JPS60169746A - 真空容器内検査装置 - Google Patents
真空容器内検査装置Info
- Publication number
- JPS60169746A JPS60169746A JP2645384A JP2645384A JPS60169746A JP S60169746 A JPS60169746 A JP S60169746A JP 2645384 A JP2645384 A JP 2645384A JP 2645384 A JP2645384 A JP 2645384A JP S60169746 A JPS60169746 A JP S60169746A
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- JP
- Japan
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- arm
- image guide
- vacuum container
- image
- movable block
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B23/00—Telescopes, e.g. binoculars; Periscopes; Instruments for viewing the inside of hollow bodies; Viewfinders; Optical aiming or sighting devices
- G02B23/24—Instruments or systems for viewing the inside of hollow bodies, e.g. fibrescopes
- G02B23/2476—Non-optical details, e.g. housings, mountings, supports
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、たとえは核融合炉の真空容器等において、
真空容器内の状態、すなわち、容器の内壁、各器内の任
意の構造物の変形あるいは損傷などを観察するために行
う外観検査用の真空容器内検査装置に関するものでりる
。
真空容器内の状態、すなわち、容器の内壁、各器内の任
意の構造物の変形あるいは損傷などを観察するために行
う外観検査用の真空容器内検査装置に関するものでりる
。
このような目的のために、従来は、工業用テレビジョン
カメラ（以下ＩＴＶカメラと略記する）を真空容器内に
挿入し、ＩＴＶカメラからのビデオ信号を真空容器外に
設けられたモニタ受像機まで導いてモニタ受像機に表示
した。ＩＴＶカメラは真空容器内に挿入される管状構造
物の先端部に装着される。
カメラ（以下ＩＴＶカメラと略記する）を真空容器内に
挿入し、ＩＴＶカメラからのビデオ信号を真空容器外に
設けられたモニタ受像機まで導いてモニタ受像機に表示
した。ＩＴＶカメラは真空容器内に挿入される管状構造
物の先端部に装着される。
真空容器内において管状構造物の位置をその軸方向に駆
動するためには管状構造物駆動ワイヤが設けられ、また
、管状構造物の外部からＩＴＶカメラのカメラヘッドの
自動駆動装置を遠隔操作して観察視野を変更するのであ
るが、管状構造物の軸方向に向って観察する場合のカメ
ラヘッドの位置から、軸方向とは直角な径方向に向って
観察する場合のカメラヘッドの位置までカメラヘッドの
位置を変更することは困難であるため、この場合には手
動によってカメラヘッドを交換するように構成されてい
た。
動するためには管状構造物駆動ワイヤが設けられ、また
、管状構造物の外部からＩＴＶカメラのカメラヘッドの
自動駆動装置を遠隔操作して観察視野を変更するのであ
るが、管状構造物の軸方向に向って観察する場合のカメ
ラヘッドの位置から、軸方向とは直角な径方向に向って
観察する場合のカメラヘッドの位置までカメラヘッドの
位置を変更することは困難であるため、この場合には手
動によってカメラヘッドを交換するように構成されてい
た。
また、ＩＴＶカメラの位置は管状構造物の軸方向におい
て変化できるだけであるため、観察対象部分に対するカ
メラ位置を自由に調整することができないという欠点が
あった。
て変化できるだけであるため、観察対象部分に対するカ
メラ位置を自由に調整することができないという欠点が
あった。
史に、ＩＴＶカメラの正常動作が保証されている周囲温
度条件は６０℃以下であるのに対し、真空容器内温度が
２５０℃程度である場合があり、このような場合には、
ＩＴＶカメラを冷却するために大賞の冷却ガスを管状構
造物内に流さねばならぬという欠点があった。ＩＴＶカ
メラには管状構造物の先端部に設けられたのぞき窓から
光線が入射されるので、こののぞき窓に用いられるａ明
なガラスは真空容器内の温度圧力に耐え得るものでなけ
ればならなかった。また、真空容器内を照明するための
照明設備が設けられている。
度条件は６０℃以下であるのに対し、真空容器内温度が
２５０℃程度である場合があり、このような場合には、
ＩＴＶカメラを冷却するために大賞の冷却ガスを管状構
造物内に流さねばならぬという欠点があった。ＩＴＶカ
メラには管状構造物の先端部に設けられたのぞき窓から
光線が入射されるので、こののぞき窓に用いられるａ明
なガラスは真空容器内の温度圧力に耐え得るものでなけ
ればならなかった。また、真空容器内を照明するための
照明設備が設けられている。
以上を要約して従来の装置の欠点は、大容量のカメラ冷
却装置を必要とし、ＩＴＶカメラの耐久性、冷却装置の
保守点検に問題があること、管状構造物径方向に向って
観察する場合と管状構造物軸方向に向って観察する場合
とでその都度カメラヘッドを交換しなければならず、作
業の安全性や保守の容易さを低下させること、及びカメ
ラ位置の制限のため視野が制限されること等である。
却装置を必要とし、ＩＴＶカメラの耐久性、冷却装置の
保守点検に問題があること、管状構造物径方向に向って
観察する場合と管状構造物軸方向に向って観察する場合
とでその都度カメラヘッドを交換しなければならず、作
業の安全性や保守の容易さを低下させること、及びカメ
ラ位置の制限のため視野が制限されること等である。
この発明は上記のような従来のものの欠点を除去するた
めになされたもので、この発明ではＩＴＶカメラに代え
てイメージガイド撮像部を用い、このイメージガイド撮
像部の真空容器内における立体的な座標位置を任意に変
更することができるようにしたものである。すなわち、
真空容器に連結する管状構造物の軸心方向を２軸とする
Ｘ−Ｙ−２直角座標を想定し、ｚ軸方向に上下すること
が可能なアーム本体部の下端に、このアーム本体部から
突出し、その突出方向が２軸方向となす角度を自由に調
整できるアーム先端部を設け、このアーム先端部を２軸
のまわ９に回転できるよう圧し、このアーム先端部上に
その長さの方向に自由に移動することができる可動ブロ
ックを架装し、この可動ブロックにイメージガイド撮像
部を装着した。
めになされたもので、この発明ではＩＴＶカメラに代え
てイメージガイド撮像部を用い、このイメージガイド撮
像部の真空容器内における立体的な座標位置を任意に変
更することができるようにしたものである。すなわち、
真空容器に連結する管状構造物の軸心方向を２軸とする
Ｘ−Ｙ−２直角座標を想定し、ｚ軸方向に上下すること
が可能なアーム本体部の下端に、このアーム本体部から
突出し、その突出方向が２軸方向となす角度を自由に調
整できるアーム先端部を設け、このアーム先端部を２軸
のまわ９に回転できるよう圧し、このアーム先端部上に
その長さの方向に自由に移動することができる可動ブロ
ックを架装し、この可動ブロックにイメージガイド撮像
部を装着した。
また、イメージガイド撮像部に入射した光線は所定の場
所に装着されている光コネクタまでイメージガイドによ
って伝送されるので、イメージガイドの全長は、光コネ
クタから可動ブロックが最も遠ざかった位置にある場合
にも、可動ブロックの位置から光コネクタの位置までと
どく長さでなければならない。従って、可動ブロックの
位置が光コネクタに近くなるとイメージガイドにたるみ
が生じる。この発明ではイメージガイド巻取機構を設は
イメージガイドにたるみが生じないようイメージガイド
の巻取シと巻戻しを行った。
所に装着されている光コネクタまでイメージガイドによ
って伝送されるので、イメージガイドの全長は、光コネ
クタから可動ブロックが最も遠ざかった位置にある場合
にも、可動ブロックの位置から光コネクタの位置までと
どく長さでなければならない。従って、可動ブロックの
位置が光コネクタに近くなるとイメージガイドにたるみ
が生じる。この発明ではイメージガイド巻取機構を設は
イメージガイドにたるみが生じないようイメージガイド
の巻取シと巻戻しを行った。
以下この発明の実施例を図面について説明する。
第１図はこの発明の一実施例を示す説明図であシ、図に
おいて１１）は駆動部、（２）は管状構造物、（３）は
ゲートバルブ、（４１は真空容器、（４ａ）は真空容器
に接続されたポートである。ゲートバルブ（３）の開閉
によって真空容器（４１と管状構造物（２）の内部雰囲
気が通気し又はしゃ断される。（５ａ）はアーム本体部
、（５ｂ）はアーム先端部、（６）はアーム回転部、（
７）は観察部、（８：はイメージガイド、（９）は真空
ポンプユニット、ｕｏｌは操作盤、ｔｌｌｌは光コネク
タ、（６）はテレビジョンカメラ、１３はモニタ受像機
、（１４はイメージガイド巻取機構である。
おいて１１）は駆動部、（２）は管状構造物、（３）は
ゲートバルブ、（４１は真空容器、（４ａ）は真空容器
に接続されたポートである。ゲートバルブ（３）の開閉
によって真空容器（４１と管状構造物（２）の内部雰囲
気が通気し又はしゃ断される。（５ａ）はアーム本体部
、（５ｂ）はアーム先端部、（６）はアーム回転部、（
７）は観察部、（８：はイメージガイド、（９）は真空
ポンプユニット、ｕｏｌは操作盤、ｔｌｌｌは光コネク
タ、（６）はテレビジョンカメラ、１３はモニタ受像機
、（１４はイメージガイド巻取機構である。
次に第２図はイメージガイド＋８１ Ｌｖ原理を示す説
明図で、（至）はイメージガイド受像部、０１１は画像
、顛は被写体、（＋８１はイメージガイド撮像部で、撮
像部ｌＩｅが第１図の観察部（７）の一部を構成する。
明図で、（至）はイメージガイド受像部、０１１は画像
、顛は被写体、（＋８１はイメージガイド撮像部で、撮
像部ｌＩｅが第１図の観察部（７）の一部を構成する。
イメージガイド（８１はたとえば極細の石英系光ファイ
バが数万本整列配置されて構成され、その一端がイメー
ジガイド撮像部＋１８１を構成し、他端がイメージガイ
ド受像部（ト）を構成する。イメージガイド撮像部ｕ８
の各光ファイバの端に入射された光がイメージガイド（
８）によって伝送され、光コネクタσυを介してテレビ
ジョンカメラ（２）で受像され、モニタ受像機（１３１
に表示される。
バが数万本整列配置されて構成され、その一端がイメー
ジガイド撮像部＋１８１を構成し、他端がイメージガイ
ド受像部（ト）を構成する。イメージガイド撮像部ｕ８
の各光ファイバの端に入射された光がイメージガイド（
８）によって伝送され、光コネクタσυを介してテレビ
ジョンカメラ（２）で受像され、モニタ受像機（１３１
に表示される。
第３図は第１図のアーム先端部（５ｂ）の近傍の詳細説
明図であって、第１図及び第２図と同一符号は同一部分
を示し、（５りは駆動ワイヤ、（１９は可動ブロック、
（２０）はカムフォロワ、（２１）はイメージガイド支
持リング、（２２）はライトガイド照射部、（２３）は
ライトガイドであって、＋１８１ 、 （１，１、（２
２） Ｋより観察部（７）を構成する。第３図に示す実
施例では、外部から光源をイメージガイｌ’ ＋８１と
同一仕様のライトガイド（２３）を通じて伝送し、ライ
トガイド照射部（２２）から真を容器１４）内に照射す
る実施例を示してちるが、真空容器（４１内の照明は他
の方法によって行ってもよく、この場合は、ライトガイ
ド（２３）とライトガイド照射部（２２）が省略される
。
明図であって、第１図及び第２図と同一符号は同一部分
を示し、（５りは駆動ワイヤ、（１９は可動ブロック、
（２０）はカムフォロワ、（２１）はイメージガイド支
持リング、（２２）はライトガイド照射部、（２３）は
ライトガイドであって、＋１８１ 、 （１，１、（２
２） Ｋより観察部（７）を構成する。第３図に示す実
施例では、外部から光源をイメージガイｌ’ ＋８１と
同一仕様のライトガイド（２３）を通じて伝送し、ライ
トガイド照射部（２２）から真を容器１４）内に照射す
る実施例を示してちるが、真空容器（４１内の照明は他
の方法によって行ってもよく、この場合は、ライトガイ
ド（２３）とライトガイド照射部（２２）が省略される
。
駆動部（１）はアーム本体部（５ａ）を管状構造物（２
）及びポート（４ａ）内で２軸方向に駆動し、アーム先
端部（５ｂ）が２軸に対してなす角度を変化し、アーム
回転部（６１を介しアーム先端部（５ｂ）を２軸のまわ
りに回転し、カムフォロワ（２ｏ）を介して駆動ワイヤ
（５Ｃ）を巻取ることによって可動ブロックｕ９に装着
した観察部（７）をアーム先端部（５りの軸に沿って移
動する。可動ブロック（１ｇの位置が変化した場合、イ
メージガイド聞及びライトガイド（２２）が容易に伸縮
できるように５イメージガイド支持リング（２ｏ）が設
けられている。
）及びポート（４ａ）内で２軸方向に駆動し、アーム先
端部（５ｂ）が２軸に対してなす角度を変化し、アーム
回転部（６１を介しアーム先端部（５ｂ）を２軸のまわ
りに回転し、カムフォロワ（２ｏ）を介して駆動ワイヤ
（５Ｃ）を巻取ることによって可動ブロックｕ９に装着
した観察部（７）をアーム先端部（５りの軸に沿って移
動する。可動ブロック（１ｇの位置が変化した場合、イ
メージガイド聞及びライトガイド（２２）が容易に伸縮
できるように５イメージガイド支持リング（２ｏ）が設
けられている。
管状構造物（２）をポート（４ａＪに連結し、操作盤叫
から駆動部（１）を制御して、アーム本体部（５ａ）の
上下、アーム先端部（５りの２軸のまわシの回転、可動
ブロック（１１の位置整定によって観察部（７）を所望
の位置に置いて観察を実施することができる。可動ブロ
ックｔｔＳの位置が移動し、イメージガイド巻取機構（
１４の導入端から可動ブロックα９に到るアーム本体部
（５ａ）とアーム先端部（５りに沿っての距離が変化す
るとイメージガイド巻取機構（ｌＬ４はイメージガイド
（８１のたるみが発生しないよう巻取シ巻戻しを行う。
から駆動部（１）を制御して、アーム本体部（５ａ）の
上下、アーム先端部（５りの２軸のまわシの回転、可動
ブロック（１１の位置整定によって観察部（７）を所望
の位置に置いて観察を実施することができる。可動ブロ
ックｔｔＳの位置が移動し、イメージガイド巻取機構（
１４の導入端から可動ブロックα９に到るアーム本体部
（５ａ）とアーム先端部（５りに沿っての距離が変化す
るとイメージガイド巻取機構（ｌＬ４はイメージガイド
（８１のたるみが発生しないよう巻取シ巻戻しを行う。
このことによってイメージガイドの耐久性も向上し、ア
ームの駆動特性も改善される。
ームの駆動特性も改善される。
なお、上記においては、核融合炉に適用した実施例を説
明したが、この発明の装置は軽水炉及び高速増殖炉等に
も適用することができる。
明したが、この発明の装置は軽水炉及び高速増殖炉等に
も適用することができる。
以上のようにこの発明によれば、従来のＩＴＶカメラの
代シにイメージガイドを用いその撮像部を真空容器内任
意の位置に置くことができるようにアーム駆動系を構成
したので、耐熱性、観察範囲及び保守の容易性の面にお
いて格段に優れた検査装置が得られる。また、イメージ
ガイド巻取機構を設けたことによりイメージガイドの耐
久性を改善しかつアーム駆動の特性を改善することがで
きた。
代シにイメージガイドを用いその撮像部を真空容器内任
意の位置に置くことができるようにアーム駆動系を構成
したので、耐熱性、観察範囲及び保守の容易性の面にお
いて格段に優れた検査装置が得られる。また、イメージ
ガイド巻取機構を設けたことによりイメージガイドの耐
久性を改善しかつアーム駆動の特性を改善することがで
きた。
第１図はこの発明の一実施例を示す説明図、第２図はイ
メージガイドの原理を示す説明図、第３図は第１図のア
ーム先端部の近傍の詳細説明図である。 （１１・−・駆ｗＪ部、＋２１・・・管状構造物、（３
」・・・ゲートバルブ、［４１・・・真空容器、（５ａ
）・・−・・アーム本体部、（５ｂ）・・−・・アーム
先端部、（６１・・・アーム回転部、（７１・・・・・
・観察部、；８）・・・イメージカイト、（９）・・・
真空ポンプユニット、［１（１・・・操作盤、１ｌｌｌ
・・・光コネクタ、α擾・・・テレビジョンカメラ、ｕ
３・・・モニタ受像機、αゆ・・・イメージガイド巻取
機構、（１ト・・イメージガイド撮像部、ｔｔＳ・・・
可動ブロック、（２υ・・・イメージガイド支持リング
。 尚、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 大岩増雄 第１図
メージガイドの原理を示す説明図、第３図は第１図のア
ーム先端部の近傍の詳細説明図である。 （１１・−・駆ｗＪ部、＋２１・・・管状構造物、（３
」・・・ゲートバルブ、［４１・・・真空容器、（５ａ
）・・−・・アーム本体部、（５ｂ）・・−・・アーム
先端部、（６１・・・アーム回転部、（７１・・・・・
・観察部、；８）・・・イメージカイト、（９）・・・
真空ポンプユニット、［１（１・・・操作盤、１ｌｌｌ
・・・光コネクタ、α擾・・・テレビジョンカメラ、ｕ
３・・・モニタ受像機、αゆ・・・イメージガイド巻取
機構、（１ト・・イメージガイド撮像部、ｔｔＳ・・・
可動ブロック、（２υ・・・イメージガイド支持リング
。 尚、各図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人 大岩増雄 第１図
Claims (1)
- 真空容器のポートの部分に連結され、真空容器との間の
気体の流通がゲートバルブにより蓮蔽され又は開放され
る管状構造物、この管状構造物が上記真空容器に連結さ
れた状態において外気との間の気密が保たれた真空容器
の内部を真空状態にするための真空ポンプユニット、上
記管状構造物の細心を２軸とするｘ−ｙ−ｚ直角座標を
想定したとき、上記管状構造物の内部を２軸方向に上下
することのできる棒状のアーム本体部、このアーム本体
部の下端から延長されその延長方向が上記Ｚ軸となす角
度を変化することができる棒状のアーム先端部、このア
ーム先端部を上記Ｚ軸を中心にして回転するためのアー
ム回転部、上記アーム先端部に架装され上記アーム先端
部の長さの方向に沿って移動することのできる可動ブロ
ック、この可動ブロックに装着されイメージガイドの光
線入力端によって構成されるイメージガイド撮像部、こ
のイメージガイド撮像部に入力される光線を所定の場所
まで伝送するように設けられたイメージガイド、このイ
メージガイドの上記アーム先端部に沿った複数の個所を
保持し、上記可動ブロックの上記アーム先端部の長さの
方向に沿っての移動にともない上記アーム先端部上を滑
動する複数個のイメージガイド支持リング、上記アーム
本体部の上記Ｚ軸方向の上下運動と、上記アーム先端部
が上記Ｚ軸となす角度を変化する運動と、上記アーム回
転部を介して上記アーム先端部を上記Ｚ軸を中心にして
回転させる運動と、上記可動ブロックを上記アーム先端
部の長さの方向に沿って移動させる運動とを駆動する駆
動部、上記管状構造物に連結され、上記管状構造物を経
て上記イメージガイドが導入され、上記可動ブロックの
上記Ｘ−Ｙ−Ｚ直角座標内における位置移動にともない
上記イメージガイドの巻取９巻戻しを行うイメージガイ
ド巻取機構、このイメージカイト巻取機構にその受像部
が固定されたイメージガイドに対し光学的に結合する光
コネクタを備えた真空容器内検査装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2645384A JPS60169746A (ja) | 1984-02-13 | 1984-02-13 | 真空容器内検査装置 |
| EP19850300901 EP0152301B1 (en) | 1984-02-13 | 1985-02-11 | Apparatus for inspecting the interior of a vacuum vessel |
| DE8585300901T DE3569620D1 (en) | 1984-02-13 | 1985-02-11 | Apparatus for inspecting the interior of a vacuum vessel |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2645384A JPS60169746A (ja) | 1984-02-13 | 1984-02-13 | 真空容器内検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60169746A true JPS60169746A (ja) | 1985-09-03 |
Family
ID=12193920
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2645384A Pending JPS60169746A (ja) | 1984-02-13 | 1984-02-13 | 真空容器内検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60169746A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62261042A (ja) * | 1986-05-06 | 1987-11-13 | Toshiba Corp | タンク内部監視装置 |
| US4826317A (en) * | 1987-01-30 | 1989-05-02 | Bodenseewerk Geratetechnik | Split-image optical system for the observation of surface structures |
| JPH01280243A (ja) * | 1988-04-01 | 1989-11-10 | Tomoki Takashima | 貯蔵タンク検査装置 |
| US5565981A (en) * | 1995-03-11 | 1996-10-15 | Rescar, Inc. | Interior inspection method and apparatus for enclosed spaces |
| US5724133A (en) * | 1994-03-11 | 1998-03-03 | Rescar, Inc. | Interior inspection method and apparatus for enclosed spaces |
-
1984
- 1984-02-13 JP JP2645384A patent/JPS60169746A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62261042A (ja) * | 1986-05-06 | 1987-11-13 | Toshiba Corp | タンク内部監視装置 |
| US4826317A (en) * | 1987-01-30 | 1989-05-02 | Bodenseewerk Geratetechnik | Split-image optical system for the observation of surface structures |
| JPH01280243A (ja) * | 1988-04-01 | 1989-11-10 | Tomoki Takashima | 貯蔵タンク検査装置 |
| US5724133A (en) * | 1994-03-11 | 1998-03-03 | Rescar, Inc. | Interior inspection method and apparatus for enclosed spaces |
| US5565981A (en) * | 1995-03-11 | 1996-10-15 | Rescar, Inc. | Interior inspection method and apparatus for enclosed spaces |
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