JPS60107514A - 距離測定装置 - Google Patents

距離測定装置

Info

Publication number
JPS60107514A
JPS60107514A JP21530283A JP21530283A JPS60107514A JP S60107514 A JPS60107514 A JP S60107514A JP 21530283 A JP21530283 A JP 21530283A JP 21530283 A JP21530283 A JP 21530283A JP S60107514 A JPS60107514 A JP S60107514A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light receiving
voltage
receiving element
voltage control
adder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP21530283A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0372929B2 (ja
Inventor
Yuji Takada
裕司 高田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Works Ltd filed Critical Matsushita Electric Works Ltd
Priority to JP21530283A priority Critical patent/JPS60107514A/ja
Publication of JPS60107514A publication Critical patent/JPS60107514A/ja
Publication of JPH0372929B2 publication Critical patent/JPH0372929B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C3/00Measuring distances in line of sight; Optical rangefinders
    • G01C3/02Details
    • G01C3/06Use of electric means to obtain final indication

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、光ビームを被測定物に照射し、その反射光を
用いて被測定物までの距離またはその変位を測定する様
にした距離測定装置に関するものである。
し背景技術〕 第1図に従来の距離測定装置のブロック図をボテ。この
第1図の装置において、その原理全説明する。即ち投光
素子fi+、投光レンズ系+21によって被測定物(3
)に光のスポットを形成し、その光のスポット全受光レ
ンズ系(41金用いることにより、−次元光スポット位
置検出…の受光素子(51上に結像させる。この受光素
子(6)上の受光スポットは、被測定物(3)が第1図
中においてa−+b−+cと移蛎することによって、同
図中a′→b′→C′と移動する。
りまシ被測定物(3)との距離は、受光素子(5)上の
スポットの位@を知ることにより明ら力・となる。この
受光素子(5)は、前述のように一次元の光スポットの
位置?検出する素子〔例えは浜松フォトニクス社のPS
D素子〕であり、出力として、IIs hの2つの出力
電流を出力する。この2つの出力電流11.12は、そ
れぞれ減錯器(6)及び加算器(7)へ入力され、(v
l−vz)、(vl+vz)に変換される。その後、割
算器(8)音用いて、(Yl−■)/(vl+vz)に
変換するこ−とにより、受光量に関係なく距離に対応し
り電圧値k ?JJることができる。この割算器(8)
の出力電圧と距離の関係全第2図のタラワに示す0かく
てこの第2図に不すように、被測定物(3)の距離as
bzQは割算器(8)出力e N、bISC#に対応し
て氷められるわけである。従ってこの割算器(8)の後
に比較回路(9)ヲ設ける事によって、ある設定距離匂
より被測定物(3)が近くにあるか、遠くにあるかの判
定を行なうことができる。
即ち第2図においては、しきい値電圧設定回路(10)
によりしきい値電圧vT’に設定すれば、設定距離dT
を基準にし几被測定物(3)の遠近全判定することがで
きるのである。
ところが以上のような従来の距離測定回路において、割
算器(8)には色々な問題点がある。淘即ち実除の回路
構成においては、一般に掛算用IC’に割算器として用
いることが多いが、この推1舞−用ICは多ぐの問題点
を持っている。つ筐り1)温度安定性が悪い。2)52
イナミツクレンジが隊いo3)応答速度が遅い。4)リ
ニアリティが悪い。笠の問題がある。今これの例として
、インターシル社の掛算用IC:ICL8013の電気
的特性を考えると、これの特性は、その価格が1/10
以下の演算増巾ICに比べても非常に劣るものである。
従ってこのように割算器(8)を用いる事は距離測定精
度に大きな影響全与え、割算器(8)で得られる精度以
上の測距精度は得られないことになるという問題があっ
た。
〔発明の目的〕
本発明は光切断方式の距離測定装置において、高精度の
高安定性・高速応答性を有するようにした距離測定装置
を提供すること全目的とするものである。
〔発明の開示〕
(実施例) 第3図は本発明の一実施例の回路構成?示すブロック図
であって、このような第3図の回路構成全採用すること
によって、ある設定距離に対して測定距離が近いか遠い
〃・の判別音、前記従来例のように割算器を用いずに行
なうことが可能となったものである。以下その原理を説
明する。第4図に被測定物との距離に対する、第1図従
来例又は第3図実施例における減算器(6)の出力を示
す。この減算器(6)出力(vl−vz)は受光素子(
6;に当る光の強さ、つまり受光量によって変化する。
例えば受光量が2倍に変化した場合、第4図のジラフは
■→■と変化する。したがって減勢器(6)を出力電圧
を単純にある一定電圧値で比較していたのでは、ある一
定の受光量の時は良いが受光量が変化すると、設定距離
が等側内に変化する事になり正しい判別ができなくなる
。ここで従来は割算器(8)を用いて減算器[61出力
を正規化していたが\本発明においては、減算器(6)
出力を比較回路(9)に入力し、そのしきい値電圧値を
加算器(7)出力(v 1+ vs )を用いて造りだ
すことにより、受光量が変化しても断えず正しい判別が
で色るようにしたものである。′)まり、加算器(7)
からの出力’((k倍した電圧k (v1+ vz) 
’eしきい値電圧制御回路(Ilで造りだ丁のであり、
その電圧を比較回路(9)のしきい値ηず圧に用いると
いうことは、 (vl−vz) =l((vx+vz) (式1)が 
比較回路(9)が反転する条件である。ここでもし受光
量がα倍変化したとすると(式1)はα(Vl−v2)
 = k a (v1+ v2)(Vl−、vz) =
 k (v1+vs) (式2)となり(式1)と同一
となる。このことはつまり受光量が変化しても、比較回
路(9)の反転条件には影響を与えず、たえず(式1)
の条件で正しい判断ができるわけである。又(式1)に
おける定数に全変化させることで、しきい値距離全決定
することができる。以上の構成にすることで、問題点の
多い割算器(8)全用いずに距離全測定することが可能
となり温度安定性φタイナ三ツクレンジ・応答速度・リ
ニアリティ共にすぐれた1作を行なうようにすることが
できるのである。
本発明は更に、父光電圧ケ一定に保ち、いかなる反射物
体でも安定に検出できるようにしている0卸ち、(12
1,Hは受光電圧制御回路で、これらは全く同一の特性
′1il−有するもので、加算器(7)で得られた受光
電圧(vl+v鵞)が変化しても一定の電圧VQが得ら
れるように制御するものであり、受光素子(5)と加勇
、器(7)との間および受光素子(6)と減算器(6)
との間にそれぞれ設ける。これら受光電圧制御回路++
21.oatは、受光素子(5)での受光電が反射物体
の影譬により変化しても、たえず一定の加算器出力電圧
: (vx+、 V2) = vcが得られるように制
御全行ない、常に比較回路(9)が最良の状態で93作
するようにしている。
第5図および第6図に本発明の実施例による受光電圧制
御回路(12)、(13)のそれぞれ異なる具体回路を
ボ丁。1ず第5図において、OPI % OP2け受光
電圧が一定の値v0になるように制御する伝達コンタク
タンス増巾器であり、誤差増巾回路OPs 、電圧電流
変換回路OP4により制御され、受光素子(5)での受
光量が変化しても、一定の加算器出力電圧が得られるよ
うに制御する。つぎに、第6図において、CdSは可変
抵抗素子で、発光タイオードLE−Dと組合せてフォト
力づう1141形成し、このフォトカプラα41により
利得?可変できる増巾器OP6. OP6 を形成し、
第5図の回路と同様に誤差増巾回路OPs と電圧電流
変換回路OP 4 よりなる制御回路により、加算器(
7)の出力を一定値になるように制御する。
〔発明の効果〕
上述のように本発明は、受光素子出力の加算結果で制御
されしきい値電圧を出力するしきい値電圧制御回路と、
前記受光素子出力の減算結果と前記しきい値′重圧制御
回路出力のしきい値電圧とを比較する比較回路とを備え
、曲記しきい値電圧制御回路への入力電圧が常に一定に
なるように前記受光素子と加算器との間および受光素子
と減q−器との間に、受光電圧全制御する受光電圧制御
回路をそれぞれ具備しfc〃・ら、割算器を用いずに演
η増巾器のみ全使用して構成でき、温度安定性がよく、
タイナ三ツクレンジが広くなる上、応答速度が速くなり
、し力・も、リニアリティがよく、低イ曲格例できると
いう効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の光り断距離測定装館のブロック図、第2
図は同上の被測定物の距離と割算器出力との関係特性図
、第3図は本発明の一実施例のブロック回路図、第4図
は同上の被測定物の距離と減算器出力との関係特性図、
第5図および第6図はそれぞれ同上の実施例の異なる要
部具体回路図である。 (5)・・・受光素子、(6)減算器、(7)・加算器
、:9)・・比較回路、(+ 11・・・しきい値電圧
制御回路、(12)、瞥・・受光電圧制御回路。 代理人 弁理士 石 1)長 七

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. il+対象物にスポット光全当て、その反射光を結像手
    段で結像し、はぼ結像位負に一次元光スポット位置検出
    用の受光素子音配置してこの受光素子の出力により対象
    物の距離を測定するようにした距離測定装置において、
    前記受光素子出方の加算結果で制御されしきい値電圧全
    出力するしきい仙電圧制御回路と、前記受光素子出力の
    減算結果と前記しきい値電圧制御回路出力のしきい値電
    圧とを比較する比較回路とを備え、前記しきい値電圧制
    御(ロ)路への入力電圧が常に一定になるように前記受
    光素子と加算器との間および受光素子と減算器との間に
    、受光電圧を制御する受光電圧制御回路をそれぞれ具備
    して成ること全特徴とする距離測定装置。
JP21530283A 1983-11-15 1983-11-15 距離測定装置 Granted JPS60107514A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21530283A JPS60107514A (ja) 1983-11-15 1983-11-15 距離測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21530283A JPS60107514A (ja) 1983-11-15 1983-11-15 距離測定装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60107514A true JPS60107514A (ja) 1985-06-13
JPH0372929B2 JPH0372929B2 (ja) 1991-11-20

Family

ID=16670067

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP21530283A Granted JPS60107514A (ja) 1983-11-15 1983-11-15 距離測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60107514A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6281519A (ja) * 1985-10-04 1987-04-15 Mitsubishi Electric Corp 距離測定装置
JPS62197704A (ja) * 1986-02-24 1987-09-01 Nec Yamagata Ltd 反射センサ
JPS62146911U (ja) * 1986-03-12 1987-09-17

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6281519A (ja) * 1985-10-04 1987-04-15 Mitsubishi Electric Corp 距離測定装置
JPS62197704A (ja) * 1986-02-24 1987-09-01 Nec Yamagata Ltd 反射センサ
JPS62146911U (ja) * 1986-03-12 1987-09-17

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0372929B2 (ja) 1991-11-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
UST102104I4 (en) Scanning optical system adapted for linewidth measurement in semiconductor devices
JPS60107514A (ja) 距離測定装置
JPH0433164B2 (ja)
KR970011144B1 (ko) 반도체 레이저를 이용한 센서
JPH067045B2 (ja) 非接触直径測定装置
JPH09178425A (ja) 計測装置
JPS6227689A (ja) 距離設定用光電スイツチ
JP3323963B2 (ja) 計測装置
JPH0457962B2 (ja)
JPH0212008A (ja) 非接触変位測定装置
JPH02118402A (ja) 高精度位置測定回路
SU883843A1 (ru) Оптико-электронное устройство дл автоматической фокусировки
JPH03126906A (ja) 焦点調節装置
JPH0326408Y2 (ja)
JPS59221609A (ja) 距離測定装置
SU777414A1 (ru) Датчик угловых перемещений
JPS6234009A (ja) 光学式変位計
JPH0334005B2 (ja)
JPS60218006A (ja) 微小すきま測定器
JPH067047B2 (ja) 非接触式の直径測定装置
JPH0534578A (ja) 測距装置
JPH0224445B2 (ja)
JPS63167212A (ja) 距離検出装置
JPH046410A (ja) 光電スイッチ
JPH04118556U (ja) 探針走査型顕微鏡