JPS60129920A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS60129920A JPS60129920A JP23631883A JP23631883A JPS60129920A JP S60129920 A JPS60129920 A JP S60129920A JP 23631883 A JP23631883 A JP 23631883A JP 23631883 A JP23631883 A JP 23631883A JP S60129920 A JPS60129920 A JP S60129920A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- thermal expansion
- magnetic recording
- recording medium
- coefft
- Prior art date
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- Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は有機高分子フィルム上にCo−Ni。
co−cr等の強磁性金属薄膜を形成した磁気記録媒体
に係り、特にカール、しわが少ない表面平坦性のすぐれ
た磁気テープ、フレキシブルデイスりに関する。
に係り、特にカール、しわが少ない表面平坦性のすぐれ
た磁気テープ、フレキシブルデイスりに関する。
磁気記録の高密度化に伴い、記録媒体は従来のr−F
e20s に代表される磁性粉微粒子を有機バインダー
で混練し基体上に塗布したいわゆる塗布型磁気記録媒体
から、pe、 co、 Ni等を主成分とした強磁性金
属をスパッタリング法、真空蒸着法あるいはめつき法で
基体上に形成したいわゆる連続磁性薄膜媒体へと移行し
つつある。
e20s に代表される磁性粉微粒子を有機バインダー
で混練し基体上に塗布したいわゆる塗布型磁気記録媒体
から、pe、 co、 Ni等を主成分とした強磁性金
属をスパッタリング法、真空蒸着法あるいはめつき法で
基体上に形成したいわゆる連続磁性薄膜媒体へと移行し
つつある。
7 特に最近においては記録密度の飛躍的向上が期待で
きる垂直磁気記録用の媒体としてQ o −Cr膜の研
究が梢力的に行なわれている。通常このCo−Cr膜で
優れた磁気特性を得るためには基体を100C以上に加
熱する必要があり、特に真空蒸着法では基体温度を20
0Uまで加熱する必要がある。したがって磁気テープあ
るいはフレキシブルディスク用としてCo−Cr膜膜体
体作製するには、その基体として真空蒸着法では耐熱性
の優れたポリイミド系フィルムが用いられており、また
基体温度が100C程度のスパッタリング法においては
、主にポリエステルテレフタレート系フィルムが用いら
れている。しかし通常市販されているポリイミドフィル
ムあるいはポリエステルテレフタレートフィルムでは、
熱膨張係数が被着金属の一熱膨張係数より大きくフィル
ムを加熱したー状態で金属を被着するとカールが発生し
記録媒体の平坦性を著しく損うとともに、フィルムを支
持する金属治具とフィルムの間での寸法ずれが起こり、
しわを発生させる大きな原因となっていた。
きる垂直磁気記録用の媒体としてQ o −Cr膜の研
究が梢力的に行なわれている。通常このCo−Cr膜で
優れた磁気特性を得るためには基体を100C以上に加
熱する必要があり、特に真空蒸着法では基体温度を20
0Uまで加熱する必要がある。したがって磁気テープあ
るいはフレキシブルディスク用としてCo−Cr膜膜体
体作製するには、その基体として真空蒸着法では耐熱性
の優れたポリイミド系フィルムが用いられており、また
基体温度が100C程度のスパッタリング法においては
、主にポリエステルテレフタレート系フィルムが用いら
れている。しかし通常市販されているポリイミドフィル
ムあるいはポリエステルテレフタレートフィルムでは、
熱膨張係数が被着金属の一熱膨張係数より大きくフィル
ムを加熱したー状態で金属を被着するとカールが発生し
記録媒体の平坦性を著しく損うとともに、フィルムを支
持する金属治具とフィルムの間での寸法ずれが起こり、
しわを発生させる大きな原因となっていた。
本発明の目的は、C0−Cr等の磁気記録媒体として用
いられる金属磁性薄膜に近い熱膨張係数をもった有装置
分子フィルムを基体として用いることにより、上記した
カールやしわのない平坦性に優れた磁気テープあるいは
フレキシブルディスクを提供することにある。
いられる金属磁性薄膜に近い熱膨張係数をもった有装置
分子フィルムを基体として用いることにより、上記した
カールやしわのない平坦性に優れた磁気テープあるいは
フレキシブルディスクを提供することにある。
上記目的を達成する、本発明の磁気記録媒体は金属と同
程度の温度膨張係数(0,5〜2.5X10−5/C)
を有する、低膨張有機高分子フィルムを基体として用い
ている。この有機高分子フィルムは本発明者等のうち2
名が既に特願昭58−152351において特許出願し
ているごとく次式〔I〕および〔■〕 〔I〕 、〔■〕 香族基、Arzは2価の芳香族基、Ar3は4価の芳香
族基である。〕で示される化学構造単位を含むポリイミ
ドフィルムからなっている。
程度の温度膨張係数(0,5〜2.5X10−5/C)
を有する、低膨張有機高分子フィルムを基体として用い
ている。この有機高分子フィルムは本発明者等のうち2
名が既に特願昭58−152351において特許出願し
ているごとく次式〔I〕および〔■〕 〔I〕 、〔■〕 香族基、Arzは2価の芳香族基、Ar3は4価の芳香
族基である。〕で示される化学構造単位を含むポリイミ
ドフィルムからなっている。
さらに具体的には、前記低熱膨張ポリイミドフィルムは
p−フェニレンジアミン、2.4−ジアミノトルエン、
2.4−ジアミノキシレン、ジアミノジュレン、1.5
−ジアミノナフタレン、2゜6−ジアミノナフタレン、
またはこれらのインシアナート化合物と、ビフェニルテ
トラカルボン酸またはその誘導体との反応によって得る
ことができる。ジアミンのうちp−フェニレンジアミン
は靭性、疲労特性、耐熱性の点で最もすぐれている。
p−フェニレンジアミン、2.4−ジアミノトルエン、
2.4−ジアミノキシレン、ジアミノジュレン、1.5
−ジアミノナフタレン、2゜6−ジアミノナフタレン、
またはこれらのインシアナート化合物と、ビフェニルテ
トラカルボン酸またはその誘導体との反応によって得る
ことができる。ジアミンのうちp−フェニレンジアミン
は靭性、疲労特性、耐熱性の点で最もすぐれている。
また、p−フェニレンジイソシアナートも同様である。
テトラカルボン酸の誘導体としては、エステル、酸無水
物、酸塩化物があるが、酸無水物が合成上好ましい。
物、酸塩化物があるが、酸無水物が合成上好ましい。
上記低熱膨張ポリイミドは、前記した特願昭58−15
2351に詳しく記載されているように他に許容される
範囲で他の芳香族ジアミン、芳香族ジインシアナート、
テトラカルボン酸あるいはその誘導体を導入して変性し
熱膨張係数の大きさを調整することも可能である。
2351に詳しく記載されているように他に許容される
範囲で他の芳香族ジアミン、芳香族ジインシアナート、
テトラカルボン酸あるいはその誘導体を導入して変性し
熱膨張係数の大きさを調整することも可能である。
合成反応は一般的にN−メチルピロリドン(NMP)、
ジメチルホルムアミド責DMF)。
ジメチルホルムアミド責DMF)。
ジメチルアセトアミド(1)MAC)、ジメチルスルホ
キサイ)”(DMSO)、硫酸ジメチル、スルホラン、
ブチロラクトン、クレゾール、フェノール。
キサイ)”(DMSO)、硫酸ジメチル、スルホラン、
ブチロラクトン、クレゾール、フェノール。
ハロゲン化フェノール、シクロヘキサノン、ジオキサン
などの溶液中で、0〜200Cの範囲で行いポリアミド
酸ワニスを合成する。さらにこのワニスをガラス板にア
プリケータを用いて均一に塗布し加熱乾燥することによ
ってフィルム状樹脂を得ることができる。このような組
成をもったポリイミドフィルムの熱膨張係数は300C
の高温においても0.5X10−’〜2.5 X 10
−5/にであり、従来のポリイミドフィルムが約5.0
X 10−’/にであったのに比較し熱膨張係数をき
わめて低くすることができる。
などの溶液中で、0〜200Cの範囲で行いポリアミド
酸ワニスを合成する。さらにこのワニスをガラス板にア
プリケータを用いて均一に塗布し加熱乾燥することによ
ってフィルム状樹脂を得ることができる。このような組
成をもったポリイミドフィルムの熱膨張係数は300C
の高温においても0.5X10−’〜2.5 X 10
−5/にであり、従来のポリイミドフィルムが約5.0
X 10−’/にであったのに比較し熱膨張係数をき
わめて低くすることができる。
さらにこの低熱膨張ポリイミドフィルムを基体として用
い1.Co−Cr等の強磁性金属薄膜を真空蒸着法によ
って被着したところ、従来のポリイミドフィルムでは得
られなかったきわめて平坦性にすぐれた磁気記録媒体を
得ることができた。
い1.Co−Cr等の強磁性金属薄膜を真空蒸着法によ
って被着したところ、従来のポリイミドフィルムでは得
られなかったきわめて平坦性にすぐれた磁気記録媒体を
得ることができた。
以下、本発明を比較例をまじえ、実施例によって詳細に
説明する。
説明する。
実施例1
第1表に示した組成からなる種々の熱膨張係数をもった
ポリイミドフィルムを作製した。ここでフィルムの形成
およびその熱膨張係数の測定はっぎのように行っている
。すなわち、芳香族ジアミンとテトラカルボン酸の反応
によって得られたポリアミド酸ワニスをガラス板にアプ
リケータを用いて均一に塗布し、80〜100cで30
〜60分乾燥してフィルム状にし、ガラス板からはがし
。
ポリイミドフィルムを作製した。ここでフィルムの形成
およびその熱膨張係数の測定はっぎのように行っている
。すなわち、芳香族ジアミンとテトラカルボン酸の反応
によって得られたポリアミド酸ワニスをガラス板にアプ
リケータを用いて均一に塗布し、80〜100cで30
〜60分乾燥してフィルム状にし、ガラス板からはがし
。
て鉄枠に固定し、200C,300c、400cにそれ
ぞれ60分間保持して、約50μm厚のポリイミドフィ
ルムを得た。これを任意の大きさに切り出し、2枚のガ
ラス板にはさんで再び400Cに加熱し、除冷して残留
歪を除去した後、熱機械試験機で、5tl’/1111
1の条件で寸法変化を測定し、ガラス転移点以下の寸法
変化量から熱膨張係数をめた。
ぞれ60分間保持して、約50μm厚のポリイミドフィ
ルムを得た。これを任意の大きさに切り出し、2枚のガ
ラス板にはさんで再び400Cに加熱し、除冷して残留
歪を除去した後、熱機械試験機で、5tl’/1111
1の条件で寸法変化を測定し、ガラス転移点以下の寸法
変化量から熱膨張係数をめた。
このようにして得られたポリイミドフィルムを1100
mX70の大きさに切り出し、第1図に示したごとく両
端をステンレス製の金具2で固定し約3 Kg / c
rlの張力をかけてフィルム1を一様に延ばして真空蒸
着装置内に設置した。ベルジャ内を1 X 10−’
Torr の真空度にした後フィルム裏側からヒータ5
で加熱しフィルム温度を200Cに保ち電子線加熱式蒸
着源4を用いてCo−(、’r金合金蒸発させ、Cr組
成23重量多、膜厚0.35μmのco−Cr膜を作製
した。
mX70の大きさに切り出し、第1図に示したごとく両
端をステンレス製の金具2で固定し約3 Kg / c
rlの張力をかけてフィルム1を一様に延ばして真空蒸
着装置内に設置した。ベルジャ内を1 X 10−’
Torr の真空度にした後フィルム裏側からヒータ5
で加熱しフィルム温度を200Cに保ち電子線加熱式蒸
着源4を用いてCo−(、’r金合金蒸発させ、Cr組
成23重量多、膜厚0.35μmのco−Cr膜を作製
した。
このようにして作製したCo−0rフイルムのカールの
大きさは曲率半径を測定することによりめた。その結果
を第1表に記した。なお表中カールの極性とは、蒸着面
が凹になるカールを+、凸になるカールを−とした。
大きさは曲率半径を測定することによりめた。その結果
を第1表に記した。なお表中カールの極性とは、蒸着面
が凹になるカールを+、凸になるカールを−とした。
第1表から分かるようにCo−Cr膜に近い熱膨張係数
(α=1.1X10−5/K)をもつ試料屋1.7.8
のポリイミドフィルムの曲率半径がいずれも200胡以
上、また扁12のフィルムでも曲率半径が80喘以上と
なり、実用的にほとんど問題ない平坦性を有している。
(α=1.1X10−5/K)をもつ試料屋1.7.8
のポリイミドフィルムの曲率半径がいずれも200胡以
上、また扁12のフィルムでも曲率半径が80喘以上と
なり、実用的にほとんど問題ない平坦性を有している。
なおり−ルの極性は、Co−Cr膜の熱膨張係数に対し
、ポリイミドフィルムの熱膨張係数が大きいため、通常
はC0−Cr膜の而が凸となりマイナスとなるが、Co
−0r膜自身に引っ張り応力が存在するため、カール量
の少ない試料1.8においては、Co−Cr膜の内部応
力に支配されカールの極性はプラスとなっている。した
かってこのような場合には内部応力によるカールを打消
すため、co−Cr膜の熱膨張係数より少し大きめの熱
膨張係数をもつポリイミドフィルムを用いれば、より平
坦性に優れた試料を得ることができる。
、ポリイミドフィルムの熱膨張係数が大きいため、通常
はC0−Cr膜の而が凸となりマイナスとなるが、Co
−0r膜自身に引っ張り応力が存在するため、カール量
の少ない試料1.8においては、Co−Cr膜の内部応
力に支配されカールの極性はプラスとなっている。した
かってこのような場合には内部応力によるカールを打消
すため、co−Cr膜の熱膨張係数より少し大きめの熱
膨張係数をもつポリイミドフィルムを用いれば、より平
坦性に優れた試料を得ることができる。
実施例2
熱膨張係数を1.1 X 1 Q−’/Kから4.9X
10−5/Kまで変化させfc第1表記載のAI、2,
3゜4.5.6のフィルムを用いて、蒸着時のフィルム
温度を1001:、150c、200U、25゜Cと変
えてCo−Qrの蒸着を行った。実験条件はフィルム温
度を除いて実施例1と同じである。
10−5/Kまで変化させfc第1表記載のAI、2,
3゜4.5.6のフィルムを用いて、蒸着時のフィルム
温度を1001:、150c、200U、25゜Cと変
えてCo−Qrの蒸着を行った。実験条件はフィルム温
度を除いて実施例1と同じである。
各試料の曲率半径を測定した結果を第2表に示した。
第 2 表
第2表から分かるように、熱膨張係数がco−Cr膜を
ほぼ等しいAIのポリイミドフィルムの曲率半径は蒸着
温度が250Cと高くなっても320traaと非常に
大きく、広い温度範囲で一′P坦性にすぐれたC o
−Cr蒸着膜を得ることができる。
ほぼ等しいAIのポリイミドフィルムの曲率半径は蒸着
温度が250Cと高くなっても320traaと非常に
大きく、広い温度範囲で一′P坦性にすぐれたC o
−Cr蒸着膜を得ることができる。
また熱膨張係数が1.7 x 10−5/にとCo −
Cr膜より少し大きな瓜2のポリイミドフィルムでも、
蒸着時のフィルム温度が150t;’以下であれば、曲
率半径が110咽となりかなり良い平坦性をもったC
o −Cr蒸着膜を得ることができる。これに対して熱
膨張係数が3.0 X 10−’/にとなる屋3から屋
6のポリイミドフィルムでは150c以上ではカールが
大き過ぎることが分かる。また屋5と&6のポリイミド
フィルムでは、フィルム温度250Cになると熱膨張係
数の不一致が大きくなるだめCo−Cr膜にひび割れが
生じていた。
Cr膜より少し大きな瓜2のポリイミドフィルムでも、
蒸着時のフィルム温度が150t;’以下であれば、曲
率半径が110咽となりかなり良い平坦性をもったC
o −Cr蒸着膜を得ることができる。これに対して熱
膨張係数が3.0 X 10−’/にとなる屋3から屋
6のポリイミドフィルムでは150c以上ではカールが
大き過ぎることが分かる。また屋5と&6のポリイミド
フィルムでは、フィルム温度250Cになると熱膨張係
数の不一致が大きくなるだめCo−Cr膜にひび割れが
生じていた。
実施例3
第1表記載のAI、2,3.6のポリイミドフィルムを
用いて、蒸着時のフィルム温度を2000とし、真空蒸
着法で膜厚0.5μmのパーマロイ(NI−20wt%
pe)膜を形成した後、ソノ上に厚さ0.2μmのCo
−Cr膜を形成し二層膜媒体を作製し、それぞれの試料
の曲率半径を測定した。その結果を第3表に示す。
用いて、蒸着時のフィルム温度を2000とし、真空蒸
着法で膜厚0.5μmのパーマロイ(NI−20wt%
pe)膜を形成した後、ソノ上に厚さ0.2μmのCo
−Cr膜を形成し二層膜媒体を作製し、それぞれの試料
の曲率半径を測定した。その結果を第3表に示す。
第3表
第3表から、熱膨張係数が1.4X10″″/にのパー
マロイ膜を蒸着したため、その熱膨張係数に近い特性を
もつ應1,2のポリイミドフィルム試料ではカールの曲
率半径け150謔以上となり平坦性にすぐれた二層膜媒
体を得ることができた。
マロイ膜を蒸着したため、その熱膨張係数に近い特性を
もつ應1,2のポリイミドフィルム試料ではカールの曲
率半径け150謔以上となり平坦性にすぐれた二層膜媒
体を得ることができた。
一方熱膨張係数の大きな屋3.6のポリイミドフィルム
では曲率半径が35wn以下となり平坦性のよい二層膜
媒体を得ることができなかった。
では曲率半径が35wn以下となり平坦性のよい二層膜
媒体を得ることができなかった。
実施例4
第1表記載のAl、2,3.6のポリイミドフイルムを
用いて、蒸着時のフィルム温度を200Cとし、真空蒸
着法で厚さ0.1μmのチタン下地層を形成した後、厚
さ0.35μmのCo−Cr膜を形成した。このチタン
下地層はhcp構造をもつCo Q rOC軸を面に垂
直方向に配向させる役割をもっており、Co−Cr膜の
磁気特性を向上させる手段として用いられるものである
。
用いて、蒸着時のフィルム温度を200Cとし、真空蒸
着法で厚さ0.1μmのチタン下地層を形成した後、厚
さ0.35μmのCo−Cr膜を形成した。このチタン
下地層はhcp構造をもつCo Q rOC軸を面に垂
直方向に配向させる役割をもっており、Co−Cr膜の
磁気特性を向上させる手段として用いられるものである
。
このようにして作製した試料のカールの大きさを測定し
た結果を第3表に記載したが、実施例3と同様に熱膨張
係数の小さなポリイミドフィルム屋1と2を用いるとカ
ールが小さくなり表面平坦性にすぐれていることが分か
る。
た結果を第3表に記載したが、実施例3と同様に熱膨張
係数の小さなポリイミドフィルム屋1と2を用いるとカ
ールが小さくなり表面平坦性にすぐれていることが分か
る。
実施例5
第1表記載のAl、2,3.6のポリイミドフィルムの
表と裏の両面に順次真空蒸着法で厚さ0.35μmのC
o−Cr膜を形成した。蒸着時のフィルム温度は表面、
裏面とも200Cとなるようにした。
表と裏の両面に順次真空蒸着法で厚さ0.35μmのC
o−Cr膜を形成した。蒸着時のフィルム温度は表面、
裏面とも200Cとなるようにした。
フィルムは実施例1と同様に両端がステンレス製の荷重
をかける治具で固定されており、約3初/ critの
張力をかけてフィルムが一様に延びるようになっている
。
をかける治具で固定されており、約3初/ critの
張力をかけてフィルムが一様に延びるようになっている
。
このような条件で両面蒸着を行うと、片面蒸着時に比較
しカールは減少するが、片面蒸着では生じなかったしわ
の発生することがあった。
しカールは減少するが、片面蒸着では生じなかったしわ
の発生することがあった。
上記した方法で両面蒸着した試料のカールの大きさと、
しわの有無を第4表にまとめた。
しわの有無を第4表にまとめた。
第 4 表
米 最初に蒸着した面が凹となっている状態を十とする
。
。
第4表から分かるように、カールの大きさは片面蒸着時
に比較し大巾に減少しているものの、熱膨張係数の大き
なポリイミドフィルムA3と6を用いた試料では、しわ
が発生している。それに対して、熱膨張係数の小さなポ
リイミドフィルム屋1と2を用いた試料ではしわの発生
が認められず、しわの発生をおさえるためにも、低熱膨
張係数のポリイミドフィルムを使用することが有効であ
る。
に比較し大巾に減少しているものの、熱膨張係数の大き
なポリイミドフィルムA3と6を用いた試料では、しわ
が発生している。それに対して、熱膨張係数の小さなポ
リイミドフィルム屋1と2を用いた試料ではしわの発生
が認められず、しわの発生をおさえるためにも、低熱膨
張係数のポリイミドフィルムを使用することが有効であ
る。
以上詳述した実施例から明らかなように、有機高分子フ
ィルムを基体とし、その表面に加熱状態でC0−Cr膜
、Ni−1’i’e膜、TI膜等の金属膜を形成させた
磁気記録媒体において、熱膨張係数が1.0〜2.0
X 10”6/にの範囲にある低熱膨張ポリイミドフィ
ルムを用いればカールが少なく、また両面蒸着時におい
てもしわの発生しない表面平坦性に優れた媒体を得るこ
とができる。
ィルムを基体とし、その表面に加熱状態でC0−Cr膜
、Ni−1’i’e膜、TI膜等の金属膜を形成させた
磁気記録媒体において、熱膨張係数が1.0〜2.0
X 10”6/にの範囲にある低熱膨張ポリイミドフィ
ルムを用いればカールが少なく、また両面蒸着時におい
てもしわの発生しない表面平坦性に優れた媒体を得るこ
とができる。
また上記した低熱膨張係数を有するポリイミドフィルム
としては第1表に記されだp−フェニレンジアミン、4
.4’ −ジアミノジフェニルエーテルおよび3.3’
、4.4’−テトラヵルボキフルビフェニルニ無水物
から合成されたフィルム、あるいは2.4−ジアミノト
ルエンと3.3’ 。
としては第1表に記されだp−フェニレンジアミン、4
.4’ −ジアミノジフェニルエーテルおよび3.3’
、4.4’−テトラヵルボキフルビフェニルニ無水物
から合成されたフィルム、あるいは2.4−ジアミノト
ルエンと3.3’ 。
4.4′−テトラカルポキシルビフェニルニ無水物から
合成されたフィルム、あるいは1,5−ジアミノナフタ
レンと3.3’ 、4.4’−テトラカルポキシルビフ
ェニルニ無水物から合成されたフィルム、あるいは2.
4−ジアミノベンシトリフルオライドと3.3’ 、4
.4’−テトラカルボキシルビフェニルニ無水物から合
成されたフィルム等があり、これらのフィルムから被着
する金属膜や被着条件に応じて適当な熱膨張係数を有す
る膨張制料を選びだすことにより本発明の目的を達成す
ることができる。
合成されたフィルム、あるいは1,5−ジアミノナフタ
レンと3.3’ 、4.4’−テトラカルポキシルビフ
ェニルニ無水物から合成されたフィルム、あるいは2.
4−ジアミノベンシトリフルオライドと3.3’ 、4
.4’−テトラカルボキシルビフェニルニ無水物から合
成されたフィルム等があり、これらのフィルムから被着
する金属膜や被着条件に応じて適当な熱膨張係数を有す
る膨張制料を選びだすことにより本発明の目的を達成す
ることができる。
なお本発明の実施例においては、被着金属としてCo
−Cr膜、Ni−、pe(パーマロイ)膜。
−Cr膜、Ni−、pe(パーマロイ)膜。
Ill i膜のみをとりあげたが、それ以外のCo膜。
Co−Ni膜、Co−Pt膜、pe膜、pe窒化物膜
p e酸化物膜あるいはCo−Nb−Mo等の非晶質膜
についてもまったく同様に成立することは言うまでもな
い。また金属膜の形成法とじてつたく同様に成立するも
のであり、本発明は金属膜の形成法に制限を受けるもの
ではない。
p e酸化物膜あるいはCo−Nb−Mo等の非晶質膜
についてもまったく同様に成立することは言うまでもな
い。また金属膜の形成法とじてつたく同様に成立するも
のであり、本発明は金属膜の形成法に制限を受けるもの
ではない。
第1図は本発明の一実施例において用いた電子線加熱型
真空蒸着装置の説明図である。 1・・・ベースフィルム、2・・・フイルムニ荷重ヲカ
ケるための治具、3・・・フィルムの支持具、4・・・
電子線加熱型蒸着源、5・・・ベースフィルムを加熱す
る第 1 目 第1頁の続き @発明者 上坂 保太部 口 り 0発 明 者 北 上 修 め [相]発明者尾島 清高b ■発明者 工藤 實弘 0 タ コ分寺市東恋ケ窪1丁目28幡地 株式会社日立製作所
中5研究所内 ミ木市丑寅1丁目1番羽号 日立マクセル株式会社内己
木市丑寅1丁目1番関号 日立マクセル株式会社内1分
寺市東恋ケ窪1丁目28幡地 株式会社日立製作所中5
研究所内
真空蒸着装置の説明図である。 1・・・ベースフィルム、2・・・フイルムニ荷重ヲカ
ケるための治具、3・・・フィルムの支持具、4・・・
電子線加熱型蒸着源、5・・・ベースフィルムを加熱す
る第 1 目 第1頁の続き @発明者 上坂 保太部 口 り 0発 明 者 北 上 修 め [相]発明者尾島 清高b ■発明者 工藤 實弘 0 タ コ分寺市東恋ケ窪1丁目28幡地 株式会社日立製作所
中5研究所内 ミ木市丑寅1丁目1番羽号 日立マクセル株式会社内己
木市丑寅1丁目1番関号 日立マクセル株式会社内1分
寺市東恋ケ窪1丁目28幡地 株式会社日立製作所中5
研究所内
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、長尺状あるいは円板等の所定の形状を有した有機高
分子フィルムの表面に、一層あるいは複数層の金属薄膜
を形成した磁気記録媒体において、有機高分子フィルム
の熱膨張係数が(1,5〜2、5 X 10’−’/C
であることを特徴とした磁気記録媒体。 2、特許請求の範囲第1項記載の磁気記録媒体において
、前記有機高分子フィルムが、次式[I)およびtil
l) 〔■〕 〔■〕 芳香族基、Ar21d2価の芳香族基、A r sは4
価の芳香族基である。〕で示される化学構成単位を含む
ポリイミドフィルムであることを特徴とした磁気記録媒
体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23631883A JPS60129920A (ja) | 1983-12-16 | 1983-12-16 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23631883A JPS60129920A (ja) | 1983-12-16 | 1983-12-16 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60129920A true JPS60129920A (ja) | 1985-07-11 |
Family
ID=16999017
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23631883A Pending JPS60129920A (ja) | 1983-12-16 | 1983-12-16 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60129920A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61158025A (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-17 | Canon Inc | 磁気記録媒体 |
JPS62202315A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-07 | Toshiba Corp | 垂直磁気記録媒体 |
JPH04119845A (ja) * | 1990-09-10 | 1992-04-21 | Toray Ind Inc | 二軸配向熱可塑性樹脂フィルム |
-
1983
- 1983-12-16 JP JP23631883A patent/JPS60129920A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61158025A (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-17 | Canon Inc | 磁気記録媒体 |
JPH0576696B2 (ja) * | 1984-12-28 | 1993-10-25 | Canon Kk | |
JPS62202315A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-07 | Toshiba Corp | 垂直磁気記録媒体 |
JPH04119845A (ja) * | 1990-09-10 | 1992-04-21 | Toray Ind Inc | 二軸配向熱可塑性樹脂フィルム |
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