JPS6120362Y2 - - Google Patents

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JPS6120362Y2
JPS6120362Y2 JP8816877U JP8816877U JPS6120362Y2 JP S6120362 Y2 JPS6120362 Y2 JP S6120362Y2 JP 8816877 U JP8816877 U JP 8816877U JP 8816877 U JP8816877 U JP 8816877U JP S6120362 Y2 JPS6120362 Y2 JP S6120362Y2
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Description

【考案の詳細な説明】 通常、空気圧回路に使倫されるアクチユエータ
においてシリンダ内で往復動するピストンのスピ
ード調整は、一般にスピードコントローラをメー
タアウト制御で使用して行なわれるが、作業終了
後又はその他で機器の点検を行なう場合、シリン
ダ内の圧力は大気圧となつているため、作業開始
時にメータアウトではシリンダが加圧時にのみス
ピード制御が可能であり、したがつて、大気圧に
近い状態においては、空気の圧縮性のためスピー
ド制御が不可能となつて、ピストンが急激に動
く、いわゆる飛び出しを起こし、治具等の破損又
は人身事故を生じる場合が多々あり、従来では作
業者は、作業開始時シリンダが動かない側に加圧
するなどの非常に神経を使うため、作業能率低下
の原因ともなつている。
このような点を考慮して、第４図に示すように
スピードコントローラをメータイン制御で使用し
ている場合が見受けられるが、この場合は、メー
タアウト制御に比較して、一般に速度制御性が悪
く、クランプ等で使用する場合（使用が限定され
る）第５図に示すようにストロークエンドでの圧
力の充てん遅れから推力（＝クランプ力）の発生
が遅れ、作業損失が生じる等の欠点があつた。こ
のような圧力の充てん遅れが生じる理由は、次の
通りである。すなわちメータイン（第７図ａの場
合）、メータアウト（第７図ｂの場合）におい
て、 一般的にメータイン制御は、メータアウト制
御に比べ有効面積は小さい（Si＜So）。
推力の発生は、メータインはP1の圧力×ピス
トン受圧面積、メータアウトは（P1−P0）×ピ
ストン受圧面積で決まり、メータインの場合、
P1が充てんされる容積は、メータアウトで排気
されるP0側の面積よりも多い。
メータインではP1側の圧力は、ストロークエ
ンドまでは一般的にメータアウトに比べ低い圧
力で駆動する。
この遅れによる作業損失をぎ、しかも、安全ス
ピードを常に保たせるようにするのが、この考案
の目的である。
上記目的を達成するためのこの考案の基本的な
構成は、シリンダへの圧力供給時はチエツク弁と
して、また、シリンダ内の圧力を排気させる時
は、その弁体の開度により流量を調整させる弁部
分と、前記記弁部分と並列に配設した狭窄通孔を
有する弁部分が、ボデイの通路内圧力と調圧ばね
とを対抗させることにより開閉し、チエツク弁に
より一方向のみ流通可能にした弁部分が、閉時に
は前記狭窄通孔から小流量をシリンダに供給する
ことにより飛出し防止をさせる。
次にこの考案の構成を、図面について説明す
る。
第１図において、１はボデイであつて、このボ
デイ１には、方向切換弁側に接続されるべきポー
ト２と、アクチユエータのシリンダ側に接続され
るべきポート３とが設けられ、これらのポート
２，３間において、前記ボデイ１内には、二つの
通路４，５が並例に形成されるのである。
これら通路４，５のうちの、一方の通路４に
は、順方向すなわちポート２からポート３に向つ
てチエツク弁となり、逆方向において絞り弁とな
る弁部分６を配設するのであつて、この弁部分６
は、次の構成を有する。すなわち、前記通路４内
に設けた弁座７に対して、ポート２側から就座す
るようになつている弁体８の中心孔９に、弁桿１
０が遊挿されており、この弁桿１０は、Ｏリング
１１をもつて気水密性を保つて延長され、外部へ
突出されて、その端面には、調節用溝１２が設け
られており、この溝１２にドライバの先端などを
係合して回動することにより、前記ボデイ１にと
りつけた座体１３の、めねじ１４にねじ込まれる
ねじ山１５を有する前記弁桿１０が回動して、前
記弁座７に対する弁体８の関係位置を調節するの
である。この場合、弁体８の側面は、テーパ状に
形成されているので、弁座７の位置関係におい
て、絞りの角度が無段階的に変更可能である。
前記他方の通路５に形成した弁座１６には、前
記順方向において流通可能で、この際、設定圧以
下では固定の絞り弁として作用し、設定圧以上で
全面開放される弁部分１７をポート２側から、ま
た、逆方向の流通を遮断するチエツク弁１８をポ
ート３側から就座させるのであつて、これらのう
ち、先ず、弁部分１７は、前記弁座１６に就座す
る弁体１９と、この弁体１９と一体に形成される
ピストン状割壁２０と、このピストン状割壁２０
と調圧部材２１との間に縮定される調圧ばね２２
とによつて構成されている。また、前記弁体１９
には、前記ポート２側とポート３側とを直通させ
る狭窄通孔２３が設けられ、これが固定の絞り弁
を構成する。なお、前記調圧部材２１の端面に
は、ドライバの先端などを係合しうる調節用溝２
４が設けられる。上記弁部分１７のピストン状割
壁２０及び弁体１９には、一次側すなわちポート
２側の圧力が負荷されるが、弁座１６とピストン
状割壁２０のシール径は同一のため、一次側の圧
力に関係なく上記弁部分１７の弁体１９に二次側
圧力、すなわちポート３側圧縮空気の圧力が前記
調圧ばね２２によつて設定された設定圧以下であ
る場合、流体は前記狭窄通孔２３を通つて絞られ
て流通するが、二次側圧力すなわちポート３側の
圧力が上昇し設定圧以上になると、前記調圧ばね
２２が圧縮され、弁体１９は弁座１６からはなれ
て全開状態となり、圧縮空気は自由に二次側すな
わちポート３側け流れるのである。この場合、弁
部分１７の下流側に配設されたチエツク弁１８の
弁体２５は、ばね２６によつて前記弁座１６にポ
ート３側から就座しており、この弁体２５は、順
方向への空気の流通は妨げないが、逆方向すなわ
ちポート３からポート２への空気の流通は阻止す
るのである。
上記構成から成るこの考案の飛出し防止弁にお
いて、方向切換弁からの圧縮空気は、ポート２か
らボデイ１内に導かれる。この際、通路４の方は
弁部分がチエツク弁として作用し、閉塞されてい
るので、圧力流体は通路５を介して弁部分１７へ
流通し、シリンダの圧力が大気圧に近い状態のと
きは狭窄通孔２３を通り、弁体２５を押開いてポ
ート３へ至り、ここからアクチユエータのシリン
ダへ送られるのであつて、空気圧が上昇して、こ
の圧力が前記調圧ばね２２の設定圧を越えると、
前記ピストン状割壁２０が前記調圧ばね２２を圧
縮して前記弁体１９が弁座１６から離れ、弁部分
１７は全開状態となつて大量の空気をアクチユエ
ータのシリンダへ送り込むのである。すなわち、
シリンダの圧力が大気圧に近い状態のときはシリ
ンダへ送られる空気は比較的少量として、前記弁
体１９の狭窄通孔２３によるメータイン制御する
ことによりピストンの急激な飛出しを防止しうる
ものである。シリンダが加圧時には、方向切替弁
の切替えによりポート２からボデイ１内に圧縮空
気が導入され、二次側の圧力、ポート３側の圧力
の上昇により、弁部分１７は全開状態となり、フ
リーフローでシリンダへ流れる。
逆方向すなわち、ポート３からポート２への流
体は、通路４を介して行われ、この際、前記弁部
分６は絞り弁として作用し、調節された絞り開度
に応じて、空気を流通しシリンダをメータアウト
で制御させるものである。
上記構成を線図的にあらわしたのが第２図であ
り、これを空気圧回路中に配設した態様を線図に
示せば、第３図のようになる。この図において、
２７は圧力空気源、２８は方向切換弁、２９はア
クチユエータのシリンダで、３０はそのピストン
である。この考案の飛出し防止弁は、前記シリン
ダ２９のヘツド側の接続され、このシリンダ２９
のロツド側には、スピードコントローラ３１が接
続される。すなわち、第３はメータアウト接続で
あり、しかも、飛出し防止の機能を併有している
ものである。
尚、この考案の飛出し防止バルブはシリンダの
両側に接続し、ピストンロツドの押引両ストロー
クの飛出し防止も可能である。
第６図は、第３図の回路例においてシリンダ内
の圧力が大気圧の状態で切替弁２８を切替えたと
き、ピストンロツドの出側のストローク、圧力、
時間との関係を示す。なお、破線ａは通常の速制
御弁のメータアウト制御の場合のストロークと時
間の状態を示す。すなわち第３図においてこの考
案の飛出し防止弁６の代りに通常の速度制御弁に
てメータアウト制御した場合、圧縮空気が急激に
供給され、シリンダ２９のヘツド側圧力PHが急上
昇するため、破線ａに示すように急激に働く、い
わゆる飛び出しを起こす。この飛出しを防止する
目的でこの考案の飛出し防止弁を使用した場合、
メータイン制御により圧縮空気が徐々に供給され
ヘツド側の圧力PHは実線のように低い圧力で駆動
するため、シリンダの動きは実線のように駆動さ
れ、通常使用される場合（シリンダが加圧時）は
本来のメータアウト制御が可能となり、メータイ
ン制御を採用した場合の欠点を生じさせないメリ
ツトがある。またメータアウトの飛出しという欠
点はこの考案のバルブを使用することによりシリ
ンダが大気圧に近い場合のみメータイン制御を行
なつて飛出しを防止し、その際メータインの欠点
であるストロークエンドでの充てん遅れを解消す
る。すなわちこの考案により飛出し防止が可能と
なり、かつ通常はメータアウト制御となるため、
メータイン制御を採用した場合と比べ、制御性、
充てん遅れが解消され、作業能率の向上が計れる
のである。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の飛出し防止弁の堅断面図、
第２図は第１図に示す飛出し防止弁を線図的に示
した図で、第３図は本考案の飛出し防止弁を使用
した回路の一例を示す図で、第４図は従来の回路
の例を示す図で、第５図は第４図に示す回路によ
る作動状態のグラフで、第６図は通常の速度制御
弁と本考案の飛出し防止弁とを使用した場合の作
動状態の比較を示す図、第７図ａ，ｂはメータイ
ン、メータアウト制御の原理を示す説明図であ
る。 なお図において、１ ボデイ、２，３ ポー
ト、４，５ 通路、６ 弁部分、７ 弁座、８
弁体、１６ 弁座、１７ 弁部分、１８ チエツ
ク弁、１９ 弁部分、２０ ピストン状割壁、２
１ 調圧部材、２２ 調圧ばね、２３ 狭窄通
孔、２５ 弁体、２６ ばね、である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 方向切換弁側に接続されるポート２と、アクチ
    ユエータのシリンダ側に接続されるポート３とを
    有するボデイ１内に、これらポート２，３を連通
    する一つの通路４と、この通路４に対してバイパ
    スを構成する他の通路５を構成し、一方の通路４
    には順方向すなわちポート２からポート３に向つ
    てはチエツク弁となり逆方向では絞り弁となる弁
    部分を配設し、他方の通路５には、前記順方向に
    おいて流通可能で、かつ、設定圧以下では絞り機
    能を有し、設定圧以上で全面開放される弁部分１
    ７と、逆方向の流通を遮断するチエツク弁１８と
    を配設して成る飛出し防止弁。
JP8816877U 1976-08-25 1977-07-05 Expired JPS6120362Y2 (ja)

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JP8816877U JPS6120362Y2 (ja) 1977-07-05 1977-07-05
US05/826,251 US4192346A (en) 1976-08-25 1977-08-19 Control valve
DE19772759799 DE2759799C2 (ja) 1976-08-25 1977-08-23
DE2737909A DE2737909C2 (de) 1976-08-25 1977-08-23 Steuerventil
AU28136/77A AU496613B1 (en) 1976-08-25 1977-08-23 Control valve
FR7725802A FR2363015A1 (fr) 1976-08-25 1977-08-24 Soupape de regulation
CH1039577A CH624230A5 (ja) 1976-08-25 1977-08-25
NL7709426A NL174976C (nl) 1976-08-25 1977-08-25 Stuurelement voor regeling van verschillende stroomsnelheden van een fluidum.
GB1705680A GB1594269A (en) 1977-07-05 1977-10-27 Control valves
US06/077,475 US4287812A (en) 1976-08-25 1979-09-20 Control valve
NLAANVRAGE8401006,A NL185629C (nl) 1976-08-25 1984-03-29 Kleppensamenstel.

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8816877U JPS6120362Y2 (ja) 1977-07-05 1977-07-05

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5417130U JPS5417130U (ja) 1979-02-03
JPS6120362Y2 true JPS6120362Y2 (ja) 1986-06-19

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ID=13935378

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8816877U Expired JPS6120362Y2 (ja) 1976-08-25 1977-07-05

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JPS6120362Y2 (ja)
GB (1) GB1594269A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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RU2514574C1 (ru) * 2013-03-19 2014-04-27 Андрей Юрьевич Беляев Блок предохранительных клапанов
JP2020085183A (ja) * 2018-11-29 2020-06-04 Smc株式会社 流体圧シリンダの駆動装置

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