JPS60123080A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS60123080A JPS60123080A JP23196483A JP23196483A JPS60123080A JP S60123080 A JPS60123080 A JP S60123080A JP 23196483 A JP23196483 A JP 23196483A JP 23196483 A JP23196483 A JP 23196483A JP S60123080 A JPS60123080 A JP S60123080A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output mirror
- laser
- temperature
- discharge
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
- H01S3/0346—Protection of windows or mirrors against deleterious effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はガスレーザ装置に関するものである。
従来のガスレーザ装置では出力鏡の前面に安全上光路カ
バーが設けられているので、外部より出力鏡の異常を発
見するのが困難であり、出力鏡が損傷し出力低下を招い
た場合に、あるいはレーザ装置内部のガス圧が上昇して
放電が停止した場合にはじめて気がついていた。しかし
レーザ装置が高出力化されるのに伴い出力鏡が損傷する
だけでなく、損傷個所でのレーザビームの吸収率が増加
するので、急檄に高温となり、出力鏡が溶融・蒸発しレ
ーザ装置内部に拡散して装置内部を汚損する欠点が生じ
てきた。
バーが設けられているので、外部より出力鏡の異常を発
見するのが困難であり、出力鏡が損傷し出力低下を招い
た場合に、あるいはレーザ装置内部のガス圧が上昇して
放電が停止した場合にはじめて気がついていた。しかし
レーザ装置が高出力化されるのに伴い出力鏡が損傷する
だけでなく、損傷個所でのレーザビームの吸収率が増加
するので、急檄に高温となり、出力鏡が溶融・蒸発しレ
ーザ装置内部に拡散して装置内部を汚損する欠点が生じ
てきた。
本発明は以上の点に鑑みなされたものであり、出力鏡の
損傷防止を可能としたガスレーザ装置を提供することを
目的とするものである。
損傷防止を可能としたガスレーザ装置を提供することを
目的とするものである。
〔発明の概要〕
すなわち本発明は放電部、非放電領域部および出力部を
備え、前記出力部はレーザビームを透過する出力鏡を有
し、前記非放電領域部は前記出力鏡に対向配置 ° し
、前記放電 部はレーザガス放電励起用電源を有しているガスレーザ
装置において、前記出力鏡に、この温５度を測定し前記
レーザガス放電励起用電源を開閉する制御装置を設け、
前記出力鏡の温度上昇値が設定温度値を超えた場合には
前記レーザガス放電励起用電源をしゃ断するようにした
ことを第１の特徴とするものであり、放電部、非放電領
域部および出力部を備え、前記出力部はレーザビームを
透過する出力鏡を有し、前記非放電領域部は前記出力鏡
に対向配置されたアパーチャを有し、前記放電部はレー
ザガス放電励起用電源を有しているガスレーザ装置にお
いて、前記出力鏡に、この温度を測定し前記レーザガス
放電励起用電源を開閉する制御装置を設けると共に、こ
の制御装置に接続され、かつ前記アパーチャを開閉する
シャッター装置を設け、前記出力鏡の温度上昇値が設定
温度値を超えた場合には前記レーザガス放電励起用電源
をしゃ断すると共に前記アパーチャを閉じるようにした
ことを第２の特徴とするものであり、これによって出力
鏡の温度上昇値が設定温度値を超えた場合にはレーザガ
ス放電励起用電源がしゃ断されるようになり、またアパ
ーチャが閉じられるようになる。
備え、前記出力部はレーザビームを透過する出力鏡を有
し、前記非放電領域部は前記出力鏡に対向配置 ° し
、前記放電 部はレーザガス放電励起用電源を有しているガスレーザ
装置において、前記出力鏡に、この温５度を測定し前記
レーザガス放電励起用電源を開閉する制御装置を設け、
前記出力鏡の温度上昇値が設定温度値を超えた場合には
前記レーザガス放電励起用電源をしゃ断するようにした
ことを第１の特徴とするものであり、放電部、非放電領
域部および出力部を備え、前記出力部はレーザビームを
透過する出力鏡を有し、前記非放電領域部は前記出力鏡
に対向配置されたアパーチャを有し、前記放電部はレー
ザガス放電励起用電源を有しているガスレーザ装置にお
いて、前記出力鏡に、この温度を測定し前記レーザガス
放電励起用電源を開閉する制御装置を設けると共に、こ
の制御装置に接続され、かつ前記アパーチャを開閉する
シャッター装置を設け、前記出力鏡の温度上昇値が設定
温度値を超えた場合には前記レーザガス放電励起用電源
をしゃ断すると共に前記アパーチャを閉じるようにした
ことを第２の特徴とするものであり、これによって出力
鏡の温度上昇値が設定温度値を超えた場合にはレーザガ
ス放電励起用電源がしゃ断されるようになり、またアパ
ーチャが閉じられるようになる。
発明者等はどのようにすれば出力鏡の損傷が防止できる
かを検討した。出力鏡の温度上昇は縦軸にレーザ出力Ｐ
Ｌおよび出力鏡端部の温度上昇値ΔＴをとり、横軸に時
間ｔをとって時間によるレーザ出力Ｐ［、および温度上
昇値ΔＴの変化特性が示されている第１図に示されてい
るように、時間１、からｔ３までレーザ発振した場合に
温度上昇値ΔＴは時定数τで時間ｔ２−１で上昇し、そ
の後は飽和し飽和値ΔＴ８を保持するのが一般的である
。このような時間ｔと温度上昇値ΔＴすなわちｔ−ΔＴ
特性は通常、出力鏡の仕様、冷却方法およびレーザ出力
等が決まれば再現性がある。しかし出力鏡の表面が結露
したシ、汚損している場合にはレーザビーム吸収率が増
加するので、縦軸に温度上昇値ΔＴをとり、横軸に時間
ｔをとって時間による温度上昇値ΔＴの変化特性が示さ
れている第２図の点線表示の曲線のように、通常の飽和
値ΔＴ８に達する特性曲線の時定数τよシも短かい時定
数τ、で立ち上り、時間ｔ４で設定温度値ΔＴ、ｃを超
えてしまう。このように設定温度値ΔＴｃを越えると出
力鏡は更に温度上昇して逐には損傷するようになる。
かを検討した。出力鏡の温度上昇は縦軸にレーザ出力Ｐ
Ｌおよび出力鏡端部の温度上昇値ΔＴをとり、横軸に時
間ｔをとって時間によるレーザ出力Ｐ［、および温度上
昇値ΔＴの変化特性が示されている第１図に示されてい
るように、時間１、からｔ３までレーザ発振した場合に
温度上昇値ΔＴは時定数τで時間ｔ２−１で上昇し、そ
の後は飽和し飽和値ΔＴ８を保持するのが一般的である
。このような時間ｔと温度上昇値ΔＴすなわちｔ−ΔＴ
特性は通常、出力鏡の仕様、冷却方法およびレーザ出力
等が決まれば再現性がある。しかし出力鏡の表面が結露
したシ、汚損している場合にはレーザビーム吸収率が増
加するので、縦軸に温度上昇値ΔＴをとり、横軸に時間
ｔをとって時間による温度上昇値ΔＴの変化特性が示さ
れている第２図の点線表示の曲線のように、通常の飽和
値ΔＴ８に達する特性曲線の時定数τよシも短かい時定
数τ、で立ち上り、時間ｔ４で設定温度値ΔＴ、ｃを超
えてしまう。このように設定温度値ΔＴｃを越えると出
力鏡は更に温度上昇して逐には損傷するようになる。
また第３図に示されているようにろる時間ｔ５で出力鏡
のレーザビーム吸収率が急増して温度上昇値ΔＴが急増
し、時間ｔ６で設定温度値ΔＴｃに達し、この後の時間
ｔ７では温度上昇値ΔＴが極端に大きくなって出力鏡が
破損するのが認められた。
のレーザビーム吸収率が急増して温度上昇値ΔＴが急増
し、時間ｔ６で設定温度値ΔＴｃに達し、この後の時間
ｔ７では温度上昇値ΔＴが極端に大きくなって出力鏡が
破損するのが認められた。
これらのことから設定温度値ΔｌＪ′ｃを超える時間ｔ
４’（第２図参照）、ｔ６（第３図参照）において電源
をしゃ断すれば、出力鏡の損傷をおこすような過度の温
度上昇が防止できることが確かめられた。そして設定温
度値ΔＴｃはガスレーザ装置の出力安定度が±５チ以内
なので、通常の飽オロ値ΔＴｓよシ１０から３０チ高く
すればよく、またレーザ出力値Ｐ０を変えた場合には注
入ノ（ワーＰＩと出力値Ｐ、とには相関々係があるので
、第４図に示されているように注入）くワーＰ＋に連動
して設定温度値ΔＴｃを変えてやればよい。
４’（第２図参照）、ｔ６（第３図参照）において電源
をしゃ断すれば、出力鏡の損傷をおこすような過度の温
度上昇が防止できることが確かめられた。そして設定温
度値ΔＴｃはガスレーザ装置の出力安定度が±５チ以内
なので、通常の飽オロ値ΔＴｓよシ１０から３０チ高く
すればよく、またレーザ出力値Ｐ０を変えた場合には注
入ノ（ワーＰＩと出力値Ｐ、とには相関々係があるので
、第４図に示されているように注入）くワーＰ＋に連動
して設定温度値ΔＴｃを変えてやればよい。
そこで本発明では、出力鏡に、この温度を測定しレーザ
ガス放電励起用電源を開閉する制御装置を設け、出力鏡
の温度上昇値が設定温度値を超えた場合にはレーザカス
放電励起用電源をしゃ断するようにした。このようにす
ることにより出力鏡の損傷防止を可能としたガスレーザ
装置を得ることを可能としたものである。
ガス放電励起用電源を開閉する制御装置を設け、出力鏡
の温度上昇値が設定温度値を超えた場合にはレーザカス
放電励起用電源をしゃ断するようにした。このようにす
ることにより出力鏡の損傷防止を可能としたガスレーザ
装置を得ることを可能としたものである。
以下、図示した実施例に基づいて本発明を説明する。第
５図には本発明の一実施例が示されている。ガスレーザ
装置は放電部（図示せず）非放電領域部１および出力部
１ａを備え、出力部１ａはレーザビーム２を透過する出
力鏡３を有し、非放電領域部１は出力ｇ８３に対向配置
されたアノく−チャ４を有し、放電部はレーザガス放電
励起用電源５を有しており、出力鏡３の大気側には安全
のためレーザビーム２と同心円筒の光路カッく−６が設
けられている。
５図には本発明の一実施例が示されている。ガスレーザ
装置は放電部（図示せず）非放電領域部１および出力部
１ａを備え、出力部１ａはレーザビーム２を透過する出
力鏡３を有し、非放電領域部１は出力ｇ８３に対向配置
されたアノく−チャ４を有し、放電部はレーザガス放電
励起用電源５を有しており、出力鏡３の大気側には安全
のためレーザビーム２と同心円筒の光路カッく−６が設
けられている。
このように構成されたガスレーザ装置において本実施例
では出力鏡３に、この温度を測定しレーザガス放電励起
用電源５を開閉する制御装置７を設け、出力鏡３の温度
上昇値が設定温度値を超えた場合にはレーザカス放電励
起用電源５をしゃ断するようにした。このようにするこ
とにより出力鏡３の温度上昇値が設定温度値を超えた場
合にはレーザカス放電励起用電源５がしゃ断されるよう
になって、出力鏡３の損傷防止を可能としたガスレーザ
装置を得ることができる。
では出力鏡３に、この温度を測定しレーザガス放電励起
用電源５を開閉する制御装置７を設け、出力鏡３の温度
上昇値が設定温度値を超えた場合にはレーザカス放電励
起用電源５をしゃ断するようにした。このようにするこ
とにより出力鏡３の温度上昇値が設定温度値を超えた場
合にはレーザカス放電励起用電源５がしゃ断されるよう
になって、出力鏡３の損傷防止を可能としたガスレーザ
装置を得ることができる。
すなわち制御装置７を、出力鏡３の端部に設けた温度測
定素子８と、この温度測定素子８に接続した温度測定器
９と、この温度測定器９に接続し、かつレーザガス放電
励起用＝Ｗ５への注入パワーＰ＋が入力される判定器１
０とから構成した。このようにすることにより出力鏡３
の温度上昇値を温度測定素子８、温度測定器９で測定し
、その温度上昇値が設定温度値を超えた場合には判定器
１０で判定してレーザガス放電励起用電源５へしゃ断指
令を送ってレーザガス放電励起用１源５をしゃ断するこ
とができるようになり１、出力鏡３の過度の温度上昇が
防止されるようになるので、出力鏡３の損傷が防止でき
る。
定素子８と、この温度測定素子８に接続した温度測定器
９と、この温度測定器９に接続し、かつレーザガス放電
励起用＝Ｗ５への注入パワーＰ＋が入力される判定器１
０とから構成した。このようにすることにより出力鏡３
の温度上昇値を温度測定素子８、温度測定器９で測定し
、その温度上昇値が設定温度値を超えた場合には判定器
１０で判定してレーザガス放電励起用電源５へしゃ断指
令を送ってレーザガス放電励起用１源５をしゃ断するこ
とができるようになり１、出力鏡３の過度の温度上昇が
防止されるようになるので、出力鏡３の損傷が防止でき
る。
そして、この制御装置７に接続し、アパーチャ４を開閉
するシャッター装置１１を設け、出力鏡３の温度上昇値
が設定温度値を超えた場合にはアパーチャ４を閉じるよ
うにした。このようにすることにより、出力鏡３の温度
上昇値が設定温度値を超えた場合には、判定器１０で判
定してシャッター装置１１のシャッター駆動装置１２ヘ
シヤツター１３の閉鎖信号を送って、シャッター１３で
アパーチャ４を閉じることができるようになり、出力鏡
３が溶融、蒸発し、装置内部へ拡散し、内部を汚損する
のを防止することができる。
するシャッター装置１１を設け、出力鏡３の温度上昇値
が設定温度値を超えた場合にはアパーチャ４を閉じるよ
うにした。このようにすることにより、出力鏡３の温度
上昇値が設定温度値を超えた場合には、判定器１０で判
定してシャッター装置１１のシャッター駆動装置１２ヘ
シヤツター１３の閉鎖信号を送って、シャッター１３で
アパーチャ４を閉じることができるようになり、出力鏡
３が溶融、蒸発し、装置内部へ拡散し、内部を汚損する
のを防止することができる。
なお本発明では出力部が出力鏡３で構成される場合につ
いて説明したが、これに限るものではなく出力窓の場合
についても適用できることは云うまでもない 〔発明の効果〕 上述のように本発明は出力鏡の過度の温度上昇が防止さ
れるようになって、出力鏡の損傷が防止されるようにな
り、出力鏡の損傷防止を可能としたガスレーザ装置を得
ることができる。
いて説明したが、これに限るものではなく出力窓の場合
についても適用できることは云うまでもない 〔発明の効果〕 上述のように本発明は出力鏡の過度の温度上昇が防止さ
れるようになって、出力鏡の損傷が防止されるようにな
り、出力鏡の損傷防止を可能としたガスレーザ装置を得
ることができる。
第１図はガスレーザ装置の時間と温度上昇値およびレー
ザ出力との関係を示す特性図、第２図および第３図はガ
スレーザ装置の時間と温度上昇値との関係を示す特性図
、第４図はガスレーザ装置の注入パワーと設定温度値と
の関係を示す特性図、第５図は本発明のガスレーザ装置
の一実施例の出力部門りの断面図および制御装置のブロ
ック線図である。 １・・・非放電領域部、１ａ・・・出力部、２・・・レ
ーザビーム、３・・・出力鏡、４・・・アパーチャ、５
・・・レーザガス放電励起用電源、６・・・光路〃カバ
ー、７・・・制御装置、８・・・温度測定素子、９・・
・温度測定器、１０・・・判定器、１１・・・シャッタ
ー装置、１２・・・シャッター駆動装置、１３・・・シ
ャッター。 （ほか１名） も１（２） 直間（ｔ）− 荊２０ 吋ｍ’Ｒｔ戸〜 １ も３図 時間（ｔ）− 高４−図 第１頁の続き ０発 明 者 竹 森 を 日立ｊ
ザ出力との関係を示す特性図、第２図および第３図はガ
スレーザ装置の時間と温度上昇値との関係を示す特性図
、第４図はガスレーザ装置の注入パワーと設定温度値と
の関係を示す特性図、第５図は本発明のガスレーザ装置
の一実施例の出力部門りの断面図および制御装置のブロ
ック線図である。 １・・・非放電領域部、１ａ・・・出力部、２・・・レ
ーザビーム、３・・・出力鏡、４・・・アパーチャ、５
・・・レーザガス放電励起用電源、６・・・光路〃カバ
ー、７・・・制御装置、８・・・温度測定素子、９・・
・温度測定器、１０・・・判定器、１１・・・シャッタ
ー装置、１２・・・シャッター駆動装置、１３・・・シ
ャッター。 （ほか１名） も１（２） 直間（ｔ）− 荊２０ 吋ｍ’Ｒｔ戸〜 １ も３図 時間（ｔ）− 高４−図 第１頁の続き ０発 明 者 竹 森 を 日立ｊ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、放電部、非放電領域部および出力部を備え、前記出
力部はレーザビームを透過する出力鏡を有し、前記非放
電領域部は前記出力鏡に対向配置し、前記放電部はレー
ザガス放電励起用電源を有しているガスレーザ装置にお
いて、前記出力鏡に、この温度を測定し前記レーザガス
放電励起用％源を開閉する制御装置を設け、前記出力鏡
の温度上昇値が設定温度値を超えた場合には前記レーザ
ガス放電励起用電源をしゃ断するようにしたことを特徴
とするガスレーザ装置。 ２、前記制御装置が、前記出力鏡の端部に設けられた温
度測定素子と、この温度測定素子に接続された温度測定
器と、この温度測定器に接続され、かつ前記レーザガス
放電励起用電源への注入パワーが入力される判定器とか
ら構成されたものでるる特許請求の範囲第１項記載のガ
スレーザ装置。 ３、前記設定温度値が、前記注入パワーに連動して設定
されたものである特許請求の範囲第１項または第２項記
載のガスレーザ装置。 ４、放電部、非放電領域部および出力部を備え、前記出
力部はレーザビームを透過する出力鏡を有し、前記非放
電領域部は前記出力鏡に対向配置されたアパーチャを有
し、前記放電部はレーザガス放電励起用電源を有してい
るガスレーザ装置において、前記出力鏡に、この温度を
測定し前記レーザガス放電励起用電源を開閉する制御装
置を設けると共に、この制御装置に接続され、かつ前記
アパーチャを開閉するシャッター装置を設け、前記出力
鏡の温度上昇値が設定温度値を超えた場合には前記レー
ザガス放電励起用電源をしゃ断すると共に前記アパーチ
ャを閉じるようにしたことを特徴とするガスレーザ装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23196483A JPS60123080A (ja) | 1983-12-06 | 1983-12-06 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23196483A JPS60123080A (ja) | 1983-12-06 | 1983-12-06 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60123080A true JPS60123080A (ja) | 1985-07-01 |
Family
ID=16931806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23196483A Pending JPS60123080A (ja) | 1983-12-06 | 1983-12-06 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60123080A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4983877A (en) * | 1988-04-12 | 1991-01-08 | Ryohei Kashiwara | Ignition plug for use in internal combustion engines to cause instantaneous combustion |
| WO2014145525A1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Synrad, Inc. | Laser optic protection |
-
1983
- 1983-12-06 JP JP23196483A patent/JPS60123080A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4983877A (en) * | 1988-04-12 | 1991-01-08 | Ryohei Kashiwara | Ignition plug for use in internal combustion engines to cause instantaneous combustion |
| WO2014145525A1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Synrad, Inc. | Laser optic protection |
| US9031110B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-05-12 | Synrad, Inc. | Laser optic protection |
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