JPS61168277A - 横励起形ガスレ−ザ装置 - Google Patents
横励起形ガスレ−ザ装置Info
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- JPS61168277A JPS61168277A JP750585A JP750585A JPS61168277A JP S61168277 A JPS61168277 A JP S61168277A JP 750585 A JP750585 A JP 750585A JP 750585 A JP750585 A JP 750585A JP S61168277 A JPS61168277 A JP S61168277A
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- Japan
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- electrodes
- main
- discharge
- ionization
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、横励起形ガスレーザ装置に関する。
横励起形ガスレーザ装置、たとえばＴＥＡＣＯ２レーザ
やエキシマレーザなどのパルスガスレーザ装置は、少く
とも相対向する一対の主電極と、この主電極間に大電流
の主放電を生起させるために、この主電極間に介在する
レーザ媒質を電離させる放射を発生する電離装置とを備
える。上記主放電は、主電極に１０〜５０ｋＶ程度の高
電圧を印加し、この状態において、上記電離装置により
主電極間に放射を導入して、この主電極間に介在するレ
ーザ媒質を電離させることにより生起する。このレーザ
媒質を電離させる放射としては、従来より、電子、コロ
ナ放電により生起する電荷、Ｘ線、紫外線などが用いら
れることが知られている。
やエキシマレーザなどのパルスガスレーザ装置は、少く
とも相対向する一対の主電極と、この主電極間に大電流
の主放電を生起させるために、この主電極間に介在する
レーザ媒質を電離させる放射を発生する電離装置とを備
える。上記主放電は、主電極に１０〜５０ｋＶ程度の高
電圧を印加し、この状態において、上記電離装置により
主電極間に放射を導入して、この主電極間に介在するレ
ーザ媒質を電離させることにより生起する。このレーザ
媒質を電離させる放射としては、従来より、電子、コロ
ナ放電により生起する電荷、Ｘ線、紫外線などが用いら
れることが知られている。
このうち紫外線を用いるものとして、先端を同軸に対向
させたアーク放電電極を主電極間の側方に設置し、これ
ら電極にパルス電圧を印加してアーク放電を起させて、
この放電アーク中の紫外線を利用するように構成したも
のがある。
させたアーク放電電極を主電極間の側方に設置し、これ
ら電極にパルス電圧を印加してアーク放電を起させて、
この放電アーク中の紫外線を利用するように構成したも
のがある。
一般に、主電極間に大電流の主放電を確実かつ均一に生
起させるためには、この主電極間に介在するレーザ媒質
を均一かつ十分に予備電離させることが必要である。そ
のためには、紫外線を電離用放射とする場合は、多量の
紫外線を主電極間に均一に分配されるように導入するこ
とが必要であり、その一方法として、主電極の長手方向
に沿って多数のアーク放電電極を並設することが考えら
れる。しかしこのように多数のアーク放電電極を並設す
ることは、レーザ装置の構造」二不可能に近く、実施困
難である。
起させるためには、この主電極間に介在するレーザ媒質
を均一かつ十分に予備電離させることが必要である。そ
のためには、紫外線を電離用放射とする場合は、多量の
紫外線を主電極間に均一に分配されるように導入するこ
とが必要であり、その一方法として、主電極の長手方向
に沿って多数のアーク放電電極を並設することが考えら
れる。しかしこのように多数のアーク放電電極を並設す
ることは、レーザ装置の構造」二不可能に近く、実施困
難である。
この発明は、横励起形ガスレーザ装置において、レーザ
媒質を電離させる放射を主電極間に多量かつ均一に分配
して、予備電離を効果的におこなうことができるように
構成することを目的とする。
媒質を電離させる放射を主電極間に多量かつ均一に分配
して、予備電離を効果的におこなうことができるように
構成することを目的とする。
相対向する少くとも一対の主電極と、この主電極間の側
方に配置され、この主電極間に介在するレーザ媒質を電
離させる放射を発生する電離装置を備える横励起形ガス
レーザ装置において、上記電離装置からの放射を上記主
電極間方向に反射する反射体を設けて、電離装置から四
方に放出される放射を主電極間方向に指向させるように
構成した。
方に配置され、この主電極間に介在するレーザ媒質を電
離させる放射を発生する電離装置を備える横励起形ガス
レーザ装置において、上記電離装置からの放射を上記主
電極間方向に反射する反射体を設けて、電離装置から四
方に放出される放射を主電極間方向に指向させるように
構成した。
以下、図面を参照してこの発明を実施例に基づいて説明
する。
する。
第１図および第２図に紫外線を利用した横励起形ガスレ
ーザ装置の一例を示す。このガスレーザ装置は、放電室
（１）内に一対の板状の主電極（２）。
ーザ装置の一例を示す。このガスレーザ装置は、放電室
（１）内に一対の板状の主電極（２）。
（３）が相対向して設置され、この主電極（２） 、
（３）間の放電空間（４）の両側に、一方の主電極（２
）の側面に沿って紫外線を放射する一対の電離装置（５
） 、 （５）が設けられている。
（３）間の放電空間（４）の両側に、一方の主電極（２
）の側面に沿って紫外線を放射する一対の電離装置（５
） 、 （５）が設けられている。
上記一対の電離装置（５）、（５）は、アーク放電を発
生するように構成されたものであり、それぞれ先端部が
同軸に対向する複数本の棒状のアーク放電電極（７）を
有し、その一方の電極（８ａ）は一方の主電極（２）を
支持する支持部（９）に、また他方の電極（８ｂ）は、
その先端部側がＵ字状に折曲されて、基端部が絶縁体（
１０）を介して上記放電室（１）に固定されている。し
かしてこの他方の電極（８ｂ）の中間部には、これら電
極（８ａ）、 （８ｂ）の先端間に発生する放電アーク
中の紫外線（１１）を主電極（２）、（３）開方向に反
射するアルミニウム板などからなる反射体（１２）が、
主電極（２）の側面に沿って、複数本の他方の電極（８
ｂ）と一体に設けられている。
生するように構成されたものであり、それぞれ先端部が
同軸に対向する複数本の棒状のアーク放電電極（７）を
有し、その一方の電極（８ａ）は一方の主電極（２）を
支持する支持部（９）に、また他方の電極（８ｂ）は、
その先端部側がＵ字状に折曲されて、基端部が絶縁体（
１０）を介して上記放電室（１）に固定されている。し
かしてこの他方の電極（８ｂ）の中間部には、これら電
極（８ａ）、 （８ｂ）の先端間に発生する放電アーク
中の紫外線（１１）を主電極（２）、（３）開方向に反
射するアルミニウム板などからなる反射体（１２）が、
主電極（２）の側面に沿って、複数本の他方の電極（８
ｂ）と一体に設けられている。
なお、このガスレーザ装置は、一方の主電極（２）が抵
抗（１４）、 （１５）を介して電源部に接続された主
放電用コンデンサ（１６）の一方の電極に接続され、−
４＝ 他方の主電極（３）がスイッチ（１７）を介して上記主
放電用コンデンサの他方の電極に接続されている。
抗（１４）、 （１５）を介して電源部に接続された主
放電用コンデンサ（１６）の一方の電極に接続され、−
４＝ 他方の主電極（３）がスイッチ（１７）を介して上記主
放電用コンデンサの他方の電極に接続されている。
また上記各電離装置（５）の一方の電極（８ａ）は、支
持部（９）を介して一方の主電極（２）と同電位に保持
され、他方の電極（８ｂ）は、コンデンサ（１８）を介
して上記他方の主電極（３）と並列に接続されている。
持部（９）を介して一方の主電極（２）と同電位に保持
され、他方の電極（８ｂ）は、コンデンサ（１８）を介
して上記他方の主電極（３）と並列に接続されている。
このガスレーザ装置のレーザ発振はつぎのようにおこな
われる。
われる。
まず、スイッチ（１７）を開成した状態で、電源部との
間に挿入された抵抗（１４）、 （１５）を介して主放
電コンデンサ（１６）に高電圧を充電する。しかるのち
スイッチ（１７）を開成すると、この主放電コンデンサ
（１６）に充電された高電圧が主電極（２）、（３）に
印加され、それと同時にコンデンサ（１８）を介して電
離装置（５）の各アーク放電電極（７）の先端間にアー
ク放電が発生し、そしてこのアーク放電の電流により各
コンデンサ（１８）が充電される。また、上記電極（７
）間に発生した放電アーク中の紫外線（１１）は、一部
は直接主電極（２） 、 （３）開方向に放射されるが
、反対方向に放射された紫外線は、反射体（１２）によ
り主電極（２） 、 （３）開方向に反射される。
間に挿入された抵抗（１４）、 （１５）を介して主放
電コンデンサ（１６）に高電圧を充電する。しかるのち
スイッチ（１７）を開成すると、この主放電コンデンサ
（１６）に充電された高電圧が主電極（２）、（３）に
印加され、それと同時にコンデンサ（１８）を介して電
離装置（５）の各アーク放電電極（７）の先端間にアー
ク放電が発生し、そしてこのアーク放電の電流により各
コンデンサ（１８）が充電される。また、上記電極（７
）間に発生した放電アーク中の紫外線（１１）は、一部
は直接主電極（２） 、 （３）開方向に放射されるが
、反対方向に放射された紫外線は、反射体（１２）によ
り主電極（２） 、 （３）開方向に反射される。
かくして主電極（２）、（３）間には多量の紫外線が均
一に入射して、この主電極（２）、（３）間に介在する
レーザ媒質を主放電開始に十分な程かつ均一に電離させ
、この電離に基づいて主電極（２）、（３）間に大電流
の主放電を開始させる。この主放電は、上記主放電コン
デンサ（１６）の放電のほか、アーク放電電極（７）間
のアーク放電を通じて充電されたコンデンサ（１８）の
逆流により、一定時間継続し、それによりこの主電極（
２） 、 （３）の両端外方に設置された光共振器を構
成する一方のミラーを通ってパルスレーザが放出される
。
一に入射して、この主電極（２）、（３）間に介在する
レーザ媒質を主放電開始に十分な程かつ均一に電離させ
、この電離に基づいて主電極（２）、（３）間に大電流
の主放電を開始させる。この主放電は、上記主放電コン
デンサ（１６）の放電のほか、アーク放電電極（７）間
のアーク放電を通じて充電されたコンデンサ（１８）の
逆流により、一定時間継続し、それによりこの主電極（
２） 、 （３）の両端外方に設置された光共振器を構
成する一方のミラーを通ってパルスレーザが放出される
。
」１記のようにアーク放電電極（７）間に発生する放電
アーク中の紫外線（１１）を主電極（２）、（３）開方
向に反射する反射体（１２）を設けて、電離用放射とし
て紫外線（１１）を主電極（２）、（３）間に均一に分
布するように集中すると、主放電の開始に必要な主電極
（２） 、 （３）間のレーザ媒質の電離を確実におこ
なうことができ、毎回安定したパルスレーザを発振させ
ることができる。
アーク中の紫外線（１１）を主電極（２）、（３）開方
向に反射する反射体（１２）を設けて、電離用放射とし
て紫外線（１１）を主電極（２）、（３）間に均一に分
布するように集中すると、主放電の開始に必要な主電極
（２） 、 （３）間のレーザ媒質の電離を確実におこ
なうことができ、毎回安定したパルスレーザを発振させ
ることができる。
また、主電極（２）、（３）間に多量の紫外線（１１）
を均一に分配できるようになっているので、高い均一な
放電電流密度を有するシャワー放電が確保され、均一な
強度分布をもつパルスレーザが容易に得られるようにな
った。
を均一に分配できるようになっているので、高い均一な
放電電流密度を有するシャワー放電が確保され、均一な
強度分布をもつパルスレーザが容易に得られるようにな
った。
つぎに他の実施例について述べる。
」１記実施例では、主電極間の両側に電離装置を配設し
、各電離装置に対応して反射体を設けたが、第３図に示
すように、主電極（２） 、 （３）間の一側に電離装
置（５）を配設し、反射体（１２）を主電極（２）。
、各電離装置に対応して反射体を設けたが、第３図に示
すように、主電極（２） 、 （３）間の一側に電離装
置（５）を配設し、反射体（１２）を主電極（２）。
（３）間の放電空間（４）を挟んで対向する如く両側に
配設してもよい。なおこの図示例のように反射体（１２
）の反射面を凹面とすることは任意である。
配設してもよい。なおこの図示例のように反射体（１２
）の反射面を凹面とすることは任意である。
また上記実施例では、アーク放電により紫外線を放射す
る電離装置を示したが、紫外線はアーク放電以外の方法
で発生させてもよい。
る電離装置を示したが、紫外線はアーク放電以外の方法
で発生させてもよい。
またこの発明は、放射として紫外線以外のものを利用す
る場合についても、その要旨を変更しない範囲において
適用することができる。
る場合についても、その要旨を変更しない範囲において
適用することができる。
主電極間の側方に電離装置が設けられた横励起形ガスレ
ーザ装置において、レーザ媒質を電離する放射を反射す
る反射体を設けて、電離装置から放射される放射を主電
極間に多量かつ均＝−に分配できるようにしたので、高
い均一な放電電流密度を有する放電を確保することがで
き、均一な強度分布をもつパルスレーザを安定して発振
させることができる。
ーザ装置において、レーザ媒質を電離する放射を反射す
る反射体を設けて、電離装置から放射される放射を主電
極間に多量かつ均＝−に分配できるようにしたので、高
い均一な放電電流密度を有する放電を確保することがで
き、均一な強度分布をもつパルスレーザを安定して発振
させることができる。
第１図はこの発明の一実施例である紫外線を利用した横
励起形ガスレーザ装置の構成を示す正面図、第２図はそ
のｎ−ｎ線断面矢視図、第３図は他の実施例の要部を示
す正面図である。
励起形ガスレーザ装置の構成を示す正面図、第２図はそ
のｎ−ｎ線断面矢視図、第３図は他の実施例の要部を示
す正面図である。
Claims (5)
- （１）相対向する少くとも一対の主電極と、この主電極
間の側方に配設され、この主電極間に介在するレーザ媒
質を電離させるための放射を発生する電離装置と、この
電離装置からの放射を上記主電極間方向に反射させる反
射体とを具備することを特徴とする横励起形ガスレーザ
装置。 - （２）電離装置は主電極間を挟んでその両側に配設され
、反射体は上記各電離装置に対応して設けられているこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の横励起形ガ
スレーザ装置。 - （３）電離装置は主電極間の一側に配設され、反射体は
この主電極間を挟んで上記電離装置と対向する如く上記
主電極間の他側に設けられていることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の横励起形ガスレーザ装置。 - （４）電離装置は放射として紫外線を発生する紫外線発
生装置であることを特徴とする特許請求の範囲第１項な
いし第３項いずれか記載の横励起形ガスレーザ装置。 - （５）紫外線発生装置はアーク放電を発生する対向電極
を有することを特徴とする特許請求の範囲第４項記載の
横励起形ガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP750585A JPS61168277A (ja) | 1985-01-21 | 1985-01-21 | 横励起形ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP750585A JPS61168277A (ja) | 1985-01-21 | 1985-01-21 | 横励起形ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61168277A true JPS61168277A (ja) | 1986-07-29 |
Family
ID=11667639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP750585A Pending JPS61168277A (ja) | 1985-01-21 | 1985-01-21 | 横励起形ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61168277A (ja) |
-
1985
- 1985-01-21 JP JP750585A patent/JPS61168277A/ja active Pending
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