JP3015207B2 - 回転塗布装置および回転塗布方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、液晶表示パネル用の
ガラス基板、半導体ウエハ、半導体製造用のマスク基板
などの基板（以下、単に「基板」という）の表面にフォ
トレジスト液などの塗布液を塗布するための回転塗布装
置および回転塗布方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】回転塗布装置では、水平な回転台上に基
板を載置し、さらにその基板上面中央部に塗布液を滴下
した後、その基板を搭載した状態のままで回転台を回転
させることによって塗布液を拡張離散させて、均一な薄
膜を基板上面に形成する。そのため、上記のように基板
を回転させた際に、その遠心力により塗布液の一部が基
板周辺部に飛散して、装置の周辺を汚染するおそれがあ
る。そこで、従来より、回転台の周囲に飛散防止用のカ
ップが付設されている。

【０００３】ところで、塗布液には、例えばフォトレジ
ストのように乾燥して固化するタイプのものがあるが、
この塗布液がカップに付着し、乾燥固化すると、つぎの
ような問題が生じる。すなわち、カップの内面に乾燥し
た塗布液が付着した状態のままで、塗布液の基板への塗
布工程を行うと、回転台の回転振動、あるいは飛散する
塗布液の衝撃力によって乾燥した塗布液の破片が粉末状
の塵埃として飛散し、基板上面に付着し、その結果、不
良品が生じてしまうことがある。

【０００４】そこで、この不都合に対処すべく、例え
ば、実開平３−７９７８号公報や実開昭６２−１８７６
７９号公報などにカップ内面を洗浄する技術が提案され
ている。

【０００５】この実開平３−７９７８号公報では、カッ
プの上部内面に複数の洗浄液吐出口を設けるとともに、
洗浄導管を経由して送給されてきた洗浄液を吐出口から
吐出させることにより、洗浄液をカップ内面に沿って流
下させて、カップ内面に付着した塗布液を洗い流すよう
にしている。

【０００６】また、実開昭６２−１８７６７９号公報で
は、カップの上方端部にフランジが垂設されるととも
に、カップの上面に導管が付設されている。そして、カ
ップとフランジの接合部と、導管との間に複数の送液管
がうず巻き状に配置されており、導管に送給された洗浄
液がこれら送液管を介してその接合部の内面側に送ら
れ、さらにカップ内面に沿って流れるように構成されて
いる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、いずれ
の従来例でも、カップの内面全周を均一に洗浄すること
はできない。というのも、前者（実開平３−７９７８号
公報記載の技術）によれば、吐出口から吐出した洗浄液
はほぼ一定の経路を通ってカップ内面を流れるため、洗
浄されない部分が生じる。

【０００８】また、後者（実開昭６２−１８７６７９号
公報記載の技術）によれば、送液管をうず巻き状に配置
することによって洗浄液がカップ内面を広がりやすいよ
うに構成しているが、洗浄液がカップ内面全周に拡散す
るまでには至らず、全面を良好に洗浄することはなお困
難であった。

【０００９】この発明は、上記課題を解決するためにな
されたもので、洗浄液をカップ内面全周にわたって均一
に拡散させて、カップ内面全面を良好に洗浄することが
でき、かつ基板を収納する空間や基板を汚染することが
ない回転塗布装置および回転塗布方法を提供することを
目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、基板
の上面に塗布液を塗布する回転塗布装置であって、上記
目的を達成するために、前記基板を収納する空間が内部
に形成され、該空間内に前記基板を水平支持した状態で
回転させる回転台と、前記回転台を取り囲むように配置
され、前記塗布液の飛散を防止するカップと、前記回転
台に取り付けられ、前記カップ内面に向けて前記塗布液
を溶解する洗浄液を吐出するノズルとを備え、前記回転
台を回転させながら、前記ノズルより洗浄液を前記カッ
プ内面に吐出するようにしている。

【００１１】請求項２の発明は、請求項１に記載の回転
塗布装置において、前記ノズルは、前記回転台の下部の
回転中心側に向けて洗浄液を吐出するものである。請求
項３の発明は、請求項１または２に記載の回転塗布装置
において、前記回転台に取り付けられ、水平支持された
前記基板の裏面に洗浄液を吐出する裏面洗浄ノズルをさ
らに備え、前記裏面洗浄ノズルは、前記ノズルと共通の
洗浄液供給管に接続されている。請求項４の発明は、基
板の上面に塗布液を塗布する回転塗布方法において、回
転台の内部に形成される空間内に前記基板を収納する基
板収納工程と、前記空間内において前記基板を水平支持
した状態で前記回転台を回転させることにより、基板上
の前記塗布液を外方に拡散して、前記塗布液を基板上面
に薄く塗布する回転塗工程と、前記回転台を回転させな
がら、前記回転台に取り付けられたノズルより、前記回
転台に対向するカップ内面に向けて前記塗布液を溶解す
る洗浄液を吐出する洗浄工程とを有している。請求項５
の発明は、請求項４に記載の回転塗布方法において、前
記洗浄工程は、前記ノズルからの洗浄液の吐出と同時
に、前記回転台に取り付けられた裏面洗浄ノズルから洗
浄液を吐出する工程を有し、基板の裏面洗浄と前記カッ
プ内面の洗浄とを同時に行うことを特徴としている。

【００１２】

【作用】請求項１の発明によれば、基板を収納する空間
が内部に形成された回転台にノズルが取り付けられてい
るので、その回転台が回転している状態で、そのノズル
からカップ内面に向けて洗浄液が吐出されて、カップ内
面が均一に洗浄される。このとき、基板を収納する空間
は回転台の内部に形成されているので、基板を収納する
空間や基板が回転台から飛散した洗浄液によって汚染さ
れることはない。

【００１３】請求項２の発明によれば、ノズルより回転
台の下部の回転中心側に向けて洗浄液が吐出されて、回
転台の外周よりも内側の部分のカップ内面が均一に洗浄
される。請求項３の発明によれば、共通の洗浄液供給管
より洗浄液が供給され、ノズルより吐出する洗浄液はカ
ップ内面を洗浄し、裏面洗浄ノズルより吐出する洗浄液
は基板の裏面の洗浄を行う。請求項４の発明によれば、
回転台の内部に形成される空間内に基板を収納し、その
空間内において基板を水平支持した状態で回転台を回転
させることにより、基板上の塗布液は外方に拡散して基
板上面に薄く塗布される。また、回転台を回転させなが
ら、回転台に取り付けられたノズルより、回転台に対向
するカップ内面に向けて塗布液を溶解する洗浄液を吐出
すると、カップ内面は均一に洗浄される。請求項５の発
明によれば、ノズルからの洗浄液の吐出と同時に、回転
台に取り付けられた裏面洗浄ノズルから洗浄液を吐出す
ることにより、基板の裏面洗浄と前記カップ内面の洗浄
とを同時に行う。

【００１４】

【実施例】図１は、この発明にかかる回転塗布装置の一
実施例を示す断面図である。また、図２は図１の装置の
平面図である。この回転塗布装置では、例えば角形の基
板２を搭載でき、しかも回転軸４回りに回転自在な回転
台６が設けられている。すなわち、回転軸４に沿って回
転シャフト８が垂設されており、その上端に連結ボス１
０を介して下部回転板１２が水平に取り付けられる一
方、その下端に図示を省略するモータが連結されてい
る。また、この下部回転板１２の上面側に基板支持用の
ピン１４が複数本突設されて基板２裏面を支持するとと
もに、下部回転板１２に立設された４組の係合ピン１６
が基板２の四隅と係合されて基板２を水平固定する。こ
のように、回転台６では、基板２を水平に支持しながら
回転軸４回りに水平回転させることができるようになっ
ている。

【００１５】下部回転板１２の上面には、その外周に沿
った形のリングスペーサ２０が、下部回転板１２の上面
との間に隙間４８（図３参照）を保って取り付けられて
いる。リングスペーサ２０は、その内面が下広がりの傾
斜状に形成され、塗布時の回転台６の回転により基板２
から飛散した塗布液が、隙間４８から排出されるように
構成されている。また、リングスペーサ２０には、その
上面外周側から外側面にかけて円錐台形状になしたテー
パ部２０ａが形成されている。

【００１６】また、下部回転板１２の上方側には、リン
グスペーサ２０と嵌合してそのリングスペーサ２０や下
部回転板１２と一体化できるように仕上げられた上部回
転板１８が配置されている。この上部回転板１８は、図
１に示すように、上下方向に移動自在であり、下部回転
板１２と一体化した状態で回転軸４回りに回転するよう
になっている。

【００１７】このように、この実施例では、下部回転板
１２，上部回転板１８及びリングスペーサ２０とで空間
を形成し、その空間に基板２を収納する、いわゆる半密
閉型の回転台６が構成されている。

【００１８】図２に示すように、この回転台６のまわり
には、環状のカップ２２が配置されている。このカップ
２２は、図１に示すように、回転台６の外周下方位置に
配置された内カップ２４と、回転台６の外周に配置され
た外カップ２６とからなり、後述するようにして基板２
に塗布液を塗布する際に、装置外部に余分な塗布液が飛
散するのを防止する。なお、図１に示すように、カップ
２２の底部には、廃液を排出するための廃液排出口２８
が設けられている。また、内カップ２４と外カップ２６
で形成される空間が排気口３０と連通されており、塗布
液から蒸発した溶剤ガスや塗布液ミストを排気するよう
に構成されている。

【００１９】また、この回転塗布装置では、基板２の裏
面を洗浄するための裏面洗浄機構と、カップ２２の内面
を洗浄するためのカップ洗浄機構がそれぞれ設けられて
いる。

【００２０】裏面洗浄機構では、その吐出口が基板２の
裏面と対向するようにして、裏面洗浄用ノズル３２が下
部回転板１２の上面に取り付けられるとともに、連結管
３４を介して回転シャフト８の中心部に挿通して非回転
状態に設置された洗浄液供給管３６と接続されている。
洗浄液供給管３６は、図外で回転シャフト８の外へ導か
れ、図示しない開閉バルブを介して洗浄液供給源に接続
される。そして、その開閉バルブを開放すれば、洗浄液
供給管３６及び連結管３４を介して供給された洗浄液が
裏面洗浄用ノズル３２から基板２の裏面に噴出されて、
基板２の裏面が洗浄される。

【００２１】一方、カップ洗浄機構は、内カップ２４を
洗浄するための内カップ洗浄機構と、主として外カップ
２６を洗浄するための外カップ洗浄機構とで構成されて
いる。

【００２２】内カップ洗浄機構では、図３に示すよう
に、下部回転板１２の外周下方部に内カップ洗浄用ノズ
ル３８が取り付けられている。この内カップ洗浄用ノズ
ル３８は内カップ２４の内面に対向配置されており、下
部回転板１２の下面に配設された連結管４０を介して洗
浄液供給管３６に接続されている。そして、上述の開閉
バルブの開放により、裏面洗浄用ノズル３２からの洗浄
液の吐出と同期して、内カップ洗浄用ノズル３８からも
洗浄液が内カップ２４の内面に向けて吐出されるように
なっている。このように内カップ洗浄用ノズル３８から
の洗浄液を内カップ２４に吹き付けることによって、内
カップ２４が洗浄される。なお、この実施例では、２個
の内カップ洗浄用ノズル３８を設けているが、１個ある
いは３個以上設けてもよいことは言うまでもない。

【００２３】また、外カップ洗浄機構では、同図に示す
ように、その吐出口がリングスペーサ２０のテーパ部２
０ａに対向するようにして、外カップ洗浄用ノズル４２
が外カップ２６に取り付けられている。また、この外カ
ップ洗浄用ノズル４２には、連結管４４を介して、裏面
洗浄用ノズル３２・内カップ洗浄用ノズル３８と同様に
上述の開閉バルブ、洗浄液供給源に接続されている。そ
して、上述の開閉バルブの開放により、裏面洗浄用ノズ
ル３２・内カップ洗浄用ノズル３８からの洗浄液の吐出
と同期して、外カップ洗浄用ノズル４２にも洗浄液が供
給され、テーパ部２０ａに吐出される。こうしてテーパ
部２０ａに吐出された洗浄液はそのテーパ部２０ａでは
ね返されたり、後述するように回転台６の遠心力を受け
て、適宜テーパ部２０ａから外周部に向けて飛散され、
外カップ２６が洗浄される。なお、外カップ洗浄用ノズ
ル４２についても、上記内カップ洗浄用ノズル３８と同
様に設置個数は２個に限定されず、１個あるいは３個以
上設けてもよい。

【００２４】次に、上記のように構成された回転塗布装
置の動作について説明する。図４は、図１の回転塗布装
置の動作を示すタイミングチャートであり、横軸は塗布
作業開始からの経過時間を示し、縦軸が回転台６の回転
数を示している。

【００２５】まず、時間ｔ1 までの間に、図１の１点鎖
線に示すように、上部回転板１８を持ち上げて、中央開
口を大きく開放し、基板２を基板支持用ピン１４上に水
平に搭載して、回転台６への基板セットを完了する。

【００２６】それに続いて、時間ｔ1 から時間ｔ2 の間
で、塗布液供給用ノズル４６を、図１の１点鎖線に示す
ように、中央開口の中央に移動させるとともに、基板２
上の適当な高さまで下降させる。そして、所定量の塗布
液を基板２の上面中央部に滴下する。こうして、基板２
への塗布液の供給が行われる。

【００２７】その後、時間ｔ2 から時間ｔ3 の間に、塗
布液供給用ノズル４６を適当な場所に退避させた上で、
上部回転板１８をスペーサリング２０に装着固定して、
回転塗布の準備を完了する。

【００２８】そして、時間ｔ3 から時間ｔ4 の間、図示
を省略するモータを駆動して、基板２を水平支持した状
態のままで、回転台６を高速回転させる（回転数Ｎ＝Ｎ
3 ）。この回転によって、基板２上の塗布液が外方に拡
散して基板２上面に薄く塗布される。このとき、図３の
点線に示すように、塗布液の一部が下部回転板１２とス
ペーサリング２０の隙間４８から外カップ２６に向けて
飛散し、その外カップ２６に付着するとともに、その外
カップ２６にはね返されて内カップ２４にも付着する。

【００２９】基板２への回転塗布が完了すると、時間ｔ
4 で、回転台６の回転数Ｎが回転数Ｎ1 まで落とされ、
さらに時間ｔ5 までの間、上述の開閉バルブが開放さ
れ、各洗浄用ノズル３２，３８，４２に塗布液を溶解す
る洗浄液が供給されて、洗浄工程が行われる。すなわ
ち、裏面洗浄用ノズル３２から吹き出された洗浄液によ
って基板２の裏面が洗浄され、内カップ洗浄用ノズル３
８からの洗浄液によって内カップ２４の内周面が洗浄さ
れ、また同時に、外カップ洗浄用ノズル４２から吐出さ
れる洗浄液によって外カップ２６の内周面が洗浄され
る。また、このとき基板２は回転台６の半密閉型の空間
内に収納されているため、内カップ洗浄用ノズル３８、
外カップ洗浄用ノズル４２から吐出された洗浄液がカッ
プ内面に衝突して飛散した場合であっても、飛散した洗
浄液が基板２に付着することはなく、また基板２を収納
する空間を構成する回転台６の内面に付着することもな
く、基板２を汚染することはない。

【００３０】ところで、この実施例では、上記のよう
に、回転台６に内カップ洗浄用ノズル３８を固定し、し
かも回転台６を回転させながら、洗浄液を内カップ洗浄
用ノズル３８から内カップ２４に向けて吐出するように
しているので、洗浄液を内カップ２４の内面を全周にわ
たって均一に拡散することができ、その結果、内カップ
２４を全面にわたって均一に洗浄することができる。一
方、外カップ洗浄については、外カップ洗浄用ノズル４
２を外カップ２６に取り付け、回転する回転台６のテー
パ部２０ａに向けて洗浄液を吹き付けているので、洗浄
液がそのテーパ部２０ａではね返されて外カップ２６の
内面側に飛散されるとともに、テーパ部２０ａに付着し
た洗浄液が遠心力によって外カップ２６側に飛散され
る。そのため、洗浄液を外カップ２６に均一に拡散する
ことができ、外カップ２６を全面にわたって均一に洗浄
することができる。

【００３１】次に、時間ｔ5 から時間ｔ6 の間、回転台
６の回転数Ｎを回転数Ｎ2 （＜Ｎ3）まで上昇させて、
回転台６に付着した洗浄液を遠心力でカップ２２側に飛
散させ、取り除く。

【００３２】そして、時間ｔ6 から時間ｔ7 の間で、上
部回転板１８を上方向に移動させた後（図１の１点鎖
線）、塗布処理を完了した基板２を回転台６から取りだ
す（時間ｔ8 ）。

【００３３】こうして、一連の作業を終了するが、連続
して処理を行う場合には、上記作業サイクルを繰返して
行う。

【００３４】以上のように、この実施例によれば、回転
台６に内カップ洗浄用ノズル３８を取り付け、回転台６
を回転させながら、内カップ洗浄用ノズル３８から洗浄
液を吐出させているので、内カップ２４の内面全面に洗
浄液が均一に行き渡り、内カップ２４の内面を均一に洗
浄することができる。

【００３５】また、外カップ洗浄用ノズル４２を外カッ
プ２６に取り付け、回転する回転台６のテーパ部２０ａ
に向けて洗浄液を吹き付けているようにしているので、
洗浄液が外カップ２６に均一に拡散され、外カップ２６
を全面にわたって均一に洗浄することができる。

【００３６】また、この実施例では、上記効果に加え
て、次の効果も得られる。すなわち、上述の従来例で
は、カップの上部に複数の洗浄液吐出口を設け、それら
洗浄液吐出口から洗浄液を吐出するようにしているの
で、比較的多くの洗浄液が必要となる。特に、半導体ウ
エハと比べて外形サイズが大きな液晶表示パネル用のガ
ラス基板に塗布液を塗布する回転塗布装置では、基板サ
イズの大型化につれてカップサイズも大きくなり、その
結果、より多くの洗浄液吐出口を設けなければならず、
しかもより大量の洗浄液が必要となる。これに対し、こ
の実施例では、上記のように洗浄用のノズルを１個ある
いは数個設ければ足り、しかも少量の洗浄液で効果的に
カップを洗浄することができる。さらに、洗浄液の使用
量の減少によって、洗浄液の使用による周辺温度低下の
影響等を抑えることができる。

【００３７】なお、上記実施例では、内カップ洗浄機構
と外カップ洗浄機構を備えた回転塗布装置について説明
したが、これらの洗浄機構を常に併用しなければならな
いというわけではなく、どちらか一方の洗浄機構を設け
た回転塗布装置であっても、その特有の効果、つまりカ
ップ内面を均一に洗浄することができるという効果が得
られる。

【００３８】

【００３９】また、上記においては、内カ
ップ洗浄用ノズル３８を内カップ２４の内面に対向配置
して内カップ２４を洗浄するようにしているが、ノズル
３８の配置を変えることによって、外カップ２６の洗浄
も可能となる。すなわち、その吐出口が外カップ２６と
対向するように、回転台６の外周部に洗浄用ノズル３８
を取り付け、回転台６を回転させながら、洗浄用ノズル
３８から洗浄液を吐出させることによって、外カップ２
６の内面を均一に洗浄することができる。

【００４０】さらに、上記実施例では、洗浄用ノズル３
２，３８に洗浄液を供給するために、それぞれ独立した
連結管３４，４０を設けているが、内カップ洗浄用ノズ
ル３８を裏面洗浄用ノズル３２あるいは連結管３４の一
部と連結することも可能であり、この場合、洗浄液供給
用の配管がシンプルとなる。

【００４１】さらに、上記実施例では、基板１枚に塗布
処理する都度、カップ２２の洗浄を行っているので、複
数枚、例えば１ロット２５枚の基板を連続して塗布処理
した後にはじめてカップ２２の洗浄を行い、続いて次の
ロットの処理を行う場合と比べ、洗浄液の気化熱などの
ために基板間で処理条件が変わることがなく、処理する
すべての基板２を同一の条件で均一に処理できる。ま
た、カップ２２の表面も清浄な状態に保たれ、飛散して
カップ２２に付着した塗布液も比較的容易に洗浄され、
洗浄液の消費量も低減できる。さらに、基板２の裏面と
同時にカップ２２も洗浄できるため、カップ２２洗浄の
ためだけに時間をとることがない。なお、連結管３４、
４０、４４のそれぞれに個別に開閉バルブを設ければ、
それぞれの吐出タイミングを個別に設定でき、基板２の
裏面の洗浄とカップ２２の洗浄を個別に行うこともでき
る。

【００４２】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、基板を収納す
る空間が内部に形成された回転台にノズルが取り付けら
れて、その回転台が回転している状態で、そのノズルか
らカップ内面に向けて洗浄液を吐出するようにしている
ので、基板を収納する空間や基板を汚染することなくカ
ップ内面を均一に洗浄することができる。

【００４３】請求項２の発明によれば、ノズルより回転
台の下部の回転中心側に向けて洗浄液が吐出されるの
で、回転台の外周よりも内側の部分のカップ内面を均一
に洗浄できる。請求項３の発明によれば、水平支持され
た基板の裏面に洗浄液を吐出する裏面洗浄ノズルは、カ
ップ内面を洗浄するノズルと共通の洗浄液供給管に接続
されているため、装置構成を簡単にすることができる。
請求項４の発明によれば、回転台の内部に形成される空
間内に基板を収納し、その空間内において基板を水平支
持した状態で回転台を回転させることにより、塗布液を
基板上面に薄く塗布することができ、また、回転台を回
転させながら、回転台に取り付けられたノズルより、回
転台に対向するカップ内面に向けて塗布液を溶解する洗
浄液を吐出するので、基板を収納する空間や基板を飛散
した洗浄液で汚染することなくカップ内面を均一に洗浄
することができる。請求項５の発明によれば、ノズルか
らの洗浄液の吐出と同時に、回転台に取り付けられた裏
面洗浄ノズルから洗浄液を吐出することにより、基板の
裏面洗浄と前記カップ内面の洗浄とを同時に行うことが
でき、処理時間の効率化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明にかかる回転塗布装置を示す断面図で
ある。

【図２】図１の装置の平面図である。

【図３】図１の部分拡大図である。

【図４】図１の回転塗布装置の動作を示すタイミングチ
ャートである。

【符号の説明】 ２ 基板 ６ 回転台 ２０ａ テーパ部 ２２ カップ ３８ 内カップ洗浄用ノズル ４２ 外カップ洗浄用ノズル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山本 正昭 京都市伏見区羽束師古川町322番地 大 日本スクリーン製造株式会社 洛西工場 内 審査官 早野 公惠 (56)参考文献 特開 平４−171072（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−66159（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−31973（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−108330（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−132932（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B05C 11/08 B05D 1/40 H01L 21/027 G03F 7/16 502

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板の上面に塗布液を塗布する回転塗布
   装置において、前記基板を収納する空間が内部に形成され、該空間内に
   前記基板を水平支持した状態で回転させる回転台と、 前記回転台を取り囲むように配置され、前記塗布液の飛
   散を防止するカップと、 前記回転台に取り付けられ、前記カップ内面に向けて前
   記塗布液を溶解する洗浄液を吐出するノズルとを備え、 前記回転台を回転させながら、前記ノズルより洗浄液を
   前記カップ内面に吐出することを特徴とする回転塗布装
   置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の回転塗布装置におい
   て、 前記ノズルは、前記回転台の下部の回転中心側に向けて
   洗浄液を吐出するものであることを特徴とする回転塗布
   装置。
3. 【請求項３】 請求項１または２に記載の回転塗布装置
   において、 前記回転台に取り付けられ、水平支持された前記基板の
   裏面に洗浄液を吐出する裏面洗浄ノズルをさらに備え、 前記裏面洗浄ノズルは、前記ノズルと共通の洗浄液供給
   管に接続されていることを特徴とする回転塗布装置。
4. 【請求項４】 基板の上面に塗布液を塗布する回転塗布
   方法装置において、 回転台の内部に形成される空間内に前記基板を収納する
   基板収納工程と、 前記空間内において前記基板を水平支持した状態で前記
   回転台を回転させることにより、基板上の前記塗布液を
   外方に拡散して、前記塗布液を基板上面に薄く塗布する
   回転塗工程と、 前記回転台を回転させながら、前記回転台に取り付けら
   れたノズルより、前記回転台に対向するカップ内面に向
   けて前記塗布液を溶解する洗浄液を吐出する洗浄工程
   と、 を有することを特徴とする回転塗布方法。
5. 【請求項５】 請求項４に記載の回転塗布方法におい
   て、前記洗浄工程は、 前記ノズルからの洗浄液の吐出と同時に、前記回転台に
   取り付けられた裏面洗浄ノズルから洗浄液を吐出する工
   程を有し、 基板の裏面洗浄と前記カップ内面の洗浄とを同時に行う
   ことを特徴とする回転塗布方法。