JPS60152016A - バルブ金属表面をカルコ−ゲン類で処理する方法 - Google Patents

バルブ金属表面をカルコ−ゲン類で処理する方法

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JPS60152016A JP59208392A JP20839284A JPS60152016A JP S60152016 A JPS60152016 A JP S60152016A JP 59208392 A JP59208392 A JP 59208392A JP 20839284 A JP20839284 A JP 20839284A JP S60152016 A JPS60152016 A JP S60152016A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、添付特許請求の範囲に記載のごとく、高真空
または不活性気体雰囲気中で酸素を排除して少量のカル
コーグンまたはカルコ−rン化合物の作用によシ、元素
周期律表第5亜族のパルプ金属、特定的にはニオブ及び
タンタルの表面を処理して構造的に修飾することに関す
る。パルプ金属は好ましくは粉末まだは箔の形である。
特許請求の範囲に記載された方法によシ有利な形でパル
プ金属の活性な表面積が増大し、従って該パルプ金属を
電解コンデンサーの陽極材料として用いた場合、コンデ
ンサーの電気特性が改善される。
タンタル金属を、電解コンデンサーの陽極材料として、
捲き型コンデンサー用の薄埴箔の形でま ゛たは多孔性
焼結成形体用の金属粉末の形で用いる場合、陽極的に施
された誘電体層に対する容量艇定基質として作用する表
面活性度は確実に出来るだけ大きくなるようにすること
が重要である。パルプ金属箔の表面積を増大させるため
の最も重要な方法として機械的粗面化法または化学的エ
ツチング法が知られている。然しなから、これらの公知
の方法は常に摩耗または溶解の損失を伴いそして粉砕ま
たはマスキングに用いる研摩剤及び化学物質の残留物の
両者によシ生ずる箔表面の望ましく彦い不純物の随伴を
招き、弗化水素酸処理の場合には、通常水素化物の生成
及び脆化崩落も起る。
化学的エツチング法による粉末状ニオブまたはタンタル
金属表面の粗面化は問題があシそして殆んど用いられず
、その理由は通常の広い粒度範囲の金属粉末に対して所
望の且つ特定の処理を制御することが困難であるからで
ある。この場合溶解損失及び汚染の問題もある。
コンデンサー用のタンタル粉末の製造において粒度に対
して特定の作用を有する添加剤は金属粉末の表面積(比
表面積:1rL”/v)に対して直接的効果を有するが
、この技術の現状では、添加剤はホウ素、燐、窒素及び
珪素の諸元素に限定して用いられている。例えば西ドイ
ツ国特許出願公開明細書第3.140.248号には、
タンタル粉末の製造の前、間または後にホウ素を「ドー
ピング剤」として用いることが記載されている。然しな
から、これらの方法は金属粒子表面の表面構造には顕著
な効果は示さず、恐らく金属表面に陽極的に施された誘
電性酸化物層の電気特性に特に有利な効果を有する金属
間合金相として作用するものである。
例えば西ドイツ国特許出願公開明細書第3. OO5゜
207号、第3.2’:(0,219°号または第46
16゜367号に記載されているごとく、ビー2ング元
素として燐を用いる場合に°も同様の状況がある。
元素周期律表■b、Vb及びVlb族の金属の化合物を
基底とする無機潤滑剤を用いることが西ドイツ国特許第
4610.224号に記載されている。
この特許に従えば、そこに記載されている金属化合物が
タンタル粉末の粉末冶金法における緻密化ダイス型の使
用期間を長くすることにおいて潤滑剤として有益な効果
を有することが見出された。
該潤滑剤を用いる場合、その目的は緻密化したものを直
ちに減圧下において陽極の多孔度を増大させることであ
る。該発表においては、タンタル粉末粒子またはタンタ
ル金属箔のこの表面の性質について何ら記述されていな
い。
粒度を下げることによシタンタル金属コンデンサー粉末
の比表面積(rrL“/1)を大きくすることには限界
がある。例えば西ドイツ国特許第2,517、180号
に明示されているごとき不規則な粒子形を有する極めて
細かいタンタル粉末を得るための従来公知の方法は、コ
ンデンサーを比較的高い作動電圧にて用いる用途には殆
んど適しない粒度を与え、その理由はある場合には誘電
性酸化物層の層厚さの増大が粒度の寸法を超え、従って
タンタル粉末粒子の一部が金属導電性の欠如のために荷
電担体として有効でなくなるからである。
従って、本発明の一つの目的は、表面積を大きくする意
味においてパルプ金属粉末の粒度に着目した改良(また
は改善)とは無関係に、金属表面をエツチング屋の方法
によシ粗面化しそしてそれによって表面積を溶解または
摩耗の過程により起る物質の損失が伴うことなく同様に
大きくすることによる方法を見出すことである。
この目的は本発明に従い、凝集または非凝集粉末、薄い
Wiまたは粉末から製造された成形物の形のパルプ金属
、特にニオブまたはタンタルを、酸素を排除したカルコ
ーグン類またはカルコーグン化合物の存在“のもとて不
活性気体(保護気体)雰囲気中または高真空下で300
乃至2000℃の温度にである時間加熱することによシ
達成される。
特に記載すべきカルコ−rン類は硫黄、セレン、テルル
であシ、カルコ−rン化合物は特定的にはこれらの元素
の容易に入手し得る化合物である。
これらのカルコーグン類またはカルコ−rン化合物は好
ましくは元素を基準にして且つ用いる金属に対して20
乃至s、 o o o ppm、好ましくは30乃至2
,0007)1)tnの量にて用いられる。
カルコーグン類またはカルコーグン化合物をパルプ金属
に作用させるための本発明に従う方法は種々の方汎で行
うことが出来る。
例えば、本発明に従う熱化学的後処理は、カルコ−rン
類例えば硫黄を金属中に出来るだけ均一に分布させるよ
うにするために、カルコ−rン類例えば硫黄をドーピン
グ添加剤として製造工程中、即ち°還元の前または間に
パルプ金属粉末に導入することによシ行うことが出来る
然しなから、(特に金属箔の場合のようK)純粋のまた
は極めて純粋のパルプ金属から出発することが必要な場
合には、気体状カルコ−rン化合物(カルコーグン硫黄
の場合にはこれは好ましくは硫化水素である)を用いて
金属の処理を行うことも本発明の態様の範囲内で可能で
ある。これは好ましくは最初金属の熱処理中真空または
不活性気体中に気体状カルコ−rン化合物のある分圧を
与えセしてこの分圧を処理時間中保つことにより行われ
る。
タンタル粉末の本発明に従う処理の最も簡単な具体例は
例えばカルコ−rン化合物特定的には硫黄化合物とまた
は例えばコロイド状にて非常に容易に得石ことが出来る
微細な元素硫黄とタンタル金属粉末を混合することにあ
る。
然しなから、本発明に従うパルプ金属粉末の処理はまた
付随的手段として公知の熱的凝集法の一つの過程におい
て効果的に行うことも出来る。これは例えば、測シとっ
た量の気体状硫黄化合物を粉末組成物上に通すと生によ
シ行うことが出来る。
然しなからまた、凝集に先立って含浸または混合によシ
硫黄化合物または元素状硫黄をパルプ金属粉末に付与す
ることも可能である。
本発明に従う方法において気体状カルコ−rン化合物を
用いる場合、硫化水素が好ましい。
更に1本発明に従うパルプ金属の処理はパルプ金属陽極
に対する焼結法の付随的方法として行うことも出来る。
例えは、これはパルプ金属粉末、特定的にはタンタル粉
末の未処理のまたは予め焼結した陽極にカルコ−rン類
特に硫黄を含む溶液を含浸させそして該陽極を乾燥させ
るか、または測った量の気体状硫黄化合物、物足的には
硫化水素を添加しつつ陽極を焼結する方法を行う仁とに
よシ行うことが出来る。
最後に1本発明の方法はtfc=トイレ国特許出願公開
明細書第%130,392号に前記されたごとき脱酸素
熱処理、例えば還元用金属の存在下での凝集法と組合わ
せることも出来る。この型の具体例の場合、用いるカル
コ−ダン化合物中の酸素及び/またはアルカリ金属の可
能な含量を無視することも可能であシ、即ち例えば、カ
ルコ−rン類の酸素酸塩を用い、同時に比例して脱酸素
剤(還元用金属)の量を増加して、酸素含量を一段の操
作で減少させることも可能である。
本発明に従う熱処理のために選ばれる温度は用いられる
カルコ−rン化合物の性質に依存し、その熱分解が成る
条件下での方法に対して決定凶手である0本発明に従え
ば、温度は300と2000℃の間であ1.50G乃至
1800℃が好ましい。
例えば硫化水素を用いる場合、約600乃至1200℃
の温度が好ましい。
この方法においては、これらの温度での処理を少くとも
一段階行えば十分であシ、即ちこの加熱を少くとも一回
の処理段階にて行えば十分である。
パルプ金属をカルコ−rンを用いて処理する本発明の方
法においては、如何なる所望の種類の熱処理の前に、通
常の型の且つ通常選ばれる他のドーピング剤をすでに含
むかtたはこの型の他のドーピング剤をカルコーグン化
合物と共に添加したこれらのパルプ金属粉末、特定的に
はニオブまたはタンタル金属粉末を用いることも可能で
ある。
この型の公知のドーピング剤の例として燐、ホウ素、窒
素及び珪素をあげることが出来る。
下記の実施例は本発明を例示するものであり、本発明の
適用を何ら限定するものではない。
実施例1 再結晶による粗製塩の精製に逸當用いられるごとき、弗
化水素酸に弗化カリウムタンタルの熱飽和溶液に10%
濃度のチオ硫酸す) IJウム溶溶液1景景を加え、但
しチオ硫酸す) IJJウム量は用いられる粗製塩(K
、 T aF、 )の量に対してである。
溶液を混合したときSOlの臭いが発生し、そして溶液
は細かい元素状硫黄のために徐々に濁って来た。公知の
方法で溶液から、結晶を析出させ;そして結晶泥状物を
機械的に傾斜法で分離した。
硫黄を含む乾燥弗化カリウムタンタルを西ドイツ国喘#
!f第2,517,180号の実施例1の方法に従って
微粉タンタル粉末の製造に用い、最終生成物として約1
200ppmの硫黄を含むタンタル金属粉末が得られた
。この粉末を硫黄を含まない粉末と比較して電気的試験
にかけ、即ちそれを圧縮成形し、第1表に示された条件
下で高真空中で焼結し、陽極的に活性化しそして電気的
測定にかけた。この測定結果は数字1及び数字12′と
して第■表に示されておシ、硫黄を含ま力い比較試料は
Aで示されている。
実施例2 タンタル陽極を焼結する工程中に硫化反応を行うことに
よシ本発明の方法を適用した。この目的のために、緻密
化して円筒形成形物を作ることによシタンタル金属粉末
から製造された一群のタンタル陽極を気体状硫黄化合物
と反応させ、そのあと900乃至1100℃にて起る脱
気体段階にかけ、これはH,550m bを真空受器中
に3分量計シ込み、その間温度を1100℃に一定に保
つことにより行われた。次に一定の高真空になるまで残
留気体をポンプで引き、そして陽極の焼結を公知の方法
で行った(第1表参照)。硫黄を用いて処理された焼結
成形体を陽極的に処理しそして未処理陽極と比較して電
気的測定を行った。試験条件及び測定結果を第1表及び
第■表に示す(硫黄を含まない比較試料は記号2Aで示
されている)。
実施例3 西ドイツ国特許出願公開明細書第3,130,392号
実施例2に記載されたようにマグネシウム金属を用いて
タンタル金属粉末を通常の方法で凝集させたものに本発
明に従ってNa、5ite4の形のセレンを加えた。T
α含量に対するSeの量は2000ppmであった。脱
酸素剤の量の計算においては、Na!5eO4によシ付
加的に導入された酸素を考慮して計算された。
脱酸素されたセレン含有粉末を焼結しそしてセレンを含
まない同様に脱酸素したタンタル粉末と比較して電気的
試験にかけた。この試験の実験条件は第1表に示されて
いる。
これらの測定の結果は第■表に示されておシ、セレンを
含まない比較試料は記号3Aで示されている。
実施例4 コンデンサー用のニオブ箔を(硫黄蒸気を発生させるた
めの媒質として)硫化ニオブの平たい層を含むタンタル
カート上に拡げた。アルゴン雰囲気下で1200℃にて
30分熱処理した後、箔は僅かに鈍い表面光沢を示した
。走査型電子顕微鏡写真(第1a図及び第1b図参照)
は、未処理箔(第1α図)と比較して、箔表面の顕著な
粗面化が起っている(第1b図)ことを明確に示してい
る。
第1表 焼結及び測定の条件 実施例 実施例 実施例 1+1,4 2+L4 3+3/( 焼結温度(’C) 1,500 1,600 1.55
0焼結時間(分) 20 20 20 陽極の重量(f) 0.2 0.2 0.2陽極の直径
(w) 4.6 4.0 4.6圧縮密度(f/cJ)
 4.5 4.5 4.0陽極処理電圧(V) 70 
70 70(時間) 2 2 2 電解質浴(Hs P 04 の%) 0.1 0.1 0.01 浴温度(℃) 、 、ao 9.o 9゜第■表 実施
例1〜3における測定結果化荷電量 漏えい電流 破壊
電圧 mc/l tsA/lnc ポルト 実施例1 30 0.3 145 1.4 24 1.4 120 実施例2 19.5 0.2’ 1802A 16 0
.3 140 実施例3 20 0.3 160 3A I8 0.3 120
【図面の簡単な説明】
添付図面の第1α図(Fig、1α)は、 コンデンサ
ー用ニオブ箔の表面の走査型電子顕微°鐘写真である。 第1b図(Fig、1 b )は、コンデンサー用ニオ
ブ箔を硫化ニオブの存在下且つアルゴン雰囲気下、12
00℃で処理したのちの表面の走査型電子顕微鏡写真で
ある。 %許出H人 ヘルマン・ラニー・スタルク・ベルリン 第1頁の続き 0発 明 者 リュデイガー・ボルフ ドイ イツ連邦共和国デー−3387フイーネンブルク3・ア
ムハリゲンベルク 8 手続補正書(方式) %式% 1、事件の表示 昭和59年特WF顧第208.392号2、発明の名称 パルプ金属表面をカルコーダン類で処理する方法3、補
正をする者 事件との関係 特許出願人 4、代 理 人〒107 ・5.補正命令の日付 昭和60年 1 月、29日(
発送日)−1ζ、 I′iピ\ (1) 明細書第20頁3行目の「表面の」のすぐ後に
、「金属組織の」を加入する。 Q) 同第“20頁7行目の「表面の」のすぐ後に・、
「金属組織の」を加入する。 以上

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、電解コンデンサー用の電極として用いるだめの、凝
    集または非凝集粉末の形態、薄い箔の形態または粉末か
    ら製造された成形物の形態にあるパルプ(valve 
    )金属、特にニオノ及びタンタルの表面を処4理する方
    法であって、これらの金属を酸素を排除したカルコ−r
    ン類またはカルコ−r′ン化合物類の存在のもとて不活
    性気体雰囲気中または高真空下で300乃至2000℃
    の温度まで少くとも一段階で加熱することを特徴とする
    方法。 2 用いるカルコーグン類が硫黄、セレンもしくはテル
    ルまたはこれらの元素の化合物である特許請求の範囲第
    1項記載の方法。 ユ カルコーグン類またはその化合物を元素を基準にし
    て且つ金属に対して20乃至5000pp錫の量にて用
    いる特許請求の範囲第1項又は第2項記載の方法。 本 用いるパルプ金属が、その製造方法の結果として、
    ドーピング剤として20乃至5000ppmの量にてす
    でにカルコーグン類を含むタンタル金属粉末である特許
    請求の範囲第1項、第2項又は第3項記載の方法。 5、金属粉末が得られた後、カルコーグン類またはカル
    コーグン化合物を元素を基準にして20乃至5000p
    pmの量にて該金属粉末に混合または含浸によシ添加す
    る特許請求の範囲第1項〜第8項のいずれかに記載の方
    法。 6、 カルコ−rン類またはカルコ−rン化合物を金属
    粉末に凝集段階の前またはその間に加える特許請求の範
    囲第1項〜第3項のいずれかに記載の方法。 7. カルコ−rン類またはカルコ−rン化合物をパル
    プ金属粉末から製造された成形物に熱処理の前またはそ
    の間に加える特許請求の範囲第1項〜第3項のいずれか
    に記載の方法。 8、上記したカルコ−rン類またはカルコ−rン化合物
    の他にさらに他の通常のドーピング剤を含むパルプ金属
    を用いる特許請求の範囲第1項〜第7項のいずれかに記
    載の方法。 9、当該技術分野において公知の更に他のドーピング剤
    を、そのままでまたは混合物として、カルコ−rン類ま
    たはカルコ−rン化合物と同時に加える特許請求の範囲
    第1項〜第7項のいずれかに記載の方法。
JP59208392A 1983-10-06 1984-10-05 バルブ金属表面をカルコ−ゲン類で処理する方法 Granted JPS60152016A (ja)

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