JPS60160549A - 螢光表示管 - Google Patents
螢光表示管Info
- Publication number
- JPS60160549A JPS60160549A JP1639484A JP1639484A JPS60160549A JP S60160549 A JPS60160549 A JP S60160549A JP 1639484 A JP1639484 A JP 1639484A JP 1639484 A JP1639484 A JP 1639484A JP S60160549 A JPS60160549 A JP S60160549A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aluminum
- electrode
- layer
- forming
- display tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/02—Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
- H01J29/08—Electrodes intimately associated with a screen on or from which an image or pattern is formed, picked-up, converted or stored, e.g. backing-plates for storage tubes or collecting secondary electrons
- H01J29/085—Anode plates, e.g. for screens of flat panel displays
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J31/00—Cathode ray tubes; Electron beam tubes
- H01J31/08—Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
- H01J31/10—Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes
- H01J31/12—Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes with luminescent screen
- H01J31/15—Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes with luminescent screen with ray or beam selectively directed to luminescent anode segments
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）発明の属する分野の説明
本発明は螢光表示管の電極構造に関するもので、特に表
示を電極形成基板の反対の面から観察する方式に有効に
適用される。
示を電極形成基板の反対の面から観察する方式に有効に
適用される。
（２）従来の技術の説明
従来この種螢光表示管は、第１図に示すように透光性絶
縁基板ｌ（通常板ガラスが用いられる′。）にアルミニ
、−ム等の薄膜を全面に形成し。
縁基板ｌ（通常板ガラスが用いられる′。）にアルミニ
、−ム等の薄膜を全面に形成し。
しかる後所望のパターンが得られるようにフォトエツチ
ング等の技術を用いて、電極２を形成する。この場合、
表示部２１については、発光表示が観察面側により効率
よく取り出されるために通常ハニカム構造やストライプ
構造に形成する。しかる後１表示をより明瞭にさせるた
め、絶＃層３をアルミニ為−ム電極２に印刷等の技術を
用いて形成する。次に微光物質４を同様の手法を用いズ
１表示部に対応するアルミニューム電極２１の上に形成
する。グリッド５．フィラメント６を第１図のように栴
成させ最後に。
ング等の技術を用いて、電極２を形成する。この場合、
表示部２１については、発光表示が観察面側により効率
よく取り出されるために通常ハニカム構造やストライプ
構造に形成する。しかる後１表示をより明瞭にさせるた
め、絶＃層３をアルミニ為−ム電極２に印刷等の技術を
用いて形成する。次に微光物質４を同様の手法を用いズ
１表示部に対応するアルミニューム電極２１の上に形成
する。グリッド５．フィラメント６を第１図のように栴
成させ最後に。
全体を気密封止し【螢光表示管が完成する。表示は、フ
ィラメント６を６００〜６５００位に加熱することによ
りエミッシ目ンを取り出し、これをブリッド５で加速す
る事により、螢光物質４に衝突させ、このエネルギーで
発光表示を得ていた。
ィラメント６を６００〜６５００位に加熱することによ
りエミッシ目ンを取り出し、これをブリッド５で加速す
る事により、螢光物質４に衝突させ、このエネルギーで
発光表示を得ていた。
このような構造の螢光表示管に於いてはアルミニューム
電極が非常に活性な金属であるため、螢光表示管の製造
工程に於いて特に高温時酸化等の影響を受けて、アルミ
ニー−ム電極が劣化する欠点があった。劣化を受けると
電柾の配線がダメージを受け断線゛となったり、あるい
は螢光物質との相互作用を受けて９発光に不均一が生ず
る等の欠点があった。
電極が非常に活性な金属であるため、螢光表示管の製造
工程に於いて特に高温時酸化等の影響を受けて、アルミ
ニー−ム電極が劣化する欠点があった。劣化を受けると
電柾の配線がダメージを受け断線゛となったり、あるい
は螢光物質との相互作用を受けて９発光に不均一が生ず
る等の欠点があった。
（３） 発明の目的
本発明は上述したような螢光表示管の製造工程でのアル
ミニューム電極の劣化を防止するため、熱や酸化に強い
たとへは酸化スズである。透明導電膜などの耐酸化性薄
膜を前記アルミニューム膜上あらかじめ形成しておき、
螢光表示管の製造工程でも劣化しない電極を作ることを
目的とする。
ミニューム電極の劣化を防止するため、熱や酸化に強い
たとへは酸化スズである。透明導電膜などの耐酸化性薄
膜を前記アルミニューム膜上あらかじめ形成しておき、
螢光表示管の製造工程でも劣化しない電極を作ることを
目的とする。
（４）発明の構成および作用の説明
本発明の詳細を図面を用いて説明する。
第２図を参照すると１は板ガラス等の透光性絶縁基板で
、この上にスパッタリングや蒸着法を用いてアルミニュ
ームを全面に形成する。
、この上にスパッタリングや蒸着法を用いてアルミニュ
ームを全面に形成する。
次に酸化スズ（通常ネサ膜）７を、同様のスパッタリン
グや蒸着の方法を用いて、アルミニュームが全面形成さ
れたガラス板１に全面に形成する。
グや蒸着の方法を用いて、アルミニュームが全面形成さ
れたガラス板１に全面に形成する。
フォットエッチング技術を用いて所望のパターンや表示
を得るため、まず全面にフォトレヂストを塗布し１次に
露光工程を径てエツチング工程に入るが、まず第１層の
酸化スズ膜の不要部分を除去し、続いてアルミニューム
膜の不要部分を除去する。しかる後フォトレジストを除
去し、この工程を終了する。
を得るため、まず全面にフォトレヂストを塗布し１次に
露光工程を径てエツチング工程に入るが、まず第１層の
酸化スズ膜の不要部分を除去し、続いてアルミニューム
膜の不要部分を除去する。しかる後フォトレジストを除
去し、この工程を終了する。
次に絶縁Ｎ３を、表示部以外の部分に印刷法等を用いて
形成し、数百度の熱工程を通してガラス板へ完全密着さ
せる。
形成し、数百度の熱工程を通してガラス板へ完全密着さ
せる。
螢光物質４も同様の方法で適度の厚さを保つよう形成す
る。
る。
グリッド５．フィラメント６をｊト次螢光面から適当な
距離を保つよう形成し、最後に全体を気密封止させ、飯
光表示管が完成する。
距離を保つよう形成し、最後に全体を気密封止させ、飯
光表示管が完成する。
（５）効果の説明
この方法によれば、不安定なアルミニューム膜２，２１
上に熱的に安定な酸化スズ膜７，７１が形成されている
ため、特に絶縁属３の形成後の熱工程や、螢光物質４の
形成後の熱工程を径ても電極２，２１が劣化される事も
なく、アルミニュームで形成された配線が断線等を起す
こともなく又、酸化専の影響を受けて１表面の変質した
アルミニューム上に螢光物質が塗布される事なく、安定
な酸化スズ膜７１の上に螢光物質が形成されるため１発
光特性も従来品に比較し、非常に安定になる効果も大き
い。
上に熱的に安定な酸化スズ膜７，７１が形成されている
ため、特に絶縁属３の形成後の熱工程や、螢光物質４の
形成後の熱工程を径ても電極２，２１が劣化される事も
なく、アルミニュームで形成された配線が断線等を起す
こともなく又、酸化専の影響を受けて１表面の変質した
アルミニューム上に螢光物質が塗布される事なく、安定
な酸化スズ膜７１の上に螢光物質が形成されるため１発
光特性も従来品に比較し、非常に安定になる効果も大き
い。
本実施例では、アルミニューム膜の程霞材料として酸化
スズを用いたが他の比較的安定な例えば金やクロム等を
用いても同様の効果が得られる事は云うまでもない。
スズを用いたが他の比較的安定な例えば金やクロム等を
用いても同様の効果が得られる事は云うまでもない。
第１図は従来の螢光表示管の陽極部分、グリッド及びフ
ィラメント部分の部分拡大断面図。第２図は本発明の螢
光表示管の陽極部分、グリッド及びフィラメント部分の
部分拡大断面図を示す。 ｌ・・・・・・透光性基板、２・・・・・・アルミニュ
ーム薄板、３・・・・・・絶縁層、４・・・・・・螢光
物質、５・・・・・・グリッド。 ６・・・・・・フィラメント、７・・・・・・耐酸化性
ｓｔｉ性薄板。
ィラメント部分の部分拡大断面図。第２図は本発明の螢
光表示管の陽極部分、グリッド及びフィラメント部分の
部分拡大断面図を示す。 ｌ・・・・・・透光性基板、２・・・・・・アルミニュ
ーム薄板、３・・・・・・絶縁層、４・・・・・・螢光
物質、５・・・・・・グリッド。 ６・・・・・・フィラメント、７・・・・・・耐酸化性
ｓｔｉ性薄板。
Claims (1)
- 透光性基板の電極形成面と反対の面より表示を観察する
螢光表示管において、前記電極の第１層をアルミニュー
ム薄膜、第２層を耐酸化性導電薄膜で形成し、しかる後
螢光物質が形成されていることを特徴とする螢光表示管
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1639484A JPS60160549A (ja) | 1984-01-31 | 1984-01-31 | 螢光表示管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1639484A JPS60160549A (ja) | 1984-01-31 | 1984-01-31 | 螢光表示管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60160549A true JPS60160549A (ja) | 1985-08-22 |
Family
ID=11915026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1639484A Pending JPS60160549A (ja) | 1984-01-31 | 1984-01-31 | 螢光表示管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60160549A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6297238A (ja) * | 1985-10-23 | 1987-05-06 | Ise Electronics Corp | 螢光表示管 |
| US5197747A (en) * | 1990-07-05 | 1993-03-30 | Nihon Metal Gasket Co., Ltd. | Metallic gasket with cylinder beads on separate plates to allow for minimal intercylinder space |
-
1984
- 1984-01-31 JP JP1639484A patent/JPS60160549A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6297238A (ja) * | 1985-10-23 | 1987-05-06 | Ise Electronics Corp | 螢光表示管 |
| US5197747A (en) * | 1990-07-05 | 1993-03-30 | Nihon Metal Gasket Co., Ltd. | Metallic gasket with cylinder beads on separate plates to allow for minimal intercylinder space |
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