JPS6012691Y2 - 平面研削装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は平面研削装置の改良に関するものである。

例えば、ガラスや半導体ウェハーなどのワークをラッピ
ング加工する場合、摩擦熱によってワークの温度上昇が
生じる。

このようにワークの温度上昇が生じると、ラッピング加
工が終了してワークを取出すために定盤を上昇させたと
き、該ワークが熱によって急激に乾燥し、セリウムなど
の研削剤がワークの表面に固着することになる。

そして、このように研削剤の固着が一旦生じた場合には
、その後の水洗いによってもそれを除去することは困難
となり、ラッピング加工を再度やり直したり、′ワーク
を不良品として処分しなければならないケースが生じる
。

成上に鑑み、本考案は、ワークの乾燥を防いで研削剤の
固着を防止することを目的とするもので、その目的達成
のため、本考案においては、平面研削装置における機体
の適当な位置にスプレー装置を設け、研削終了と同時に
上記スプレー装置によってワークに冷却水を噴射させる
ようにしたことをその特徴とするものである。

以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
に、第１図は平面研削装置の一例として両面ラッピング
装置を示すもので、図中１は機体、２が該機体１に回転
自在に支承させた内歯歯車、３は該内歯歯車２の中央に
位置する回転自在の太陽歯車、４，５は上下の定盤をそ
れぞれ示し、上記内歯歯車２、太陽歯車３及び下定盤５
は、同心状に位置する回転軸部２ａ、 ３ａｙ ５ａ
の下端の歯車を介してそれぞれ図示しない駆動源に連結
されている。

一方、上定盤４は、それに固定した取付板６及び該取付
板６上に立設したスタッド７を介して吊板８に吊設する
と共に、該吊板８を支柱９上のアーム１０に取付けられ
ているシリンダ１１のロッド１２に連結することによっ
て昇降自在に構成し、上記取付板６には、放射方向に位
置する複数のフック１３を起倒自在に取付け、これらの
フック１３を、回転軸部１４ａを介して図示しない駆動
源に連結されたドライバー１４に係脱自在とし、それに
よって、ラッピング加工時に、上記フック１３をドライ
バー１４に係合せることにより上定盤４を該ドライバー
１４を介して駆動回転させ得るように構成している。

而して、上記下定盤５上には、複数のワーク保持孔を備
えたキャリヤ１５を内歯歯車２と太陽歯車３とに噛合さ
せて配置し、該キャリヤ１５の保持孔のワーク１６を嵌
合保持させている。

また、ラッピング加工の終了したワーク１６に冷却水を
噴射させるためのスプレー装置１７は、下面に多数のノ
ズル１９を設けたドーナツツ形の噴射管１８を有し、バ
ルブ２０を介して給水源に接続された該噴射管１８を支
柱９に対して水平方向に回動自在に支承させると共に、
それを定盤４．５と同心状に位置する噴射位置（第２図
）とラッピング加工の障害にならない待機位置（第１図
）とに回動せしめるシリンダやモータなどの駆動装置２
１に連結し、さらに、上記バルブ２０及び駆動装置２１
をコントロール装置２２に接続している。

このコントロール装置２２は、ラッピング加工の終了に
伴う上定盤４の上昇に同期して駆動装置２１及びバルブ
２０を駆動し、噴射管１８を上記噴射位置まで回動させ
ると共に、ノズル１９を通じて冷却水の噴射を自動的に
行わせるためのものである。

上記構成を有するラッピング装置において、内歯歯車２
及び太陽歯車３を駆動回転せしめると、それらに噛合し
ているキャリヤ１５が下定盤５上を自転しながら太陽歯
車３の周りを公転し、該キャリヤ１５に保持されたワー
ク１６が回転する上下の定盤４，５によってラッピング
加工される。

そして、上記ラッピング加工が終了すると、上定盤４が
第２図に示す位置まで上昇し、この上昇！こ同期してコ
ントロール装置２２により駆動装置：２１及びバルブ２
０が駆動せしめられ、噴射管１１８が噴射位置まで回動
されると同時に、そのノズル１９を通じて各キャリヤ１
５に保持されている全てのワーク１６に冷却水が一斉に
噴射される。

この冷却水の噴射によりワーク１６は直ちに冷却され、
乾燥による研削剤の固着が防止されることになる。

このとき、噴射管１８をドーナッツ形に形威しているた
め、ラッピング装置の中心に位置する回転軸部内に冷却
水が不必要に噴射されることがない。

一定時間冷却水の噴射が行われると、コントロール装置
２２によってバルブ２０が閉じられると同時に、噴射管
１８が第１図の待機位置に復帰する。

従ってここでワーク１６を取出せばよい。なお、上記噴
射管１８は、図示したような断面方形状のものに限らず
、円形断面のものであってもよく、また該噴射管１８の
回動及びバルブ２０の開閉は、手動操作によって行うこ
ともできる。

以上に詳述したように、本考案によれば、機体上にスプ
レー装置を設け、研削終了時には該スプレー装置によっ
てワークに冷却水を噴射させるようにしたもので、熱に
よるワークの乾燥を防いで研磨剤の固着を確実に防止す
ることができ、また、上記スプレー装置における噴射管
を環状に形威し、この噴射管を定盤と同軸位置において
ワークに冷却水を噴射するように配設したので、定盤上
に円周状に位置する全てのワークに加工終了時に一斉に
冷却水を噴射させることができるばかりでなく、定盤の
中央に位置する回転軸部に不必要な冷却水が噴射される
のを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す部分縦断面図、第２図
はその異なる動作状態の部分縦断面図、第３図は第２図
におけるＡ−Ａ断面図である。 １・・・・・・機体、２・・・・・・内歯歯車、３・・
・・・・太陽歯車、４，５・・・・・・定盤、１５・・
・・・・キャリヤ、１６・・・・・・ワーク、１７・・
・・・・スプレー装置。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 適宜の駆動源に連結した内歯歯車とその中央に位置する
   太陽歯車とにキャリヤを噛合させ、該キャリヤに保持さ
   せたワークを上下の定盤によって加工するようにしたも
   のにおいて、機体上に、多数のノズルを備えた環状の噴
   射管からなるスプレー装置を、定盤と同軸位置において
   ワークに冷却水を噴射可能に配設したことを特徴とする
   平面研削装置。