JPS60140035A - Load carrying facility in clean room - Google Patents
Load carrying facility in clean roomInfo
- Publication number
- JPS60140035A JPS60140035A JP25162383A JP25162383A JPS60140035A JP S60140035 A JPS60140035 A JP S60140035A JP 25162383 A JP25162383 A JP 25162383A JP 25162383 A JP25162383 A JP 25162383A JP S60140035 A JPS60140035 A JP S60140035A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean
- load
- clean room
- room
- station
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 4
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 3
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、例えば半導体のような塵埃を極端にきらう荷
をクリーンルーム内で搬送するのに採用されるクリーン
ルーム内の荷搬送設備に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to load transport equipment in a clean room, which is used to transport loads such as semiconductors, which are extremely sensitive to dust, in the clean room.
従来例の構成とその問題点
上記のような荷搬送設備において、荷搬送装置側で発生
した塵埃がクリーンルーム内に漏出して悪影響を及ぼす
ことに対しては種々な対策が取られている。一方、ステ
ーションにおいては、移載装置による自動作業により、
あるいは作業員による人手作業によって、荷搬送装置に
対する荷の積み御しが行なわれる。その際に移載装置や
作業員から塵埃が発生し、これがクリーンルーム内での
荷搬送において最大の問題になっている。Conventional Structures and Problems Therein, various measures have been taken to prevent dust generated on the load transfer device side from leaking into the clean room and having an adverse effect on the load transfer equipment as described above. On the other hand, at the station, automatic work by transfer equipment allows
Alternatively, the loading and unloading of loads onto the load conveying device is performed manually by a worker. At this time, dust is generated from the transfer equipment and workers, and this is the biggest problem when transporting cargo in a clean room.
発明の目的
本発明の目的とするところは、ステーションで発生した
塵埃を、クリーンルームや荷に悪影響を及ぼすことなく
素早く床下に吸引除去し得、ステーション部の清浄度を
確保し得るクリーンルーム内の荷搬送設備を提供する点
にある。OBJECT OF THE INVENTION The object of the present invention is to provide a method for transporting goods in a clean room, where dust generated in a station can be quickly sucked and removed under the floor without adversely affecting the clean room or the goods, and which can ensure the cleanliness of the station area. The point is to provide facilities.
発明の構成
上記目的を達成するために本発明におけるクリーンルー
ム内の荷搬送設備は、天井側からクリーンエアーを下吹
きし、下降するエアーを床下に吸引するクリーンルーム
内に荷搬送装置を配設し、この荷搬送装置の走行経路の
適所に囲壁体によりステーション室を形成し、このステ
ーション室内にクリーンエアーを供給するクリーンユニ
ットを設けて構成している。Structure of the Invention In order to achieve the above object, the load transfer equipment in a clean room according to the present invention blows clean air downward from the ceiling side and sucks the descending air below the floor. A station chamber is formed by a surrounding wall at a suitable location on the travel path of the load conveying device, and a clean unit is provided to supply clean air into the station chamber.
実施例と作用
以下に本発明の一実施例を第1図、第2図に基づいて説
明する。(1)はクリーンルームで、天井(2)側から
フィルター(3)を通してクリーンエアー(4)を下吹
きし、下降するエアーをメツシュ形式の床(5)を通し
て該床下に吸引するように構成しである。Embodiment and Function An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 and 2. (1) is a clean room configured so that clean air (4) is blown downward from the ceiling (2) side through a filter (3), and the descending air is sucked into the bottom of the floor through a mesh-type floor (5). be.
前記クリーンルーム(1)内の上部に荷搬送装置(6)
が配設される。すなわち(7)は台車で、下部に走行車
輪(8)を有し、また上部には連結部(9)を介して荷
支持部01が取付けである。θυは前記台車(7)を支
持案内するレールで、この台車(7)を制御しながら自
動走行させるための給電レール(6)などを有する。前
記台車(7)と17−ル0])とは筒形のダクト01内
に配置しである。このダクト03の天板には走行経路の
全長に亘るスリット04が形成され、ここに左右から弾
性シール材OQを設けてシール式スリット部に形成して
いる。そしてこのシール式スリット部に前記連結部(9
)が位置するように構成しである。前記ダクト(至)に
は吸引ダクト(図示せず)が連通し、以ってダクトa葎
内で発生した塵埃を除去し得るように構成しである。こ
のように構成した荷搬送装置(6)における走行経路の
適所に囲壁体OQによりステーション室α乃を形成して
いる。このステーション室側の上部は天板0樽により閉
塞され、また下部は前記床(5)を介して床下に連通し
ている。前記荷搬送装置(6)はステーション室07)
を貫通し、そのために囲壁体OQには開口θ1が形成し
である。前記ステーション室07)内において、前記荷
搬送装置(6)の下方に保管棚(1)が配設しである。A load transfer device (6) is installed in the upper part of the clean room (1).
will be placed. That is, (7) is a trolley, which has running wheels (8) at the lower part, and the load support part 01 is attached to the upper part via the connecting part (9). θυ is a rail that supports and guides the truck (7), and includes a power supply rail (6) and the like for controlling and automatically driving the truck (7). The trolley (7) and 17-ru0] are arranged in a cylindrical duct 01. A slit 04 is formed in the top plate of the duct 03 over the entire length of the travel route, and an elastic sealing material OQ is provided from the left and right sides of the slit 04 to form a seal type slit portion. Then, the connecting portion (9) is inserted into this seal type slit portion.
) is located. A suction duct (not shown) communicates with the duct (to), so that dust generated within the duct a can be removed. A station room α is formed by the surrounding wall OQ at a suitable location on the travel path of the load conveyance device (6) configured as described above. The upper part on the side of the station room is closed by the top plate 0 barrel, and the lower part communicates with the underfloor via the floor (5). The load transfer device (6) is located in the station room 07).
For this purpose, an opening θ1 is formed in the surrounding wall OQ. In the station room 07), a storage shelf (1) is provided below the load conveying device (6).
この保管棚(ホ)は、枠組本体な])と、横方向に多数
並設された縦仕切板(イ)と、上下方向に多数並列され
た横仕切板に)と、前面を開放すべく少なくとも枠組本
体c7◇の後面に取付けた透明板などからなるカバー板
(ハ)とからなり、側仕切板(イ)に)によって上下方
向ならびに横方向に夫々複数の区画収納空間に)を形成
する。各区画収納空間(ハ)を形成する横仕切板σ染上
には夫々受は皿(ホ)が配設され、これら受け皿弼によ
って荷(ロ)を支持する。ここで荷(財)は半導体など
を収納可能なケースを示し、その両側には被係止部(至
)が突設しである。前記ステーション室0η内において
、荷搬送装置(6)の−側外方から保管棚(ホ)の前面
前方に亘って移載装w勾が設けられる。すなわち床(5
)側から枠体(至)が立設され、この枠体…に一対のガ
イドロッド0υが上下方向に配設しである。そして両ガ
イドロッドclDに案内される昇降枠(2)が設けられ
、その昇降は、枠体くAの上部に設けた駆動装置(至)
に連動する無端回動体■を介して行なわれる。前記昇降
枠6埠には横方向のガイドロッドに)が取付けられ、こ
のガイドロッド(至)に案内されて横方向移動自在な左
右可動台(至)が設けられる。この左右可動台(1上に
は前後進自在な前後可動台(ロ)が配設され、この前後
可動台(mからは左右一対の保持腕■が前方に向けて連
設しである。これら保持腕(2)は、相対向間で荷(ロ
)の相対的な昇降移動を許し、また被係止部(至)に対
しては下方から係合し得るように構成しである。前記ス
テーション室αη内の上部には、該ステーション室Qη
内にクリーンエアー(至)を供給するクリーンユニット
■を設けている。This storage shelf (E) consists of a framework main body]), a large number of vertical partition plates (A) arranged horizontally in parallel, and a large number of horizontal partition plates arranged vertically in parallel. It consists of at least a cover plate (c) made of a transparent plate etc. attached to the rear surface of the frame body c7◇, and a plurality of partitioned storage spaces in the vertical and horizontal directions are formed by the side partition plates (a)). . A tray (E) is provided on each horizontal partition plate σ-dyed forming each storage space (C), and the load (B) is supported by the top of each tray. Here, the cargo (goods) refers to a case that can store semiconductors and the like, and locking parts (to) are protruding from both sides of the case. In the station room 0η, a transfer rack is provided extending from the outer side of the load transfer device (6) to the front front of the storage shelf (E). That is, the floor (5
) A frame body (to) is erected from the side, and a pair of guide rods 0υ are arranged in the vertical direction on this frame body. An elevating frame (2) guided by both guide rods clD is provided, and its elevating is controlled by a drive device (toward) provided at the upper part of the frame body A.
This is done via an endless rotating body (2) that is linked to the. A horizontal guide rod is attached to the elevating frame 6, and a left and right movable platform is provided which is guided by the guide rod and can move laterally. A front and rear movable base (b) that can move forward and backward is provided on this left and right movable base (1), and from this front and rear movable base (m), a pair of left and right holding arms (2) are connected to the front. The holding arm (2) is configured to allow relative vertical movement of the load (b) between opposing sides, and to engage the locked portion (to) from below. In the upper part of the station room αη, the station room Qη
A clean unit ■ is installed to supply clean air inside.
次に上記実施例における作用について説明する。Next, the operation of the above embodiment will be explained.
荷搬送装置(6)で搬送してきた荷(ロ)を保管棚(ホ
)に御ろすに、先ずクリーンルーム(1)内を走行して
きた台車(7)を、開口09を通してステーション室α
η内に移入させ、移載装置に)に対向させて停止させる
。To unload the load (b) transported by the load transfer device (6) onto the storage shelf (e), first move the trolley (7) that has traveled inside the clean room (1) through the opening 09 into the station room α.
η and stop it facing the transfer device).
このとき移載装置に)においては、第1図実線に示すよ
うに前後可動台(2)と共に保持腕(至)が退入してい
る。次いで昇降枠に)を上昇させると共に左右可動台(
至)を左右動させ、仮想線(イ)で示すように保持腕(
至)を荷(財)に対向させる。そして前後可動台(ロ)
を前進させ、仮想線(ロ)で示すように被係止部(ハ)
の下方に保持腕(至)を位置させる。次いで昇降枠に)
と共に保持腕(7)を上昇させ、被係止部(ハ)を介し
て荷(財)を持ち上げる。そして前後可動台(ロ)を後
退させて荷(イ)を左右可動台(至)の上方に引き込ん
だ後、昇降枠(財)の下降と左右可動台(2)の左右動
とによって荷(ロ)を空の区画収納空間に)に対向させ
る。次いで前後可動台(ロ)の前進によって仮想線(ハ
)に示すように荷(財)を区画収納空間に)内に挿入し
、その後、昇降枠に)を下降して荷(財)を受け皿(ハ
)上に御すと共に、前後可動台(ロ)を後退して保持腕
(至)を抜出することにより、荷御し作業を終了する。At this time, in the transfer device), the holding arm (to) is retracted together with the front and rear movable table (2), as shown by the solid line in FIG. Next, raise the lifting frame) and move the left and right movable platform (
Move the holding arm ( ) to the left and right, and hold the holding arm (
(to) to face the cargo (goods). And front and rear movable platform (b)
, and move the locked part (c) forward as shown by the imaginary line (b).
Position the holding arm (to) below. Then to the lift frame)
At the same time, the holding arm (7) is raised to lift the load (goods) via the locked part (c). Then, after retracting the front and rear movable platform (B) and pulling the load (A) above the left and right movable platform (to), the load (A) is lowered by the lowering of the lifting frame and the left and right movement of the left and right movable platform (2). (b) facing the empty compartment storage space. Next, the front and rear movable platform (b) moves forward to insert the cargo (goods) into the compartment storage space (as shown by the imaginary line (c)), and then lowers the cargo (goods) into the lifting frame to receive the cargo (goods). (c) At the same time, move the front and rear movable platform (b) back and pull out the holding arm (to) to finish the cargo control work.
また上述とは逆の作動を行なうことによって、保管棚−
内の荷(財)を台車(7)の荷支持部OIに積込み得る
。このような作業中において、ステーション室(+71
では上部のクリーンユニットに)からクリーンエアー(
2)が下吹きされ、そして下降するエアーを床(5)か
ら床下に吸引している。これによりステーション室αη
内には上から下へのエアー流が発生し、したがって移載
装置−で発生した塵埃などはクリーンルーム(1)や荷
(ハ)に悪影響を及ぼすことなく素早く床下に吸引除去
し得る。Also, by performing the operation opposite to the above, the storage shelf
The cargo (goods) inside can be loaded onto the cargo support portion OI of the truck (7). During such work, the station room (+71
Then clean air (to the upper clean unit) from
2) is blown downward, and the descending air is sucked from the floor (5) to below the floor. As a result, the station room αη
An air flow from top to bottom is generated inside the room, so that dust generated in the transfer device can be quickly sucked and removed under the floor without adversely affecting the clean room (1) or the cargo (c).
第8図〜第5図は移載装置−を使用した自動ステーショ
ンの別の実施例を示す。すなわち移載袋Hp)は、昇降
枠に)に左右方向駆動自在なコンベヤθ1)とコンベヤ
駆動装置←2とを有し、前記コンベヤθ1)と荷支持部
員との間で荷(ロ)の受け渡しを可能としている。そし
て囲壁体06の適所に搬入出口−が形成され、この搬入
出口(ハ)に対向してステーション室OfJ内に搬入用
コンベヤーを配設すると共に、その駆動装置(ハ)を設
けている。なお搬入出口−には開閉扉を設けてもよい。8 to 5 show another embodiment of an automatic station using a transfer device. In other words, the transfer bag Hp) has a conveyor θ1) that can be driven in the left and right directions and a conveyor drive device ←2 on the lifting frame), and transfers the load (b) between the conveyor θ1) and the load support member. is possible. A carry-in/out port (-) is formed at a suitable location in the surrounding wall 06, and a carry-in conveyor (C) is provided in the station room OfJ opposite to this carry-in/in/out port (C), as well as its driving device (C). Note that an opening/closing door may be provided at the loading/unloading exit.
に)は上部ダクトを示す。) indicates the upper duct.
第6図〜第8図は移載装置−を使用しない手動ステーシ
ョンの別の実施例を示す。すなわちステーション室Qη
内に上位作業床@ηと下位作業床−を形成し、そして下
位作業床(財)に、搬入出口(至)に対向する保管棚(
ホ)を設置している。6-8 show another embodiment of a manual station that does not use a transfer device. That is, the station room Qη
An upper work floor @ η and a lower work floor are formed inside the lower work floor (goods), and a storage shelf (
e) is installed.
発明の効果
上記構成の本発明によると、次のような効果を期待でき
る。すなわち、ステーション室ではクリーンユニットか
ら下吹きされるクリーンエアーが下降して床から床下に
吸引されることになり、これにより発生したエアー流に
よって、ステーション室の移載装置や作業員から発生し
た塵埃などを素早く床下に吸引除去でき、以ってクリー
ンルームや荷に悪影響を及ぼすことを防止できる。また
必要箇所であるステーション室のみ高清浄度(高クリー
ン化)を保つことができ、低コスト、省エネルギー化を
可能にできる。Effects of the Invention According to the present invention having the above configuration, the following effects can be expected. In other words, in the station room, the clean air blown downward from the clean unit descends and is sucked from the floor to the subfloor, and the air flow generated by this removes dust generated from the transfer equipment and workers in the station room. It is possible to quickly suction and remove debris under the floor, thereby preventing any negative impact on the clean room or cargo. In addition, high cleanliness can be maintained only in the station room, which is a necessary location, making it possible to reduce costs and save energy.
第1図、第2図は本発明の一実施例を示し、第1図は縦
断側面図、第2図は斜視図、第8図〜第5図は移載装置
を使用した別の実施例を示し、第8図は縦断側面図、第
4図は縦断正面図、第5図は一部切欠き平面図、第6図
〜第8図は移載装置を使用しない別の実施例を示し、第
6図は縦断正面図、第7図は縦断正面図、第8図は一部
切欠き平面図である。
(])・・・クリーンルーム、(2)・・・天井、(3
)・・・フィルター、(4)・・・クリーンエアー、(
5)・・・床、(6)・・・荷搬送装置、(7)・・・
台車、01・・・荷支持部、α■・・・レール、(至)
・・・箱形ダクト、QfS・・・囲壁体、Qカ・・・ス
テーション室、(ホ)・・・保管棚、(ロ)・・・荷、
(ハ)・・・被係止部、に)・・・移載装置、(2)・
・・クリーンエアー、輪・・・クリーンユニット、67
)・・・上位作業床、(財)・・・下位作業床代理人
森本義弘Figures 1 and 2 show one embodiment of the present invention, Figure 1 is a vertical side view, Figure 2 is a perspective view, and Figures 8 to 5 are other embodiments using a transfer device. FIG. 8 is a vertical side view, FIG. 4 is a vertical front view, FIG. 5 is a partially cutaway plan view, and FIGS. 6 to 8 show another embodiment in which no transfer device is used. , FIG. 6 is a longitudinal sectional front view, FIG. 7 is a longitudinal sectional front view, and FIG. 8 is a partially cutaway plan view. (])...Clean room, (2)...Ceiling, (3
)...Filter, (4)...Clean air, (
5)...Floor, (6)...Load conveyance device, (7)...
Dolly, 01...Load support part, α■...Rail, (to)
... Box-shaped duct, QfS ... Surrounding wall body, Q ... Station room, (E) ... Storage shelf, (B) ... Cargo,
(c)...Locked part, (2)...Transfer device, (2)...
...Clean air, wheel...Clean unit, 67
)...Upper working floor, (Foundation)...Lower working floor agent
Yoshihiro Morimoto
Claims (1)
エアーを床下に吸引するクリーンルーム内に荷搬送装置
を配設し、この荷搬送装置の走行経路の適所に囲壁体に
よりステーション室を形成し、このステーション室内に
クリーンエアーを供給するクリーンユニットを設けたこ
とを特徴とするクリーンルーム内の荷搬送設備。1. A load transfer device is installed in a clean room that blows clean air downward from the ceiling and sucks the descending air below the floor, and a station room is formed with a surrounding wall at an appropriate location on the travel path of this load transfer device. A cargo transport facility in a clean room characterized by having a clean unit that supplies clean air into the station room.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25162383A JPS60140035A (en) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | Load carrying facility in clean room |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25162383A JPS60140035A (en) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | Load carrying facility in clean room |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60140035A true JPS60140035A (en) | 1985-07-24 |
JPH0215443B2 JPH0215443B2 (en) | 1990-04-12 |
Family
ID=17225578
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25162383A Granted JPS60140035A (en) | 1983-12-27 | 1983-12-27 | Load carrying facility in clean room |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60140035A (en) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6244806U (en) * | 1985-09-09 | 1987-03-18 | ||
JPS62122245U (en) * | 1986-01-24 | 1987-08-03 | ||
JPS62144208U (en) * | 1986-02-28 | 1987-09-11 | ||
JPS62200610U (en) * | 1986-06-10 | 1987-12-21 | ||
JPS6341004U (en) * | 1986-09-02 | 1988-03-17 | ||
JPS6348706U (en) * | 1986-09-17 | 1988-04-02 | ||
JPS6384012U (en) * | 1986-11-20 | 1988-06-02 |
-
1983
- 1983-12-27 JP JP25162383A patent/JPS60140035A/en active Granted
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6244806U (en) * | 1985-09-09 | 1987-03-18 | ||
JPS62122245U (en) * | 1986-01-24 | 1987-08-03 | ||
JPS62144208U (en) * | 1986-02-28 | 1987-09-11 | ||
JPS62200610U (en) * | 1986-06-10 | 1987-12-21 | ||
JPH0338163Y2 (en) * | 1986-06-10 | 1991-08-13 | ||
JPS6341004U (en) * | 1986-09-02 | 1988-03-17 | ||
JPH0318405Y2 (en) * | 1986-09-02 | 1991-04-18 | ||
JPS6348706U (en) * | 1986-09-17 | 1988-04-02 | ||
JPH0318406Y2 (en) * | 1986-09-17 | 1991-04-18 | ||
JPS6384012U (en) * | 1986-11-20 | 1988-06-02 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0215443B2 (en) | 1990-04-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3163884B2 (en) | Load storage equipment | |
TWI408090B (en) | Article storage | |
JP4378659B2 (en) | Goods storage facilities and goods storage facilities for clean rooms | |
JPS60140035A (en) | Load carrying facility in clean room | |
JP4780396B2 (en) | Goods storage facilities and goods storage facilities for clean rooms | |
JPS6044404A (en) | Load hold installation in clean room | |
JPS6044406A (en) | Cargo storage equipment | |
JPH027392Y2 (en) | ||
JPS6238963Y2 (en) | ||
JPH03192005A (en) | Material keeping facilities built-in clean room | |
JPH0219042B2 (en) | ||
JP3067528B2 (en) | Load storage equipment | |
JPH0217441B2 (en) | ||
JPH0249206Y2 (en) | ||
JP2970403B2 (en) | Load storage equipment | |
JPH0318405Y2 (en) | ||
JPH0249204Y2 (en) | ||
JPH09150912A (en) | Cargo storage equipment with cleaning device | |
JPH0237764Y2 (en) | ||
JPH0640512A (en) | Warehouse facility | |
JPS61124486A (en) | Conveyor between clean room | |
JP2592687B2 (en) | Load handling equipment in clean room | |
JPH04350008A (en) | Article carrying in and out device used in clean warehouse | |
JPH0114566Y2 (en) | ||
JPH026049Y2 (en) |