211A JPS60177211A JP3466884A JP3466884A JPS60177211A JP S60177211 A JPS60177211 A JP S60177211A JP 3466884 A JP3466884 A JP 3466884A JP 3466884 A JP3466884 A JP 3466884A JP S60177211 A JPS60177211 A JP S60177211A
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- Japan
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- light
- lens
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- spot image
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- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は三角測青に投受光する光を利用Ｌｌ光学的距
離測定装＋ｔＶＣ関する。
離測定装＋ｔＶＣ関する。
従来、この種の光学的距離測定装置は、第１図に示す様
な装置で構成さ几ていた。光源（１）から出た光束（２
）は投光用レンズ（３）により、測定物（４）表面上に
集光される。この投光系には、ガルバノミラ−（５）及
び放物面鏡（６）が挿入されて督り、これらにより測定
物（４）表面上をスポット光が移動する様に構成されて
いる。一方、測定物（４）表面上でのフライングスポッ
ト像は、受光用レンズ（７）により２次元位置検出素子
（８）表面上に結像さｎ・る。この２次元位置検出素子
（８）表面上の７ラインズスポツト像をそれぞれ距離情
報（９）とスポット位置情報叫とに分けることにより、
測定物の形状を測定するものであった。
な装置で構成さ几ていた。光源（１）から出た光束（２
）は投光用レンズ（３）により、測定物（４）表面上に
集光される。この投光系には、ガルバノミラ−（５）及
び放物面鏡（６）が挿入されて督り、これらにより測定
物（４）表面上をスポット光が移動する様に構成されて
いる。一方、測定物（４）表面上でのフライングスポッ
ト像は、受光用レンズ（７）により２次元位置検出素子
（８）表面上に結像さｎ・る。この２次元位置検出素子
（８）表面上の７ラインズスポツト像をそれぞれ距離情
報（９）とスポット位置情報叫とに分けることにより、
測定物の形状を測定するものであった。
しかし、この装置を用いｆｃ場合、投光系にガルバノミ
ラ−（５）及び放物面鏡（６）ヲ用いているため、複雑
かつ高価な光学系となる。また、受光系ｉｃ２次元位置
検出素子（８）ヲ利用しているので、この素子（８）の
四隅に結像した場合、測定精度が低下するという欠点が
あった。
ラ−（５）及び放物面鏡（６）ヲ用いているため、複雑
かつ高価な光学系となる。また、受光系ｉｃ２次元位置
検出素子（８）ヲ利用しているので、この素子（８）の
四隅に結像した場合、測定精度が低下するという欠点が
あった。
この発明の目的は投光系を簡略化し低コスト化？計ると
共に、測定精度の向上を計るた光学的距離測定装＃を提
供することである。
共に、測定精度の向上を計るた光学的距離測定装＃を提
供することである。
この発明の要旨とするところは光Ｊｕｔ及び光源（１）
から放射された光束を測定物（４）表面にフライングス
ポットとして集光させるために揺動する投光レンズ（３
）ヲ含む投光系、該投光用レンズ（３）と同期をとって
同方向に揺動して測定物（４）表面上のスポット像全受
光し一次元位置検出素子（１０上に結像させる受光用レ
ンズ（７）全含む受光系及び投光用レンズ（３）と受光
用レンズ（７）の揺動と同期をとって一次元位＃噴出素
子ｔｌＧｌの両端子の出力電流を光電変換し距離情報と
して出力する演算回路（１５）から成ることを特徴とす
る光学的距離測定装瞠である。
から放射された光束を測定物（４）表面にフライングス
ポットとして集光させるために揺動する投光レンズ（３
）ヲ含む投光系、該投光用レンズ（３）と同期をとって
同方向に揺動して測定物（４）表面上のスポット像全受
光し一次元位置検出素子（１０上に結像させる受光用レ
ンズ（７）全含む受光系及び投光用レンズ（３）と受光
用レンズ（７）の揺動と同期をとって一次元位＃噴出素
子ｔｌＧｌの両端子の出力電流を光電変換し距離情報と
して出力する演算回路（１５）から成ることを特徴とす
る光学的距離測定装瞠である。
以下この発明を図示例にて説明する。
第２図及び第３図に示すのはこの発明の一実施例である
。光源（１）から放射された光束は、投光用レンズ＋３
１にエリ測定物（４）表面上に集光される。このスポッ
ト像＋９１ Ｖｉ、受光用レンズ（７）に裏り、−次設
光用レンズ（３）及び受光用レンズ（７）は、同期をと
って紙面方向（第２図（ａ） ｉ’ｃ於いて）に揺動す
る様に構成さｎている。第２図（ｂ）はこの状態を示す
。
。光源（１）から放射された光束は、投光用レンズ＋３
１にエリ測定物（４）表面上に集光される。このスポッ
ト像＋９１ Ｖｉ、受光用レンズ（７）に裏り、−次設
光用レンズ（３）及び受光用レンズ（７）は、同期をと
って紙面方向（第２図（ａ） ｉ’ｃ於いて）に揺動す
る様に構成さｎている。第２図（ｂ）はこの状態を示す
。
投光用レンズ（３）及び受光用レンズＸ７）は発抗器（
１５）の発振を基準として振動装置 （１４）で制御す
る。
１５）の発振を基準として振動装置 （１４）で制御す
る。
まず投光系について説明する。第３図（亀）に示すよう
に投光用レンズ（３）が光源用の中央部上の■の位置に
ある場合には測定物（４）表面上においては真すぐ前の
（ｂ）の位置に集光される。投光用レンズ（３）が左右
に揺動し■の左右の■及びＯの位置に来た場合には光軸
がずれるためそｎぞれ測定物（４）茂面上の（ＬＬ）及
びｔｅｌの位＠ＩＣ集光さｎる。すなわちフライングス
ポット像が作成される事ＶＣなる。−力受光系は第３図
（ｂ）ＶＣ示す様に受光用レンズ（７）が、投光用レン
ズ（３）と同期をとって左右に揺動するので一次元の位
置検出素子００）上にスポット像が結像されることにな
る。位置（ル） 、ｆｂ） ｆ （Ｃ）のフライングス
ポット像は揺動して対応位置蓼、■、げＶこぐる受光用
レンズ（７）で受光される。而して測定物（４）表面ま
での距離が変わるとＰＳＤと呼ばれる一次元の位置検出
素子側上をスポット像が動き乙の素子Ｕ〔の両端子から
流れ出る底流を検知することにより測定対象までの化１
雑が測定できる。
に投光用レンズ（３）が光源用の中央部上の■の位置に
ある場合には測定物（４）表面上においては真すぐ前の
（ｂ）の位置に集光される。投光用レンズ（３）が左右
に揺動し■の左右の■及びＯの位置に来た場合には光軸
がずれるためそｎぞれ測定物（４）茂面上の（ＬＬ）及
びｔｅｌの位＠ＩＣ集光さｎる。すなわちフライングス
ポット像が作成される事ＶＣなる。−力受光系は第３図
（ｂ）ＶＣ示す様に受光用レンズ（７）が、投光用レン
ズ（３）と同期をとって左右に揺動するので一次元の位
置検出素子００）上にスポット像が結像されることにな
る。位置（ル） 、ｆｂ） ｆ （Ｃ）のフライングス
ポット像は揺動して対応位置蓼、■、げＶこぐる受光用
レンズ（７）で受光される。而して測定物（４）表面ま
での距離が変わるとＰＳＤと呼ばれる一次元の位置検出
素子側上をスポット像が動き乙の素子Ｕ〔の両端子から
流れ出る底流を検知することにより測定対象までの化１
雑が測定できる。
投′＃：、用しｙズＩ３１の；各動方向は、受光用レン
ズ（７）の揺動が一次元検知米子１１Ｏ）の長手方向に
直角に開動せしめる必要から定まる。第２図（ｂ）はこ
の状態を示す。
ズ（７）の揺動が一次元検知米子１１Ｏ）の長手方向に
直角に開動せしめる必要から定まる。第２図（ｂ）はこ
の状態を示す。
検知のための演算回路（１５〕の構成は従来のものと同
等がわりがない。例えば図示例の如く上記−次元位置検
出素子Ｕ■の両端の出力をｉ／Ｖ変換ａｉ（１１）にて
電流−シ圧変換し、増・隔器（１２） を介して演算器
（１３）に人力し画者の比等よりＭｌｌ定物ｔでの距離
を三角測定時に算出するので、ちる。
等がわりがない。例えば図示例の如く上記−次元位置検
出素子Ｕ■の両端の出力をｉ／Ｖ変換ａｉ（１１）にて
電流−シ圧変換し、増・隔器（１２） を介して演算器
（１３）に人力し画者の比等よりＭｌｌ定物ｔでの距離
を三角測定時に算出するので、ちる。
以上の如くこの発明による光学的距離測定装置において
は、投）を用レンズを揺動させるので従来のグイクロイ
ックミラー等が不要となり、投光系を簡略化できる。ま
た受光用し／ズを投光用レンズに同期させ同方向に揺動
させるので一次元位置検出センサーを用いても必ず確実
にその上に結像さきることがでへ測定精度がヒるという
利点があろう尚、演算回路による距離等の演算は投光レ
ンズの揺動に同期して督こなわれるので正確である。
は、投）を用レンズを揺動させるので従来のグイクロイ
ックミラー等が不要となり、投光系を簡略化できる。ま
た受光用し／ズを投光用レンズに同期させ同方向に揺動
させるので一次元位置検出センサーを用いても必ず確実
にその上に結像さきることがでへ測定精度がヒるという
利点があろう尚、演算回路による距離等の演算は投光レ
ンズの揺動に同期して督こなわれるので正確である。
第１図は従来例を示す咀略図、第２図及び第３図はこの
発明の一実施例を示−を図で、第２図（−）は概略構成
図、第２図（ｈ）は投光用レンズ・、３）及び受光用レ
ン＝７ ＋７）の揺動犬態を比較説明するモ面図、第３
図（８）は投光系？示す概略図、第３図（ｂ）ｊ・よ受
光系を示゛ｒ概略図である。 （３）・・・投尤用：／ｙズ、（７）・・・受光用レン
ズ、００）・・・−次元位置検出素子。 第１図 箱２Ｎ （ｂ） 第３図 （σ） ／ ＋４＋ １ （ｂ＞ ｑ ７／ ／′ ／ ７ １０ べ ど
発明の一実施例を示−を図で、第２図（−）は概略構成
図、第２図（ｈ）は投光用レンズ・、３）及び受光用レ
ン＝７ ＋７）の揺動犬態を比較説明するモ面図、第３
図（８）は投光系？示す概略図、第３図（ｂ）ｊ・よ受
光系を示゛ｒ概略図である。 （３）・・・投尤用：／ｙズ、（７）・・・受光用レン
ズ、００）・・・−次元位置検出素子。 第１図 箱２Ｎ （ｂ） 第３図 （σ） ／ ＋４＋ １ （ｂ＞ ｑ ７／ ／′ ／ ７ １０ べ ど
Claims (1)
- （１）光４ｎ）及び光源（１１から放射さｎた光束を測
定物（４）表面にフライングスポツトと［７て１光させ
るｔめに揺動する投光レンズ（３）ヲ含む投光系、該投
光用レンズ（３）と同期をとって同方向に揺動して測定
物（４）表面ヒのスポット像を受光し一次元位置検出素
子（１０）−ヒに結像させる受光用レンズ（７）を含む
受九系及び投光用レンズ（３）と受光用レンズ（７）の
揺動と同期をとって一次元位置検出素子ｔｌｏｌの両端
子の出力電流を光慮変換（−距離情報と（−で出力する
演算回路（１５）から成ること全特徴とする光学
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3466884A JPS60177211A (ja) | 1984-02-23 | 1984-02-23 | 光学的距離測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3466884A JPS60177211A (ja) | 1984-02-23 | 1984-02-23 | 光学的距離測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60177211A true JPS60177211A (ja) | 1985-09-11 |
Family
ID=12420808
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3466884A Pending JPS60177211A (ja) | 1984-02-23 | 1984-02-23 | 光学的距離測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60177211A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6270709A (ja) * | 1985-09-25 | 1987-04-01 | Matsushita Electric Works Ltd | 反射型光電スイツチ |
| JPS6361112A (ja) * | 1986-09-01 | 1988-03-17 | Opt Kk | 物体検知装置 |
-
1984
- 1984-02-23 JP JP3466884A patent/JPS60177211A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6270709A (ja) * | 1985-09-25 | 1987-04-01 | Matsushita Electric Works Ltd | 反射型光電スイツチ |
| JPS6361112A (ja) * | 1986-09-01 | 1988-03-17 | Opt Kk | 物体検知装置 |
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