JP2002517775A - チャンバの検査方法、検査装置および工業プロセスチャンバ - Google Patents
チャンバの検査方法、検査装置および工業プロセスチャンバInfo
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Abstract
(57)【要約】
運転中にプロセスチャンバ（３）を検査するために、ランス（７）を用いて比較的小さな検査開口部（１）を介してヴィデオカメラ（９）を前記チャンバに導入する。前記カメラ（９）は駆動連結装置（１３，１５）を介して遠隔制御され、前記ランス（７）に関して所望の方向に回動される。
Description
【０００１】
本発明は、請求項１のおいて書き部分に記載の方法、請求項５のおいて書き部
分に記載の検査装置および請求項９のおいて書き部分に記載の工業プロセスチャ
ンバおよびその使用に関するものである。
分に記載の検査装置および請求項９のおいて書き部分に記載の工業プロセスチャ
ンバおよびその使用に関するものである。
【０００２】
工業プロセスチャンバは運転される条件で使用されるため、プロセス停止後、
すなわち長く待たなくては巡視が行えないものであるが、このような工業プロセ
スチャンバを定期的な間隔で、すなわち可能な場合にのみ行うか、または必要な
だけ行うかであるが、亀裂などの欠陥個所について検査するのは通常のことであ
る。このような場合、プロセスの安全性と商業的な観点との間で妥協をはからな
ければならないが、前記のようにプロセスチャンバの検査のためには、少なくと
もプロセスのある部分を比較的長い時間停止させなければならないことが非常に
多い。このようなチャンバの例としては、ボイラー、燃焼室、オイル貯蔵室、化
学的プロセスチャンバなど、原則的に運転中に眼で直接的に検査できないあらゆ
る種類のチャンバが挙げられる。
すなわち長く待たなくては巡視が行えないものであるが、このような工業プロセ
スチャンバを定期的な間隔で、すなわち可能な場合にのみ行うか、または必要な
だけ行うかであるが、亀裂などの欠陥個所について検査するのは通常のことであ
る。このような場合、プロセスの安全性と商業的な観点との間で妥協をはからな
ければならないが、前記のようにプロセスチャンバの検査のためには、少なくと
もプロセスのある部分を比較的長い時間停止させなければならないことが非常に
多い。このようなチャンバの例としては、ボイラー、燃焼室、オイル貯蔵室、化
学的プロセスチャンバなど、原則的に運転中に眼で直接的に検査できないあらゆ
る種類のチャンバが挙げられる。
【０００３】 米国特許第４２１８９８９号からコーティングランスにコーティングノズルの
ＴＶカメラを固定的に設けることが周知である。これは炉や容器などの内部空間
をカメラによって監視しながら新たにコーティングするためである。
ＴＶカメラを固定的に設けることが周知である。これは炉や容器などの内部空間
をカメラによって監視しながら新たにコーティングするためである。
【０００４】 この場合コーティングランスはコーティング車の一部であり、運転者は運転台
でコーティングランスの位置をＴＶカメラによって監視し、制御する。
でコーティングランスの位置をＴＶカメラによって監視し、制御する。
【０００５】 欧州特許公報第０１５２３０１号から容器の内部をランスによって検査する方
法が周知である。このランスの端部から容器の外側に設けられたカメラの導波管
を介して視覚信号が供給される。
法が周知である。このランスの端部から容器の外側に設けられたカメラの導波管
を介して視覚信号が供給される。
【０００６】 米国特許第３７６４７３６号から原子炉の内部を検査ランスの端部に設けられ
たＴＶカメラによって検査する方法が周知である。この方法では原子炉の壁体の
外側に駆動および配置のための装置が設けられ、この装置によってランスに設け
られ、ランスの横軸に対して上下に回動可能なＴＶカメラが、ランスの長手方向
における上下移動に関しても、ランスの長手軸を中心とするカメラの回転移動に
関してもランスと共に制御される。
たＴＶカメラによって検査する方法が周知である。この方法では原子炉の壁体の
外側に駆動および配置のための装置が設けられ、この装置によってランスに設け
られ、ランスの横軸に対して上下に回動可能なＴＶカメラが、ランスの長手方向
における上下移動に関しても、ランスの長手軸を中心とするカメラの回転移動に
関してもランスと共に制御される。
【０００７】 本発明の課題は、検査のために必要な設備に関してかかるコストが大幅に少な
くて済み、使用の適応性が格段に増大するとともに、プロセスの負荷が大きい時
でもプロセスチャンバをその場で、すなわち運転中に検査できるような、前記の
種類の方法または検査装置を提供することである。
くて済み、使用の適応性が格段に増大するとともに、プロセスの負荷が大きい時
でもプロセスチャンバをその場で、すなわち運転中に検査できるような、前記の
種類の方法または検査装置を提供することである。
【０００８】
このような目的のために、本発明の方法は請求項１に記載の特徴を有する。そ
れによるとランスに設けられたカメラはランスに関して、所望の方向に遠隔制御
により、少なくとも２つの軸を中心として回動される。
れによるとランスに設けられたカメラはランスに関して、所望の方向に遠隔制御
により、少なくとも２つの軸を中心として回動される。
【０００９】 ランスに設けられたカメラがすべての所望の方向に遠隔制御によって回動可能
であることにより、必要な場合にランスの長手軸方向に設けられるリニアモータ
以外は、チャンバの外側からのあらゆる配置駆動装置が不要となる。しかしなが
らこのような直線的な上下の配置は、もちろん走行ウィンチを備えたクレーンな
ど、従来通りの、他の目的にも使用される操作装置を用いても実現できる。例え
ば米国特許第３７６４７３６号から周知の駆動器官が検査すべきチャンバの外側
に設けられていないので、カメラを備えたランスを相応にチャンバ開口部が設け
られた任意の狭い場所に導入することによって、使用の融通性が格段に増大する
。
であることにより、必要な場合にランスの長手軸方向に設けられるリニアモータ
以外は、チャンバの外側からのあらゆる配置駆動装置が不要となる。しかしなが
らこのような直線的な上下の配置は、もちろん走行ウィンチを備えたクレーンな
ど、従来通りの、他の目的にも使用される操作装置を用いても実現できる。例え
ば米国特許第３７６４７３６号から周知の駆動器官が検査すべきチャンバの外側
に設けられていないので、カメラを備えたランスを相応にチャンバ開口部が設け
られた任意の狭い場所に導入することによって、使用の融通性が格段に増大する
。
【００１０】 好適な実施の形態では高度な解像能力を有するビデオカメラが用いられる。
【００１１】 プロセス温度が５００℃以上、好ましくは８００℃以上、特に少なくとも１０
００℃以上のプロセスチャンバについてはプロセス中に非常に好適に検査が行わ
れる。それによって検査のためにプロセスを停止させる必要がなくなり、したが
ってプロセスの経済性という点で当然ながら本質的な有利点が得られる。
００℃以上のプロセスチャンバについてはプロセス中に非常に好適に検査が行わ
れる。それによって検査のためにプロセスを停止させる必要がなくなり、したが
ってプロセスの経済性という点で当然ながら本質的な有利点が得られる。
【００１２】 本発明によるさらなる好適な実施の形態では、可視スペクトル領域または赤外
線領域で感受性を有するビデオカメラが用いられ、ランスに設けられたカメラは
選択可能とすることができる。
線領域で感受性を有するビデオカメラが用いられ、ランスに設けられたカメラは
選択可能とすることができる。
【００１３】 特にプロセスチャンバを稼働中に検査するという観点からするとランスを介し
てカメラを冷却するのが望ましい。冷却は好適にガスまたは空気によって行われ
、好適にカメラの部材と周囲との間に設けられた多重冷却流、少なくとも二重の
冷却流によって行われる。すなわちカメラの部材とプロセスの周囲との間に少な
くとも２つのガス、好ましくは空気の冷却流層を設けるということであり、個々
の流れが対向的に流れる様子についてはさらに説明する。
てカメラを冷却するのが望ましい。冷却は好適にガスまたは空気によって行われ
、好適にカメラの部材と周囲との間に設けられた多重冷却流、少なくとも二重の
冷却流によって行われる。すなわちカメラの部材とプロセスの周囲との間に少な
くとも２つのガス、好ましくは空気の冷却流層を設けるということであり、個々
の流れが対向的に流れる様子についてはさらに説明する。
【００１４】 さらに好適な実施の形態ではランスおよびカメラが好適に手動または操作装置
を用いて、いずれにしても設けられる好適に走行ウィンチを備えたクレーンを用
いて、チャンバの検査開口部に導入される。この開口部は好適に上部に設けられ
、最適に小さな直径を有して形成される。すなわち最大でも５０cm、好適には最
大２０cm、最大１２cmの場合すらある。
を用いて、いずれにしても設けられる好適に走行ウィンチを備えたクレーンを用
いて、チャンバの検査開口部に導入される。この開口部は好適に上部に設けられ
、最適に小さな直径を有して形成される。すなわち最大でも５０cm、好適には最
大２０cm、最大１２cmの場合すらある。
【００１５】 このように小さな検査開口部を設けると多くの点で非常に有利である。例えば
空間の需要、閉鎖部材の操作、プロセスの故障、プロセスの有害な漏損や場合に
よっては隔絶の防止などに関して有利である。前記の課題を解決するために本発
明による検査装置は請求項７に記載の特徴を有する。好適な実施の形態は請求項
８から１０に記載されている。
空間の需要、閉鎖部材の操作、プロセスの故障、プロセスの有害な漏損や場合に
よっては隔絶の防止などに関して有利である。前記の課題を解決するために本発
明による検査装置は請求項７に記載の特徴を有する。好適な実施の形態は請求項
８から１０に記載されている。
【００１６】 本発明による工業プロセスチャンバは請求項１１に記載の特徴を有し、好適な
実施の形態は請求項１２または１３に記載されている。本発明による方法の使用
および本発明による検査装置の使用は請求項１４、好適に請求項１５に記載され
ている。請求項１６は本発明によるカメラヘッドを定義している。
実施の形態は請求項１２または１３に記載されている。本発明による方法の使用
および本発明による検査装置の使用は請求項１４、好適に請求項１５に記載され
ている。請求項１６は本発明によるカメラヘッドを定義している。
【００１７】 前記のように操作装置を用いて、好適に走行ウィンチを有するクレーンを用い
て導入される検査装置は、プロセスチャンバの外部で監視および制御ユニットと
作用連結し、この監視および制御ユニットには検査のための情報が記憶または表
示されると共に、ランスの位置、特にカメラの回動位置がヘッドに組み込まれた
駆動装置を介して制御される。本発明による方法または本発明による装置の使用
が特に考慮される熱的に高い負荷を受けるプロセスチャンバとしては、特に前記
のような高温領域における燃焼チャンバ、ボイラー、燃焼空間、化学プロセス空
間、原子力装置の空間などが挙げられる。
て導入される検査装置は、プロセスチャンバの外部で監視および制御ユニットと
作用連結し、この監視および制御ユニットには検査のための情報が記憶または表
示されると共に、ランスの位置、特にカメラの回動位置がヘッドに組み込まれた
駆動装置を介して制御される。本発明による方法または本発明による装置の使用
が特に考慮される熱的に高い負荷を受けるプロセスチャンバとしては、特に前記
のような高温領域における燃焼チャンバ、ボイラー、燃焼空間、化学プロセス空
間、原子力装置の空間などが挙げられる。
【００１８】
本発明を図面に基づいて以下のように説明する。
【００１９】 図１によればチャンバ上部壁３０に設けられ、閉鎖可能なフランジ５を備えた
検査開口部を介してランス７が導入され、このランスは数メートルの長さになる
こともある。チャンバ内部Iに突出しているランス７の端部にはカメラ９aを有す
るカメラヘッド９が、好適に多くの型のカメラ、好ましくは可視スペクトル領域
で感応するカメラおよび赤外線領域で感応するカメラに共通の標準留め具１１、
好ましくはスナップ留め具を介して取り付けられている。
検査開口部を介してランス７が導入され、このランスは数メートルの長さになる
こともある。チャンバ内部Iに突出しているランス７の端部にはカメラ９aを有す
るカメラヘッド９が、好適に多くの型のカメラ、好ましくは可視スペクトル領域
で感応するカメラおよび赤外線領域で感応するカメラに共通の標準留め具１１、
好ましくはスナップ留め具を介して取り付けられている。
【００２０】 カメラヘッド９はランス７において駆動モータ１３によってランス軸Ｌを中心
としてφ13に応じて制御されて回動され、正確に配置され、さらにφ15によって
示される制御された駆動装置１５によって、軸Ｌに関して正確に角度調整される
。ヘッド全体は好適にさらなる標準留め具、この場合も好適に差込み継ぎ手など
のスナップ留め具を用いて取り外し、再び取り付けることができる。
としてφ13に応じて制御されて回動され、正確に配置され、さらにφ15によって
示される制御された駆動装置１５によって、軸Ｌに関して正確に角度調整される
。ヘッド全体は好適にさらなる標準留め具、この場合も好適に差込み継ぎ手など
のスナップ留め具を用いて取り外し、再び取り付けることができる。
【００２１】 図に示すとおり、駆動モータ１３および１５のための制御信号Ｓ13およびＳ15 はランスを介してヘッド９に設けられたモータに伝えられる。同様にカメラの作
動のための制御信号Ｓａもランスを介して伝えられる。カメラ９aの画像信号Ｂ
はさらに好適に導波管を用いてヘッド９およびランスを介して外部に導かれる。
好適に、また特に運転温度が５００℃以上、または８００℃以上、あるいは少な
くとも１０００℃などの高温で使用するために、ランス７および特にカメラ９a
のケーシングは冷却剤によって、好適に水、またはガス、または空気により、閉
鎖された、または開放された循環において冷却され、そのために図には示されな
いが、ランス７のチャンバ外側の端部には、Ｑの矢印で示される冷却剤のための
継ぎ手が設けられている。制御信号Ｓと画像信号Ｂは検査装置１から離れた制御
および入力装置１７に好適に供給され、また制御および入力装置から出力される
。その時々の検査結果はディスプレイ１９に視覚化され、場合によっては２１に
よって示すように、記憶される。検査開口部１の直径は好適に５０cm以下であり
、好適に２０cm以下、または１２cm以下の場合もある。検査開口部は開口部面Ｆ
０に関して垂直な垂直面Ｎfとともに検査すべきプロセスチャンバ３０の上壁部
領域に設けられている。
動のための制御信号Ｓａもランスを介して伝えられる。カメラ９aの画像信号Ｂ
はさらに好適に導波管を用いてヘッド９およびランスを介して外部に導かれる。
好適に、また特に運転温度が５００℃以上、または８００℃以上、あるいは少な
くとも１０００℃などの高温で使用するために、ランス７および特にカメラ９a
のケーシングは冷却剤によって、好適に水、またはガス、または空気により、閉
鎖された、または開放された循環において冷却され、そのために図には示されな
いが、ランス７のチャンバ外側の端部には、Ｑの矢印で示される冷却剤のための
継ぎ手が設けられている。制御信号Ｓと画像信号Ｂは検査装置１から離れた制御
および入力装置１７に好適に供給され、また制御および入力装置から出力される
。その時々の検査結果はディスプレイ１９に視覚化され、場合によっては２１に
よって示すように、記憶される。検査開口部１の直径は好適に５０cm以下であり
、好適に２０cm以下、または１２cm以下の場合もある。検査開口部は開口部面Ｆ
０に関して垂直な垂直面Ｎfとともに検査すべきプロセスチャンバ３０の上壁部
領域に設けられている。
【００２２】 カメラヘッド９およびカメラ９aを備えた、場合によっては数メートルにも及
ぶ検査ランス７は好適に走行ウィンチを有するクレーンによって導入される。そ
のために（図には示されないが）ランス７の外側端部には取り外し可能な留め具
が設けられている。制御信号および画像信号のための電線および冷却剤のための
導管は柔軟性を有するので、ランスは当然ながらその時々に検査すべきプロセス
チャンバに導入される。
ぶ検査ランス７は好適に走行ウィンチを有するクレーンによって導入される。そ
のために（図には示されないが）ランス７の外側端部には取り外し可能な留め具
が設けられている。制御信号および画像信号のための電線および冷却剤のための
導管は柔軟性を有するので、ランスは当然ながらその時々に検査すべきプロセス
チャンバに導入される。
【００２３】 図２には本発明によるランス／カメラの配置、特にそこに設けられた本発明に
よるカメラヘッド９の長手方向断面図である。すでに説明した部材および値につ
いては見やすくするために同じ番号が使用されている。カメラ９aは少なくとも
部分的に２重、３重または多重の壁を有するケーシング３０に設けられている。
本来のカメラ９aが収納されている最も内側のケーシング空間３２は内壁３４iに
よって限定されている。
よるカメラヘッド９の長手方向断面図である。すでに説明した部材および値につ
いては見やすくするために同じ番号が使用されている。カメラ９aは少なくとも
部分的に２重、３重または多重の壁を有するケーシング３０に設けられている。
本来のカメラ９aが収納されている最も内側のケーシング空間３２は内壁３４iに
よって限定されている。
【００２４】 内壁３４iの外側には第二の壁３４mが設けられている。第２の壁は石英ガラス
などから成る受容ウィンド３６と密閉的に結合しているため、冷却溝３８iはウ
ィンド側の連結部４０を介して内部空間３２と連通する。壁３４mは壁３４iとと
もに、図に示すとおり少なくともカメラに接するケーシングの部分に沿って第１
の冷却溝３８iを限定する。外側にはさらなる壁３４aが設けられ、この壁はケー
シング３０の裏側の隔離壁４２と密閉的に結合され、壁３４mとともに外側の流
れ経路３８aを限定している。外側の流れ経路は領域４４において流れ経路３８i
と連通する。
などから成る受容ウィンド３６と密閉的に結合しているため、冷却溝３８iはウ
ィンド側の連結部４０を介して内部空間３２と連通する。壁３４mは壁３４iとと
もに、図に示すとおり少なくともカメラに接するケーシングの部分に沿って第１
の冷却溝３８iを限定する。外側にはさらなる壁３４aが設けられ、この壁はケー
シング３０の裏側の隔離壁４２と密閉的に結合され、壁３４mとともに外側の流
れ経路３８aを限定している。外側の流れ経路は領域４４において流れ経路３８i
と連通する。
【００２５】 ケーシング３０は５０において示されるとおり、ランス接続スリーブ４６に設
けられた軸Ａ15を中心として回動可能に軸受けされている。ランス接続スリーブ
４６には駆動モータ１５が取り付けられ、この駆動モータは歯車装置１５gを介
してカメラ９aを有するケーシング３０をφ１５に応じて軸Ａ15を中心として回
動する。接続スリーブ４６は軸受け５５からわかるとおり、互いに同軸的に部分
４６aおよび４６bの２部分から成り、回動可能に軸受けされている。部分４６a
は駆動モータ１３により、場合によっては歯車装置および、図に示すように歯車
＝歯車リング回転連結器５２を介して部分４６bに関して回動される。この回動
はφ13に応じて行われる。
けられた軸Ａ15を中心として回動可能に軸受けされている。ランス接続スリーブ
４６には駆動モータ１５が取り付けられ、この駆動モータは歯車装置１５gを介
してカメラ９aを有するケーシング３０をφ１５に応じて軸Ａ15を中心として回
動する。接続スリーブ４６は軸受け５５からわかるとおり、互いに同軸的に部分
４６aおよび４６bの２部分から成り、回動可能に軸受けされている。部分４６a
は駆動モータ１３により、場合によっては歯車装置および、図に示すように歯車
＝歯車リング回転連結器５２を介して部分４６bに関して回動される。この回動
はφ13に応じて行われる。
【００２６】 本発明によるヘッド９を概ね単純な中空管として形成されたランス７に迅速に
連結するために、スナップ留め具１１aがカメラヘッド９全体に対して好適に設
けられている。
連結するために、スナップ留め具１１aがカメラヘッド９全体に対して好適に設
けられている。
【００２７】 冷却ガスG、好ましくは冷却空気はランス７を通って駆動モータ１３および１
５に沿って軸受け５０に設けられた開放された回転軸受けを通って、矢印で示さ
れる通り、内部空間３２に押し込められる。このガスはまず直接的にカメラ９a
の周囲を流れ、好適に３つの側で流れ通路３８に流れ込む。流れ通路からガスは
一番外側の流れ通路３８aに流れ込み、そこからプロセス環境を一番外側の流れ
通路３８aに接続している開口部６０を介してプロセス空間に排出される。排出
開口部は好適に直径φ１mm以下、好ましくは0.5mm以下の開口部によって実現さ
れる。プロセスによっては空気の代わりに他のガスも使用される。６２において
カメラ制御および画像電送ケーブルのための軸受け５０による実施の形態が示さ
れている。駆動モータ１３および１５に通じる制御ケーブルは示されていない。
５に沿って軸受け５０に設けられた開放された回転軸受けを通って、矢印で示さ
れる通り、内部空間３２に押し込められる。このガスはまず直接的にカメラ９a
の周囲を流れ、好適に３つの側で流れ通路３８に流れ込む。流れ通路からガスは
一番外側の流れ通路３８aに流れ込み、そこからプロセス環境を一番外側の流れ
通路３８aに接続している開口部６０を介してプロセス空間に排出される。排出
開口部は好適に直径φ１mm以下、好ましくは0.5mm以下の開口部によって実現さ
れる。プロセスによっては空気の代わりに他のガスも使用される。６２において
カメラ制御および画像電送ケーブルのための軸受け５０による実施の形態が示さ
れている。駆動モータ１３および１５に通じる制御ケーブルは示されていない。
【００２８】 図２に示すように、カメラ９aとプロセス環境との間に多くの冷却ガスの流れ
の層を有するように、多重壁によって実現された冷却技術は好適にカメラ９aの
周囲の少なくとも３つの側で実現される点を強調しておきたい。
の層を有するように、多重壁によって実現された冷却技術は好適にカメラ９aの
周囲の少なくとも３つの側で実現される点を強調しておきたい。
【００２９】 図２によればさらに適宜取り付け可能な投光器６４が設けられている。この投
光器は対応する壁領域において実現された流れ通路３８cを介して内部空間３２
内に圧縮されたガスによって共に冷却される。
光器は対応する壁領域において実現された流れ通路３８cを介して内部空間３２
内に圧縮されたガスによって共に冷却される。
【００３０】 前記の本発明による方法によれば、前記のような小さな開口部を設けたプロセ
スチャンバについて、プロセス運転中に、すなわちほとんどいかなる時にも検査
を行うことが可能であり、それによってプロセス全体または装置全体の有利性が
著しく増大する。特に本発明による検査はチャンバの外部にコストがかかり、容
量の大きな駆動装置を設けることなく用いることができるので、使用の融通性が
著しく増大する。
スチャンバについて、プロセス運転中に、すなわちほとんどいかなる時にも検査
を行うことが可能であり、それによってプロセス全体または装置全体の有利性が
著しく増大する。特に本発明による検査はチャンバの外部にコストがかかり、容
量の大きな駆動装置を設けることなく用いることができるので、使用の融通性が
著しく増大する。
【図１】 本発明による工業プロセスチャンバに導入された、本発明によ
る方法を実施するための、カメラヘッドを備えた本発明による検査装置の概略構
成図である。
る方法を実施するための、カメラヘッドを備えた本発明による検査装置の概略構
成図である。
【図２】 特にカメラ配置駆動装置および冷却装置を説明するための本発
明による装置の長手方向の断面図である。
明による装置の長手方向の断面図である。
【符号の説明】 １ 検査開口部 ３ 工業プロセスチャンバ ７ ランス ９ カメラ １１，１１a スナップ留め具 １３，１５ 駆動連結装置 １７，１９ 制御ユニット ３０ ケーシング ３４i，３４m，３４a 二重壁 ３８a，３８i，３８c 多重冷却流れ ４６ｂ 第一のヘッド部分
【手続補正書】特許協力条約第３４条補正の翻訳文提出書
【提出日】平成１２年５月２５日（２０００．５．２５）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【請求項２】 前記カメラヘッドをスナップ留め具によって前記ランスに取
り付けることを特徴とする請求項１に記載の方法。
り付けることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】 ビデオカメラを用いることを特徴とする請求項１または２に
記載の方法。
記載の方法。
【請求項４】 プロセス温度が５００℃以上、好ましくは８００℃以上のチ
ャンバにおいて、プロセス中に前記検査を行うことを特徴とする請求項１から３
のいずれか一項に記載の方法。
ャンバにおいて、プロセス中に前記検査を行うことを特徴とする請求項１から３
のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】 ビデオカメラ（９a）を使用し、該ビデオカメラが可視的な
スペクトル領域または赤外線領域において感応することを特徴とする請求項１か
ら３のいずれか一項に記載の方法。
スペクトル領域または赤外線領域において感応することを特徴とする請求項１か
ら３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】 前記カメラを前記ランスを介して冷却し（Ｑ）、好適にガス
、好適に空気によって冷却し、好適にカメラ部材と環境との間に作られた多重冷
却流れ（３８a，３８i，３８c）、少なくとも２重の冷却流れによって冷却する
ことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の方法。
、好適に空気によって冷却し、好適にカメラ部材と環境との間に作られた多重冷
却流れ（３８a，３８i，３８c）、少なくとも２重の冷却流れによって冷却する
ことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】 前記チャンバ（３）の好適に上部に、直径が最大でも５０cm
、好適に最大２０cm、または好適に最大１２cmで、好適に垂直な開口部法線（Ｎ
f）を有する閉鎖可能な検査開口部（１）が設けられ、カメラヘッド（９）を備
えたランス（７）を操作装置、好ましくはクレーンを用いて前記開放された検査
開口部に導入することを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか一項に記載
の方法。
、好適に最大２０cm、または好適に最大１２cmで、好適に垂直な開口部法線（Ｎ
f）を有する閉鎖可能な検査開口部（１）が設けられ、カメラヘッド（９）を備
えたランス（７）を操作装置、好ましくはクレーンを用いて前記開放された検査
開口部に導入することを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか一項に記載
の方法。
【請求項８】 前記カメラの画像信号（Ｂ）を光波管を用いて前記ランス（
７）を介して外部に伝送することを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか
一項に記載の方法。
７）を介して外部に伝送することを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか
一項に記載の方法。
【請求項９】 ランスとカメラが導入される前記チャンバに設けられた検査
開口部から離れて、制御信号および画像信号を制御および入力ユニット（１７）
において出力するか、該ユニットに供給することを特徴とする請求項１から請求
項８のいずれか一項に記載の方法。
開口部から離れて、制御信号および画像信号を制御および入力ユニット（１７）
において出力するか、該ユニットに供給することを特徴とする請求項１から請求
項８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１０】 一時的な検査結果を表示装置において視覚化し、好適に記
憶することを特徴とする請求項９に記載の方法。
憶することを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】 前記カメラによって投光器を動かすことを特徴とする請求
項１から請求項１０のいずれか一項に記載の方法。
項１から請求項１０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１２】 工業プロセスチャンバ（３）のための検査装置であって、 該装置は導入ランス（７）と、 前記導入ランス（７）の端部に設けられた、駆動によって回動可能に軸受けさ
れたカメラ（９a）と、前記ランスによって運ばれる前記カメラ（９a）に対する
回動駆動＝制御連結装置と、 画像伝送ケーブルと、前記ランス（７）を介して前記カメラ（９a）と作用連
結された少なくとも一つの制御および表示ユニット（１７，１９）を有して成り
、 前記ランス（７）に設けられたカメラヘッド（９）を備えた前記カメラ（９a
）が前記ランスの長手軸に対しても、該長手軸を横断する軸に対しても、駆動さ
れて回動するように軸受けされていることを特徴とする装置。
れたカメラ（９a）と、前記ランスによって運ばれる前記カメラ（９a）に対する
回動駆動＝制御連結装置と、 画像伝送ケーブルと、前記ランス（７）を介して前記カメラ（９a）と作用連
結された少なくとも一つの制御および表示ユニット（１７，１９）を有して成り
、 前記ランス（７）に設けられたカメラヘッド（９）を備えた前記カメラ（９a
）が前記ランスの長手軸に対しても、該長手軸を横断する軸に対しても、駆動さ
れて回動するように軸受けされていることを特徴とする装置。
【請求項１３】 前記カメラヘッドを回動移動させるための駆動装置（１３
，１５）が前記カメラヘッド内に設けられていることを特徴とする請求項１２に
記載の検査装置。
，１５）が前記カメラヘッド内に設けられていることを特徴とする請求項１２に
記載の検査装置。
【請求項１４】 前記ランス（７）に設けられた前記カメラ（９a）および
／あるいはカメラヘッド（９）が好適に標準留め具、好ましくはスナップ留め具
（１１，１１a）によって交換可能であることを特徴とする請求項１２または請
求項１３に記載の装置。
／あるいはカメラヘッド（９）が好適に標準留め具、好ましくはスナップ留め具
（１１，１１a）によって交換可能であることを特徴とする請求項１２または請
求項１３に記載の装置。
【請求項１５】 ランス（７）およびヘッド（９）に設けられたカメラケー
シングが冷却剤配管機構（Ｑ）を有し、前記ランス（７）の前記ヘッド（９）か
ら離れた側に冷却剤接続管を有することを特徴とする請求項１２から１４のいず
れか一項に記載の装置。
シングが冷却剤配管機構（Ｑ）を有し、前記ランス（７）の前記ヘッド（９）か
ら離れた側に冷却剤接続管を有することを特徴とする請求項１２から１４のいず
れか一項に記載の装置。
【請求項１６】 少なくとも部分的に、少なくとも２重の壁を有するカメラ
ケーシング（３０）が設けられ、該カメラケーシングは圧力ガス、好ましくは圧
力空気供給装置と前記ランス（７）を介して作用連結可能であり、前記２重壁（
３４i，３４m，３４a）によって形成された中空空間（３８i，３８a）は、該中
空空間にそれぞれガスの流れが好適にそれぞれ逆の方向に発生するように流れと
結合し、環境と連通していることを特徴とする請求項１２から請求項１５のいず
れか一項に記載の装置。
ケーシング（３０）が設けられ、該カメラケーシングは圧力ガス、好ましくは圧
力空気供給装置と前記ランス（７）を介して作用連結可能であり、前記２重壁（
３４i，３４m，３４a）によって形成された中空空間（３８i，３８a）は、該中
空空間にそれぞれガスの流れが好適にそれぞれ逆の方向に発生するように流れと
結合し、環境と連通していることを特徴とする請求項１２から請求項１５のいず
れか一項に記載の装置。
【請求項１７】 前記カメラヘッドに投光器が取り付けられていることを特
徴とする請求項１２から請求項１６のいずれか一項に記載の装置。
徴とする請求項１２から請求項１６のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１８】 請求項１２から１７のいずれか一項に記載の装置を有する
工業プロセスチャンバ（３）であって、ランス（７）およびカメラヘッド（９）
を導入するための、開口部直径が５０cm以下、好適に２０cm以下、さらに好適に
１２cm以下である閉鎖可能な検査開口部（１）を有することを特徴とする工業プ
ロセスチャンバ。
工業プロセスチャンバ（３）であって、ランス（７）およびカメラヘッド（９）
を導入するための、開口部直径が５０cm以下、好適に２０cm以下、さらに好適に
１２cm以下である閉鎖可能な検査開口部（１）を有することを特徴とする工業プ
ロセスチャンバ。
【請求項１９】 前記検査開口部（１）が垂直な、上方に向かう開口面法線
を有し、前記チャンバ（３）にランス（７）およびカメラ（９）を導入するため
の操作装置、好適に走行ウィンチを有するクレーン装置が設けられていることを
特徴とする請求項１８に記載のチャンバ。
を有し、前記チャンバ（３）にランス（７）およびカメラ（９）を導入するため
の操作装置、好適に走行ウィンチを有するクレーン装置が設けられていることを
特徴とする請求項１８に記載のチャンバ。
【請求項２０】 請求項１８または請求項１９のいずれかに記載のチャンバ
であって、５００℃以上、好適に８００℃以上、さらに好適に１０００℃以上の
温度で経過するプロセスのためのプロセスチャンバであることを特徴とするチャ
ンバ。
であって、５００℃以上、好適に８００℃以上、さらに好適に１０００℃以上の
温度で経過するプロセスのためのプロセスチャンバであることを特徴とするチャ
ンバ。
【請求項２１】 請求項１から請求項１１のいずれか一項に記載の方法また
は請求項１２から請求項１７のいずれか一項に記載の装置の、燃焼室、ボイラー
、燃焼空間、化学プロセスチャンバなどの熱的に高度な負荷を受けるプロセスチ
ャンバを運転中に検査するための使用。
は請求項１２から請求項１７のいずれか一項に記載の装置の、燃焼室、ボイラー
、燃焼空間、化学プロセスチャンバなどの熱的に高度な負荷を受けるプロセスチ
ャンバを運転中に検査するための使用。
【請求項２２】 熱的に高度な負荷を受けるプロセスチャンバを５００℃以
上、好適に８００℃以上、特に少なくとも１０００℃の温度で運転中に検査する
ための請求項２１に記載の使用。
上、好適に８００℃以上、特に少なくとも１０００℃の温度で運転中に検査する
ための請求項２１に記載の使用。
【請求項２３】 請求項１から請求項１１のいずれか一項に記載の方法を実
施するためのカメラヘッドにおいて、 ケーシング（３０）に設けられたカメラ（９a）を備え、 該ケーシングは光学的なカメラ軸に対して曲げられた第一の軸（A１５）に関
して回動するように第一のヘッド部分（４６a）に軸受けされ、 該第一のヘッド部分はさらなるヘッド部分（４６ｂ）に、前記第一の軸（A１
５）に対して曲げられた第二の軸（Ｌ）に関して回動するように軸受けされ、 さらに、前記カメラヘッドは、カメラおよびケーシングが前記第一の軸（A１
５）を中心として回動するための駆動モータ（１５）および前記ヘッド部分（４
６a, ４６ｂ）が相対的に回動するためのさらなる駆動モータ（１３）を有して
いることを特徴とするカメラヘッド。
施するためのカメラヘッドにおいて、 ケーシング（３０）に設けられたカメラ（９a）を備え、 該ケーシングは光学的なカメラ軸に対して曲げられた第一の軸（A１５）に関
して回動するように第一のヘッド部分（４６a）に軸受けされ、 該第一のヘッド部分はさらなるヘッド部分（４６ｂ）に、前記第一の軸（A１
５）に対して曲げられた第二の軸（Ｌ）に関して回動するように軸受けされ、 さらに、前記カメラヘッドは、カメラおよびケーシングが前記第一の軸（A１
５）を中心として回動するための駆動モータ（１５）および前記ヘッド部分（４
６a, ４６ｂ）が相対的に回動するためのさらなる駆動モータ（１３）を有して
いることを特徴とするカメラヘッド。
Claims (16)
- 【請求項１】 工業プロセスチャンバ（３）を検査するための方法であっ
て、ランス（７）によってカメラ（９）を前記チャンバ（３）に導入し、前記ラ
ンスを介して画像データ（Ｂ）を前記チャンバの外部に設けられた監視および制
御ユニット（１７，１９）に伝送する方法において、 カメラヘッド（９）を備えたカメラ（９a）を前記ランスに設け、かつ前記ラ
ンス（７）に対して少なくとも２つの軸を中心として所望の方向（φ１３、φ１
５）に遠隔操作によって回動させることを特徴とする方法。 - 【請求項２】 ビデオカメラを用いることを特徴とする請求項１に記載の
方法。 - 【請求項３】 プロセス温度が５００℃以上、好ましくは８００℃以上の
チャンバにおいて、プロセス中に前記検査を行うことを特徴とする請求項１また
は請求項２のいずれかに記載の方法。 - 【請求項４】 ビデオカメラ（９a）を使用し、該ビデオカメラが可視的な
スペクトル領域または赤外線領域において感応し、その都度前記ランスにおいて
選択可能であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の
方法。 - 【請求項５】 前記カメラを前記ランスを介して冷却し（Ｑ）、好適にガ
ス、好適に空気によって冷却し、好適にカメラ部材と環境との間に作られた多重
冷却流れ（３８a，３８i，３８c）、少なくとも２重の冷却流れによって冷却す
ることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の方法。 - 【請求項６】 前記チャンバ（３）の好適に上部に、直径が最大でも５０c
m、好適最大２０cm、または好適に最大１２cmで、好適に垂直な開口部法線（Ｎf
）を有する閉鎖可能な検査開口部（１）が設けられ、カメラヘッド（９）を備え
たランス（７）を操作装置、好ましくはクレーンを用いて前記開放された検査開
口部に導入することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の
方法。 - 【請求項７】 工業プロセスチャンバ（３）のための検査装置であって、 該装置は導入ランス（７）と、 前記導入ランス（７）の端部に設けられた、駆動されて回動可能に軸受けされ
たカメラ（９a）と、 前記ランスによって運ばれた前記カメラ（９a）に対する回動駆動＝制御連結
装置と、 画像伝送ケーブルと前記ランスを介して前記カメラ（９a）と作用連結された
少なくとも一つの制御および表示ユニット（１７，１９）を有して成り、 前記ランス（７）に設けられたカメラヘッド（９）を備えた前記カメラ（９a
）が前記ランスの長手軸に対しても、該長手軸を横断する軸に対しても、ヘッド
に設けられた駆動装置（１３，１５）によって駆動されて回動するように軸受け
されていることを特徴とする装置。 - 【請求項８】 前記ランス（７）に設けられた前記カメラ（９a）および／
あるいはカメラヘッド（９）が好適に標準留め具、好ましくはスナップ留め具（
１１，１１a）によって交換可能であることを特徴とする請求項７に記載の装置
。 - 【請求項９】 ランス（７）およびヘッド（９）に設けられたカメラケー
シングが冷却剤配管機構（Ｑ）を有し、前記ランス（７）の前記ヘッド（９）か
ら離れた側に冷却剤接続管を有することを特徴とする請求項７または請求項８の
いずれかに記載の装置。 - 【請求項１０】 少なくとも部分的に、少なくとも二重の壁を有するカメ
ラケーシング（３０）が設けられ、該カメラケーシングは圧力ガス、好ましくは
圧力空気供給装置と前記ランス（７）を介して作用連結可能であり、前記二重壁
（３４i，３４m，３４a）によって形成された中空空間（３８i，３８a）は、該
中空空間にそれぞれガスの流れが好適にそれぞれ逆の方向に発生するように流れ
と結合し、環境と連通していることを特徴とする請求項７から請求項９のいずれ
か一項に記載の装置。 - 【請求項１１】 請求項７から請求項１０のいずれか一項に記載の装置を
使用するための工業プロセスチャンバ（３）であって、ランス（７）およびカメ
ラヘッド（９）を導入するための、開口部直径が５０cm以下、好適に２０cm以下
、さらに好適に１２cm以下である閉鎖可能な検査開口部（１）を有することを特
徴とする工業プロセスチャンバ。 - 【請求項１２】 前記検査開口部（１）が垂直な、上方に向かう開口面法
線を有し、前記チャンバ（３）にランス（７）およびカメラ（９）を導入するた
めの操作装置、好適に走行ウィンチを有するクレーン装置が設けられていること
を特徴とする請求項１１に記載のチャンバ。 - 【請求項１３】 請求項１１または請求項１２に記載のチャンバであって
、 ５００℃以上、好適に８００℃以上、さらに好適に１０００℃以上の温度で経過
するプロセスのためのプロセスチャンバであることを特徴とするチャンバ。 - 【請求項１４】 請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の方法また
は請求項８から請求項１３のいずれか一項に記載の装置の、燃焼室、ボイラー、
燃焼空間、化学プロセスチャンバなどの熱的に高度な負荷を受けるプロセスチャ
ンバを運転中に検査するための使用。 - 【請求項１５】 熱的に高度な負荷を受けるプロセスチャンバを５００℃
以上、好適に８００℃以上、特に少なくとも１０００℃の温度で運転中に検査す
るための請求項１４に記載の使用。 - 【請求項１６】 請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の方法を実
施するためのカメラヘッドにおいて、 ケーシング（３０）に設けられたカメラ（９a）を備え、 該ケーシングは光学的なカメラ軸に対して曲げられた第一の軸（A１５）に関
して回動するように第一のヘッド部分（４６a）に軸受けされ、 該第一のヘッド部分はさらなるヘッド部分（４６ｂ）に、前記第一の軸（A１
５）に対して曲げられた第二の軸（Ｌ）に関して回動するように軸受けされ、 さらに、前記カメラヘッドは、カメラおよびケーシングが前記第一の軸（A１
５）を中心として回動するための駆動モータ（１５）および前記ヘッド部分（４
６a, ４６ｂ）が相対的に回動するためのさらなる駆動モータ（１３）を有して
いることを特徴とするカメラヘッド。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH98/00228 | 1998-05-29 | ||
| PCT/CH1998/000228 WO1999063382A1 (de) | 1998-05-29 | 1998-05-29 | Verfahren zur inspektion von kammern, inspektionseinrichtung und industrielle prozesskammer |
| PCT/CH1999/000220 WO1999063383A1 (de) | 1998-05-29 | 1999-05-21 | Verfahren zur inspektion von kammern, inspektionseinrichtung und industrielle prozesskammer |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000552536A Withdrawn JP2002517775A (ja) | 1998-05-29 | 1999-05-21 | チャンバの検査方法、検査装置および工業プロセスチャンバ |
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| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP1082634B1 (ja) |
| JP (1) | JP2002517775A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006284105A (ja) * | 2005-04-01 | 2006-10-19 | Nippon Steel Corp | 縦型炉の炉内点検装置 |
| JP2014191167A (ja) * | 2013-03-27 | 2014-10-06 | Kurimoto Ltd | 管内検査装置 |
| KR102169118B1 (ko) * | 2020-06-17 | 2020-10-22 | 서울특별시 | 부식평가 실험장치 |
| WO2021045325A1 (ko) * | 2019-09-04 | 2021-03-11 | 신동신 | 고온의 로 내부 검사 방법 및 상기 방법에 사용되는 영상 촬영 장치 |
| JP2021121776A (ja) * | 2020-01-31 | 2021-08-26 | 三菱パワー株式会社 | 炉内監視構造、これを備えたボイラ、監視システム及び点検方法 |
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|---|---|---|---|---|
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| WO2001058044A2 (en) | 2000-02-07 | 2001-08-09 | Tantivy Communications, Inc. | Minimal maintenance link to support synchronization |
| US8155096B1 (en) | 2000-12-01 | 2012-04-10 | Ipr Licensing Inc. | Antenna control system and method |
| ES2614202T3 (es) | 2001-06-13 | 2017-05-30 | Intel Corporation | Método y aparato para la transmisión de una señal de latido de corazón a un nivel inferior que la solicitud de latido de corazón |
| NO329760B1 (no) * | 2009-07-20 | 2010-12-13 | Statoil Asa | Rontgenutstyr for overvaking av koksbelegg i ovner |
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| US4131914A (en) * | 1975-09-23 | 1978-12-26 | Bricmont & Associates, Inc. | Method and apparatus for inspecting refractory lining in coke oven chambers and the like |
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- 1998-05-29 WO PCT/CH1998/000228 patent/WO1999063382A1/de active Application Filing
- 1998-05-29 AU AU74228/98A patent/AU7422898A/en not_active Abandoned
-
1999
- 1999-05-21 EP EP99920517A patent/EP1082634B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-05-21 DE DE59900947T patent/DE59900947D1/de not_active Expired - Fee Related
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- 1999-05-21 AT AT99920517T patent/ATE214167T1/de not_active IP Right Cessation
- 1999-05-21 WO PCT/CH1999/000220 patent/WO1999063383A1/de active IP Right Grant
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