JPS6013788B2 - 単結晶フエライトの精密加工方法 - Google Patents
単結晶フエライトの精密加工方法Info
- Publication number
- JPS6013788B2 JPS6013788B2 JP56017252A JP1725281A JPS6013788B2 JP S6013788 B2 JPS6013788 B2 JP S6013788B2 JP 56017252 A JP56017252 A JP 56017252A JP 1725281 A JP1725281 A JP 1725281A JP S6013788 B2 JPS6013788 B2 JP S6013788B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- single crystal
- ferrite
- processing method
- precision processing
- crystal ferrite
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B1/00—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、磁気ヘッド用材料の精密加工方法に係り、
ビデオテープレコーダー用画像ヘッドあるいはＰＣＭオ
ーディオ用銭再ヘッドのような高周波城で使用される磁
気ヘッド用材料の単結晶フェライトを精密かつ無歪仕上
する加工方法に関する。
ビデオテープレコーダー用画像ヘッドあるいはＰＣＭオ
ーディオ用銭再ヘッドのような高周波城で使用される磁
気ヘッド用材料の単結晶フェライトを精密かつ無歪仕上
する加工方法に関する。
一般に磁気ヘッド用材料には精密加工性のある材料とし
て多結晶フェライトが使用されている。
て多結晶フェライトが使用されている。
また、ＶＴＲ画像ヘッドの如くトラック幅２０ｒｍ、ギ
ャップ長０．３ｒｍ程度の超精密加工性を必要とする場
合には単結晶フェライトが用いられる。従ってかかるフ
ェライト素材は平滑な無歪表面とする必要があり、例え
ば単結晶フェライトの機械研摩後の加工歪取用精密加工
方法として、袴公昭５３一２６９６３号公報に示される
ようなメカノケミカル研摩法が適用されている。
ャップ長０．３ｒｍ程度の超精密加工性を必要とする場
合には単結晶フェライトが用いられる。従ってかかるフ
ェライト素材は平滑な無歪表面とする必要があり、例え
ば単結晶フェライトの機械研摩後の加工歪取用精密加工
方法として、袴公昭５３一２６９６３号公報に示される
ようなメカノケミカル研摩法が適用されている。
ところが、単結晶フェライトでも結晶面が（１１１）の
場合には、このメカノケミカル研摩法は有効でなく、平
滑な無歪表面を得ることはできない。
場合には、このメカノケミカル研摩法は有効でなく、平
滑な無歪表面を得ることはできない。
そこで、この発明は、かかる（１１１）面を精密かつ無
歪仕上面とする加工方法を提案するものである。
歪仕上面とする加工方法を提案するものである。
すなわち、この発明は、Ｍｇ０，ＡＩ２０３の粒径が０
．００１〜０．０５山ｍの微細粉のうち１種を純水中に
懸濁させ、これをＰＨ＝７±１の領域に調整した純水中
懸濁液中において、単結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライトの（１
１１）面をポリツシュすることを要旨とする。
．００１〜０．０５山ｍの微細粉のうち１種を純水中に
懸濁させ、これをＰＨ＝７±１の領域に調整した純水中
懸濁液中において、単結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライトの（１
１１）面をポリツシュすることを要旨とする。
さらに詳しく説明すると、所定の材質例えばクロスある
いはＳｎ等のポリッシャーを回転可能に構成した糟内に
上記微細粉のいずれかを懸濁させた研摩液を注入し、被
加工物たる単結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライトを回転可能な拘
持装置に装着し、（１１１）面をポリツシャーへ所定の
加圧力で当俵させ、これらを回転させて研摩液中で加工
するものであり、ポリッシャー材質、回転数、温度等は
適宜選定すればよい。
いはＳｎ等のポリッシャーを回転可能に構成した糟内に
上記微細粉のいずれかを懸濁させた研摩液を注入し、被
加工物たる単結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライトを回転可能な拘
持装置に装着し、（１１１）面をポリツシャーへ所定の
加圧力で当俵させ、これらを回転させて研摩液中で加工
するものであり、ポリッシャー材質、回転数、温度等は
適宜選定すればよい。
この発明方法によって単結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライトを精
密平面に加工することができる。次にこの発明による加
工方法の機構を詳述する。一般に、多結晶フェライト、
多結晶フェライトを精密平面に加工する場合、その前工
程として炭化珪素やダイヤモンド粒によるラッピングが
行なわれている。
密平面に加工することができる。次にこの発明による加
工方法の機構を詳述する。一般に、多結晶フェライト、
多結晶フェライトを精密平面に加工する場合、その前工
程として炭化珪素やダイヤモンド粒によるラッピングが
行なわれている。
このラッピングによる加工面を詳細に観察すると、ラッ
ピング面には多数の加工条痕が残っており、この条痕の
重なりにより加工面が形成されていることが確認できる
。したがって、加工表面にはラッピングによる流動層や
変質層又その影響による応力層が内在しているため、歪
層を除去するための加工条件はあらゆる点から選択され
なければならない。
ピング面には多数の加工条痕が残っており、この条痕の
重なりにより加工面が形成されていることが確認できる
。したがって、加工表面にはラッピングによる流動層や
変質層又その影響による応力層が内在しているため、歪
層を除去するための加工条件はあらゆる点から選択され
なければならない。
ここで、多結晶フェライトの場合には、その結晶方位に
よる機械的耐摩耗性又は化学的耐腐蝕性に大きな違いが
あり、この点を重視して加工液のＰＨを材料に最も適す
るアルカリ性あるいは酸性領域に調整してポリッシュし
ており、その結果、結晶段差が少なく、又スクラッチの
ない精密平面が得られる。
よる機械的耐摩耗性又は化学的耐腐蝕性に大きな違いが
あり、この点を重視して加工液のＰＨを材料に最も適す
るアルカリ性あるいは酸性領域に調整してポリッシュし
ており、その結果、結晶段差が少なく、又スクラッチの
ない精密平面が得られる。
すなわちメカノケミカルな精密無歪加工方法が可能とな
る。ところが、単結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライトの（１１１
）面を、かかる無歪仕上する場合には、上記のケミカル
な作用が働くと、前工程による条痕の近辺に存在する変
質応力層の侵蝕速度が速く、平滑な面は得られない。
る。ところが、単結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライトの（１１１
）面を、かかる無歪仕上する場合には、上記のケミカル
な作用が働くと、前工程による条痕の近辺に存在する変
質応力層の侵蝕速度が速く、平滑な面は得られない。
そこで上記のケミカルアクションを押え、フィジカルな
反応を強調するように、Ｍｇ○，山２０３の粒径０．０
０１〜０．０５Ａｍの微細粉を０．５〜２０ｖｏｌ％（
見掛け体積）、純水中に懸濁させた加工液のＰＨを７±
１に調整してポリッシュすることにより、前工程の歪み
や残留応力の分布、偏在にかかわらず、極めて平滑な無
歪仕上面、表面粗ざの３０Ａ以下が得られる。
反応を強調するように、Ｍｇ○，山２０３の粒径０．０
０１〜０．０５Ａｍの微細粉を０．５〜２０ｖｏｌ％（
見掛け体積）、純水中に懸濁させた加工液のＰＨを７±
１に調整してポリッシュすることにより、前工程の歪み
や残留応力の分布、偏在にかかわらず、極めて平滑な無
歪仕上面、表面粗ざの３０Ａ以下が得られる。
すなわち、従来のメカノケミカルと異なり、フィジカル
ポリッシングと呼ぶべき性質の精密無歪加工方法である
。この発明において、懸濁液のＰＨ値を限定した理由は
、ＰＨ８を越え或いは６未満の場合は、Ｍｎ−Ｚｎフェ
ライト単結晶（１１１）面にケミカル作用が働き、前工
程による条痕の近辺に存在する変質応力層の侵蝕速度が
速く、平滑な面が得られないためである。
ポリッシングと呼ぶべき性質の精密無歪加工方法である
。この発明において、懸濁液のＰＨ値を限定した理由は
、ＰＨ８を越え或いは６未満の場合は、Ｍｎ−Ｚｎフェ
ライト単結晶（１１１）面にケミカル作用が働き、前工
程による条痕の近辺に存在する変質応力層の侵蝕速度が
速く、平滑な面が得られないためである。
また、ＰＨ値は７±１の範囲内で十分なる効果が得られ
るが、望ましいＰＨ値は７±０．５であり、加工液のＰ
Ｈ調整には、例えばＭｇ○の場合はアルカリ性なので、
ＨＣＩ等の酸性液を加えるとよい。また、Ｍぬ，山２０
３の微細粉の粒径は、０．００１ｒｍ禾満では加工能率
が低く、０．０５ｒｍを越えると単結晶フェライト表面
に引掻き癖が生じやすくなるので、粒径は０．００１山
ｍ〜０．０５山ｍに限定する。
るが、望ましいＰＨ値は７±０．５であり、加工液のＰ
Ｈ調整には、例えばＭｇ○の場合はアルカリ性なので、
ＨＣＩ等の酸性液を加えるとよい。また、Ｍぬ，山２０
３の微細粉の粒径は、０．００１ｒｍ禾満では加工能率
が低く、０．０５ｒｍを越えると単結晶フェライト表面
に引掻き癖が生じやすくなるので、粒径は０．００１山
ｍ〜０．０５山ｍに限定する。
また、前記微細粉の純水中への懸濁量は、０．５ｖｏｌ
％（見掛け体積）未満では加工能率が低く、また２仇ｏ
ｌ％（見掛け体積）を越えると、研摩液の粘性が上昇し
、加工性が低下すると共に前記微細粉のゲル化、二次凝
集により、単結晶フェライト表面に癖が発生しやすくな
るので好ましくない。
％（見掛け体積）未満では加工能率が低く、また２仇ｏ
ｌ％（見掛け体積）を越えると、研摩液の粘性が上昇し
、加工性が低下すると共に前記微細粉のゲル化、二次凝
集により、単結晶フェライト表面に癖が発生しやすくな
るので好ましくない。
更に、ポリッシャーへの当援加圧力が０．２ｋ９／塊未
満では加工能率が低く、表面粗度も改善されず、加圧力
の上昇に伴って、表面紙度は平滑となるが、０．８ｋｇ
／のを越えると研摩機械の剛・性上問題があり、また庇
も発生しやすく、実用的生産には好ましくないので、当
援加圧力を０．２〜０．８ｋ９／ｃ髭に保持してポリッ
シュすると表面の平滑性向上に極めて大なる効果がある
。
満では加工能率が低く、表面粗度も改善されず、加圧力
の上昇に伴って、表面紙度は平滑となるが、０．８ｋｇ
／のを越えると研摩機械の剛・性上問題があり、また庇
も発生しやすく、実用的生産には好ましくないので、当
援加圧力を０．２〜０．８ｋ９／ｃ髭に保持してポリッ
シュすると表面の平滑性向上に極めて大なる効果がある
。
Claims (1)
- １ 粒径が０．００１μｍ〜０．０５μｍのＭｇＯ，Ａ
ｌ＿２Ｏ＿３の微細粉のち１種を、０．５ｖｏｌ％〜２
０ｖｏｌ％純水中に懸濁させた液を、ＰＨ＝７±１の領
域に調整し、前記懸濁液中において、単結晶Ｍｎ−Ｚｎ
フエライトの１１１面のポリツシヤーへの加圧力を０．
２ｋｇ／ｃｍ＾２〜０．８ｋｇ／ｃｍ＾２にしてポリツ
シユする単結晶フエライトの精密加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56017252A JPS6013788B2 (ja) | 1981-02-06 | 1981-02-06 | 単結晶フエライトの精密加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56017252A JPS6013788B2 (ja) | 1981-02-06 | 1981-02-06 | 単結晶フエライトの精密加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57132964A JPS57132964A (en) | 1982-08-17 |
| JPS6013788B2 true JPS6013788B2 (ja) | 1985-04-09 |
Family
ID=11938755
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56017252A Expired JPS6013788B2 (ja) | 1981-02-06 | 1981-02-06 | 単結晶フエライトの精密加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6013788B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02142593U (ja) * | 1989-05-01 | 1990-12-04 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4435247A (en) * | 1983-03-10 | 1984-03-06 | International Business Machines Corporation | Method for polishing titanium carbide |
| JPS5953317B2 (ja) * | 1983-03-10 | 1984-12-24 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | 非晶質酸化アルミニウム表面の化学的−機械的研摩方法 |
| JPS6048252A (ja) * | 1983-08-24 | 1985-03-15 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 結晶化ガラスの精密研摩方法 |
| JPS60155359A (ja) * | 1984-01-20 | 1985-08-15 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | セラミツクス材料の無孔化研摩方法 |
-
1981
- 1981-02-06 JP JP56017252A patent/JPS6013788B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02142593U (ja) * | 1989-05-01 | 1990-12-04 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57132964A (en) | 1982-08-17 |
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