JPS61148755A - けい光表示管および製造方法 - Google Patents
けい光表示管および製造方法Info
- Publication number
- JPS61148755A JPS61148755A JP27241484A JP27241484A JPS61148755A JP S61148755 A JPS61148755 A JP S61148755A JP 27241484 A JP27241484 A JP 27241484A JP 27241484 A JP27241484 A JP 27241484A JP S61148755 A JPS61148755 A JP S61148755A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- base plate
- display tube
- anode
- thermionic emission
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J31/00—Cathode ray tubes; Electron beam tubes
- H01J31/08—Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
- H01J31/10—Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes
- H01J31/12—Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes with luminescent screen
- H01J31/15—Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes with luminescent screen with ray or beam selectively directed to luminescent anode segments
Landscapes
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
- Electrodes For Cathode-Ray Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）′
本発明はドツトマトリックス表示や画像表示タイプのけ
い光表示管に関するものである。
い光表示管に関するものである。
（従来の技術）
第６図は従来のマトリックスタイプのけい光表示管の一
部を破断して示した斜視図である。基板１上に複数のス
トライプ状の陽極導体２ｔ−配設し、ついで陽極導体２
上に螢光体層３を被着して陽極４を構成する。
部を破断して示した斜視図である。基板１上に複数のス
トライプ状の陽極導体２ｔ−配設し、ついで陽極導体２
上に螢光体層３を被着して陽極４を構成する。
螢光体層３に対向する上方にメッシェ状のグリッド５を
陽極４と直角な方向に架設配置し、グリッド５０更に上
方にフィ゛ラメント状の陰極６を練襦オ噌陽極４と平行
に張架配設し、基板ｌ上に取り付けられた＠面板８およ
びガラス板７から形成された気密容器内に陽極４、グリ
ッド５、陰極６を収納し、かつ内部を真空に維持する二
極管構造となっていた。 □ この従来のけい光表示管の動作は、フィラメント状隙極
６が常時通電加熱したままで陽極４とグリッド５とでマ
トリックスを組み、発光させる陽極４と父差させるグリ
ッド５に正の電圧を印加することにより、陰極６から放
出された電子がグリッド５と陽極４によって通釈され、
陽極４のけい光体層３に入射し、発光表示が行なわれて
いた。
陽極４と直角な方向に架設配置し、グリッド５０更に上
方にフィ゛ラメント状の陰極６を練襦オ噌陽極４と平行
に張架配設し、基板ｌ上に取り付けられた＠面板８およ
びガラス板７から形成された気密容器内に陽極４、グリ
ッド５、陰極６を収納し、かつ内部を真空に維持する二
極管構造となっていた。 □ この従来のけい光表示管の動作は、フィラメント状隙極
６が常時通電加熱したままで陽極４とグリッド５とでマ
トリックスを組み、発光させる陽極４と父差させるグリ
ッド５に正の電圧を印加することにより、陰極６から放
出された電子がグリッド５と陽極４によって通釈され、
陽極４のけい光体層３に入射し、発光表示が行なわれて
いた。
（発明が解決しようとする問題点）
上述した従来のけい光表示管は、グリッドのメツシュ構
造等に高い精度を必要とし、陽極のトッド数が増加する
と陽極とグリッドのアライメントに高度の精度と熟練を
要し、その作業は極めて１殖であるという欠点があった
。
造等に高い精度を必要とし、陽極のトッド数が増加する
と陽極とグリッドのアライメントに高度の精度と熟練を
要し、その作業は極めて１殖であるという欠点があった
。
本発明は前記問題点を解決するためになされたものであ
り、陰極を基板上に配置することにより、構造が簡単で
製造が容易な、陰極と陽極とでマトリックスを組む二極
管構造のドツトマトリックス表示用のけい光表示管およ
びけい光表示管の製造方法を提供することを目的とする
。
り、陰極を基板上に配置することにより、構造が簡単で
製造が容易な、陰極と陽極とでマトリックスを組む二極
管構造のドツトマトリックス表示用のけい光表示管およ
びけい光表示管の製造方法を提供することを目的とする
。
（問題点を解決するための手段）
本発明のけい光表示管は、表面に凹部ｔｉする陰極基板
と、この陰極基板との間が真空である陽極基板と、前記
陰極基板上に配設された隙憔導体と、この陰極導体と連
接し前記凹部に位置して前記陰極基板と間隙を有する熱
電子放出部と、前記陽極基板上に設けられ前記熱電子放
出部に対向する位置にけい光体層を設けた陽極とを含ん
で構成される。
と、この陰極基板との間が真空である陽極基板と、前記
陰極基板上に配設された隙憔導体と、この陰極導体と連
接し前記凹部に位置して前記陰極基板と間隙を有する熱
電子放出部と、前記陽極基板上に設けられ前記熱電子放
出部に対向する位置にけい光体層を設けた陽極とを含ん
で構成される。
本発明のけい光表示管の製造方法は、絶縁基板上に金属
膜を被着する工程と、前記金属膜をパターンエツチング
して互いに連接する陰極導体と熱電子放出部を形成する
工程と、前記絶縁基板の前記熱電子放出部の下部をエツ
チングして中空にする工程と、前記熱電子放出部に熱電
子放出物質を被着する工程とを含んで構成される。
膜を被着する工程と、前記金属膜をパターンエツチング
して互いに連接する陰極導体と熱電子放出部を形成する
工程と、前記絶縁基板の前記熱電子放出部の下部をエツ
チングして中空にする工程と、前記熱電子放出部に熱電
子放出物質を被着する工程とを含んで構成される。
（実施例〉
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明のけい光表示管の一実施例の断面図、第
２図（ａ）〜第４図（ａ）は第１図に示すけい光表示管
の絶縁基板１１％ｌｓ極導体１２等から構成される陰極
基板の製造一方法の一実施例を工程順に示す平面図、第
２図１ｂ）〜第４図（ｂ）は第２図ｔａ＞〜第４図（ａ
）に示すＢＢ′、Ｃ（、′、Ｌ）σ断面図、第５ｊ４（
ａＬ（ｂ）は第１図に示すけい光表示管の陰極基板の斜
視図およびＡＡ’断面図である。 。
２図（ａ）〜第４図（ａ）は第１図に示すけい光表示管
の絶縁基板１１％ｌｓ極導体１２等から構成される陰極
基板の製造一方法の一実施例を工程順に示す平面図、第
２図１ｂ）〜第４図（ｂ）は第２図ｔａ＞〜第４図（ａ
）に示すＢＢ′、Ｃ（、′、Ｌ）σ断面図、第５ｊ４（
ａＬ（ｂ）は第１図に示すけい光表示管の陰極基板の斜
視図およびＡＡ’断面図である。 。
第５図（ａ） 、 （ｂ）において１１はたとえばガラ
ス等の絶縁基板であシ、その上にタングステンまたはタ
ングステン合金等で作られた金属膜により陰極導体部１
２および熱電子放出物質の溶着部１３が形成されている
。各熱電子放出物質の被着部１３の下部は絶縁基板１１
の少なくとも一部が除去され関［１６を有する構造にな
っている。更に熱電子放出物質の被着部１３に（Ｂａ、
・Ｓｒ、Ｃａ）０等の酸化物質１７が被着形成されてい
る。、・・本実施例の陰極基板の熱電子放出源は、基板
１、１の上に一体化されて形成された構造であシ、けい
光表示管の組立時のアライメントが容易であシ、高精度
の位置出しが可能であり、また取扱いや組立作業が簡単
になる等の効果がある。。
ス等の絶縁基板であシ、その上にタングステンまたはタ
ングステン合金等で作られた金属膜により陰極導体部１
２および熱電子放出物質の溶着部１３が形成されている
。各熱電子放出物質の被着部１３の下部は絶縁基板１１
の少なくとも一部が除去され関［１６を有する構造にな
っている。更に熱電子放出物質の被着部１３に（Ｂａ、
・Ｓｒ、Ｃａ）０等の酸化物質１７が被着形成されてい
る。、・・本実施例の陰極基板の熱電子放出源は、基板
１、１の上に一体化されて形成された構造であシ、けい
光表示管の組立時のアライメントが容易であシ、高精度
の位置出しが可能であり、また取扱いや組立作業が簡単
になる等の効果がある。。
次に上記のような熱電子放出源を持つけい光表示管の製
造方法の一実施例について第１図、第２図（ａ） 、
（ｂ） 〜第４ Ｖｔａ） 、 （ｂ）を用イテ説明ス
ル。まｆ第２ｒ５Ａ（ａ） 、 （ｂ）に示すように絶
縁基板１１上に例えばタングステンまたはタングステン
合金等をスパッタ法、ＣＶＤ法等で被着した後、フォト
エツチング法によシ陰極導体１２および、抵抗を大きく
して発熱させるため陰極導体によシ細く屈曲させた形状
の熱電子放出物質の溶着部１３を形成する。
造方法の一実施例について第１図、第２図（ａ） 、
（ｂ） 〜第４ Ｖｔａ） 、 （ｂ）を用イテ説明ス
ル。まｆ第２ｒ５Ａ（ａ） 、 （ｂ）に示すように絶
縁基板１１上に例えばタングステンまたはタングステン
合金等をスパッタ法、ＣＶＤ法等で被着した後、フォト
エツチング法によシ陰極導体１２および、抵抗を大きく
して発熱させるため陰極導体によシ細く屈曲させた形状
の熱電子放出物質の溶着部１３を形成する。
次に感光性樹脂１４ｔ−１布し第３図（ａ） 、 （ｂ
）のように開口ｓ１５が設けられるように露光・現像し
た後、絶縁基板１１のエッチャント、たとえばガラス基
板の場合には弗酸を１吏って、熱′電子放出Ｗ寅の破着
部１３の下部の部分をエツチング除去する。
）のように開口ｓ１５が設けられるように露光・現像し
た後、絶縁基板１１のエッチャント、たとえばガラス基
板の場合には弗酸を１吏って、熱′電子放出Ｗ寅の破着
部１３の下部の部分をエツチング除去する。
この場合通常の溶液エツチングでは深さ方向と同程度に
横方向もエツチングされる貧ら、熱電子放出物ｆｉ１７
の被層部１３の巾よシも深く基板１１をエツチングすれ
ば熱電子放出物質１７の被着部１３の下部に間隙１６を
Ｍした構造が得られる。
横方向もエツチングされる貧ら、熱電子放出物ｆｉ１７
の被層部１３の巾よシも深く基板１１をエツチングすれ
ば熱電子放出物質１７の被着部１３の下部に間隙１６を
Ｍした構造が得られる。
その後第４図（ａ） 、 （ｂ）に示すように感光性樹
脂１４を除去し、熱電子放出物質の破着部１３に熱電子
放出物貞１７、例えば（Ｂａ−８ｒ、Ｃａ）ＣＯ３ｅ電
着法等で被層して陰極基板とする。
脂１４を除去し、熱電子放出物質の破着部１３に熱電子
放出物貞１７、例えば（Ｂａ−８ｒ、Ｃａ）ＣＯ３ｅ電
着法等で被層して陰極基板とする。
次にガラス等の透光性の絶縁基板２１（第１図参照ン上
（こ１ｎ、ｕ、 等の透明導１ｍ膜をスプレー法、Ｃ
ＶＤ法・スパッタ法等により仮着した後フォトエツチン
グ法等によシ陽極導体２２を形成する。
（こ１ｎ、ｕ、 等の透明導１ｍ膜をスプレー法、Ｃ
ＶＤ法・スパッタ法等により仮着した後フォトエツチン
グ法等によシ陽極導体２２を形成する。
次に、陰極導体２２上にけい光体層２３を印刷法や電着
法等で仮着きせて陽極基板とする。
法等で仮着きせて陽極基板とする。
前記熱電子放出物’ｊ［１７を配設した陰極基板とけい
光体Ｎ２３を配設した陽極基板を各々の熱電子放出物′
Ｒ１７とけい光体層２３かたがいに対面するように、し
かも陰極導体１２と陽極導体２２が直角をなすように基
板１１と基板２１０間に側面也２４を取付けて箱体を形
成し、内部を排気管２５から排気した後封止して高真空
に保持する。
光体Ｎ２３を配設した陽極基板を各々の熱電子放出物′
Ｒ１７とけい光体層２３かたがいに対面するように、し
かも陰極導体１２と陽極導体２２が直角をなすように基
板１１と基板２１０間に側面也２４を取付けて箱体を形
成し、内部を排気管２５から排気した後封止して高真空
に保持する。
この排気時に陰極導体１２に電圧を印加して被着部１３
０表面に被層されている熱電子放出物質１７の（Ｂａ
ｌ ｓｒ ｌ Ｃａ）ＣＵＢ を分解し、（ＢａｇＳ
ｒ ｅ Ｌ ａ ） ０ に変侠して熱電子放出物憔と
する。
０表面に被層されている熱電子放出物質１７の（Ｂａ
ｌ ｓｒ ｌ Ｃａ）ＣＵＢ を分解し、（ＢａｇＳ
ｒ ｅ Ｌ ａ ） ０ に変侠して熱電子放出物憔と
する。
このように製造されたけい光表示管の発光は、陰極導体
１２のいずれかに逼′−シ、陰極導体２２のいずれかに
正の電位を印加することにより、その通電し、電圧を印
加した陰極導体１２と陰極導体２２の交点に位置するけ
い光体層２３を発光させることにより行われる。
１２のいずれかに逼′−シ、陰極導体２２のいずれかに
正の電位を印加することにより、その通電し、電圧を印
加した陰極導体１２と陰極導体２２の交点に位置するけ
い光体層２３を発光させることにより行われる。
（発明の効果）
以上説明したように本発明のけい光表示管はけい光体層
を配設した陽極と熱電子放出物質を配設した陰極のみで
グリッドをなくした二に！構造が□簡単であシ表示装置
の薄形化や軽量化が容易にできる利点を有している。ま
た本発明のけい光表示管の製造方法は、薄膜技術や厚膜
技術を応用することにより、インライン化が容易であり
、自動化等によるけい光表示管の製造あ大幅なコスト低
減。
を配設した陽極と熱電子放出物質を配設した陰極のみで
グリッドをなくした二に！構造が□簡単であシ表示装置
の薄形化や軽量化が容易にできる利点を有している。ま
た本発明のけい光表示管の製造方法は、薄膜技術や厚膜
技術を応用することにより、インライン化が容易であり
、自動化等によるけい光表示管の製造あ大幅なコスト低
減。
が可能であるという利点を有する。 □
第１図は本発明のけい光表＝管の一実施例の断面図、第
２図（ａ）〜第４図（ａＪはそれｉれ第１図に示すけい
光表示管の製造方法の一実施例を工程順に示す平面図、
第２図（ｂ）〜第４図（ｂ）はそれぞれ第１図（ａ）
−、ｇ ４１Ｗ（ａ）に示ＴＢ＆’断面−１ＣＣ’断面
図右よびＤＬ）’断面図、第ｓ ｒＡ（ａ） 、 （Ｌ
＋）はそれそ′れ蕗１図に示すけい光表示管の陽極基板
の斜視靭およびＡＡ断面図、第６図は従来のけい光表示
管の斜椀図である。 １ 、１．１ 、２１・・・・・・基板、２．２２・・
・・・−陰極導体、３，２３・・・・・・けい光体層、
４・・・・・・陽極、５・・・・・・グリッド、６・・
・・・・フィラメント、７・・・・・・ガラス板、８，
２４・・・・・・＠面板、１２・旧・・陰極導体、１３
・・・・・・熱電子放出物質の被着部、１４・・・・・
・感光性樹脂、１５・・・・−・感光性樹脂の開口部、
１６・旧・・間隙、１７・・・・・・熱電子放出物質、
２５・・・・・・排気管。 稟ＩＴｉＪ Ｓ を２固 を１訂 予５ン ）ｚｔ 手続補正書（方式） １、事件の表示 昭和５９年特 許願第２７２４１
４号２、発明の名称 けい光表示管および製造方法
３、補正をする者 事件との関係 ゛ 出 願 人東京都港区芝五
丁目３３番１号 、、、、、 、、、、（４２３）−日本電気株式会社７
代表者 関本忠弘 ４、代理人 五 補正命令の日付 昭和６０年４月３０日（発
送日）ｂ、 補正の対象 ４、図面の簡単な説明 ７、補正の内容 （＋）明細書第８頁第１９行目の［第２図（ａ）〜第４
図（ａ）はそれぞれ」を１第２図〜第４図の（ａ＞は」
と訂正する。 （２）明細書第９頁第１行目〜第２行目の［第２区（ｂ
）〜第４図（ｂ）はそれぞれ第１図（ａ）〜第４図（ａ
）に」を「第２図〜第４図の（ｂ）は第２図〜第４図の
（ａ＞に」と訂正する。
２図（ａ）〜第４図（ａＪはそれｉれ第１図に示すけい
光表示管の製造方法の一実施例を工程順に示す平面図、
第２図（ｂ）〜第４図（ｂ）はそれぞれ第１図（ａ）
−、ｇ ４１Ｗ（ａ）に示ＴＢ＆’断面−１ＣＣ’断面
図右よびＤＬ）’断面図、第ｓ ｒＡ（ａ） 、 （Ｌ
＋）はそれそ′れ蕗１図に示すけい光表示管の陽極基板
の斜視靭およびＡＡ断面図、第６図は従来のけい光表示
管の斜椀図である。 １ 、１．１ 、２１・・・・・・基板、２．２２・・
・・・−陰極導体、３，２３・・・・・・けい光体層、
４・・・・・・陽極、５・・・・・・グリッド、６・・
・・・・フィラメント、７・・・・・・ガラス板、８，
２４・・・・・・＠面板、１２・旧・・陰極導体、１３
・・・・・・熱電子放出物質の被着部、１４・・・・・
・感光性樹脂、１５・・・・−・感光性樹脂の開口部、
１６・旧・・間隙、１７・・・・・・熱電子放出物質、
２５・・・・・・排気管。 稟ＩＴｉＪ Ｓ を２固 を１訂 予５ン ）ｚｔ 手続補正書（方式） １、事件の表示 昭和５９年特 許願第２７２４１
４号２、発明の名称 けい光表示管および製造方法
３、補正をする者 事件との関係 ゛ 出 願 人東京都港区芝五
丁目３３番１号 、、、、、 、、、、（４２３）−日本電気株式会社７
代表者 関本忠弘 ４、代理人 五 補正命令の日付 昭和６０年４月３０日（発
送日）ｂ、 補正の対象 ４、図面の簡単な説明 ７、補正の内容 （＋）明細書第８頁第１９行目の［第２図（ａ）〜第４
図（ａ）はそれぞれ」を１第２図〜第４図の（ａ＞は」
と訂正する。 （２）明細書第９頁第１行目〜第２行目の［第２区（ｂ
）〜第４図（ｂ）はそれぞれ第１図（ａ）〜第４図（ａ
）に」を「第２図〜第４図の（ｂ）は第２図〜第４図の
（ａ＞に」と訂正する。
Claims (2)
- （１）表面に凹部を有する陰極基板と、この陰極基板と
の間が真空である陽極基板と、前記陰極基板上に配設さ
れた陰極導体と、この陰極導体と連接し前記凹部に位置
して前記陰極基板と間隙を有する熱電子放出部と、前記
陽極基板上に設けられ前記熱電子放出部に対向する位置
にけい光体層を設けた陽極とを含むことを特徴とするけ
い光表示管。 - （２）絶縁基板上に金属膜を被着する工程と、前記金属
膜をパターンエッチングして互いに連接する陰極導体と
熱電子放出部を形成する工程と、前記絶縁基板の前記熱
電子放出部の下部をエッチングして中空にする工程と、
前記熱電子放出部に熱電子放出物質を被着する工程とを
含むことを特徴とするけい光表示管の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27241484A JPS61148755A (ja) | 1984-12-24 | 1984-12-24 | けい光表示管および製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27241484A JPS61148755A (ja) | 1984-12-24 | 1984-12-24 | けい光表示管および製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61148755A true JPS61148755A (ja) | 1986-07-07 |
Family
ID=17513573
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27241484A Pending JPS61148755A (ja) | 1984-12-24 | 1984-12-24 | けい光表示管および製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61148755A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02288133A (ja) * | 1989-04-28 | 1990-11-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子ビーム発生装置 |
| JP2008311063A (ja) * | 2007-06-14 | 2008-12-25 | Futaba Corp | 蛍光発光型表示装置 |
-
1984
- 1984-12-24 JP JP27241484A patent/JPS61148755A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02288133A (ja) * | 1989-04-28 | 1990-11-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子ビーム発生装置 |
| JP2008311063A (ja) * | 2007-06-14 | 2008-12-25 | Futaba Corp | 蛍光発光型表示装置 |
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