JPS6014003Y2 - 流量圧力制御弁付シリンダ - Google Patents

流量圧力制御弁付シリンダ

Info

Publication number
JPS6014003Y2
JPS6014003Y2 JP1976143496U JP14349676U JPS6014003Y2 JP S6014003 Y2 JPS6014003 Y2 JP S6014003Y2 JP 1976143496 U JP1976143496 U JP 1976143496U JP 14349676 U JP14349676 U JP 14349676U JP S6014003 Y2 JPS6014003 Y2 JP S6014003Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
valve
chamber
fluid
pressure
discharge port
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP1976143496U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5362582U (ja
Inventor
智満 飯泉
Original Assignee
焼結金属工業株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 焼結金属工業株式会社 filed Critical 焼結金属工業株式会社
Priority to JP1976143496U priority Critical patent/JPS6014003Y2/ja
Publication of JPS5362582U publication Critical patent/JPS5362582U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS6014003Y2 publication Critical patent/JPS6014003Y2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Actuator (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 一般に、アクチュエータのシリンダ体内に、摺動可能に
嵌装したピストンに流体圧力を負荷し、コノ圧力によっ
て移動されるピストンの動きをこのピストンにとりつけ
たロッドを介して仕事として取り出すことは、広く行な
われているところである。
この場合、アクチュエータの必要出力は仕事をさせるた
めにピストンをストロークさせる圧力(一般的にはヘッ
ド側の圧力)により定められ、ピストンを復帰させるス
トロークをさせるための圧力(一般的にはロッド側の圧
力)は、復帰に要する最少限度の圧力で充分なはずであ
る。
しかし、通常の使用例によると、圧力調整を行なった後
は、方向切換弁により、ヘッド側ロッド側とも、同じ圧
力を加えており、従って、ロッド側の復帰圧力としては
無駄なエネルギを消費していることになる。
この考案の目的は、上記例におけるような場合に採用し
て、エネルギ損失を可及的に防止することができるよう
にした流量圧制御弁付シリンダを提供することである。
図において、1はアクチュエータのシリンダ体であって
、このシリンダ体1内には、ピストン2がこのシリンダ
体1の内壁に沿って気水密に摺動可能に嵌装され、この
ピストン2にとりつけたピストン・ロッド3は、前記シ
リンダ体1の外に突出されて、このピストン・ロッド3
の動きカ、必要とする仕事に変換されるのである。
前記ピストン2によってヘッド側の第一の室4と、ロッ
ド側の第二の室5とに仕切された前記シリンダ体1の両
端部はそれぞれカバー6.7によって閉塞されており、
これらカバー6.7のうち、ヘッド側のカバー6に設け
た流体の供給ポート8と排出ポート9とはそれぞれ前記
室4への連通口10に各別に連通ずるようになっており
、これは前記供給ポート8に形成した弁座11と、前記
カバー6内に形成した中空筒片12とに選択的に就座す
る弁部材13によって行なうものであり、この弁部材1
3は板弁状の弁体14とこの弁体14の周縁に形成され
る可撓性環状壁15とから構成されるものである。
前記中空筒片12に形成した弁座16に就座するピスト
ン状の弁部分17と、この弁部分17内に形成した通孔
18内に挿通される絞り弁19とで複合弁20を構成し
、前記弁部分17と前記カバー6にねじ込まれたばね受
け21との間にばばね22を縮設すると共に、前記絞り
弁19の弁桿23は、延長して前記ばね受け21にねじ
込まれ、その末端はばね受け21を貫通して突出し、こ
のばね受け21と弁桿23との関係変位によって絞り弁
19の開度は変更調節可能であり、前記ばね受け21の
回動による進退によって前記ばね22の弾性力は変更調
節可能である。
前記ロッド側のカバー7内には、流体圧によって供給ポ
ート24から前記ロッド側の室5へ、この室5から排出
ポート25への流体の流通を切り換える弁部材26を配
設するものとし、この弁部材26は前記弁部材13と同
じように板弁状の弁体27とこの弁体27の周縁に形成
される可撓性環状壁28とから構成されるものである。
この弁部材26は前記カバー内に形成された中空筒片2
9と供給ポート24側の弁座30とに選択的に係合する
のであるが、前記中空筒片29内に形成した通孔31は
絞り弁32によって狭窄されており、この絞り弁32の
開度は、この絞り弁32を末端に形成した桿33の端面
に形成した溝34に、ドライバなどの先端を挿入して回
動することにより、前記通孔31内にねじ込まれている
桿33を進退動させて調節することができる。
前記室5と前記弁部材26との間には、通路35(第2
図参照)が形成されるが、この通路35内には、前記室
5から流体が排出される際には容易に前記室5と前記弁
部材26とを容易に導通可能となるようなばね36によ
って弁座37に圧接されている弁体38と、この弁体3
8から突出してうる桿39と、この桿39の末端が係合
しているピストン状側壁40と、この側壁40とばね受
41との間に縮設されるばね42とで構成される圧力制
御弁としての弁部分43が設けられ、この弁部分43に
おいては、供給ポート24から前記室5内に流通する際
には、前記室5内の圧力が前記ばね42で設定された所
定圧を超えたときには、弁体38は弁座37に就座して
前記室5を閉塞し、減圧調整を可能とするものである。
上記構成において、先ず、供給ポート8を介して圧力流
体がカバー6内に導入されると、この圧力によって弁部
材13は中空筒片12側に就座し、排出ポート9側への
流通を阻止し、流体は連通口10から室4に入り、ピス
トン2を図において左方向へ押し動かし、この動きはピ
ストン・ロッド3を介して外部へ取り出されて所定の仕
事に利用される。
この際bラド側の室5内の流体は弁体38を押し開き、
弁部材26が弁座30に就座し、供給ポート24側の流
通を阻止され、前記中空筒片29内に入り、絞り弁32
によって流量を調整されて排出ポート25から直接大気
に放出される。
逆に、ロッド側の室5に流体を供給してピストン2に戻
り行程を行なうときは、前記弁部分43によって制御さ
れた圧力によって供給ポート24からの流体が室5に流
入し、ピストン2の図における右行により、室4内の流
体は前記絞り弁19によって流量を調整されながら排出
ポート9から大気へ放出されるのである。
なお当初は室4内の圧力が高いため、ピストン状の弁部
分17がばね22の力に抗して後退させられ、排出ポー
ト9に開放されるので、流体は急速排気が可能となる。
以上に説明したように、ヘッド側カバー6では、弁部材
13によって室4内の流体を排出する際に、エアシリン
ダを駆動させるべく切換弁からの流体の排出を必要とせ
ず、直接、カバー6内に設けられた排出ポート9からの
排出を可能とする機能及び前述した急速排気の機能を有
している。
またロッド側カバー7内では、前記弁部材13と同じ弁
部材26により、直接、カバー7内に設けられた排出ポ
ート25からの排出を可能とし、更に供給ポート24か
ら室5内への流体の流入の際に、前記弁部分43による
圧力制御の機能を有し、圧力制御機能はピストン2の戻
り行程時の室5内への流入の圧力を調整することにより
、この考案の目的である省エネルギを可能とし、また急
速排気機能は、室4と室5の圧力差による戻り行程時の
始動時の遅れの問題を解消するものである。
なお弁部分13.26によりカバー6,7に設けられた
排出ポー)9.25から直接、流体を排出可能であるか
らピストン2の高速化を可能とするものである。
【図面の簡単な説明】
図中第1図はこの考案のシリンダの竪断面図で、第2図
は第1図の■−■線に沿う断面図である。 なお図において、1・・・・・・シリンダ体、2・・・
・・ゼストン、4.5・・・・・・室、6.7−−−−
−−カバー、8・・・・・・供給ポート、9・・・・・
・排出ポート、10・・・・・・連通口、13・・・・
・・弁部材、17・・・・・・弁部分、19・・・・・
・絞り弁、20・・・・・・複合弁、24・・・・・・
供給ポート、25・・・・・・排出ポート、26・・・
・・・弁部材、32・・・・・・絞り弁、35・・・・
・・通路、43・・・・・・弁部分。 である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 内部でピストンが気水密に摺動するシリンダ体を有し、
    このピストンによってヘッド側とロッド側の二つの室に
    仕切られた前記シリンダ体の両端部をそれぞれカバーで
    閉塞するものにおいて、これらカバーにそれぞれ流体の
    供給ポートと排出ポートを設けると共に、ヘッド側のカ
    バー内には、流体圧によって供給ポートから前記ヘッド
    側の室へ、この室から排出ポートへの流体の流通を切換
    えるべく板弁状の弁体とこの弁体の周縁に形成される可
    撓性環状壁とから形成されかつ前記供給ポートに形成し
    た弁座と前記カバー内に形成した中空筒片とに選択的に
    就座する弁部材を配設し、この弁部材と前記排出ポート
    との間には前記中空筒片に形成した弁座に就座するピス
    トン状の弁部分とこの弁部分内に形成した通孔内に挿入
    される絞り弁との複合弁を設け、前記ロッド側のカバー
    内には、流体圧によって供給ポートから前記ロッド側の
    室へ、この室から排出ポートへの流体の流通を切換える
    弁部材を配設し、この弁部材と前記排出ポートとの間に
    は絞り弁を配設し、この弁部材と前記室との間には、供
    給ポートからの前記室内への流入の際は、この室内の圧
    力がこの所定圧力を越えた場合に閉塞され、また前記室
    の圧力の流出の際は容易に導通可能な弁部分を配設して
    成る流量圧力制御弁付シリンダ。
JP1976143496U 1976-10-27 1976-10-27 流量圧力制御弁付シリンダ Expired JPS6014003Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1976143496U JPS6014003Y2 (ja) 1976-10-27 1976-10-27 流量圧力制御弁付シリンダ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1976143496U JPS6014003Y2 (ja) 1976-10-27 1976-10-27 流量圧力制御弁付シリンダ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5362582U JPS5362582U (ja) 1978-05-26
JPS6014003Y2 true JPS6014003Y2 (ja) 1985-05-04

Family

ID=28752188

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1976143496U Expired JPS6014003Y2 (ja) 1976-10-27 1976-10-27 流量圧力制御弁付シリンダ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6014003Y2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60143205A (ja) * 1983-12-29 1985-07-29 Koganei Seisakusho:Kk シリンダ
KR102278983B1 (ko) * 2017-07-04 2021-07-16 가부시키가이샤 후지킨 액추에이터, 밸브 및 반도체 제조 장치
CN110730869B (zh) * 2017-07-04 2021-08-06 株式会社富士金 致动器、阀、流体供给系统、以及半导体制造装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4329529Y1 (ja) * 1966-04-07 1968-12-04
JPS5015114U (ja) * 1973-06-04 1975-02-18
JPS5043672U (ja) * 1973-08-23 1975-05-02

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4329529Y1 (ja) * 1966-04-07 1968-12-04
JPS5015114U (ja) * 1973-06-04 1975-02-18
JPS5043672U (ja) * 1973-08-23 1975-05-02

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5362582U (ja) 1978-05-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5385218A (en) Rack and pinion pneumatic actuator with counter-pressure control and damping device
US4158327A (en) Mold closing device of injection molding machine
JPS6014003Y2 (ja) 流量圧力制御弁付シリンダ
JP6903844B2 (ja) 流体圧シリンダ
JPH0788911B2 (ja) 一体流量制御装置付き弁ベース
JP2001282363A (ja) 減圧弁
US4745845A (en) Compressed air flow regulating devices
JP2693713B2 (ja) エア吐出装置
JP2955220B2 (ja) インライン増圧装置
JPS6037443Y2 (ja) 急速排気弁付シリンダ
US5275085A (en) Control device for pneumatic cylinder
JPS5815684Y2 (ja) 速度制御機構付シリンダ
JPS6120362Y2 (ja)
JPS6030481Y2 (ja) 弁機構を内蔵するシリンダ
JPS594214Y2 (ja) 速度制御弁
KR100499392B1 (ko) 에어 타이머
JPS5939202Y2 (ja) 空油圧変換増圧器
JPH01174684U (ja)
JPS60143915A (ja) 成形機の型締装置
US20030070541A1 (en) Variable-stroke pneumatic cylinder
JP2001124234A5 (ja)
JPS6145414Y2 (ja)
KR200318865Y1 (ko) 에어 타이머
JPH07301206A (ja) 圧力作動チェック弁
JPH0231589Y2 (ja)