JPS6240876B2 - - Google Patents
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- JPS6240876B2 JPS6240876B2 JP17958482A JP17958482A JPS6240876B2 JP S6240876 B2 JPS6240876 B2 JP S6240876B2 JP 17958482 A JP17958482 A JP 17958482A JP 17958482 A JP17958482 A JP 17958482A JP S6240876 B2 JPS6240876 B2 JP S6240876B2
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- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims description 18
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims description 7
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 3
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 1
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 12
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は無声放電式ガスレーザ装置に係り、特
に無声放電式炭酸ガスレーザ発振器における電極
構造に関するものである。
に無声放電式炭酸ガスレーザ発振器における電極
構造に関するものである。
従来この種の無声放電式炭酸ガスレーザ発振器
として、第１図に示すものが知られている。第１
図において、１はガラス等誘電体を表面に被覆し
て成る一対の誘電体電極、２はこの誘電体電極１
の支持体、３は放電空間、４は炭酸ガス（CO2）
を含むレーザ光線を有効に発振するための混合ガ
スを供給する送風機である。５，６はレーザ光線
を発振、増幅するための共振器鏡を構成し、５は
全反射鏡、６は部分反射鏡であり、この部分反射
鏡６から増幅されたレーザ光線の１部が第１図の
矢印で示す方向へ外部に取り出される。７は上記
各構成体を収納する筐体である。
として、第１図に示すものが知られている。第１
図において、１はガラス等誘電体を表面に被覆し
て成る一対の誘電体電極、２はこの誘電体電極１
の支持体、３は放電空間、４は炭酸ガス（CO2）
を含むレーザ光線を有効に発振するための混合ガ
スを供給する送風機である。５，６はレーザ光線
を発振、増幅するための共振器鏡を構成し、５は
全反射鏡、６は部分反射鏡であり、この部分反射
鏡６から増幅されたレーザ光線の１部が第１図の
矢印で示す方向へ外部に取り出される。７は上記
各構成体を収納する筐体である。
第２図ａ，ｂは、第１図の無声放電式炭酸ガス
レーザ発振器に用いられる誘電体電極の構造を示
す正面図及び一部欠截側面図である。第２図ａ，
ｂにおいて、８は金属管から成る電極管、９は電
極管８の表面に被覆されたガラス等誘電体であ
り、電極管８とガラス等誘電体９とにより誘電体
電極１が構成され、この誘電体電極１は相対向す
る一対より成つている。１０は放電空間３の電気
的絶縁境界を形成する誘電体から成る絶縁物であ
り、同時に誘電体電極１の支持体を構成してお
り、この絶縁物１０は誘電体電極１の上部のほぼ
半分以上を埋め込むよう密着して形成され、ま
た、誘電体電極１は絶縁物１０により、筐体７の
図示されない固定側支持物に絶縁ボルト等で締め
付け固定される。１１は誘電体電極１を内部から
冷却する冷却水、１２，１３はそれぞれ冷却水１
１の入口と出口、１４は高電圧の給電端子であ
り、放電空間３における放電１５は絶縁物１０で
境界を形成した一対の誘電体電極１の表面で行な
われる。レーザ発振においては、放電空間３での
放電１５が均一になることが必要であり、そのた
め放電空間３内の放電１５が対をなす誘電体電極
１の相対向する面のみで行なわれることが必須条
件であつて、この点、絶縁物１０による放電制限
効果の役割は大きいものがある。
レーザ発振器に用いられる誘電体電極の構造を示
す正面図及び一部欠截側面図である。第２図ａ，
ｂにおいて、８は金属管から成る電極管、９は電
極管８の表面に被覆されたガラス等誘電体であ
り、電極管８とガラス等誘電体９とにより誘電体
電極１が構成され、この誘電体電極１は相対向す
る一対より成つている。１０は放電空間３の電気
的絶縁境界を形成する誘電体から成る絶縁物であ
り、同時に誘電体電極１の支持体を構成してお
り、この絶縁物１０は誘電体電極１の上部のほぼ
半分以上を埋め込むよう密着して形成され、ま
た、誘電体電極１は絶縁物１０により、筐体７の
図示されない固定側支持物に絶縁ボルト等で締め
付け固定される。１１は誘電体電極１を内部から
冷却する冷却水、１２，１３はそれぞれ冷却水１
１の入口と出口、１４は高電圧の給電端子であ
り、放電空間３における放電１５は絶縁物１０で
境界を形成した一対の誘電体電極１の表面で行な
われる。レーザ発振においては、放電空間３での
放電１５が均一になることが必要であり、そのた
め放電空間３内の放電１５が対をなす誘電体電極
１の相対向する面のみで行なわれることが必須条
件であつて、この点、絶縁物１０による放電制限
効果の役割は大きいものがある。
従来の無声放電式炭酸ガスレーザ発振器に用い
られる誘電体電極１は以上のように構成されてい
るので、電極管８の表面に被覆されたガラス等誘
電体９は、全周面にわたり被覆されていることか
らして全面が同一の誘電率を有しており、このた
め放電制限材をなす絶縁物１０は、放電１５が行
なわれる領域以外である誘電体電極１の面をすべ
て確実に被覆しなければならず、そのために構造
が複雑となり寸法的にも大きくならざるを得ない
等の欠点があつた。また、従来この種の絶縁物１
０の比誘電率εsは約εs≦８程度で比較的に小さ
いものであつたが、最近単位面積当りの放電密度
を増大するため、約εs≧10程度の高い比誘電率
材料が使用されるようになり、放電制限材として
の絶縁物１０の構造、選定が非常に困難になるな
どの欠点があつた。
られる誘電体電極１は以上のように構成されてい
るので、電極管８の表面に被覆されたガラス等誘
電体９は、全周面にわたり被覆されていることか
らして全面が同一の誘電率を有しており、このた
め放電制限材をなす絶縁物１０は、放電１５が行
なわれる領域以外である誘電体電極１の面をすべ
て確実に被覆しなければならず、そのために構造
が複雑となり寸法的にも大きくならざるを得ない
等の欠点があつた。また、従来この種の絶縁物１
０の比誘電率εsは約εs≦８程度で比較的に小さ
いものであつたが、最近単位面積当りの放電密度
を増大するため、約εs≧10程度の高い比誘電率
材料が使用されるようになり、放電制限材として
の絶縁物１０の構造、選定が非常に困難になるな
どの欠点があつた。
本発明は上記のような従来のものの欠点を除去
するためになされたもので、接地側電極及び高電
圧側電極と、この両電極間に高電圧を印加して両
電極間の放電空間に放電を起こす電源と、前記放
電空間の両端部に位置し、前記放電が起きた時に
レーザ発振を発生させる全反射鏡及びレーザ出力
側の部分反射鏡から成る共振器とを備え、前記両
電極の少なくとも一方に、放電をさせる領域は比
誘電率が大きく、放電をさせない領域は比誘電率
が小さい２種類の誘電体を被覆し、この誘電体を
被覆した前記両電極のそれぞれの両端部近辺に、
電極内部の冷却水の入口及び出口を設けてなる構
成を有し、簡単な電極構造をもつて、放電部と非
放電部との区分を明確に行ない得ると共に、放電
空間の間隙長を容易に調整できるようにした無声
放電式ガスレーザ装置を提供することを目的とし
ている。
するためになされたもので、接地側電極及び高電
圧側電極と、この両電極間に高電圧を印加して両
電極間の放電空間に放電を起こす電源と、前記放
電空間の両端部に位置し、前記放電が起きた時に
レーザ発振を発生させる全反射鏡及びレーザ出力
側の部分反射鏡から成る共振器とを備え、前記両
電極の少なくとも一方に、放電をさせる領域は比
誘電率が大きく、放電をさせない領域は比誘電率
が小さい２種類の誘電体を被覆し、この誘電体を
被覆した前記両電極のそれぞれの両端部近辺に、
電極内部の冷却水の入口及び出口を設けてなる構
成を有し、簡単な電極構造をもつて、放電部と非
放電部との区分を明確に行ない得ると共に、放電
空間の間隙長を容易に調整できるようにした無声
放電式ガスレーザ装置を提供することを目的とし
ている。
以下、本発明の一実施例を図について説明す
る。第３図ａ，ｂは本発明の一実施例である無声
放電式ガスレーザ装置に用いられる誘電体電極の
構造を示す正面図及び一部欠截側面図で、第２図
ａ，ｂと同一部分には同一符号を用いて表示して
あり、その詳細な説明は省略する。第３図ａ，ｂ
に示すように、１６は電極管８の表面の放電をさ
せる領域に被覆された比誘電率の高い誘電体から
成る放電部、１７は電極管８の表面の放電をさせ
ない領域に被覆された比誘電率の低い誘電体から
成る非放電部である。
る。第３図ａ，ｂは本発明の一実施例である無声
放電式ガスレーザ装置に用いられる誘電体電極の
構造を示す正面図及び一部欠截側面図で、第２図
ａ，ｂと同一部分には同一符号を用いて表示して
あり、その詳細な説明は省略する。第３図ａ，ｂ
に示すように、１６は電極管８の表面の放電をさ
せる領域に被覆された比誘電率の高い誘電体から
成る放電部、１７は電極管８の表面の放電をさせ
ない領域に被覆された比誘電率の低い誘電体から
成る非放電部である。
第４図ａ，ｂは、第３図ｂに示す誘電体電極の
拡大断面図及びその誘電体電極の動作態様特性図
である。第４図ａに示す誘電体電極１における放
電部１６の表面及び非放電部１７の一部表面の各
電極間の静電容量をＣ、誘電体電極１の半径を
ｒ、誘電体電極１の中心からの円弧角をθとする
と、誘電体電極１の表面円弧距離ｘは、ｘ＝ｒθ
で示され、第４図ｂには上記静電容量Ｃと誘電体
電極１の表面円弧距離ｘ＝ｒθとの関係が明示さ
れている。これによれば、第４図ｂに示す特性図
で明らかなように、誘電体電極１においては放電
部１６と非放電部１７との区分が明確になされ、
このため、上記第２図ａ，ｂに示すような誘電体
電極１の支持構造を構成する絶縁物１０を必要と
しなくなつた。
拡大断面図及びその誘電体電極の動作態様特性図
である。第４図ａに示す誘電体電極１における放
電部１６の表面及び非放電部１７の一部表面の各
電極間の静電容量をＣ、誘電体電極１の半径を
ｒ、誘電体電極１の中心からの円弧角をθとする
と、誘電体電極１の表面円弧距離ｘは、ｘ＝ｒθ
で示され、第４図ｂには上記静電容量Ｃと誘電体
電極１の表面円弧距離ｘ＝ｒθとの関係が明示さ
れている。これによれば、第４図ｂに示す特性図
で明らかなように、誘電体電極１においては放電
部１６と非放電部１７との区分が明確になされ、
このため、上記第２図ａ，ｂに示すような誘電体
電極１の支持構造を構成する絶縁物１０を必要と
しなくなつた。
第５図ａ，ｂは本発明の他の実施例である無声
放電式ガスレーザ装置に用いられる誘電体電極の
構造を示す一部欠截正面図及び一部欠截側面図で
ある。第５図ａ，ｂにおいて、１８は誘電体電極
１に具備された金属製の支持物で、電極管８に溶
接等によつて接合されている。１９は電極管８の
外周面の放電をさせない領域に被覆した比誘電率
の小さい絶縁物である。２０は支持物１８の端部
に加工したネジ孔、２１は筐体（図示しない）に
固定された絶縁物より成る支持板、２２は支持物
１８と支持板２１を固定するボルトをそれぞれ示
している。本発明の他の実施例である第５図ａ，
ｂに示されるものでは、上記第２図ａ，ｂに示さ
れる従来例のものと比べて、誘電体電極１の支持
構造は非常に簡素となり、また、電極加工の製作
技術も極めて容易になつた。さらに、簡素な電極
構造のため放電空間３の間隙長の調整が容易とな
つて微小な調整を行なうことができるようにな
り、この結果、効率的な性能のレーザ発振器の製
造が可能となつた。
放電式ガスレーザ装置に用いられる誘電体電極の
構造を示す一部欠截正面図及び一部欠截側面図で
ある。第５図ａ，ｂにおいて、１８は誘電体電極
１に具備された金属製の支持物で、電極管８に溶
接等によつて接合されている。１９は電極管８の
外周面の放電をさせない領域に被覆した比誘電率
の小さい絶縁物である。２０は支持物１８の端部
に加工したネジ孔、２１は筐体（図示しない）に
固定された絶縁物より成る支持板、２２は支持物
１８と支持板２１を固定するボルトをそれぞれ示
している。本発明の他の実施例である第５図ａ，
ｂに示されるものでは、上記第２図ａ，ｂに示さ
れる従来例のものと比べて、誘電体電極１の支持
構造は非常に簡素となり、また、電極加工の製作
技術も極めて容易になつた。さらに、簡素な電極
構造のため放電空間３の間隙長の調整が容易とな
つて微小な調整を行なうことができるようにな
り、この結果、効率的な性能のレーザ発振器の製
造が可能となつた。
なお、上記第３図ｂに示される誘電体電極１を
構成する電極管８は、円型筒状電極管の場合の例
を示したが、この外に角型筒状とか楕円型筒状の
電極としても、上記実施例と同様の効果を奏す
る。
構成する電極管８は、円型筒状電極管の場合の例
を示したが、この外に角型筒状とか楕円型筒状の
電極としても、上記実施例と同様の効果を奏す
る。
また、誘電体電極１が短かい寸法のものにおい
ては、冷却水の入口１２及び出口１３の各端部を
支持する構造としても良い。
ては、冷却水の入口１２及び出口１３の各端部を
支持する構造としても良い。
以上のように、本発明に係る無声放電式ガスレ
ーザ装置によれば、接地側電極及び高電圧側電極
の少なくとも一方に、放電をさせる領域は比誘電
率が大きく、放電をさせない領域は比誘電率が小
さい２種類の誘電体を被覆し、この誘電体を被覆
した前記両電極のそれぞれの両端部近辺に、電極
内部の冷却水の入口及び出口を設けてなる構成と
したので、極めて簡単な電極構造をもつて、放電
部と非放電部との区分を明確に行ない得ると共
に、放電空間の間隙長を容易に調整できるように
することが可能となるなどの優れた効果を奏する
ものである。
ーザ装置によれば、接地側電極及び高電圧側電極
の少なくとも一方に、放電をさせる領域は比誘電
率が大きく、放電をさせない領域は比誘電率が小
さい２種類の誘電体を被覆し、この誘電体を被覆
した前記両電極のそれぞれの両端部近辺に、電極
内部の冷却水の入口及び出口を設けてなる構成と
したので、極めて簡単な電極構造をもつて、放電
部と非放電部との区分を明確に行ない得ると共
に、放電空間の間隙長を容易に調整できるように
することが可能となるなどの優れた効果を奏する
ものである。
第１図は従来の無声放電式炭酸ガスレーザ発振
器を示す概略構成図、第２図ａ，ｂは、第１図の
無声放電式炭酸ガスレーザ発振器に用いられる誘
電体電極の構造を示す正面図及び一部欠截側面
図、第３図ａ，ｂは本発明の一実施例である無声
放電式ガスレーザ装置に用いられる誘電体電極の
構造を示す正面図及び一部欠截側面図、第４図
ａ，ｂは第３図ｂに示す誘電体電極の拡大断面図
及びその誘電体電極の動作態様特性図、第５図
ａ，ｂは本発明の他の実施例である無声放電式ガ
スレーザ装置に用いられる誘電体電極の構造を示
す一部欠截正面図及び一部欠截側面図である。 １……誘電体電極、２……支持体、３……放電
空間、４……送風機、５……全反射鏡、６……部
分反射鏡、７……筐体、８……電極管、９……ガ
ラス等誘電体、１０，１９……絶縁物、１１……
冷却水、１２……入口、１３……出口、１４……
給電端子、１５……放電、１６……比誘電率の高
い誘電体から成る放電部、１７……比誘電率の低
い誘電体から成る非放電部、１８……支持物、２
０……ネジ孔、２１……支持板、２２……ボル
ト。なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分
を示す。
器を示す概略構成図、第２図ａ，ｂは、第１図の
無声放電式炭酸ガスレーザ発振器に用いられる誘
電体電極の構造を示す正面図及び一部欠截側面
図、第３図ａ，ｂは本発明の一実施例である無声
放電式ガスレーザ装置に用いられる誘電体電極の
構造を示す正面図及び一部欠截側面図、第４図
ａ，ｂは第３図ｂに示す誘電体電極の拡大断面図
及びその誘電体電極の動作態様特性図、第５図
ａ，ｂは本発明の他の実施例である無声放電式ガ
スレーザ装置に用いられる誘電体電極の構造を示
す一部欠截正面図及び一部欠截側面図である。 １……誘電体電極、２……支持体、３……放電
空間、４……送風機、５……全反射鏡、６……部
分反射鏡、７……筐体、８……電極管、９……ガ
ラス等誘電体、１０，１９……絶縁物、１１……
冷却水、１２……入口、１３……出口、１４……
給電端子、１５……放電、１６……比誘電率の高
い誘電体から成る放電部、１７……比誘電率の低
い誘電体から成る非放電部、１８……支持物、２
０……ネジ孔、２１……支持板、２２……ボル
ト。なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分
を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 接地側電極及び高電圧側電極と、該両電極間
に高電圧を印加してこの両電極間の放電空間に放
電を起こす電源と、前記放電空間の両端部に位置
し、前記放電が起きた時にレーザ発振を発生させ
る全反射鏡及びレーザ出力側の部分反射鏡から成
る共振器とを備え、前記両電極の少なくとも一方
に、放電をさせる領域は比誘電率が大きく、放電
をさせない領域は比誘電率が小さい２種類の誘電
体を被覆し、該誘電体を被覆した前記両電極のそ
れぞれの両端部近辺に、電極内部の冷却水の入口
及び出口を設けてなる構成としたことを特徴とす
る無声放電式ガスレーザ装置。 ２ 前記誘電体を被覆した前記両電極のそれぞれ
の長手方向には、比誘電率の小さい絶縁物を被覆
した支持物を具備してなることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の無声放電式ガスレーザ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17958482A JPS5968985A (ja) | 1982-10-13 | 1982-10-13 | 無声放電式ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17958482A JPS5968985A (ja) | 1982-10-13 | 1982-10-13 | 無声放電式ガスレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5968985A JPS5968985A (ja) | 1984-04-19 |
| JPS6240876B2 true JPS6240876B2 (ja) | 1987-08-31 |
Family
ID=16068276
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17958482A Granted JPS5968985A (ja) | 1982-10-13 | 1982-10-13 | 無声放電式ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5968985A (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5328279A (en) * | 1984-05-22 | 1994-07-12 | Seiko Epson Corporation | Dot matrix printer head |
| US5844578A (en) * | 1990-01-30 | 1998-12-01 | Seiko Epson Corporation | Ink-jet recording apparatus and ink tank cartridge thereof |
| US5488401A (en) * | 1991-01-18 | 1996-01-30 | Seiko Epson Corporation | Ink-jet recording apparatus and ink tank cartridge thereof |
| US5477963A (en) * | 1992-01-28 | 1995-12-26 | Seiko Epson Corporation | Ink-jet recording apparatus and ink tank cartridge therefor |
| CA2100977C (en) * | 1992-07-24 | 2000-02-08 | Noribumi Koitabashi | Ink container, ink and ink jet recording apparatus using ink container |
| US6332675B1 (en) | 1992-07-24 | 2001-12-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink container, ink and ink jet recording apparatus using ink container |
| US6238042B1 (en) | 1994-09-16 | 2001-05-29 | Seiko Epson Corporation | Ink cartridge for ink jet printer and method of charging ink into said cartridge |
| EP0773109B1 (en) * | 1995-11-08 | 2002-10-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink refilling method and apparatus, ink container refilled therewith and ink jet apparatus comprising ink refilling apparatus |
-
1982
- 1982-10-13 JP JP17958482A patent/JPS5968985A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5968985A (ja) | 1984-04-19 |
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