JPS60157277A - 軸流型無声放電励起ガスレ−ザ−装置 - Google Patents
軸流型無声放電励起ガスレ−ザ−装置Info
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- JPS60157277A JPS60157277A JP1095084A JP1095084A JPS60157277A JP S60157277 A JPS60157277 A JP S60157277A JP 1095084 A JP1095084 A JP 1095084A JP 1095084 A JP1095084 A JP 1095084A JP S60157277 A JPS60157277 A JP S60157277A
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- Japan
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- discharge
- discharge tube
- center
- electrode
- flow type
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は軸流型無声放電励起ガスレーザー装置に関す
るものであり、良質なレーザー光を出力することができ
るようにしたものでろる。
るものであり、良質なレーザー光を出力することができ
るようにしたものでろる。
従来この種の装置として第１図および第２図に示すもの
が知られている。図において、符号（１）は放電管であ
り、誘電体により略円筒状に構成され、該放電管にはレ
ーザー媒質ガス（２）が適宜の手段により供給されてい
る。（３Ａ）、（３Ｂ＞は電極であり、これらの電極は
上記放電管（１）の外側に密着する如く対向して配設さ
れ、かつ該電極間には交流電源（４）が接続されている
。
が知られている。図において、符号（１）は放電管であ
り、誘電体により略円筒状に構成され、該放電管にはレ
ーザー媒質ガス（２）が適宜の手段により供給されてい
る。（３Ａ）、（３Ｂ＞は電極であり、これらの電極は
上記放電管（１）の外側に密着する如く対向して配設さ
れ、かつ該電極間には交流電源（４）が接続されている
。
この交流電源（４）により電極（３Ａ）、（３Ｂ）間に
交流電圧が印加されると、上記放電（１）内に無声放電
（５）が発生し、該放電管の端部に設けられた全反射鏡
（６）と部分透過鏡（７）との間でレーザー発振を生ず
る。該レーザー発振によるレーザー光（８）は上記部分
透過鏡（７）側から出力され、レーザー加工等に用いら
れる。
交流電圧が印加されると、上記放電（１）内に無声放電
（５）が発生し、該放電管の端部に設けられた全反射鏡
（６）と部分透過鏡（７）との間でレーザー発振を生ず
る。該レーザー発振によるレーザー光（８）は上記部分
透過鏡（７）側から出力され、レーザー加工等に用いら
れる。
ところで、上記した電極＜３Ａｌ、（３ＢＩ間の距離は
、その中心部分は長いが端部は短くなり、このため上記
無声放電（５）は電極（３Ａ）、（３Ｂ）の端部におい
て強く発生する。図では、無声数！（５）の強い部分を
濃く書き記しである。
、その中心部分は長いが端部は短くなり、このため上記
無声放電（５）は電極（３Ａ）、（３Ｂ）の端部におい
て強く発生する。図では、無声数！（５）の強い部分を
濃く書き記しである。
従来の軸流型無声放電励起ガスレーザー装置は上記した
ように構成されているので、無声放電（５）が均一には
ならず、電極（３Ａ１．（３Ｂ）の端部（９）に電界が
集中して、放電管（１）を絶縁破壊することがあるとい
う欠点があり、またレーザー発振が均一でないため、レ
ーザー発振の良質なモードとされるジノダルモードが得
にくいという欠点があった。
ように構成されているので、無声放電（５）が均一には
ならず、電極（３Ａ１．（３Ｂ）の端部（９）に電界が
集中して、放電管（１）を絶縁破壊することがあるとい
う欠点があり、またレーザー発振が均一でないため、レ
ーザー発振の良質なモードとされるジノダルモードが得
にくいという欠点があった。
この発明は上記した従来の欠点を除去するもので、誘電
体により構成された略円筒状の放電管と該放電管の内側
にレーザー媒質ガスを流す手段と、該放電管の外側に配
設された電極とを備え、該電極に交流電圧を印加し、該
放電管内に無声放電を発生させることにより上記レーザ
ー媒質ガスを励起し、レーザー光を発生する軸流型無声
放電励起ガスレーザー装置において、上記誘電体よりな
る放電管の厚みが、上記電極の中心部分では薄く、かつ
該中心より遠くなるのに従って厚くなるように該放電管
を構成することにより、上記電極に交流電圧を印加する
ことによって得られる放電空間を均一なものとすること
ができ、従って良質なレーザー光を出力することができ
る軸流型無声放電励起ガスレーザー装置を補供するもの
である。
体により構成された略円筒状の放電管と該放電管の内側
にレーザー媒質ガスを流す手段と、該放電管の外側に配
設された電極とを備え、該電極に交流電圧を印加し、該
放電管内に無声放電を発生させることにより上記レーザ
ー媒質ガスを励起し、レーザー光を発生する軸流型無声
放電励起ガスレーザー装置において、上記誘電体よりな
る放電管の厚みが、上記電極の中心部分では薄く、かつ
該中心より遠くなるのに従って厚くなるように該放電管
を構成することにより、上記電極に交流電圧を印加する
ことによって得られる放電空間を均一なものとすること
ができ、従って良質なレーザー光を出力することができ
る軸流型無声放電励起ガスレーザー装置を補供するもの
である。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第６
図は放電管の断面を示すものであり、上記実施例で説明
した第２図に対応するものである。
図は放電管の断面を示すものであり、上記実施例で説明
した第２図に対応するものである。
この第６図において、前記の第１図捷たは第２図と同一
符号は同一または相当部分を示すものであるが、上記の
ように誘電体により構成された略円筒状の放電管（１）
の厚みが、上記電極（３Ａｌ、 （３Ｂ＋の中心部分で
は薄く、かつ該中心より遠くなるのに従って厚くなるよ
うに該放電管が構成されている。このように構成された
放電管（１）の部位ＣＬＯは部位αυに比較して、該放
電管を構成する誘電体による静電容量が大きく、このた
め交流に対するインピーダンスが高くなり、この放電管
（１）の電極（３Ａｌ。
符号は同一または相当部分を示すものであるが、上記の
ように誘電体により構成された略円筒状の放電管（１）
の厚みが、上記電極（３Ａｌ、 （３Ｂ＋の中心部分で
は薄く、かつ該中心より遠くなるのに従って厚くなるよ
うに該放電管が構成されている。このように構成された
放電管（１）の部位ＣＬＯは部位αυに比較して、該放
電管を構成する誘電体による静電容量が大きく、このた
め交流に対するインピーダンスが高くなり、この放電管
（１）の電極（３Ａｌ。
（６Ｂ）に前記交流電源（４）から交流電圧を印加する
と、上記電極（３Ａｌ、（３Ｂ＋における部位αＱでの
放′屯距離が部位αりでの放電距離に比較して長くなり
、このため放電電圧が高くなるが、無声放電（５）の′
ｖＬ流は均一になり、均一な放電空間を得ることができ
る。
と、上記電極（３Ａｌ、（３Ｂ＋における部位αＱでの
放′屯距離が部位αりでの放電距離に比較して長くなり
、このため放電電圧が高くなるが、無声放電（５）の′
ｖＬ流は均一になり、均一な放電空間を得ることができ
る。
上記実施例では、誘電体により構成された略円筒状の放
電管（１）の厚みが、電極（３Ａ１．（３Ｂ）の中心部
分では薄く、かつ該中心より遠くなるのに従って厚くな
るように該放電管の形状を構成したが、第４図に示すよ
うに、放電管（１，１にｉｔｉ、極（３Ａｌ。
電管（１）の厚みが、電極（３Ａ１．（３Ｂ）の中心部
分では薄く、かつ該中心より遠くなるのに従って厚くな
るように該放電管の形状を構成したが、第４図に示すよ
うに、放電管（１，１にｉｔｉ、極（３Ａｌ。
（６Ｂ）の中心部分では薄く、かつ該中心より遠くなる
のに従って厚くなる形状を有する誘電体（６）を添設し
て実質上放電管（１）の厚みが、電極（３Ａ ） 。
のに従って厚くなる形状を有する誘電体（６）を添設し
て実質上放電管（１）の厚みが、電極（３Ａ ） 。
（６Ｂ）の中心部分では薄く、かつ該中心より遠くなる
のに従って厚゛くなるようにしても、同様の効果が得ら
れる。尚、第４図において、第６図と同一符号は同一ま
たは相当部分を示すものである。
のに従って厚゛くなるようにしても、同様の効果が得ら
れる。尚、第４図において、第６図と同一符号は同一ま
たは相当部分を示すものである。
この発明は上記したように、誘電体により構成された略
円筒状の放電管１と該放電管の内側にレーザー媒質ガス
（２）を流す手段と、該放電管の外側に配設された電極
（３Ａ）、（３Ｂ）とを備え、該電極に交流電源（４）
からの交流電圧を印加し、該放電管内に無声放電（５）
を発生させることにより上記レーザー媒質ガス（２）を
励起し、レーザー光８を発生する軸流型無声放電励起ガ
スレーザー装置において、上記誘電体よりなる放電管（
１）の厚みが、上記電極（３Ａ）、（ｉ）の中心部分で
は薄く、かつ該中心より遠くなるのに従って厚くなるよ
うに該放電管を構成したから、放電空間は均一なものと
なり、良質なレーザー光を出力することができる。
円筒状の放電管１と該放電管の内側にレーザー媒質ガス
（２）を流す手段と、該放電管の外側に配設された電極
（３Ａ）、（３Ｂ）とを備え、該電極に交流電源（４）
からの交流電圧を印加し、該放電管内に無声放電（５）
を発生させることにより上記レーザー媒質ガス（２）を
励起し、レーザー光８を発生する軸流型無声放電励起ガ
スレーザー装置において、上記誘電体よりなる放電管（
１）の厚みが、上記電極（３Ａ）、（ｉ）の中心部分で
は薄く、かつ該中心より遠くなるのに従って厚くなるよ
うに該放電管を構成したから、放電空間は均一なものと
なり、良質なレーザー光を出力することができる。
第１図は従来の軸流型無声放電励起ガスレーザー装置を
示す縦断正面図、第２図は第１図のものの拡大縦断側面
図、第６図はこの発明の一実施例を示す軸流型無声放電
励起ガスレーザー装置の縦断側面図、第４図は他の実施
例を示す縦断側面図である。 １：放電管、２：レーザー媒質ガス、３Ａ、 ５Ｂ：電
極、４：交流電源、５：無声放電、８：レーブー光、１
２：誘電体。 なお、同一符号は同−又は相当部を示すものとする。 代理人弁理士 木 村 三 朗
示す縦断正面図、第２図は第１図のものの拡大縦断側面
図、第６図はこの発明の一実施例を示す軸流型無声放電
励起ガスレーザー装置の縦断側面図、第４図は他の実施
例を示す縦断側面図である。 １：放電管、２：レーザー媒質ガス、３Ａ、 ５Ｂ：電
極、４：交流電源、５：無声放電、８：レーブー光、１
２：誘電体。 なお、同一符号は同−又は相当部を示すものとする。 代理人弁理士 木 村 三 朗
Claims (1)
- 誘電体により構成された略円筒状の放電管と該放電管の
内側にレーザー媒質ガスを流す手段と、該放電管の外側
に配設された電極とを備え、該電極に交流電圧を印加し
、該放′屯管内に無声放電を発生させることにより上記
レーザー媒質ガスを励起し、レーザー光を発生する軸流
型無声放電励起カスレーザー装置において、上記誘電体
より々る放′亀管の厚みが、上記電極の中心部分では薄
く、かつ該中心より遠くなるのに従って厚くなるように
該放電管を構成したことを特徴とする軸流型無声放電励
起ガスレーザー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1095084A JPS60157277A (ja) | 1984-01-26 | 1984-01-26 | 軸流型無声放電励起ガスレ−ザ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1095084A JPS60157277A (ja) | 1984-01-26 | 1984-01-26 | 軸流型無声放電励起ガスレ−ザ−装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60157277A true JPS60157277A (ja) | 1985-08-17 |
| JPH0239870B2 JPH0239870B2 (ja) | 1990-09-07 |
Family
ID=11764475
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1095084A Granted JPS60157277A (ja) | 1984-01-26 | 1984-01-26 | 軸流型無声放電励起ガスレ−ザ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60157277A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS647669A (en) * | 1987-06-30 | 1989-01-11 | Komatsu Mfg Co Ltd | Gas laser oscillator |
| WO1989010017A1 (en) * | 1988-04-08 | 1989-10-19 | Fanuc Ltd | Discharge tube for a gas laser device |
| US5151916A (en) * | 1988-09-09 | 1992-09-29 | Fanuc Ltd. | Electric discharge tube for gas laser |
| WO2017192285A1 (en) * | 2016-05-05 | 2017-11-09 | Access Laser | Dielectric electrode assembly and method of manufacture thereof |
| US10593776B2 (en) | 2016-05-05 | 2020-03-17 | Auroma Technologies, Co., Llc. | Dielectric electrode assembly and method of manufacture thereof |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4359777A (en) * | 1981-01-22 | 1982-11-16 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | High efficiency transversely excited electrodeless gas lasers |
-
1984
- 1984-01-26 JP JP1095084A patent/JPS60157277A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4359777A (en) * | 1981-01-22 | 1982-11-16 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | High efficiency transversely excited electrodeless gas lasers |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS647669A (en) * | 1987-06-30 | 1989-01-11 | Komatsu Mfg Co Ltd | Gas laser oscillator |
| JP2640345B2 (ja) * | 1987-06-30 | 1997-08-13 | 株式会社小松製作所 | ガスレーザ発振装置 |
| WO1989010017A1 (en) * | 1988-04-08 | 1989-10-19 | Fanuc Ltd | Discharge tube for a gas laser device |
| US5151916A (en) * | 1988-09-09 | 1992-09-29 | Fanuc Ltd. | Electric discharge tube for gas laser |
| WO2017192285A1 (en) * | 2016-05-05 | 2017-11-09 | Access Laser | Dielectric electrode assembly and method of manufacture thereof |
| CN109155498A (zh) * | 2016-05-05 | 2019-01-04 | 奥罗玛技术有限责任公司D/B/A大通激光公司 | 电介质电极组合件及其制造方法 |
| US10333268B2 (en) | 2016-05-05 | 2019-06-25 | Access Laser | Dielectric electrode assembly and method of manufacture thereof |
| EP3453084A4 (en) * | 2016-05-05 | 2020-02-05 | Auroma Technologies, Co., LLC D/B/A Access Laser Company | DIELECTRIC ELECTRODE ASSEMBLY AND MANUFACTURING METHOD THEREOF |
| US10593776B2 (en) | 2016-05-05 | 2020-03-17 | Auroma Technologies, Co., Llc. | Dielectric electrode assembly and method of manufacture thereof |
| CN109155498B (zh) * | 2016-05-05 | 2021-01-01 | 奥罗玛技术有限责任公司D/B/A大通激光公司 | 电介质电极组合件及其制造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0239870B2 (ja) | 1990-09-07 |
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