JPS60159634A - 異物検出方法 - Google Patents
異物検出方法Info
- Publication number
- JPS60159634A JPS60159634A JP59014505A JP1450584A JPS60159634A JP S60159634 A JPS60159634 A JP S60159634A JP 59014505 A JP59014505 A JP 59014505A JP 1450584 A JP1450584 A JP 1450584A JP S60159634 A JPS60159634 A JP S60159634A
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- JP
- Japan
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- foreign matter
- inspected
- rubber sheet
- conductive rubber
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- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/041—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は異物の検出方法に関する。更に詳しくは、均一
な平滑面に付着した異物を電気的に検出する方法に関す
る。
な平滑面に付着した異物を電気的に検出する方法に関す
る。
プレス加工、樹脂成型等に於いて、加工機や成型機の型
面には常に異物の付着や成型品の断片の付着残留等がみ
られるので、異物の付着や成型品の断片の付着残留等の
有無を点検し、これによる不良品の発生や、型枠の破損
を防止しなければならない。このため従来は単なる目視
による方法や光学的な検出方法等が行われてきた。
面には常に異物の付着や成型品の断片の付着残留等がみ
られるので、異物の付着や成型品の断片の付着残留等の
有無を点検し、これによる不良品の発生や、型枠の破損
を防止しなければならない。このため従来は単なる目視
による方法や光学的な検出方法等が行われてきた。
しかしながら、これらの方法では、目視に於いては作業
者の不確実性及び省力化に対する逆行性等が問題であり
、又、光学的検出方法に於いてはその原理からくる精度
の低さ及び検出器のコスト高等が問題であり、何れにお
いても適切な方法とは言えなかった。
者の不確実性及び省力化に対する逆行性等が問題であり
、又、光学的検出方法に於いてはその原理からくる精度
の低さ及び検出器のコスト高等が問題であり、何れにお
いても適切な方法とは言えなかった。
本発明者はこれらの問題に関し鋭意検討を行った結果、
本発明に到達したものである。
本発明に到達したものである。
即ち、本発明は、表面が被検査面に均等に密着する加圧
導電性ゴムシートを被検査面に均等に押圧し、被検査面
に付着している異物により生ずる加圧導電性ゴムシート
の局部的圧縮による電気伝導率の変化を検出することを
特徴とする異物検出方法である。
導電性ゴムシートを被検査面に均等に押圧し、被検査面
に付着している異物により生ずる加圧導電性ゴムシート
の局部的圧縮による電気伝導率の変化を検出することを
特徴とする異物検出方法である。
以下、本発明を図面によって説明する。
第１図（ａ）に本発明の異物＃出方法に用いる装置の概
念断面図を、第１図（ｂ）に検査板の分解図を示した。
念断面図を、第１図（ｂ）に検査板の分解図を示した。
平滑な被検査面ｌ、に対して平行な面をした抑圧プレー
ト２にくし型の検出電極３を絶縁して張りつげ、この検
出電極３に加圧導電性ゴムシート４を密着して張りつげ
た構造の検査板を被検査面１に均等に押しつげる。この
押しつげ圧力は被検査面１に異物がない場合はゴムシー
トが圧縮されない程度に調節する。従ってこの場合ゴム
シートに導電性はない。なお、くし型の検出電極にはリ
ード線５がとりつけられである。
ト２にくし型の検出電極３を絶縁して張りつげ、この検
出電極３に加圧導電性ゴムシート４を密着して張りつげ
た構造の検査板を被検査面１に均等に押しつげる。この
押しつげ圧力は被検査面１に異物がない場合はゴムシー
トが圧縮されない程度に調節する。従ってこの場合ゴム
シートに導電性はない。なお、くし型の検出電極にはリ
ード線５がとりつけられである。
しかし、第１図（ｃ）のように被検査面に異物６が付着
している場合は、その部分のゴムシート４に異物６が強
くあたり、ゴムシート４を局部的に圧縮するため、圧縮
された部分７が導電性となり、くし型電極の一部分を短
絡させることになる。
している場合は、その部分のゴムシート４に異物６が強
くあたり、ゴムシート４を局部的に圧縮するため、圧縮
された部分７が導電性となり、くし型電極の一部分を短
絡させることになる。
（し型電極のリード線５０両端には適当な電位を与えて
おき、短絡による電流、又は電位の変化を検出する様に
しておけば異物の存在を検出することが出来るのである
。
おき、短絡による電流、又は電位の変化を検出する様に
しておけば異物の存在を検出することが出来るのである
。
第２図は呻査器をローラー状として比較的広い被検査面
を被検査面に等しい巾を持った検査ローラーにより転圧
して、異物を検査出来る様にしたものの例である。
を被検査面に等しい巾を持った検査ローラーにより転圧
して、異物を検査出来る様にしたものの例である。
第２図（ａ）はその適用状態を示す斜視図であり、第２
図（ｂ）はローラー状の検査器の１部を拡大して示した
ものであり、一番内側が抑圧ローラー２であり、この上
に（し型の電極３が設けられ、さらに最外側に加圧導電
性ゴムシート４が設けられている。
図（ｂ）はローラー状の検査器の１部を拡大して示した
ものであり、一番内側が抑圧ローラー２であり、この上
に（し型の電極３が設けられ、さらに最外側に加圧導電
性ゴムシート４が設けられている。
第３図は検出電極３により加圧導電性ゴムシート４を挟
み、サンドイッチ構造の検査器とした例である。本例に
於ては押圧プレート２が検出電極の一方を兼ねる構造と
なっている。他方被検査面１に面する検出電極３は導電
性樹脂膜、金属箔、又は金属蒸着、メッキ等により成り
、場合により被検査面に対して電気絶縁性となる様表面
被膜を施してお（。
み、サンドイッチ構造の検査器とした例である。本例に
於ては押圧プレート２が検出電極の一方を兼ねる構造と
なっている。他方被検査面１に面する検出電極３は導電
性樹脂膜、金属箔、又は金属蒸着、メッキ等により成り
、場合により被検査面に対して電気絶縁性となる様表面
被膜を施してお（。
また、第３図において第４図のごとく検出電極３を幾条
もの電極とし、抑圧プレート２と加圧導電性ゴムシート
４との間に検出電極と直交する方向に幾条もの電極８を
設けることにより、異物の存在とともにその異物の位置
も検出可能となる。なお、検出電極３の外には絶縁フィ
ルム９をはり、電極相互が短絡しないようにしておくこ
とが望まれる。
もの電極とし、抑圧プレート２と加圧導電性ゴムシート
４との間に検出電極と直交する方向に幾条もの電極８を
設けることにより、異物の存在とともにその異物の位置
も検出可能となる。なお、検出電極３の外には絶縁フィ
ルム９をはり、電極相互が短絡しないようにしておくこ
とが望まれる。
本発明の異物検出方法は、加圧導電性ゴムシートの局部
的圧縮による電気伝導率の変化を検出することを利用し
たものであるので、その検出の精度は高く、かつきわめ
て簡便である。
的圧縮による電気伝導率の変化を検出することを利用し
たものであるので、その検出の精度は高く、かつきわめ
て簡便である。
また、電極の配置よってはその異物の存在する位置も容
易に検出することが可能であるので、産業上の利用価値
はきわめて高い。
易に検出することが可能であるので、産業上の利用価値
はきわめて高い。
第１図は本発明の異物検出方法に用いる装置の１例であ
り、第１図（ａ）はその概念断面図、第１図（ｂ）は検
出板の構造を分解して示した斜視図であり、第１図（Ｃ
）は異物６のはさまった場合の断面図である。 第２図は検出板がローラーとした例であり、第２図（ａ
）は斜視図、第２図（ｂ）はローラーの部分拡大断面図
である。 第３・図、第４図は加圧導電性ゴムシート４０両側に電
極をおいた場合の例であり、第３図は交するようにした
断面図（第４図（ａ））と検出板の構造を分解して示し
た斜視図（第４図０）である。 図において、１は被検査面、２は抑圧プレート、２は押
圧ロール、３は電極、４は加圧導電ゴムシート、５はリ
ード線、６は被検査面上の異物、７は異物により圧縮さ
れたゴムシート、８は３に対する電極および９は絶縁フ
ィルムである。 特許出願人 三井東圧化学株式会社 第１図（ａ） 第１図（Ｃ） 第１図（ｂ） 第２図（ａ） 第 ３ 図 第４図（ａ） 第 ４ 図 （ｂ） ２ ８ ４ ３９ 手 続 補 正 書 （白：ｌｅ、） １、事件の表示 昭和５９年特許願第１４５０５号 ３、補正をする者 ４、補正の対象
り、第１図（ａ）はその概念断面図、第１図（ｂ）は検
出板の構造を分解して示した斜視図であり、第１図（Ｃ
）は異物６のはさまった場合の断面図である。 第２図は検出板がローラーとした例であり、第２図（ａ
）は斜視図、第２図（ｂ）はローラーの部分拡大断面図
である。 第３・図、第４図は加圧導電性ゴムシート４０両側に電
極をおいた場合の例であり、第３図は交するようにした
断面図（第４図（ａ））と検出板の構造を分解して示し
た斜視図（第４図０）である。 図において、１は被検査面、２は抑圧プレート、２は押
圧ロール、３は電極、４は加圧導電ゴムシート、５はリ
ード線、６は被検査面上の異物、７は異物により圧縮さ
れたゴムシート、８は３に対する電極および９は絶縁フ
ィルムである。 特許出願人 三井東圧化学株式会社 第１図（ａ） 第１図（Ｃ） 第１図（ｂ） 第２図（ａ） 第 ３ 図 第４図（ａ） 第 ４ 図 （ｂ） ２ ８ ４ ３９ 手 続 補 正 書 （白：ｌｅ、） １、事件の表示 昭和５９年特許願第１４５０５号 ３、補正をする者 ４、補正の対象
Claims (1)
- １、表面が被検査面に均等に密着する加圧導電性ゴムシ
ートを被検査面に均等に押圧し、被検査面に付着してい
る異物により生ずる加圧導電性ゴムシートの局部的圧縮
による電気伝導率の変化を検出することを特徴とする異
物検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59014505A JPS60159634A (ja) | 1984-01-31 | 1984-01-31 | 異物検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59014505A JPS60159634A (ja) | 1984-01-31 | 1984-01-31 | 異物検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60159634A true JPS60159634A (ja) | 1985-08-21 |
Family
ID=11862919
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59014505A Pending JPS60159634A (ja) | 1984-01-31 | 1984-01-31 | 異物検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60159634A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013149961A1 (en) * | 2012-04-02 | 2013-10-10 | Asml Netherlands B.V. | Particulate contamination measurement method and apparatus |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58225379A (ja) * | 1982-06-24 | 1983-12-27 | Kureha Chem Ind Co Ltd | 応力検出装置 |
-
1984
- 1984-01-31 JP JP59014505A patent/JPS60159634A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58225379A (ja) * | 1982-06-24 | 1983-12-27 | Kureha Chem Ind Co Ltd | 応力検出装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013149961A1 (en) * | 2012-04-02 | 2013-10-10 | Asml Netherlands B.V. | Particulate contamination measurement method and apparatus |
| CN104204954A (zh) * | 2012-04-02 | 2014-12-10 | Asml荷兰有限公司 | 微粒污染物测量方法和装置 |
| US9638643B2 (en) | 2012-04-02 | 2017-05-02 | Asml Netherlands B.V. | Particulate contamination measurement method and apparatus |
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