JPS60130841A - ウエハ−移載装置 - Google Patents
ウエハ−移載装置Info
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- JPS60130841A JPS60130841A JP23887883A JP23887883A JPS60130841A JP S60130841 A JPS60130841 A JP S60130841A JP 23887883 A JP23887883 A JP 23887883A JP 23887883 A JP23887883 A JP 23887883A JP S60130841 A JPS60130841 A JP S60130841A
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- Japan
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- wafer
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、キャリヤの中に収容されたウェハーを他のキ
ャリヤに移載するウェハー移載装置に関するものである
。
ャリヤに移載するウェハー移載装置に関するものである
。
ウェハーは多くの処理工程を経て処理されるが、その間
に最も留意せねば′ならないのが塵などの異物の伺着或
いは汚染の防止と、破損の防止である。
に最も留意せねば′ならないのが塵などの異物の伺着或
いは汚染の防止と、破損の防止である。
ウェハーが成る処理工程から次の処理工程に移るときに
池のキャリヤに移載する必要がある場合がある。例えば
各工程で用いる処理液の相互の混入を防ぐため、或いは
、処理液に対し適切な材質のキャリヤを用いるため、な
どの場合にはウェハーを移載せねばならない。
池のキャリヤに移載する必要がある場合がある。例えば
各工程で用いる処理液の相互の混入を防ぐため、或いは
、処理液に対し適切な材質のキャリヤを用いるため、な
どの場合にはウェハーを移載せねばならない。
移載に当たって従来においては、例えば、第１図（ａ）
に示す如くツエノ１−１を収容した第一のキャリヤ２の
上に、空の第二のキャリヤ３をかぶせ、同図（１））の
如くさかさにすればウェハー１は落下して第二のキャリ
ヤ３の中に入り移載される。しｈ化これでは衝撃により
割れ、欠けなどの破損を生じ易い。
に示す如くツエノ１−１を収容した第一のキャリヤ２の
上に、空の第二のキャリヤ３をかぶせ、同図（１））の
如くさかさにすればウェハー１は落下して第二のキャリ
ヤ３の中に入り移載される。しｈ化これでは衝撃により
割れ、欠けなどの破損を生じ易い。
そこで、第２図の如くゴムベルト４を用し）、第一のキ
ャリヤ２の下降と第二のキャリヤ３の上昇とを同時に行
ないながらウェハー１を１枚づつ移載する方法も見られ
るが時間がかかる上ゴムベルトの摩耗粉などが刊着し障
害を伴なうものであった。
ャリヤ２の下降と第二のキャリヤ３の上昇とを同時に行
ないながらウェハー１を１枚づつ移載する方法も見られ
るが時間がかかる上ゴムベルトの摩耗粉などが刊着し障
害を伴なうものであった。
第３図は別の従来例であり第一のキャリヤ２の中のウェ
ハー１をシリング５により突き」ニけ′てホルダー６に
保持せしめ、シリング５を引込めて第一のキャリヤ２を
除外、新たに第二のキャリ３を移し、シリング５を再び
伸ばしてホルダ６からつエバー１を受取り第二のキャリ
ヤ３に移載する方法も見られる。しかし、この方法にお
いてもホルダ６にて挟持するとと破損し易く、また、ホ
ルダー６が乍方にあるのでホルダー６からの塵か落下し
て“ンエハ−１１こ（＝Ｉ着するおそれがあった。
ハー１をシリング５により突き」ニけ′てホルダー６に
保持せしめ、シリング５を引込めて第一のキャリヤ２を
除外、新たに第二のキャリ３を移し、シリング５を再び
伸ばしてホルダ６からつエバー１を受取り第二のキャリ
ヤ３に移載する方法も見られる。しかし、この方法にお
いてもホルダ６にて挟持するとと破損し易く、また、ホ
ルダー６が乍方にあるのでホルダー６からの塵か落下し
て“ンエハ−１１こ（＝Ｉ着するおそれがあった。
また、ウェハー１には結晶軸の方向を明確にするため、
或いは処理に当たっての位置合わせのためにオリエンテ
ーションフラットなる直線の切欠部７を有する。この切
欠部７をパターン焼（す処理などの処理に当たっては同
じ向きにそろえる必要があるが、そのための整列装置を
特に必要とし、構造が複雑になる欠点かあった。
或いは処理に当たっての位置合わせのためにオリエンテ
ーションフラットなる直線の切欠部７を有する。この切
欠部７をパターン焼（す処理などの処理に当たっては同
じ向きにそろえる必要があるが、そのための整列装置を
特に必要とし、構造が複雑になる欠点かあった。
本発明は、従来のものの上記の欠点を除き、塵の刺着や
汚染のおそれかなく、かつ破損を防止するウェハーの移
載装置を提供することを目的とするものである。
汚染のおそれかなく、かつ破損を防止するウェハーの移
載装置を提供することを目的とするものである。
さらに本発明は、特別な整列装置を用いずに、移載動作
と同時に切欠部７の整列を行なうことかできるウェハー
移載装置を提供することを第二の目的としている。
と同時に切欠部７の整列を行なうことかできるウェハー
移載装置を提供することを第二の目的としている。
本発明は、ウェハーを収容した第一キャリヤを受ける第
一キャリャ受けと、ウェハーか移載されるべき第二キャ
リヤを受ける第二キャリヤ受けとを、それぞれのキャリ
ヤの開放口をほぼ上方に向けて保持する第一位置と、そ
れぞれのキャリヤの詠開放］」を向かい合わせてそれぞ
れのキャリヤの中心線をほぼ一直線上に配備して前記第
一キャリヤから前記第二キャリヤへのウェハーの移送通
路を形成せしめる第二位置との開を、それぞれ往復可能
に移動ぜしめるキャリヤ移動機構を、水平面１こ則して
迩向きに往復傾動ｉｆ能な傾動台１こ設け、前記第二位
置において前記第一キャリヤの中のつエバーを駆動して
前記第二キャリヤの中まで移動せしめて移載する駆動（
幾構を備えたことを特徴とするウェハー移載装置である
。
一キャリャ受けと、ウェハーか移載されるべき第二キャ
リヤを受ける第二キャリヤ受けとを、それぞれのキャリ
ヤの開放口をほぼ上方に向けて保持する第一位置と、そ
れぞれのキャリヤの詠開放］」を向かい合わせてそれぞ
れのキャリヤの中心線をほぼ一直線上に配備して前記第
一キャリヤから前記第二キャリヤへのウェハーの移送通
路を形成せしめる第二位置との開を、それぞれ往復可能
に移動ぜしめるキャリヤ移動機構を、水平面１こ則して
迩向きに往復傾動ｉｆ能な傾動台１こ設け、前記第二位
置において前記第一キャリヤの中のつエバーを駆動して
前記第二キャリヤの中まで移動せしめて移載する駆動（
幾構を備えたことを特徴とするウェハー移載装置である
。
本発明の実施例を図面を用いて説明する。
第４図、第５図、第６図において、８はベースフレーム
であり、これに、軸９により支えられて傾動台１０か、
水平面に対して逆の向トの傾斜がとれるよう往復１す１
動可能に支えられ、シリング１１により駆動される。シ
リング１１の代りに、カム（幾構、リンク機構などによ
り往復傾動せしめ′Ｃちよい。
であり、これに、軸９により支えられて傾動台１０か、
水平面に対して逆の向トの傾斜がとれるよう往復１す１
動可能に支えられ、シリング１１により駆動される。シ
リング１１の代りに、カム（幾構、リンク機構などによ
り往復傾動せしめ′Ｃちよい。
この傾動台１０の上に以下説明するキャリヤ移動機構が
配設されている。
配設されている。
１２はモータであり、ピニオン１３、ギヤ１４゜＋５．
ＩＥｉを介して第一・軸１７と第二軸１８とを、互に逆
向きに、同時に往復回動せしめるようになっている。第
−軸１７と第二軸１８とにはアーム１９を介してそれぞ
れ第一キャリャ受け２０と第二キャリヤ受け２１とが取
伺けられている。第一・キャリヤ受け２０は、ウェハー
１を収容した第一〜ヤリヤシ２を受け、第二キャリヤ受
け２１は、ウェハー１が移載されるべぎ第二キャリヤ２
３を受けている。
ＩＥｉを介して第一・軸１７と第二軸１８とを、互に逆
向きに、同時に往復回動せしめるようになっている。第
−軸１７と第二軸１８とにはアーム１９を介してそれぞ
れ第一キャリャ受け２０と第二キャリヤ受け２１とが取
伺けられている。第一・キャリヤ受け２０は、ウェハー
１を収容した第一〜ヤリヤシ２を受け、第二キャリヤ受
け２１は、ウェハー１が移載されるべぎ第二キャリヤ２
３を受けている。
モータ１２による第−軸１７、第二軸１８の往復回動に
より、第一キャリヤ２２と第二キャリヤ２３とは、第４
図に実線で示される、開放口２４゜２５をほぼ上方に向
けて保持された第一位置と、二点鎖線で示される、第一
キャリヤ２２と第二キャリヤ２３とか開放１］２４と２
５とか向かい合って当接し、両キャリヤの中心線２６と
２７とがほぼ−っの直線２８上になるように保持された
第一位置との間をＡ及びＢの回動範囲で同時に回動する
ようになっている。
より、第一キャリヤ２２と第二キャリヤ２３とは、第４
図に実線で示される、開放口２４゜２５をほぼ上方に向
けて保持された第一位置と、二点鎖線で示される、第一
キャリヤ２２と第二キャリヤ２３とか開放１］２４と２
５とか向かい合って当接し、両キャリヤの中心線２６と
２７とがほぼ−っの直線２８上になるように保持された
第一位置との間をＡ及びＢの回動範囲で同時に回動する
ようになっている。
第−及び第二キャリヤ２２．２３相互、第−及び第二キ
ャリヤ受け２０．２１相互は同一の或いはＪ＝１称の構
造であるので第一キャリヤ２２及び第二キャリヤ受け２
１について説明する。第一キャリヤ２２の一対の壁２９
の内側には、第６図に示す如く多数のリブ３０か設けら
れ、リブ３０の開に、溝底４６がテーパー状をなしてい
る案内溝３１が形成されている。案内溝３１の下方には
底部４７が設けられウェハー１を受けて支えている。
ャリヤ受け２０．２１相互は同一の或いはＪ＝１称の構
造であるので第一キャリヤ２２及び第二キャリヤ受け２
１について説明する。第一キャリヤ２２の一対の壁２９
の内側には、第６図に示す如く多数のリブ３０か設けら
れ、リブ３０の開に、溝底４６がテーパー状をなしてい
る案内溝３１が形成されている。案内溝３１の下方には
底部４７が設けられウェハー１を受けて支えている。
案内：１ｌ１３１の溝底４６は、ウェハー１が底部に当
たった位置１こおいてウェハー１の外周との間に僅かの
隙間を残す。
たった位置１こおいてウェハー１の外周との間に僅かの
隙間を残す。
溝底４６はテーパー状でなく、中心線２６と平行でもよ
いが、テーパー状とした方かウェハー１の出し入れが容
易である。
いが、テーパー状とした方かウェハー１の出し入れが容
易である。
第二位置において第一と第二のキャリヤ２２゜２３の案
内溝３１は突と合わされウエノ１−１の移送通路が形成
される。
内溝３１は突と合わされウエノ１−１の移送通路が形成
される。
第二キャリヤ受け２１にはキャリヤ押え３２が回動軸３
３に設けられ、バネ３４により、キャリヤ押え３２の頭
が第二キャリヤ２３の溝３５に人す込むよう力が与えら
れ、第二キャリヤ２３が第二キャリヤ受け２１から外れ
るのを防いでいる。しｈ化、第一位置にあると外は、回
動軸３３に設けられｒこアーム３６の先のローラ３７か
“ス１ツバ３８に当たりキャリヤ押え３２を溝３５から
外し、第二キャリヤ２３を自由に取出せるようになって
いる。
３に設けられ、バネ３４により、キャリヤ押え３２の頭
が第二キャリヤ２３の溝３５に人す込むよう力が与えら
れ、第二キャリヤ２３が第二キャリヤ受け２１から外れ
るのを防いでいる。しｈ化、第一位置にあると外は、回
動軸３３に設けられｒこアーム３６の先のローラ３７か
“ス１ツバ３８に当たりキャリヤ押え３２を溝３５から
外し、第二キャリヤ２３を自由に取出せるようになって
いる。
３９はシリンダであり、ロッド４０を伸長せしめて、第
二位置にある第一キャリヤ２２の中のウェハー１を、ロ
ーラ４１により押し進めｒｉｃｈ’も家内溝３１による
移送経路に沿って駆動し、第二キャリヤ２３の中に収容
せしめて移載を行なう駆動数構である。シリンダ３９の
代りにネジ軸、ボールスクリュー軸などにより駆動を行
なってもよい。
二位置にある第一キャリヤ２２の中のウェハー１を、ロ
ーラ４１により押し進めｒｉｃｈ’も家内溝３１による
移送経路に沿って駆動し、第二キャリヤ２３の中に収容
せしめて移載を行なう駆動数構である。シリンダ３９の
代りにネジ軸、ボールスクリュー軸などにより駆動を行
なってもよい。
また、このシリンダ３９などの駆動機構は傾動台１０−
ｈでなく、固定のベースフレーム８上に設けてもよい。
ｈでなく、固定のベースフレーム８上に設けてもよい。
作用につき説明する。 −
先ず、第一キャリャ受け２０及び第二キャリヤ受け２１
を第一位置に置き、それぞれにウェハー１を収容した第
一キャリヤ２２と、空の第二キャリヤ２３を支える。そ
の後、或いは当初に、傾動台１０を左方に傾けて第４図
の如くなす。次にモータ１２を駆動して第−及び第二キ
ャリヤ受け２０ぺ１を第二位置に位置せしめる。このと
ぎ、傾動台１Ｏは左に傾いており、この状態で第一キャ
リヤ２２、第二キャリヤ２３の下側の案内溝３１の溝底
４６は水平線４２よりも左下かりになるようにしである
ので、ウェハーＨｆ重力により第一キャリヤ２２の底部
４７に当接したままであり開放ｌ］２４の方に転り出す
ことなく保持されてい次にシリンダ３９を作動せしめて
ローラ４１によりウェハー１を右方に押し進める。水平
線４２に刻する第一、第二キャリヤ２２．２３の案内溝
３１の溝底４６の上り勾配は小さいので、ローラ４１と
ウェハー１との接触圧力は小である。押されたウェハー
１は移送通路として′の案内溝３１を転りながら右方に
移動する。ローラ４１の代りに固定のバーを用いてもよ
い。
を第一位置に置き、それぞれにウェハー１を収容した第
一キャリヤ２２と、空の第二キャリヤ２３を支える。そ
の後、或いは当初に、傾動台１０を左方に傾けて第４図
の如くなす。次にモータ１２を駆動して第−及び第二キ
ャリヤ受け２０ぺ１を第二位置に位置せしめる。このと
ぎ、傾動台１Ｏは左に傾いており、この状態で第一キャ
リヤ２２、第二キャリヤ２３の下側の案内溝３１の溝底
４６は水平線４２よりも左下かりになるようにしである
ので、ウェハーＨｆ重力により第一キャリヤ２２の底部
４７に当接したままであり開放ｌ］２４の方に転り出す
ことなく保持されてい次にシリンダ３９を作動せしめて
ローラ４１によりウェハー１を右方に押し進める。水平
線４２に刻する第一、第二キャリヤ２２．２３の案内溝
３１の溝底４６の上り勾配は小さいので、ローラ４１と
ウェハー１との接触圧力は小である。押されたウェハー
１は移送通路として′の案内溝３１を転りながら右方に
移動する。ローラ４１の代りに固定のバーを用いてもよ
い。
シリンダ３９の伸長につれウェハー１は第二キャリヤ２
３の中に入る。ウェハー１が第二キャリヤ２３の底部４
７に当たる直前にシリンダ３９のストロークを停止する
。
３の中に入る。ウェハー１が第二キャリヤ２３の底部４
７に当たる直前にシリンダ３９のストロークを停止する
。
次に、シリンダ１１を伸長せしめて傾動台１０を逆に右
下がりに傾動せしめ、第一キャリヤ２２及び第二キャリ
ヤ２３の下側の案内溝３１の）１１１底４６の水平線４
２に対する勾配を右下がりとなす。
下がりに傾動せしめ、第一キャリヤ２２及び第二キャリ
ヤ２３の下側の案内溝３１の）１１１底４６の水平線４
２に対する勾配を右下がりとなす。
するとウェハー１は、自重（、′より僅か転勤して底部
４７に当たり停止する。この１賦動距離を僅かとすれば
、衝撃はなく破損のおそれはない。
４７に当たり停止する。この１賦動距離を僅かとすれば
、衝撃はなく破損のおそれはない。
次にシリンダ３９を引込めたる後、モータ１２を逆転せ
しめて第−及び第二キャリヤ受け２０゜２１を第一位置
に戻す。このときストッパ３８にローラ３７が当たって
キャリヤ押え３２がゆるみ、空になった第一キャリヤ２
２を外し、ウェハー１か移載された第二キャリヤ２３を
外して次の工程へ持ち去ることがでｂる。
しめて第−及び第二キャリヤ受け２０゜２１を第一位置
に戻す。このときストッパ３８にローラ３７が当たって
キャリヤ押え３２がゆるみ、空になった第一キャリヤ２
２を外し、ウェハー１か移載された第二キャリヤ２３を
外して次の工程へ持ち去ることがでｂる。
次に、ウェハー１を収容した第一キャリヤ２２、及び空
の第二キャリヤ２３を装着し当初の状態に戻し、これを
繰返して順次ウェハー１の移載を行なう。
の第二キャリヤ２３を装着し当初の状態に戻し、これを
繰返して順次ウェハー１の移載を行なう。
本実施例は以」二の如く構成され作用するので、全く自
動化され、作動中はカバーで密閉することができて眺か
らの塵の（；１着や汚染を受けることなく、また動作中
も摩耗粉がウェハー１に落下するようなことはなく、清
浄を保つことかでき、さら１こウェハー１に力や衝撃を
加えることが殆んどないので破損を生ずるおそれもない
。
動化され、作動中はカバーで密閉することができて眺か
らの塵の（；１着や汚染を受けることなく、また動作中
も摩耗粉がウェハー１に落下するようなことはなく、清
浄を保つことかでき、さら１こウェハー１に力や衝撃を
加えることが殆んどないので破損を生ずるおそれもない
。
第７図は別の実施例のキャリヤ移動機構であり、第二位
置におけるウェハー１の移送通路の一部を溝底４Ｂを有
する案内溝４８を備えた申開移送通路４３にて形成せし
めたものであり、その両側に第一キャリヤ２２と第二キ
ャリヤ２３を向かし・合わせて当接せしめるよう１こし
てあり、ウニ）−−１の移送距離りがウェハー１の円周
長さより長くなるようになっている。４４．４５はチェ
ーンである。
置におけるウェハー１の移送通路の一部を溝底４Ｂを有
する案内溝４８を備えた申開移送通路４３にて形成せし
めたものであり、その両側に第一キャリヤ２２と第二キ
ャリヤ２３を向かし・合わせて当接せしめるよう１こし
てあり、ウニ）−−１の移送距離りがウェハー１の円周
長さより長くなるようになっている。４４．４５はチェ
ーンである。
第一・キャリヤ２２の中においてはウエノ為−１のオリ
エンテーションフラ゛ハとしての切欠部７は、必らずし
も方向がそろっておらず、通常は不一致である。その状
態のまま第二位置におり）て、１φ動台１０か左下かり
の位置で、第一、第二キャリヤ２２．２３．Φ問診送通
路の溝底４Ｂが左Ｆがり勾配になるように保札シリング
３９によりウエノ１−１を駆動して転勤せしめる。ウエ
ノ１−１は案内溝４８の中を転動し、切欠部７も回転す
るか、移送距離１−は円周長さよりも長いので、最終位
置に至る前に、どのウェハー１の切欠部７も必らず下向
きになり、溝底４６に接する。ウエノ１−１と溝底４６
間の滑り摩擦、ウエノ１−１とローラ４１との間の転り
摩擦（固定のバーの場合は滑り摩擦）を小１こなるよう
１こ材質や構造を選べば、切欠部７が溝底４６に当接し
た後はウェハ−１はもはや転勤せず、そのまま滑って移
送される。そして第二キャリヤ２３に収容されるときに
は全てのウエハ−１の切欠部７は一力の溝底４６に当接
され向きがそろえられ整列している。
エンテーションフラ゛ハとしての切欠部７は、必らずし
も方向がそろっておらず、通常は不一致である。その状
態のまま第二位置におり）て、１φ動台１０か左下かり
の位置で、第一、第二キャリヤ２２．２３．Φ問診送通
路の溝底４Ｂが左Ｆがり勾配になるように保札シリング
３９によりウエノ１−１を駆動して転勤せしめる。ウエ
ノ１−１は案内溝４８の中を転動し、切欠部７も回転す
るか、移送距離１−は円周長さよりも長いので、最終位
置に至る前に、どのウェハー１の切欠部７も必らず下向
きになり、溝底４６に接する。ウエノ１−１と溝底４６
間の滑り摩擦、ウエノ１−１とローラ４１との間の転り
摩擦（固定のバーの場合は滑り摩擦）を小１こなるよう
１こ材質や構造を選べば、切欠部７が溝底４６に当接し
た後はウェハ−１はもはや転勤せず、そのまま滑って移
送される。そして第二キャリヤ２３に収容されるときに
は全てのウエハ−１の切欠部７は一力の溝底４６に当接
され向きがそろえられ整列している。
本実施例により、特に切欠部７の向きの整列（幾構を必
姿とせず、移載工程の途中で同時に切欠部７の回外の整
列を行なうことかでき、簡単な構造によりコンパクトな
装置とすることができる。
姿とせず、移載工程の途中で同時に切欠部７の回外の整
列を行なうことかでき、簡単な構造によりコンパクトな
装置とすることができる。
本発明により、塵や汚染によるＹラブルを防ぎ、かつ破
損のおそれのないウェハー移載装置を提供することかで
卜、また、さらに移送距離をウエノ１−円周長よりも長
くすることにより特に整列装置を設けずに切欠部の向き
の整列を移載と同時に行なうことかできるウェハー移載
装置を提供することができ、実用１４＆めで火なる効果
を奏する。
損のおそれのないウェハー移載装置を提供することかで
卜、また、さらに移送距離をウエノ１−円周長よりも長
くすることにより特に整列装置を設けずに切欠部の向き
の整列を移載と同時に行なうことかできるウェハー移載
装置を提供することができ、実用１４＆めで火なる効果
を奏する。
第１図（ａ）、（ト）、第２図、第３図は従来例の説明
図、第４図は本発明の実施例の一部断面正面図１図、第
５図はその右方側面図、第６図は第Ｘ１図のＩ−■線に
おける第一キャリヤの断面平面図、第７し１は別の実施
例の一部断面正面図である。 １−ｍ一つエバー、２−ｍ−第一・のキャリヤ、３−−
−第二のキャリヤ、４−ｍ−ゴムベルト、５−ｍ−シリ
ング、６−−−ホルダー、７−：−切欠部、８−ｍ−ベ
ースフレーム、９−一一軸、ｌ ０−−−（ｑｒ動台、
１１−一一シリング、１２−−−モータ、１３−一一ビ
ニオン、１４゜１５．１６−−−ギヤ、１７−−−第−
紬、１８−一一第二軸、１９−−−アーム、２０−−一
第一キャリャ受け、２１−一一第二キャリャ受け、２２
−−一第一キャリャ、２３−−一第二キャリャ、２４．
２５−ｍ−開放１−１．２６゜２７−−−中心線、２８
−−一直線、２９−−一部、３０−−−リブ、３１−−
一案内溝、３２−一一キャリャ押え、３３−一回動軸、
３４−−−バネ、３５−一一溝、３６−−−アーム、３
７−−−ローラ、３８−−−ストッパ、３９−ｍ−シリ
ング、４０−−一ロツド、４１−ｍ−ローラ、４２−一
一水平線、４３−ｍ−中間移送通路、４４．４５−ｍ−
チェーン、４６・・・溝底、４７・・・底部、４８・・
・案内溝。 手続補正書 昭和５９年２月８ 日 特許庁 官 若杉和夫 殿 ２・ 発明０名称 ウ、２、−移１１□置３、補正をす
る者 小ｆ’ｌとの関係 特許出腐１人 ４、代理人 ６、補正により増加する発明の数 ７、補正の対象 しｌ 百
図、第４図は本発明の実施例の一部断面正面図１図、第
５図はその右方側面図、第６図は第Ｘ１図のＩ−■線に
おける第一キャリヤの断面平面図、第７し１は別の実施
例の一部断面正面図である。 １−ｍ一つエバー、２−ｍ−第一・のキャリヤ、３−−
−第二のキャリヤ、４−ｍ−ゴムベルト、５−ｍ−シリ
ング、６−−−ホルダー、７−：−切欠部、８−ｍ−ベ
ースフレーム、９−一一軸、ｌ ０−−−（ｑｒ動台、
１１−一一シリング、１２−−−モータ、１３−一一ビ
ニオン、１４゜１５．１６−−−ギヤ、１７−−−第−
紬、１８−一一第二軸、１９−−−アーム、２０−−一
第一キャリャ受け、２１−一一第二キャリャ受け、２２
−−一第一キャリャ、２３−−一第二キャリャ、２４．
２５−ｍ−開放１−１．２６゜２７−−−中心線、２８
−−一直線、２９−−一部、３０−−−リブ、３１−−
一案内溝、３２−一一キャリャ押え、３３−一回動軸、
３４−−−バネ、３５−一一溝、３６−−−アーム、３
７−−−ローラ、３８−−−ストッパ、３９−ｍ−シリ
ング、４０−−一ロツド、４１−ｍ−ローラ、４２−一
一水平線、４３−ｍ−中間移送通路、４４．４５−ｍ−
チェーン、４６・・・溝底、４７・・・底部、４８・・
・案内溝。 手続補正書 昭和５９年２月８ 日 特許庁 官 若杉和夫 殿 ２・ 発明０名称 ウ、２、−移１１□置３、補正をす
る者 小ｆ’ｌとの関係 特許出腐１人 ４、代理人 ６、補正により増加する発明の数 ７、補正の対象 しｌ 百
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 ウェハーを収容した第一キャリヤを受ける第一キ
ャリャ受けと、ウェハーが移載されるべぎ第二キャリヤ
を受ける第二キャリヤ受けとを、 それぞれのキャリヤの開放口をほぼ上方に向けて保持す
る第一位置と、それぞれのキャリヤの該開放口を向かい
合わせてそれぞれのキャリヤの中心線をほぼ一直線上に
配備して前記第一キャリヤから前記第二キャリヤへのウ
ェハーの移送通路を形成せしめる第二位置との問を、そ
れぞれ往復可能に移動せしめるキャリヤ移動機構を、 水平面に対して道向きに往復傾動可能な傾動台に設け、 前記第二位置において前記第一キャリヤの中のウェハー
を駆動して前記第二キャリヤの中まで移動せしめて移載
する駆動機構を 備えたことを特徴とするウェハー移載装置。 ２、前記第二位置において、ウェハーの移送距離がウェ
ハーの円周長さよりも長くとられている特許請求の範囲
第１項記載の装置。 ３、 前記第二位置において、前記第一キャリヤと前記
第二キャリヤとの間に別の中間移送通路が設けられてい
る特許請求の範囲第２項記載の装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23887883A JPS60130841A (ja) | 1983-12-20 | 1983-12-20 | ウエハ−移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23887883A JPS60130841A (ja) | 1983-12-20 | 1983-12-20 | ウエハ−移載装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60130841A true JPS60130841A (ja) | 1985-07-12 |
Family
ID=17036604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23887883A Pending JPS60130841A (ja) | 1983-12-20 | 1983-12-20 | ウエハ−移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60130841A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103325721A (zh) * | 2013-05-20 | 2013-09-25 | 扬州晶新微电子有限公司 | 滚动式倒片方法 |
| JP2014222700A (ja) * | 2013-05-13 | 2014-11-27 | 三菱電機株式会社 | ウエハの移し換え治具及びウエハの移し換え方法 |
| FR3075771A1 (fr) * | 2017-12-21 | 2019-06-28 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Systeme de transfert de plusieurs plaques entre deux paniers |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5324248B2 (ja) * | 1973-08-31 | 1978-07-19 |
-
1983
- 1983-12-20 JP JP23887883A patent/JPS60130841A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5324248B2 (ja) * | 1973-08-31 | 1978-07-19 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014222700A (ja) * | 2013-05-13 | 2014-11-27 | 三菱電機株式会社 | ウエハの移し換え治具及びウエハの移し換え方法 |
| CN103325721A (zh) * | 2013-05-20 | 2013-09-25 | 扬州晶新微电子有限公司 | 滚动式倒片方法 |
| FR3075771A1 (fr) * | 2017-12-21 | 2019-06-28 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Systeme de transfert de plusieurs plaques entre deux paniers |
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