JPS60126838A - ひ化ガリウム単結晶ウエハの洗滌液および洗滌方法 - Google Patents
ひ化ガリウム単結晶ウエハの洗滌液および洗滌方法Info
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- JPS60126838A JPS60126838A JP23446183A JP23446183A JPS60126838A JP S60126838 A JPS60126838 A JP S60126838A JP 23446183 A JP23446183 A JP 23446183A JP 23446183 A JP23446183 A JP 23446183A JP S60126838 A JPS60126838 A JP S60126838A
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- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 11
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はひ化ガリウム(GaAs ) 単結晶ウェハの
洗滌液及び洗滌方法に関する。
洗滌液及び洗滌方法に関する。
GaAs単結晶ウェハは、インゴットからスライシング
工程でウェハを切シ出した後、円形加工を行ない、続い
て、ラッピング及び、ポリシング工程で表面を研磨して
鏡面に仕上げる。その後、ポリシング工程で用いたワッ
クスの除去を行ない、ウェハ表面に付着したゴミを洗滌
、除去して出荷される。
工程でウェハを切シ出した後、円形加工を行ない、続い
て、ラッピング及び、ポリシング工程で表面を研磨して
鏡面に仕上げる。その後、ポリシング工程で用いたワッ
クスの除去を行ない、ウェハ表面に付着したゴミを洗滌
、除去して出荷される。
ウェハ表面に付着したゴミを洗滌除去する際に用いられ
る洗滌液には従来適当なものがなく、ゴミを除去するた
めには長時間の洗滌を行なうか又は複雑な洗滌を行なう
必要があった。
る洗滌液には従来適当なものがなく、ゴミを除去するた
めには長時間の洗滌を行なうか又は複雑な洗滌を行なう
必要があった。
本発明者等は、ゴミ除去能力の高い洗滌液及び洗滌方法
を開発すること目的として鋭意研究を重ねた結果本発明
に到達したものである。
を開発すること目的として鋭意研究を重ねた結果本発明
に到達したものである。
本発明の上記の目的は粒径が0.28m以上の微粒子の
含有量が/を当シク万個以下、バクテリアのコロニー数
が/l当F)7000個以下である水にHLB値が/グ
以上であるポリオキシエチレンアルキルフェノールエー
テルヲ0./〜夕重量係溶解してなる洗滌液及び粒径が
θ9.2廁以上の微粒子の含有量が/を当りグ万個以下
、バクテリアのコロニー数が7を当り/ 000個以下
である水に、HTLB値が/を以上であるポリオキシエ
チレンアルキルフェノールエーテルを0./〜!重量係
、溶解して々る洗滌液の存在下KGaAs単結晶ウェハ
を布上で摩擦して洗滌する方法によって達せられる。
含有量が/を当シク万個以下、バクテリアのコロニー数
が/l当F)7000個以下である水にHLB値が/グ
以上であるポリオキシエチレンアルキルフェノールエー
テルヲ0./〜夕重量係溶解してなる洗滌液及び粒径が
θ9.2廁以上の微粒子の含有量が/を当りグ万個以下
、バクテリアのコロニー数が7を当り/ 000個以下
である水に、HTLB値が/を以上であるポリオキシエ
チレンアルキルフェノールエーテルを0./〜!重量係
、溶解して々る洗滌液の存在下KGaAs単結晶ウェハ
を布上で摩擦して洗滌する方法によって達せられる。
本発明において、「HLB値」とは次の式で定義される
。
。
HLB=7+//、7togMw/M。
式中Mw: 親水性基の分子量
MO= 疎水性基の分子量
本発明に係る洗滌液に使用される界面活性剤としては、
ノニオン系界面活性剤でポリオキシエチレンアルキルフ
ェノールエーテル(Ro、6H4−0(−C!H2CH
2Q−)−nH,R=アルキル基〕であって、HLB値
が/グ以上であることが適当である。
ノニオン系界面活性剤でポリオキシエチレンアルキルフ
ェノールエーテル(Ro、6H4−0(−C!H2CH
2Q−)−nH,R=アルキル基〕であって、HLB値
が/グ以上であることが適当である。
なお、−・・―−−−―・−ass@−HLB値が/弘
未満であると、ウェハ表面から乞 ゴミを完全に除去することは困難である。な−、また、
ポリオキシエチレンアルキルフェノールエーテル以外の
ノニオン系界面活性剤、例えばポリエチレングリコール
モノステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等ではI
(LB値が71以上であっても十分な効果が発揮されな
い。
未満であると、ウェハ表面から乞 ゴミを完全に除去することは困難である。な−、また、
ポリオキシエチレンアルキルフェノールエーテル以外の
ノニオン系界面活性剤、例えばポリエチレングリコール
モノステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等ではI
(LB値が71以上であっても十分な効果が発揮されな
い。
洗滌液は、ポリオキシエチレンアルキルフェノールエー
テルを濃度が0./〜o、r重量%となるように水に溶
解する。水は、ゴミ等を含まないものが適当であって、
lt中の粒径00.2μm以上の微粒子の含有量がグ万
個以下、バクテリアのコロニー数が/ 000個以下で
あるものが適当である。
テルを濃度が0./〜o、r重量%となるように水に溶
解する。水は、ゴミ等を含まないものが適当であって、
lt中の粒径00.2μm以上の微粒子の含有量がグ万
個以下、バクテリアのコロニー数が/ 000個以下で
あるものが適当である。
上記範囲外の水を用いると、ウェハからゴミを十分に除
去できず、また、ウェハ面に傷をつける等の問題が生じ
るので好ましくない。
去できず、また、ウェハ面に傷をつける等の問題が生じ
るので好ましくない。
本発明に係る洗滌液を用いてウェハを洗滌するには、ウ
ェハの研磨等に用いる布、不織布等で表面を覆った金属
板、ガラス板、すなわち、パッドに被洗滌ウェハを洗滌
液を流しながら押しつけて摩擦し々がら洗滌する。
ェハの研磨等に用いる布、不織布等で表面を覆った金属
板、ガラス板、すなわち、パッドに被洗滌ウェハを洗滌
液を流しながら押しつけて摩擦し々がら洗滌する。
洗滌液に浸漬して攪拌する等の方法では十分にゴミを除
去することができない。
去することができない。
本発明に係る洗滌液及び洗浄方法を用いると、表面に付
着するゴミを実質的に完全に除去することができる。、
マた。 GaAs ウェハの表面にポリオキシエチレン
アルキルフェノールエーテルの薄膜が形成されるので水
切れがよく、また、ウニ八表面が空気から遮断されるの
で酸化されることもない。なお、上記薄膜はインプロパ
ツール、エタノール等の有機溶媒で表面を洗うことに説
明する。
着するゴミを実質的に完全に除去することができる。、
マた。 GaAs ウェハの表面にポリオキシエチレン
アルキルフェノールエーテルの薄膜が形成されるので水
切れがよく、また、ウニ八表面が空気から遮断されるの
で酸化されることもない。なお、上記薄膜はインプロパ
ツール、エタノール等の有機溶媒で表面を洗うことに説
明する。
実施例
オキシエチレンノニルフェノールエーテル(HLB/’
l/)を濃度/、ON量%と一’xるように溶解して洗
滌液を調製した。この洗滌液の液温を、23Cとした。
l/)を濃度/、ON量%と一’xるように溶解して洗
滌液を調製した。この洗滌液の液温を、23Cとした。
直径torrtmのポリシング済みのG、aAs ウェ
ハのワックスを除去した後、上記洗滌液で表面を濡らし
た不織布を張った円板にウェハを押し付けて摩擦しなが
ら洗滌した。
ハのワックスを除去した後、上記洗滌液で表面を濡らし
た不織布を張った円板にウェハを押し付けて摩擦しなが
ら洗滌した。
2分間洗滌した後、超純水で該ウェハを水洗した。得ら
れたウェハを2万ルツクスのマイクロライドで照らして
ゴミの有無を検査したがゴミ゛の付着は観察されなかっ
た。また、ウェハの水切れも良好であった。
れたウェハを2万ルツクスのマイクロライドで照らして
ゴミの有無を検査したがゴミ゛の付着は観察されなかっ
た。また、ウェハの水切れも良好であった。
比較例/
HL B 値が73であるポリオキシエチレンノニルフ
ェノールエーテルを用いたこと以外は実施例/と同様に
してGaAs ウェハを洗滌した。
ェノールエーテルを用いたこと以外は実施例/と同様に
してGaAs ウェハを洗滌した。
実施例1と同様にしてゴミの有無を検査したところ、ゴ
ミの付着数はど0個(ウェハ全面)であった。
ミの付着数はど0個(ウェハ全面)であった。
比較例2
HL B 値が/り、/であるポリエチレングリコール
モノステアレートをポリオキシメチレンノニルフェノー
ルエーテルの代りに用いたこと以外は実施例/と同様に
して洗滌した。実施例1と同様にしてゴーの有無を検査
したところゴミの付着数はioo個(ウェハ全面)であ
った。
モノステアレートをポリオキシメチレンノニルフェノー
ルエーテルの代りに用いたこと以外は実施例/と同様に
して洗滌した。実施例1と同様にしてゴーの有無を検査
したところゴミの付着数はioo個(ウェハ全面)であ
った。
また、ウェハ全面が水でぬれていた。
特許出願人 三菱モンサント化成株式会社三菱化成工業
株式会社 代 理 人 弁理士 長谷用 (ほか7名)
株式会社 代 理 人 弁理士 長谷用 (ほか7名)
Claims (2)
- (1)粒径0.2μm 以上の微粒子の含有量が/を当
り弘万個以下、バクテリアのコロニー数が/を当り/
000個以下である水に、HBr値が/グ以上であるポ
リオキシエチレンアルキルフェノールエーテルtO,/
S−1重量%溶解してなるひ化ガリウム単結晶ウェハの
洗滌液。 - (2) 粒径0.2μm以上の微粒子の含有量が/を当
シ弘3個以下、バクテリアのコロニー数がIt当シ/
000個以下である水に、HBr値がlグ以上であるポ
リオキシエチレンアルキルフェノールエーテルを0./
〜j重量重量% 所与て・る洗滌液の存在下にひ化ガリウム単結晶ウェハ
を布上で摩擦して洗滌することを特徴とするひ化ガリウ
ム単結晶ウェハの洗滌方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23446183A JPS60126838A (ja) | 1983-12-13 | 1983-12-13 | ひ化ガリウム単結晶ウエハの洗滌液および洗滌方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23446183A JPS60126838A (ja) | 1983-12-13 | 1983-12-13 | ひ化ガリウム単結晶ウエハの洗滌液および洗滌方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60126838A true JPS60126838A (ja) | 1985-07-06 |
Family
ID=16971362
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23446183A Pending JPS60126838A (ja) | 1983-12-13 | 1983-12-13 | ひ化ガリウム単結晶ウエハの洗滌液および洗滌方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60126838A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017152748A (ja) * | 2011-05-18 | 2017-08-31 | 住友電気工業株式会社 | 化合物半導体基板 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS51150972A (en) * | 1975-06-11 | 1976-12-24 | Wacker Chemitronic | Process for cleaning semiconductor substrate polished |
JPS53121459A (en) * | 1977-03-31 | 1978-10-23 | Hitachi Ltd | Surface tereatment method for semiconductor element |
-
1983
- 1983-12-13 JP JP23446183A patent/JPS60126838A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS51150972A (en) * | 1975-06-11 | 1976-12-24 | Wacker Chemitronic | Process for cleaning semiconductor substrate polished |
JPS53121459A (en) * | 1977-03-31 | 1978-10-23 | Hitachi Ltd | Surface tereatment method for semiconductor element |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017152748A (ja) * | 2011-05-18 | 2017-08-31 | 住友電気工業株式会社 | 化合物半導体基板 |
JP2019117959A (ja) * | 2011-05-18 | 2019-07-18 | 住友電気工業株式会社 | エピタキシャル成長用の化合物半導体基板の製造方法、化合物半導体基板上のエピタキシャル成長方法および化合物半導体基板。 |
DE112012002127B4 (de) | 2011-05-18 | 2022-10-27 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Verfahren zur Herstellung eines Verbindungshalbleitersubstrats |
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