JPH0249206Y2 - - Google Patents

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JPH0249206Y2
JPH0249206Y2 JP1984177704U JP17770484U JPH0249206Y2 JP H0249206 Y2 JPH0249206 Y2 JP H0249206Y2 JP 1984177704 U JP1984177704 U JP 1984177704U JP 17770484 U JP17770484 U JP 17770484U JP H0249206 Y2 JPH0249206 Y2 JP H0249206Y2
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JP
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guided
suction
loading
guided body
rail
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Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、天井側からクリーンエアーを下吹き
し、下降するエアーを床下に吸引するクリーンル
ーム内に設置され、例えば半導体のような塵埃を
極端にきらう物品(荷)の保管に使用されるクリ
ーンルーム内の荷保管設備に関するものである。
[Detailed description of the invention] Industrial field of application This invention is installed in a clean room where clean air is blown downward from the ceiling and the descending air is sucked below the floor. This relates to cargo storage equipment in a clean room used to store goods (cargoes).

従来の技術 一般に荷保管設備は、上下方向ならびに横方向
に複数の区画収納空間を有する棚と、この棚に沿
つた一定経路上を走行自在で且つ昇降なならびに
横方向出退自在な出し入れ具を有する搬入出装置
とから構成され、さらに搬入出装置の走行は、下
部レールと上部レールとに夫々被ガイド体を支持
案内させることにより行なつている。
BACKGROUND TECHNOLOGY In general, cargo storage equipment includes a shelf that has a plurality of compartment storage spaces in the vertical and horizontal directions, and a loading/unloading tool that can move freely along a fixed path along the shelf and can move up and down as well as move in and out in the horizontal direction. Furthermore, the carrying-in/out device travels by supporting and guiding the guided body on the lower rail and the upper rail, respectively.

考案が解決しようとする問題点 このような従来の荷保管設備によると、両レー
ルに対してガイド体が支持案内される部分に摩損
などにより多くの塵埃が発生し、特に上部レール
側では発生箇所が棚の近くであることから、発生
した塵埃は床側に吸引されることなく棚に保管し
ている荷側に移行することになり、荷に悪影響を
及ぼすことになる。これらのことから、クリーン
ルーム内での荷保管の機械化、自動化、すなわち
荷保管設備の採用は因難とされていた。
Problems that the invention aims to solve: According to such conventional cargo storage equipment, a lot of dust is generated due to wear and tear on the part where the guide body is supported and guided by both rails, especially on the upper rail side. Since the dust is located near the shelves, the generated dust will not be sucked to the floor but will migrate to the cargo stored on the shelves, which will have an adverse effect on the cargo. For these reasons, it has been considered difficult to mechanize and automate cargo storage in clean rooms, that is, to adopt cargo storage equipment.

問題を解決するための手段 上記問題点を解決するために本考案におけるク
リーンルーム内の荷保管設備は、天井側からクリ
ーンエアーを下吹きし、下降するエアーを床下に
吸引するクリーンルーム内に、上下方向ならびに
横方向に複数の区画収納空間を有する棚と、この
棚に沿つた一定経路上を走行自在で且つ昇降なら
びに横方向出退自在な出し入れ具を有する搬入出
装置とを設け、この搬入出装置は、下部レールに
支持案内される下部被ガイド体と、上部レールに
案内される上部被ガイド体を有し、前記下部レー
ルと下部被ガイド体とを防塵カバー内に設け、ま
た上部レールと上部被ガイド体とを前記一定経路
の全長に亘つて覆う吸引ダクトを設け、この吸引
ダクトの吸入部を、上部被ガイド体と搬入出装置
との連結用支持部材の通過を許すスリツトとする
と共に、吐出部を吸引装置に接続される吸引口と
したものである。
Means for solving the problem In order to solve the above problem, the cargo storage equipment in the clean room according to the present invention blows clean air downward from the ceiling side and sucks the descending air below the floor. The loading/unloading device is provided with a shelf having a plurality of compartment storage spaces in the horizontal direction, and a loading/unloading device that can move freely on a fixed path along the shelf and has a loading/unloading device that can be moved up and down and moved in and out in the lateral direction. has a lower guided body supported and guided by a lower rail, and an upper guided body guided by an upper rail, the lower rail and the lower guided body are provided in a dustproof cover, and the upper rail and the upper A suction duct that covers the guided body over the entire length of the predetermined path is provided, and the suction part of the suction duct is a slit that allows passage of a support member for connecting the upper guided body and the loading/unloading device, The discharge part is a suction port connected to a suction device.

作 用 かかる本考案構成によると、下部レールに下部
被ガイド体が支持案内されることにより発生する
塵埃は防塵カバーによつてクリーンルーム内への
移行が防止され、また上部レールに上部被ガイド
体が案内されることにより発生する塵埃は、吸引
ダクト内に作用しているエアーの吸引力によつて
クリーンルーム内へ移行することなく除去し得
る。
According to the configuration of the present invention, the dust generated when the lower guided object is supported and guided by the lower rail is prevented from moving into the clean room by the dust cover, and the upper guided object is supported and guided by the upper rail. Dust generated by being guided can be removed without moving into the clean room by the suction force of the air acting in the suction duct.

実施例 以下に本考案の一実施例を図面に基づいて説明
する。1はクリーンルームで、天井2側からフイ
ルター3を通してクリーンエアー4を下吹きし、
下降するエアーをメツシユ形式の床5を通して床
下に吸引するように構成してある。6は棚で、前
面が開放する箱状の本体7と、この本体7内にお
いて横方向に多数並設した縦枠8と、これら縦枠
8に上下方向に多数取付けた前後枠9と、相対向
する前後枠9間に取付けた荷受板10と、下部に
おいて本体7を切欠いて形成した入出庫口11
と、この入出庫口11を通つて裏側に突出する入
庫口荷受台12ならびに出庫口荷受台13とから
なり、両枠8,9などによつて上下方向ならびに
横方向に夫々複数の区画収納空間14を形成す
る。15は搬入出装置で、前記棚6の前面側に沿
つた一定経路16上を走行自在である。すなわち
搬入出装置15は本体を四角筒状のポスト17か
ら形成し、その下端の棚6側の面にはブラケツト
18を介してスライド体(下部被ガイド体の一例
であつて、ローラなどに代え得る。)19が取付
けてある。このスライド体19は棚6の本体7側
に取付けられ且つ前記一定経路16に沿つた下部
レール20に支持案内される。前記ポスト17の
下面から取付け部材21が垂設され、この取付け
部材21は本体7側に設けた無端回動体22の一
箇所に連結し、さらに無端回動体22は輪体など
を介して正逆駆動装置23に連動している。前記
下部レール20や正逆駆動装置23などは本体7
と一体の防塵カバー24内に配設され、その際に
防塵カバー24には、ブラケツト18や取付け部
材21の移動を許すスリツト25,26が形成し
てある。
Embodiment An embodiment of the present invention will be described below based on the drawings. 1 is a clean room, in which clean air 4 is blown down from the ceiling 2 side through a filter 3,
It is constructed so that the descending air is sucked under the floor through a mesh type floor 5. Reference numeral 6 denotes a shelf, which includes a box-shaped main body 7 with an open front, a large number of vertical frames 8 arranged horizontally in parallel within this main body 7, a large number of front and rear frames 9 attached to these vertical frames 8 in the vertical direction, and A loading/unloading port 11 is formed by cutting out the main body 7 at the lower part.
It consists of an inlet loading tray 12 and an unloading loading tray 13 that protrude to the back side through the loading/unloading opening 11, and a plurality of compartment storage spaces are created in the vertical and horizontal directions by the frames 8, 9, etc. Form 14. Reference numeral 15 denotes a loading/unloading device, which is movable along a fixed path 16 along the front side of the shelf 6. That is, the carry-in/out device 15 has a main body formed of a square cylindrical post 17, and a sliding body (an example of a lower guided body, which is an example of a lower guided body, instead of a roller etc. ) 19 is installed. This slide body 19 is attached to the main body 7 side of the shelf 6 and is supported and guided by a lower rail 20 along the constant path 16. A mounting member 21 is provided vertically from the lower surface of the post 17, and this mounting member 21 is connected to one point of an endless rotating body 22 provided on the main body 7 side, and the endless rotating body 22 can be rotated in forward and reverse directions via a wheel or the like. It is linked to the drive device 23. The lower rail 20, forward/reverse drive device 23, etc. are included in the main body 7.
The dustproof cover 24 is provided within a dustproof cover 24 that is integrated with the housing, and slits 25 and 26 are formed in the dustproof cover 24 to allow movement of the bracket 18 and the mounting member 21.

前記ポスト17の上端には支持部材27を介し
て一対の遊転ローラ(上部被ガイド体の一例であ
つて、スライド体などに代え得る。)28が配設
され、これら遊転ローラ28間に位置し且つ一定
経路16に沿つた上部レール29が、取付け部材
30を介して本体7側に取付けてある。前記上部
レール29と遊転ローラ28とは、前記一定経路
16の全長に亘つて配設され且つ取付け部材30
側に支持された吸引ダクト31内に配設され、こ
の吸引ダクト31に、吸引装置(図示せず)に連
動する吸引口32や、支持部材27の移動を許す
スリツト33を形成している 前記搬入出装置15は、両レール20,29に
支持案内されて一定経路16上を走行自在であ
り、そのポスト17の走行方向側のいずれか一面
には上下方向にスリツト34を形成している。前
記ポスト17内には上位輪体35、下位輪体3
6、駆動輪体37などが配設され、これら輪体3
5,36,37間に無端回動体38を巻回すると
共に、駆動輪体37を正逆駆動装置39に連動し
ている。前記無端回動体38の一箇所に連結した
昇降体40はポスト17内に配設した上下レール
41に案内され、また昇降体40からの連結部材
42は前記スリツト34を通つて突出している。
この連結部材42の突出端には昇降台43が取付
けられ、また昇降台43上に横方向出退自在な出
し入れ具44を設けて、両荷受台12,13と区
画収納空間14との間で荷45の受け渡しを可能
にしている。
A pair of idling rollers (which is an example of an upper guided body and can be replaced with a sliding body, etc.) 28 are disposed at the upper end of the post 17 via a support member 27, and between these idling rollers 28, An upper rail 29 located along the fixed path 16 is attached to the main body 7 side via an attachment member 30. The upper rail 29 and the idle roller 28 are arranged along the entire length of the fixed path 16 and are attached to the mounting member 30.
The suction duct 31 is disposed within a suction duct 31 supported on the side, and the suction duct 31 is formed with a suction port 32 that is linked to a suction device (not shown) and a slit 33 that allows movement of the support member 27. The loading/unloading device 15 is supported and guided by both rails 20 and 29 and can freely travel on a fixed path 16, and a slit 34 is formed in the vertical direction on one of the surfaces of the post 17 in the running direction. Inside the post 17 are an upper wheel body 35 and a lower wheel body 3.
6, a driving wheel body 37 etc. are arranged, and these wheel bodies 3
An endless rotating body 38 is wound between 5, 36, and 37, and the drive wheel body 37 is linked to a forward/reverse drive device 39. An elevating body 40 connected to one point of the endless rotating body 38 is guided by a vertical rail 41 disposed within the post 17, and a connecting member 42 from the elevating body 40 projects through the slit 34.
An elevating table 43 is attached to the protruding end of the connecting member 42, and a loading/unloading tool 44 that can be moved in and out in the horizontal direction is provided on the elevating table 43, so that it can be moved between the cargo receiving tables 12, 13 and the compartment storage space 14. This makes it possible to receive and receive cargo 45.

以下に上記実施例の作用を説明する。クリーン
ルーム1内では、フイルター3を通つて下吹きさ
れるクリーンエアー4が下降し、そして下降する
エアーを床5下に吸引することから、そのクリー
ン度は確保されている。このようなクリーンルー
ム1内で搬入出装置15を使用しての、棚6の目
的とする区画収納空間14と両荷受台12,13
との間での荷45の受け渡しは、この搬入出装置
15の一定経路16上での走行動作と、昇降台4
3の昇降動作と、出し入れ具44の出退動作との
組合わせ動作により行なえる。その際に下部レー
ル20に対してスライド体19が支持案内される
ことにより発生する塵埃は、塵埃カバー24によ
つてクリーンルーム1内に出ることが防止され
る。また上部レール29に遊転ローラ28が案内
されることにより発生する塵埃は、吸引ダクト3
1によつて飛散が防止され、そして吸引ダクト3
1内に作用しているエアー吸引力によつてクリー
ンルーム1内へ移行することなく除去し得る。
The operation of the above embodiment will be explained below. Inside the clean room 1, the clean air 4 that is blown downward through the filter 3 descends, and the descending air is sucked below the floor 5, so that its cleanliness is ensured. In such a clean room 1, using the loading/unloading device 15, the partitioned storage space 14 targeted by the shelf 6 and both cargo receiving platforms 12, 13 are
The delivery of the load 45 between the
This can be performed by a combination of the lifting and lowering operations of step 3 and the moving and retracting operations of the loading/unloading tool 44. At this time, dust generated when the slide body 19 is supported and guided with respect to the lower rail 20 is prevented from coming out into the clean room 1 by the dust cover 24. In addition, dust generated when the idle roller 28 is guided by the upper rail 29 is removed from the suction duct 3.
1 prevents scattering, and the suction duct 3
Due to the air suction force acting within the clean room 1 , it can be removed without moving into the clean room 1 .

考案の効果 上記構成の本考案によると、天井吹出し床下吸
引型のクリーンルームにおいて、下部レールに下
部被ガイド体が支持案内されることにより発生す
る塵埃は、防塵カバーによつてクリーンルーム内
への移行を防止することができる。また上部レー
ルに上部被ガイド体が案内されることにより発生
する塵埃は、吸引ダクト内に作用している吸引装
置の吸引力によつて、吸引ダクトのスリツトから
吸引したクリーンエアーを吸引口に排出すること
で、クリーンルーム内へ移行することなく除去す
ることができる。これによりガイド部で発生した
塵埃が棚側に移行することを防止でき、したがつ
てクリーンルーム内での荷保管の機械化、自動化
を可能にできる。
Effects of the invention According to the invention having the above configuration, in a clean room with a ceiling blowout and underfloor suction type, the dust generated when the lower guided body is supported and guided by the lower rail is prevented from migrating into the clean room by the dust cover. It can be prevented. In addition, the dust generated when the upper guided object is guided by the upper rail is removed by the suction force of the suction device acting in the suction duct, and the clean air sucked from the slit in the suction duct is discharged to the suction port. By doing so, it can be removed without moving into the clean room. This makes it possible to prevent dust generated in the guide section from moving to the shelf side, thereby making it possible to mechanize and automate cargo storage in a clean room.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

図面は本考案の一実施例を示し、第1図は一部
切欠き側面図、第2図は棚の裏側から見た一部切
欠き背面図、第3図は一部切欠き平面図、第4図
は上部ガイド部の縦断側面図、第5図は同正面
図、第6図は同平面図である。 1…クリーンルーム、2…天井、3…フイルタ
ー、4…クリーンエアー、5…床、6…棚、12
…入庫口荷受台、13…出庫口荷受台、14…区
画収納空間、15…搬入出装置、16…一定経
路、17…ポスト、19…スライド体(下部被ガ
イド体)、20…下部レール、24…防塵カバー、
27…支持部材、28…遊転ローラ(上部被ガイ
ド体)、29…上部レール、31…吸引ダクト、
32…吸引口、33…スリツト、43…昇降台、
44…出し入れ具、45…荷。
The drawings show an embodiment of the present invention, in which Fig. 1 is a partially cutaway side view, Fig. 2 is a partially cutaway rear view seen from the back side of the shelf, and Fig. 3 is a partially cutaway plan view. FIG. 4 is a longitudinal sectional side view of the upper guide portion, FIG. 5 is a front view thereof, and FIG. 6 is a plan view thereof. 1...Clean room, 2...Ceiling, 3...Filter, 4...Clean air, 5...Floor, 6...Shelf, 12
...Archive loading platform, 13...Outgoing loading dock, 14...Division storage space, 15...Carry-in/out device, 16...fixed path, 17...post, 19...sliding body (lower guided body), 20...lower rail, 24...Dust cover,
27... Support member, 28... Idle roller (upper guided body), 29... Upper rail, 31... Suction duct,
32...Suction port, 33...Slit, 43...Elevating platform,
44... Loading/unloading tool, 45... Cargo.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 天井側からクリーンエアーを下吹きし、下降す
るエアーを床下に吸引するクリーンルーム内に、
上下方向ならびに横方向に複数の区画収納空間を
有する棚と、この棚に沿つた一定経路上を走行自
在で且つ昇降ならびに横方向出退自在な出し入れ
具を有する搬入出装置とを設け、この搬入出装置
は、下部レールに支持案内される下部被ガイド体
と、上部レールに案内される上部被ガイド体を有
し、前記下部レールと下部被ガイド体とを防塵カ
バー内に設け、また上部レールと上部被ガイド体
とを前記一定経路の全長に亘つて覆う吸引ダクト
を設け、この吸引ダクトの吸入部を、上部被ガイ
ド体と搬入出装置との連結用支持部材の通過を許
すスリツトとすると共に、吐出部を吸引装置に接
続される吸引口としたことを特徴とするクリーン
ルーム内の荷保管設備。
Inside the clean room, clean air is blown downward from the ceiling and the descending air is sucked below the floor.
A loading/unloading device is provided with a shelf having a plurality of divided storage spaces in the vertical and horizontal directions, and a loading/unloading device that can move freely on a fixed path along the shelf and can be moved up and down as well as in the horizontal direction. The output device has a lower guided body supported and guided by the lower rail, and an upper guided body guided by the upper rail, the lower rail and the lower guided body are provided in a dustproof cover, and the upper rail A suction duct is provided that covers the entire length of the predetermined path between the upper guided body and the upper guided body, and the suction portion of the suction duct is a slit that allows passage of a support member for connecting the upper guided body and the carry-in/out device. Also, a cargo storage facility in a clean room, characterized in that the discharge part is a suction port connected to a suction device.
JP1984177704U 1984-11-22 1984-11-22 Expired JPH0249206Y2 (en)

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JPS6192609U JPS6192609U (en) 1986-06-16
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011230887A (en) * 2010-04-27 2011-11-17 Taisei Corp Carrying device

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