CN106848811A - 激光装置 - Google Patents

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Abstract

一种能够可靠地防止结露的激光装置。在激光装置中，在激光振荡中，向激光装置的内部供给的冷却水的温度被控制为第一规定温度范围内，并且，持续进行除湿使得维持(激光装置的内部的空气的露点)+(第一规定温度差)≤(冷却水温度)的关系。根据激光装置的内部的空气的湿度和温度，通过计算部求出该空气的露点。

Description

激光装置
技术领域
本发明涉及一种激光装置。
背景技术
由于激光装置内部的温度差或湿度等，有时在激光装置的内部发生结露。当发生结露时，可能成为发生电短路、或者引起部件的污染或腐蚀的原因。
提出了以在激光装置或其它一般的电子设备中防止结露为目的的各种技术(参照日本特开2001-326410号公报、日本特开昭61-079285号公报、日本特开2003-060268号公报、日本特开2012-024778号公报、日本特开平03-252199号公报)。
发明内容
寻求一种能够可靠地防止结露的激光装置。
根据本申请的第一发明，提供一种激光装置，该激光装置具备激光振荡器以及向所述激光振荡器提供驱动电流的电源部，该激光装置的特征在于，构成为从该激光装置的外部的冷却水供给装置供给冷却水以对该激光装置的内部的发热部件进行冷却，所述激光装置具备：壳体，其具备将从所述激光装置的外部向所述激光装置的内部的空气侵入流量抑制为规定的值以下的密封度；除湿器，其对所述激光装置的内部的空气进行除湿；湿度检测器，其检测所述激光装置的内部的空气的湿度；第一温度检测器，其检测所述激光装置的内部的空气的温度；第二温度检测器，其检测从所述激光装置的外部供给的冷却水的温度；计算部，其根据所述湿度检测器和所述第一温度检测器的检测结果，来计算所述激光装置的内部的空气的露点；判定部，其根据所述第二温度检测器的检测结果以及由所述计算部计算出的所述露点，判定是否满足流入开始条件或者振荡开始条件，该流入开始条件是开始向所述激光装置的内部流通所述冷却水的条件，该振荡开始条件是从所述电源部向所述激光振荡器提供驱动电流来在所述激光振荡器中开始激光振荡的条件；以及控制部，其按照所述判定部的判定结果，对设置于从所述冷却水供给装置供给的冷却水的配管的开闭阀的开闭、或者从所述电源部向所述激光振荡器的驱动电力的供给进行控制，所述控制部构成为：在所述判定部将由所述计算部计算出的所述露点与由所述第二温度检测器检测出的冷却水温度进行比较后判定为满足了(露点)+(第一规定温度差)≤(冷却水温度)的关系以及(激光振荡时的冷却水温度的下限容许温度)≤(冷却水温度)≤(激光振荡时的冷却水温度的上限容许温度)的关系这两方的关系的时间点，所述控制部打开设置于所述配管的所述开闭阀来开始向所述激光装置的内部流通冷却水，之后向所述激光振荡器提供驱动电流来开始激光振荡，在激光振荡中，所述冷却水供给装置构成为持续供给被控制为第一规定温度范围内的冷却水，该第一规定温度范围是从所述激光振荡时的冷却水温度的下限容许温度到所述激光振荡时的冷却水温度的上限容许温度的范围，并且，所述除湿器构成为持续进行除湿以维持(露点)+(第一规定温度差)≤(冷却水温度)的关系。
根据本申请的第二发明，特征在于，所述除湿器具有超过根据将从所述激光装置的外部向所述激光装置的内部的空气侵入流量抑制为规定的值以下的壳体的密封度以及所述激光装置的容许环境条件而假定出的、从所述激光装置的外部向所述激光装置的内部侵入的每单位时间的最大水分量的除湿能力。
根据本申请的第三发明，特征在于，所述除湿器构成为在从所述冷却水供给装置向所述激光装置的内部供给冷却水的期间内持续除湿。
根据本申请的第四发明，特征在于，所述除湿器被控制为使所述激光装置的内部的空气的露点进入比所述第一规定温度范围低温的第二规定温度范围内，在所述露点进入所述第二规定温度范围内之后，所述除湿器被控制为使所述露点不脱离所述第二规定温度范围内。
根据本申请的第五发明，特征在于，所述激光装置还具备对所述激光装置的内部的空气的温度进行调整的空气温度调节器，基于来自所述控制部的指令，通过所述空气温度调节器进行控制，使得由所述第一温度检测器检测的所述激光装置的内部的空气的温度进入第三规定温度范围内，该第三规定温度范围具有与所述第一规定温度范围的下限温度大致同温的下限值、或者比所述第一规定温度范围的下限温度高温的下限值，在所述激光装置的内部的空气的温度进入所述第三规定温度范围内之后，通过所述空气温度调节器进行控制，使得所述激光装置的内部的空气的温度不脱离所述第三规定温度范围内。
根据本申请的第六发明，特征在于，所述除湿器是以下方式的除湿器：将流入到所述除湿器的空气冷却到露点温度以下，使该空气在所述除湿器内的结露部进行结露，由此进行除湿，所述激光装置还具备对从所述除湿器流出的空气进行加热的加热部，所述加热部通过所述控制部被控制为：该加热部以使所述激光装置的内部的空气的温度不低于所述第三规定温度范围的下限温度的方式进行大致最小限度的加热。
根据本申请的第七发明，特征在于，通过所述空气温度调节器将所述激光装置的内部的空气的温度控制为所述第三规定温度范围内或所述第三规定温度范围的下限温度以上，所述激光装置具备检测所述激光装置的外部温度或所述壳体的温度的第三温度检测器，所述第三规定温度范围被设定为随时间变化的条件，所述第三规定温度范围的下限温度被设定为所述第一规定温度范围的下限温度与第二规定温度差相加而得到的温度以及由所述第三温度检测器检测出的温度减去第三规定温度差而得到的温度中的较高一方的温度，所述激光装置的内部的空气温度被控制为所述第三规定温度范围内或所述第三规定温度范围的下限温度以上。
根据本申请的第八发明，特征在于，通过所述加热部将所述激光装置的内部的空气的温度控制为所述第三规定温度范围内或所述第三规定温度范围的下限温度以上，所述激光装置具备检测所述激光装置的外部温度或所述壳体的温度的第三温度检测器，所述第三规定温度范围被设定为随时间变化的条件，所述第三规定温度范围的下限温度被设定为所述第一规定温度范围的下限温度与第二规定温度差相加而得到的温度以及由所述第三温度检测器检测出的温度减去第三规定温度差而得到的温度中的较高一方的温度，所述激光装置的内部的空气温度被控制为所述第三规定温度范围内或所述第三规定温度范围的下限温度以上。
根据本申请的第九发明，特征在于，具有以下功能：除了对所述激光装置发出完全停止指令的情况以外，即使在未对所述激光装置发出启动指令的期间内，也通过所述湿度检测器、所述第一温度检测器、所述计算部、所述判定部以及所述控制部来始终地或者以规定的时间为间隔地监视所述激光装置的内部的空气的湿度和温度，当所述激光装置的内部的空气的露点与所述第一规定温度差相加而得到的温度变得高于由所述第一温度检测器检测出的所述激光装置的内部的空气的温度时，所述除湿器自动开始运转来进行除湿。
根据本申请的第十发明，特征在于，所述激光装置还具备第四温度检测器，该第四温度检测器检测相对于所述发热部件位于大致相同的位置或上游侧的所述冷却水配管的配管内的冷却水的温度、或者与相对于所述发热部件位于大致相同的位置或上游侧的所述冷却水配管热接触的构件的温度，所述激光装置具有以下功能：除了对所述激光装置发出完全停止指令的情况以外，即使在未对所述激光装置发出启动指令的期间内，当所述空气的露点与所述第一规定温度差相加而得到的温度变得高于由所述第四温度检测器检测出的温度以及由所述第一温度检测器检测出的所述激光装置的内部的空气的温度中的至少任一个时，所述除湿器也自动开始运转来进行除湿。
附图说明
通过参照附图所示的本发明的例示性的实施例所涉及的详细说明，本发明的这些以及其它目的、特征及优点会变得更明确。
图1是表示第一实施例所涉及的激光装置的结构的示意图。
图2是第一实施例所涉及的激光装置的控制的时序图。
图3A是第一实施例所涉及的激光装置的控制的流程图。
图3B是第一实施例所涉及的激光装置的控制的流程图。
图4是第二实施例所涉及的激光装置的控制的时序图。
图5A是第二实施例所涉及的激光装置的控制的流程图。
图5B是第二实施例所涉及的激光装置的控制的流程图。
图6是表示第三实施例所涉及的激光装置的结构的示意图。
图7是第三实施例所涉及的激光装置的控制的时序图。
图8A是第三实施例所涉及的激光装置的控制的流程图。
图8B是第三实施例所涉及的激光装置的控制的流程图。
图8C是第三实施例所涉及的激光装置的控制的流程图。
图9是表示第四实施例所涉及的激光装置的结构的示意图。
图10是第四实施例所涉及的激光装置的控制的时序图。
图11是表示第五实施例所涉及的激光装置的结构的示意图。
图12是第五实施例所涉及的激光装置的控制的时序图。
图13是第五实施例所涉及的激光装置的控制的时序图。
图14是第五实施例所涉及的激光装置的控制的时序图。
图15A是第五实施例所涉及的激光装置的控制的流程图。
图15B是第五实施例所涉及的激光装置的控制的流程图。
图15C是第五实施例所涉及的激光装置的控制的流程图。
图16是第六实施例所涉及的激光装置的控制的流程图。
图17是表示第七实施例所涉及的激光装置的结构的示意图。
图18是第七实施例所涉及的激光装置的控制的流程图。
具体实施方式
下面，参照附图来说明本发明的实施例。对相同或对应的结构要素使用相同的参照标记。
参照图1～图3B来说明第一实施例所涉及的激光装置1。图1是表示激光装置1的结构的示意图。图2是控制的时序图，图3A和图3B是控制的流程图。
在第一实施例中，如图1所示，激光装置1具备激光振荡器2、电源部3、壳体5、除湿器6、湿度检测器7、第一温度检测器8、第二温度检测器9、计算部10、判定部11以及控制部12。在激光装置1的外部设置有冷却水供给装置4。冷却水供给装置4供给冷却水以对激光装置1的内部的发热部件进行冷却。
激光振荡器2是具有任意的公知结构的激光振荡器。激光振荡器2经由光学系统18输出激光19。电源部3向激光振荡器2提供驱动电流。
壳体5是具备将从激光装置1的外部向激光装置1的内部的空气侵入流量抑制为规定的值以下所需的密封度的壳体。除湿器6对激光装置1的内部的空气进行除湿。湿度检测器7检测激光装置1的内部的空气的湿度。
第一温度检测器8检测激光装置1的内部的空气的温度。第二温度检测器9检测从激光装置1的外部供给的冷却水的温度。
计算部10根据湿度检测器7和第一温度检测器8的检测结果来计算激光装置1的内部的空气的露点。
判定部11根据第二温度检测器9的检测结果和由计算部10计算出的露点来判定是否满足流入开始条件或者振荡开始条件，该流入开始条件是开始向激光装置1的内部流通冷却水的条件，该振荡开始条件是从电源部3向激光振荡器2提供驱动电流来在激光振荡器2中开始激光振荡的条件。
控制部12按照判定部11的判定结果，对设置于从冷却水供给装置4供给的冷却水的配管的开闭阀的开闭、或者从电源部3向激光振荡器2的驱动电力的供给进行控制。
在本说明书中，“除湿器”包括如冷却器(Cooler)等那样一般被称为与“除湿器”不同的名称的设备，包括具有除湿功能的所有设备。记载于图1的除湿器6的附近的空心箭头例示了向除湿器6流入的空气的流动方向以及从除湿器6流出的空气的流动方向。然而，空气的流动方向不限定于图示的方向。另外，在图1中，以粗的虚线来表示冷却水配管16，以箭头来例示冷却水的流动方向。
在第一实施例中，如图2的时序图所示，控制部12构成为：在判定部11将由计算部10计算出的露点与由第二温度检测器9检测出的冷却水温度进行比较后判定为满足了(露点)+(第一规定温度差)≤(冷却水温度)的关系以及(激光振荡时的冷却水温度的下限容许温度)≤(冷却水温度)≤(激光振荡时的冷却水温度的上限容许温度)的关系这两方的关系的时间点，打开设置于冷却水配管16的开闭阀来开始向激光装置1的内部流通冷却水，之后向激光振荡器2提供驱动电流来开始激光振荡。
在激光振荡中，冷却水供给装置4构成为持续供给被控制为第一规定温度范围内的冷却水，该第一规定温度范围是从激光振荡时的冷却水温度的下限容许温度到激光振荡时的冷却水温度的上限容许温度的范围。除湿器6构成为持续进行除湿以维持(露点)+(第一规定温度差)≤(冷却水温度)的关系。
激光装置1构成为：在激光振荡开始后，只要未检测出能够判定为冷却水供给装置4或除湿器6发生故障的现象，就不使激光振荡停止，以实现防止激光装置1的内部的结露、预防激光装置1的内部的结露的目的。
在具有图1所示的结构的激光装置1中，打开开闭阀来开始向激光装置1的内部流通冷却水是指从开闭阀1(13)打开的状态起将关闭着的开闭阀2(14)和开闭阀3(15)打开后关闭开闭阀1。相反地，关闭开闭阀来使冷却水不流入激光装置内是指打开开闭阀1(13)并关闭开闭阀2(14)和开闭阀3(15)。
虽然没有示出与控制部12连接的接线，但是开闭阀1(13)、开闭阀2(14)以及开闭阀3(15)是能够响应于来自控制部12的指令来进行开闭的阀、例如电磁阀。即使处于开闭阀2(14)和开闭阀3(15)未打开的状态，在冷却水流动的部分也存在结露的可能性。因而，期望的是，激光装置1的内部的收纳有激光振荡器2等的主体空间与冷却水流动的部分之间通过隔离壁17等而彼此分离。
此外，在由于激光装置1的环境温度为低温等理由而冷却水温度低于激光振荡时的冷却水温度的下限容许温度的情况下，根据冷却水供给装置4的规格，有时直到冷却水温度达到激光振荡时的冷却水温度的下限容许温度为止需要时间。在这种情况下，为了缩短激光振荡之前的待机时间，也可以如图1所示那样设置冷却水加热单元27，根据来自控制部12的指令，通过冷却水加热单元27对冷却水进行加热。
反之，在激光装置1的外部温度即激光装置1的环境温度变高时，为了抑制激光装置1的内部的空气温度的上升，也可以在激光装置1的内部设置散热器风扇单元，但在图1中并未记载。散热器风扇单元向在从图1的冷却水配管16分支出的分支管的表面形成的散热片之间流通利用风扇供给的激光装置1的内部的空气来进行除热。
关于封闭空间的露点，只要不进行除湿或从外部进行加湿，那么即使空气的温度改变，封闭空间的露点也不会发生变化。因此，一旦(露点)+(第一规定温度差)≤(冷却水温度)的关系成立，则只要除湿器6具有超过根据将从激光装置1的外部向激光装置1的内部的空气侵入流量抑制为规定的值以下的壳体5的密封度以及激光装置1的容许环境条件而假定出的、从激光装置1的外部向激光装置1的内部侵入的每单位时间的最大水分量的除湿能力，就能够使(露点)+(第一规定温度差)≤(冷却水温度)的关系持续成立。
在一个实施例中，除湿器6也可以构成为在从冷却水供给装置4向激光装置1的内部供给冷却水的期间内持续进行除湿。在该情况下，(露点)+(第一规定温度差)≤(冷却水温度)的关系持续成立，因此不发生结露。即使露点过度下降也没有特别的问题，因此不需要反馈露点来控制除湿器6的运转。
因而，根据第一实施例，在激光装置1的内部不再发生结露，因此不再需要为了防止结露、预防结露而停止冷却水供给、激光振荡。通过使除湿器6连续运转，能够可靠地防止结露，并且在使用压缩机的除湿器的情况下，还具有能够防止因开启关闭而导致的压缩机的劣化这样的优点。
除湿器6也可以是使用珀尔帖效应元件的电子冷却式除湿器。特别是，在第一实施例中，除湿器6进行连续运转或者接近于连续运转的运转，因此通过设为使用无可动部且而消耗少的珀尔帖效应元件的除湿器，能够降低除湿器6的故障概率。此外，前述的第一规定温度差是正的温度差，例如能够设定为5℃左右。
在第一实施例中，按照图3A和图3B所示的流程图，利用计算部10来计算激光装置1的内部的空气的露点，控制部12基于判定部11的判定结果来进行各种控制。在图3A和图3B中，“Tw”是冷却水温度，“Tw1”是激光振荡时的冷却水温度的上限容许温度、即第一规定温度范围的上限温度，“Tw2”是激光振荡时的冷却水温度的下限容许温度、即第一规定温度范围的下限温度。另外，“Td”表示激光装置1的内部的空气的露点，“ΔT1”表示第一规定温度差。此外，冷却水供给装置4在流程图中被称为冷却机(Chiller)。
(步骤S101～S104)
当对激光装置1发出启动指令时，首先开始除湿器6和冷却机4的运转。为了缩短直到能够开始激光振荡为止的待机时间，也可以在激光装置1的使用预定时间之前，按照设定的时间安排自动或手动地开始冷却机4和除湿器6中的至少任一方的运转。在该情况下，若在发出启动指令的时间点除湿器6或冷却机4已处于运转状态，则也可以省略除湿器6或冷却机4的运转开始工序。
(步骤S105～S107)
当激光装置1的内部的空气的露点Td与第一规定温度差ΔT1相加而得到的温度低于冷却水温度Tw、且冷却水温度Tw进入表示从激光振荡时的冷却水温度的下限容许温度Tw2到激光振荡时的冷却水温度的上限容许温度Tw1的温度范围的第一规定温度范围的范围内时，打开来自冷却机4的配管的开闭阀来开始冷却水的供给，接着开始激光振荡。
(步骤S108～S116)
一旦激光装置1的内部的空气的露点Td与第一规定温度差ΔT1相加而得到的温度变得低于冷却水温度Tw、且冷却水温度Tw进入第一规定温度范围内之后，在冷却水温度Tw脱离第一规定温度范围内的情况下，判定为冷却机4发生故障。另外，在激光装置1的内部的空气的露点Td与第一规定温度差ΔT1相加而得到的温度变得高于冷却水温度Tw的情况下，判定为除湿器6发生故障。在判定为冷却机4或除湿器6发生了故障的情况下，停止激光振荡并关闭开闭阀来使冷却水不流入到激光装置1的内部的由隔离壁17包围的区域以外，将冷却机4或除湿器6的故障显示到显示部21中。
然而，如前所述，除了冷却机4或除湿器6发生了故障的情况以外，只要冷却机4具备相对于激光装置1的内部的发热量以及激光装置1的设置容许温度范围的规格来说充分的冷却水的温度调节能力，就能够防止结露的发生。具体地说，只要相对于冷却机4的冷却水温度调节精度规格来适当地设定第一规定温度范围、且除湿器6具备根据激光装置1的壳体5的密封度而假定的相对于向激光装置1的内部侵入的每单位时间的水分量来说足够的除湿能力，在冷却水温度Tw进入第一规定温度范围内、激光装置1的内部的空气的露点Td与第一规定温度差ΔT1相加而得到的温度变得低于冷却水温度Tw之后，冷却水温度Tw就不再会脱离第一规定温度范围内。另外，激光装置1的内部的空气的露点Td与第一规定温度差ΔT1相加而得到的温度也不会变得高于冷却水温度Tw，因此只要不发出激光振荡的停止指令，就能持续进行激光振荡。由此，能够可靠地防止被冷却水冷却的部件发生结露。
(步骤S117～S125)
在完全停止激光装置1的情况下，只要依次进行激光振荡停止、开闭阀的关闭、冷却水供给的停止、冷却机4的运转停止以及除湿器6的运转停止即可。为了缩短在接下来启动激光装置1时直到进行激光振荡为止的待机时间、或者防止在未进行激光振荡的期间内激光装置1的内部的部件发生结露，也可以持续进行冷却机4和除湿器6中的至少一方的运转，并切换为等待重启指令的状态。此外，在持续进行冷却机4的单独运转的情况下，需要关闭开闭阀来使冷却水不流入到激光装置1的内部。
在第一实施例中，也可以代替根据湿度检测器7和第一温度检测器8的检测结果来计算激光装置1的内部的空气的露点的计算部10，而具备记录有能够根据湿度和温度来推导露点的数据表的记录部。在该情况下，能够根据湿度检测器7和第一温度检测器8的检测结果，参照数据表求出激光装置1的内部的空气的露点。
参照图4、图5A以及图5B来说明第二实施例所涉及的激光装置1。图4是控制的时序图，图5A和图5B是控制的流程图。如图4、图5A以及图5B所示，在本实施例中，除湿器6被控制为使激光装置1的内部的空气的露点进入比第一规定温度范围低温的第二规定温度范围内，并且，一旦露点进入第二规定温度范围内之后，除湿器6被控制为使露点不脱离第二规定温度范围内。
通过不进行超过需要的除湿，能够节约除湿器6所产生的电力消耗，另外，如果利用逆变器控制等以不对除湿器6造成负荷的方法进行控制，则存在能够缩短除湿器6的驱动时间、能够抑制除湿器6的消耗这样的优点。
在图4中，也可以将第一规定温度范围的下限温度减去第二规定温度范围的上限温度而得到的值设定成与第一规定温度差大致相等或大于第一规定温度差。通过这样设定，即使在冷却水温度下降到第一规定温度范围的下限温度附近、激光装置1的内部的空气的露点上升到第二规定温度范围的上限温度附近的情况下，也能够可靠地防止结露。
在图5A和图5B中，“Tw”是冷却水温度，“Tw1”是激光振荡时的冷却水温度的上限容许温度、即第一规定温度范围的上限温度，“Tw2”是激光振荡时的冷却水温度的下限容许温度、即第一规定温度范围的下限温度。“Td”是激光装置1的内部的空气的露点，“Td1”是第二规定温度范围的上限温度，“Td2”是第二规定温度范围的下限温度，“ΔT1”表示第一规定温度差。
图5A和图5B的流程图与对应于第一实施例的图3A和图3B的流程图的不同之处在于追加了以下流程：一旦激光装置1的内部的空气的露点Td进入第二规定温度范围内之后，当脱离第二规定温度范围内时，判定为除湿器6发生故障(步骤S217～S218)，停止激光振荡，将除湿器6的故障显示到显示部21中。
参照图6～图8C来说明第三实施例所涉及的激光装置1。图6是表示激光装置1的结构的示意图，图7是控制的时序图，图8A～图8C是控制的流程图。
如图6所示，第三实施例所涉及的激光装置1还具备对激光装置1的内部的空气的温度进行调整的空气温度调节器20。而且，如图7所示，响应于来自控制部12的指令，通过空气温度调节器20对激光装置1的内部的空气的温度进行控制以使该温度进入第三规定温度范围内。而且，一旦激光装置1的内部的空气的温度进入第三规定温度范围内之后，对激光装置1的内部的空气的温度进行控制以使该温度不脱离第三规定温度范围内。
在一个实施例中，第三规定温度范围的下限温度被设定为与第一规定温度范围的下限温度大致同温或高于第一规定温度范围的下限温度。在图7所示的实施例中，第三规定温度范围的下限温度被设定为高于第一规定温度范围的下限温度。在该情况下，分别独立地控制激光装置1的内部的空气的露点和激光装置1的内部的空气的温度，由此能够可靠地防止激光装置1的内部的空气的湿度过度上升。
一般来说，除湿能力高的除湿器多数情况下伴有空气的冷却作用，但是通过设置空气温度调节器20，能够防止激光装置1的内部的空气的温度过度下降而激光装置1的内部的湿度上升、或者能够防止在激光装置1的壳体5的外壁发生结露。另外，在环境温度发生了变化的情况下，也能够在维持除湿功能的同时防止激光装置1的内部的空气的温度大幅变化，从而能够实现稳定的激光装置1的内部环境。
在本说明书中，“空气温度调节器”一般来说包括具有在对流入空气进行加热或除热之后使空气流出的功能的所有设备，即使该设备不被称为空气温度调节器这个名称。
在图6中，记载于空气温度调节器20的附近的空心箭头例示了向空气温度调节器20流入的空气的流动方向和从空气温度调节器20流出的空气的流动方向，记载于除湿器6的附近的空心箭头例示了向除湿器6流入的空气的流动方向和从除湿器6流出的空气的流动方向，但是并不表示将空气的流动方向限定于图6的情况。
在图8A～图8C中，“Tw”是冷却水温度，“Tw1”是激光振荡时的冷却水温度的上限容许温度、即第一规定温度范围的上限温度，“Tw2”是激光振荡时的冷却水温度的下限容许温度、即第一规定温度范围的下限温度。“Td”是激光装置1的内部的空气的露点，“Td1”是第二规定温度范围的上限温度，“Td2”是第二规定温度范围的下限温度。“Ta”是激光装置1的内部的空气的温度，“Ta1”是第三规定温度范围的上限温度，“Ta2”是第三规定温度范围的下限温度，“ΔT1”表示第一规定温度差。
第三实施例的图8A～图8C的流程图与对应于第二实施例的图5A和图5B的流程图的不同之处在于追加了以下流程：检查空气温度调节器20是否处于运转状态，如果未处于运转状态则开始运转(步骤S305～S306)，并且，一旦激光装置1的内部的空气的温度进入第三规定温度范围内之后，当脱离第三规定温度范围内时，判定为空气温度调节器发生故障，停止激光振荡，将空气温度调节器20的故障显示到显示部21中(步骤S321～S325)。
但是，即使激光装置1的内部的空气温度Ta脱离第三规定温度范围，只要冷却水温度Tw和激光装置1的内部的露点Td被控制为规定温度范围内，就不会立即成为严重的状态，因此也可以仅止于在显示部21中显示警告，而不立即使激光振荡停止。
同样地，在冷却水温度Tw脱离第一规定温度范围、或激光装置1的内部的空气的露点Td脱离第二规定温度范围的情况下也是，也可以设定为以下的控制条件：如果脱离的程度比预先决定的范围轻微，则不立即使激光振荡停止，而是显示警告消息，不进行冷却水的供给停止或激光振荡停止。
另外，参照图8A～图8C，停止激光振荡的流程(步骤S327～S336)也变更了一部分。在完全停止激光装置1的情况下，只要依次进行激光振荡停止、开闭阀的关闭、冷却水的供给停止、冷却机4的运转停止、空气温度调节器20的停止、以及除湿器6的运转停止即可。
为了缩短在启动激光装置1时直到进行激光振荡为止的待机时间、或者防止在未进行激光振荡的期间内激光装置1的内部的部件的结露，也可以持续进行冷却机4、空气温度调节器20以及除湿器6的运转、或者持续进行空气温度调节器20和除湿器6的运转、或者仅持续进行除湿器6的运转、或者关闭开闭阀来仅持续进行冷却机4的运转，并切换为等待重启指令的状态。
参照图9和图10来说明第四实施例所涉及的激光装置1。图9是表示激光装置1的结构的示意图，图10是控制的时序图。
在第四实施例中，除湿器6是以下方式的除湿器：将流入到除湿器6的空气冷却到露点温度以下，使该空气在除湿器6内的结露部进行结露，由此进行除湿。如图9所示，激光装置1还具备对从除湿器6流出的空气进行加热的加热单元22。在图9中，空心箭头示意性地表示向除湿器6流入的空气的流动方向以及经由除湿器6和加热单元22流出的空气的流动方向。期望的是，空气的流动顺序是按除湿器6、加热单元22的顺序，但是流动的方向无需是向上的方向。
在除湿器6是进行除湿时的流入空气的冷却量多的类型的除湿器的情况下，只要以不使激光装置1的内部的空气的温度变得低于第三规定温度范围的下限温度的方式控制加热单元22来进行大致最小限度的加热即可。由此，能够与对应于第三实施例的图7的时序图同样地进行控制。即，能够在将激光装置1的内部的空气的露点控制为第二规定温度范围内的同时，将激光装置1的内部的空气的温度控制为第三规定温度范围内。
另一方面，如果除湿器6是除湿效率高、流入空气的冷却量比较少的方式的除湿器，则即使在通过除湿器6将激光装置1的内部的露点控制为第二规定温度范围内、且加热单元22未进行加热的状态下，也有可能会成为以下状态：激光装置1的内部的空气的温度变得高于第三规定温度范围的上限温度、或者开始变得高于第三规定温度范围的上限温度。
例如，在激光装置1的内部的发热量增加时、或者激光装置1的外部的温度上升时，可能会成为这种状态。在这种情况下，若想要进行与第三实施例接近的控制，则还存在以下的选项：仍将激光装置1的内部的露点控制为第二规定温度范围内，并且容许激光装置1的内部的空气的温度高于第三规定温度范围的上限温度的状态。
然而，也可以是，仅针对这种状态的期间，如图10的时序图中以空心箭头示出的期间那样，将激光装置1的内部的空气的温度控制为第三规定温度范围内，并且即使激光装置1的内部的露点变得低于第二规定温度范围的下限温度，也以提高除湿器6的输出后的状态进行运转。
在第四实施例中，不像第三实施例那样具备空气温度调节器就能够具有与第三实施例大致同样的功能。因而，能够在可靠地防止激光装置1的内部的空气的湿度上升以及被冷却水冷却的低温部件的结露的同时，使激光装置1小型化和低成本化。
此外，在第四实施例中，除湿器6与加热单元22无需是相分离的构造，也可以是以一体化的构造且能够单独地控制空气的温度和湿度的空气调节器。
参照图11～图15C来说明第五实施例所涉及的激光装置1。图11是表示激光装置1的结构的示意图，图12～图14是控制的时序图，图15A～图15C是控制的流程图。
在第五实施例所涉及的激光装置1中，如图11所示，激光装置1的内部的空气的温度通过空气温度调节器20或加热单元被控制为第三规定温度范围内或第三规定温度范围的下限温度以上。另外，激光装置1还具备检测激光装置1的外部温度或壳体5的温度的第三温度检测器23。
参照图12和图13的时序图，第三规定温度范围被设定成随时间而发生变化。第三规定温度范围的下限温度被设定为第一规定温度范围的下限温度与第二规定温度差相加而得到的温度以及由第三温度检测器23检测出的外部空气温度减去第三规定温度差而得到的温度中的较高一方的温度。激光装置1的内部的空气温度被控制为第三规定温度范围内或第三规定温度范围的下限温度以上。
图12是由第三温度检测器23检测出的外部空气温度减去第三规定温度差而得到的温度始终比第一规定温度范围的下限温度与第二规定温度差相加而得到的温度高的情况下的时序图。图13是在时间t1至t2的期间第一规定温度范围的下限温度与第二规定温度差相加而得到的温度比由第三温度检测器检测出的外部空气温度减去第三规定温度差而得到的温度高的情况下的时序图。
此外，在由于激光装置1的内部的部件的耐热特性等的关系而需要避免激光装置1的内部的空气温度过度上升的情况下，也可以如图14的时序图所示那样追加如下的设定条件：将第三规定温度范围的上限温度设定为不高于某个温度。此外，关于第二规定温度差，无需限定为正的温度差，但通常设定为0℃～5℃左右。另外，第三规定温度差通常是正的温度差，例如为5℃～10℃左右。
或者，关于第三规定温度差，为了防止在激光装置1的外壁发生过度的结露，激光装置1也可以还具备检测激光装置1的外部的湿度的湿度检测器，但在图11中未记载。也可以是，计算部10根据激光装置1的外部的湿度以及由第三温度检测器检测出的激光装置1的外部的温度来计算激光装置1的外部的露点，如第三规定温度差≈(激光装置的外部的温度)-(激光装置的外部的露点)的关系式所给出的那样，将第三规定温度差设定为根据激光装置1的外部环境而变动的值。
根据第五实施例，使激光装置1的内部的空气温度追随激光装置1的外部空气温度而变化，因此能够防止激光装置1的壳体5的外壁温度过度下降而在激光装置1的外壁发生过度的结露。另外，以不使激光装置1的内部的空气的温度低于第一规定温度范围的方式进行控制，因此也能够防止激光装置1的内部的空气的温度过度下降而湿度过度上升、或者发生结露。
此外，在将第三温度检测器23设置于对壳体5的温度进行检测的位置处的情况下，期望的是，设为利用隔热材料26包围第三温度检测器23等的隔热构造，使得热难以从激光装置1的内部的空气或者第三温度检测器23的设置场所以外的激光装置1的壳体5的部分传导到该设置位置处，以能够尽可能地检测出与激光装置1的外部的空气温度接近的温度。
在图15A～图15C中，“Tw”是冷却水温度，“Tw1”是激光振荡时的冷却水温度的上限容许温度、即第一规定温度范围的上限温度，“Tw2”是激光振荡时的冷却水温度的下限容许温度、即第一规定温度范围的下限温度。另外，“Td”是激光装置1的内部的空气的露点，“Td1”是第二规定温度范围的上限温度，“Td2”是第二规定温度范围的下限温度。“Ta”是激光装置1的内部的空气的温度，“Ta1”是第三规定温度范围的上限温度，“Ta2”是第三规定温度范围的下限温度。“ΔT1”是第一规定温度差，“ΔT2”是第二规定温度差，“ΔT3”是第三规定温度差，“To”表示由第三温度检测器检测出的激光装置1的外部空气温度。
第五实施例的图15A～图15C的流程图与对应于第三实施例的图8A～图8C的流程图的不同之处在于追加了步骤S421～S423和步骤S425～S427。
(步骤S421～S423)
判定第一规定温度范围的下限温度Tw2与第二规定温度差ΔT2相加而得到的温度与由第三温度检测器23检测出的外部空气温度To减去第三规定温度差ΔT3而得到的温度之间的大小，在第一规定温度范围的下限温度Tw2与第二规定温度差ΔT2相加而得到的温度小的情况下，将第三规定温度范围的下限温度Ta2设定为外部空气温度To减去第三规定温度差ΔT3而得到的温度。
在第一规定温度范围的下限温度Tw2与第二规定温度差ΔT2相加而得到的温度大的情况下，将第三规定温度范围的下限温度Ta2设定为第一规定温度范围的下限温度Tw2与第二规定温度差ΔT2相加而得到的温度。
这样，根据步骤S421中的判定结果来变更第三规定温度范围的设定。然后，一旦激光装置1的内部的空气的温度进入所设定的第三规定温度范围内之后，在脱离了第三规定温度范围内的情况下，判定为空气温度调节器20发生故障。
参照图16的流程图来说明第六实施例。在图16中，“Td”表示激光装置1的内部的空气的露点，“Ta”表示激光装置1的内部的空气的温度，“ΔT1”表示第一规定温度差。在图3A和图3B、图5A和图5B、图8A～图8C以及图15A～图15C所记载的控制的流程图中，在发出激光振荡停止指令之后对除湿器6也发出运转停止指令的情况下，停止除湿器6。然而，在本实施例的情况下，如图16所示，除了为了进行移动而对激光装置1等发出完全停止指令的情况以外，即使在未对激光装置1发出启动指令的期间内，湿度检测器7、第一温度检测器8、计算部10、判定部11以及控制部12也被维持为动作状态。
而且，也可以是，始终地或者以规定的时间为间隔地监视激光装置1的内部的空气的湿度和温度，当激光装置1的内部的空气的露点Td与第一规定温度差ΔT1相加而得到的温度变得高于由第一温度检测器8检测出的激光装置1的内部的空气的温度Ta时，除湿器6自动开始运转来进行除湿。
开始了运转的除湿器6也可以以如下方式进行控制：将除湿器6的运转开始后的激光装置1的内部的空气的露点＝(由第一温度检测器8检测出的激光装置1的内部的空气的温度)-(第一规定温度差ΔT1)作为第二规定温度范围的上限温度，来将露点控制为第二规定温度范围内。
然而，也可以如图16所示的那样，当探测出激光装置1的内部的空气的露点Td与第一规定温度差ΔT1相加而得到的温度高于由第一温度检测器8检测出的激光装置1的内部的空气的温度Ta的状态时，在持续所设定的时间地进行了连续运转之后，再次进行判定，如果激光装置1的内部的空气的露点Td与第一规定温度差ΔT1相加而得到的温度低于由第一温度检测器8检测出的激光装置1的内部的空气的温度Ta，则停止除湿器6的运转。
根据第六实施例，具有以下效果：即使在未启动激光装置1时，也能够防止激光装置1的内部的结露。
参照图17和图18来说明第七实施例所涉及的激光装置1。图17是表示激光装置1的结构的示意图，图18是控制的流程图。
如图17所示，第七实施例所涉及的激光装置1还具备第四温度检测器24，该第四温度检测器24检测相对于激光装置1的内部的发热部件位于大致相同的位置或上游侧的冷却水配管的配管内的冷却水的温度、或者与相对于发热部件位于大致相同的位置或上游侧的冷却水配管热接触的构件的温度。
如图18所示，除了为了进行移动等而对激光装置1发出完全停止指令的情况以外，即使在未对激光装置1发出启动指令的期间内，如果空气的露点与第一规定温度差相加而得到的温度高于由第四温度检测器24检测出的温度以及由第一温度检测器8检测出的激光装置1的内部的空气的温度中的至少任一个温度，则除湿器6也自动开始运转来进行除湿。
在图18中，“Td”是激光装置1的内部的空气的露点，“Ta”是激光装置1的内部的空气的温度，“ΔT1”是第一规定温度差，“T4”表示由第四温度检测器24检测出的温度。参照图18，在第七实施例中，使开始了运转的除湿器6的运转停止的条件与参照图16说明的第六实施例相同。
在激光装置1的外部的空气的温度急剧上升的情况下，水由于比热大而温度上升慢，从而存在以下可能性：即使激光装置1的内部的冷却水配管内没有水流过，搭载有发热部件的水冷板等与滞留水接触的部分也由于滞留的水而在激光装置1的内部成为最低温。将第四温度检测器24设置于假定在温度上升时成为最低温的位置处，在空气的露点Td与第一规定温度ΔT1相加而得到的温度高于由第四温度检测器24检测出的温度T4的情况下也使除湿器6运转，由此，在未启动激光装置1时，即使在激光装置1的外部的空气温度突然上升的情况下，也能够更可靠地防止激光装置1的内部的结露。
作为第四温度检测器24的具体设置场所，如图17所记载的那样，可以是在作为发热源的激光振荡器2的上游侧且接近激光振荡器2的冷却水配管处。或者，第四温度检测器24也可以设置于对激光振荡器2进行冷却的部分，或者也可以构成为：在将激光二极管模块作为激光光源或激励光源的激光装置中，利用第四温度检测器24检测安装有激光二极管模块的水冷板的温度。
当利用第四温度检测器24检测水冷板的温度时，具有以下优点：在开始激光振荡之前使冷却水流动，能够确认水冷板实际是否被冷却到规定温度，另外，在激光振荡中也能够确认冷却板的温度是否被冷却到规定的温度。
为了检测虽然冷却水温度正常但是冷却水的流量相比于所需流量不足、从而水冷板未被冷却到规定温度这样的故障模式，也可以如图17所记载的那样，在冷却水配管的下游侧设置流量检测器25，在冷却水流量未进入规定流量范围内的情况下，在显示部中进行冷却水流量不足或冷却机故障的显示。
此外，也可以针对一个激光装置将冷却水供给装置和除湿器中的至少任一方设置多个。在该情况下，即使一个冷却水供给装置或除湿器发生故障，也能够将冷却水温度和激光装置的内部的空气的露点分别控制为第一规定温度范围内、第二规定温度范围内。根据前述的实施例，只要冷却水供给装置或除湿器不发生故障，就不再需要为了防止结露而停止激光振荡。
另外，如果是提供有多个冷却水供给装置和除湿器的激光装置，则即使一个冷却水供给装置或除湿器发生故障，也不再需要停止激光振荡，从而能够降低不得不停止激光振荡的状况的发生概率。
以上，说明了本发明的各种实施例，但是本领域技术人员应该认识到，根据其它实施例也能够实现本发明想要实现的作用效果。特别是，能够不脱离本发明的范围地删除或替换前述的实施例的结构要素，或者能够进一步附加公知的手段。另外，通过将在本说明书中明示或暗示地公开的多个实施例的特征任意地组合也能够实施本发明，这对本领域技术人员来说是显而易见的。
根据第一发明所涉及的激光装置，关于封闭空间的露点，只要不进行除湿或从外部进行加湿，则即使空气的温度改变，封闭空间的露点也不会变化，因此，一旦(露点)+(第一规定温度差)≤(冷却水温度)的关系成立而冷却水温度被控制为第一规定温度范围内，如果除湿器的除湿能力超过可能从壳体的间隙侵入的水分，则只要不因壳体内的空气温度降低等理由而停止除湿器，该关系就会持续成立，不会发生结露。由于不再发生结露，因此不再需要为了防止结露、预防结露而停止冷却水供给、激光振荡。
根据第二发明所涉及的激光装置，(露点)+(第一规定温度差)≤(冷却水温度)的关系一旦成立，冷却水温度就被控制为第一规定温度范围内，因此，如果除湿器的除湿能力超过可能从壳体的间隙侵入的水分，那么只要不因壳体内的空气温度降低等理由而停止除湿器，该关系就会持续成立，不会发生结露。
根据第三发明所涉及的激光装置，能够可靠地防止结露，并且在使用压缩机的除湿器的情况下，能够防止因开启关闭而导致的压缩机的劣化。
根据第四发明所涉及的激光装置，能够节约除湿器所产生的电力消耗。另外，如果利用逆变器控制等以不对除湿器造成负荷的方法进行控制，则能够缩短除湿器的驱动时间、抑制消耗。
根据第五发明所涉及的激光装置，一般来说，除湿能力高的除湿器伴有对空气的冷却作用，但是通过设置空气温度调节器20能够防止空气温度过于下降而激光装置内的湿度上升，另外，在环境温度上升的情况下，能够在维持除湿功能的同时防止激光装置内的空气的温度上升。
根据第六发明所涉及的激光装置，不用将除湿器和空气温度调节器相分别地设置就能够可靠地防止结露，能够使激光装置的小型化、低成本化。
根据第七或第八发明所涉及的激光装置，能够防止激光装置壳体的外壁温度过度下降而在激光装置的外壁发生过度的结露，并且还能够防止激光装置内的湿度过度上升或发生结露。
根据第九发明所涉及的激光装置，除了为了进行激光装置的移动等而需要将激光装置完全停止的情况以外，还监视激光装置内的空气的露点和温度，以使露点与第一规定温度差相加而得到的温度不变得高于激光装置内的空气温度的方式使除湿器运转，由此即使在未启动激光装置时也能够防止激光装置内的结露。
根据第十发明所涉及的激光装置，将第四温度检测器设置于假定在与激光装置外部的空气温度的上升等相伴的激光装置内的空气的温度上升时成为最低温的场所，在空气的露点与所述第一规定温度相加而得到的温度变得高于由第四温度检测器检测出的温度的情况下也运转除湿器，由此即使处于在未启动激光装置时激光装置外部的空气温度突然上升而露点高的空气侵入的情况下，也能够更加可靠地防止激光装置内的结露。

Claims (10)

1.一种激光装置，具备激光振荡器以及向所述激光振荡器提供驱动电流的电源部，该激光装置的特征在于，构成为从该激光装置的外部的冷却水供给装置供给冷却水以对该激光装置的内部的发热部件进行冷却，
所述激光装置具备：
壳体，其具备将从所述激光装置的外部向所述激光装置的内部的空气侵入流量抑制为规定的值以下的密封度；
除湿器，其对所述激光装置的内部的空气进行除湿；
湿度检测器，其检测所述激光装置的内部的空气的湿度；
第一温度检测器，其检测所述激光装置的内部的空气的温度；
第二温度检测器，其检测从所述激光装置的外部供给的冷却水的温度；
计算部，其根据所述湿度检测器和所述第一温度检测器的检测结果，来计算所述激光装置的内部的空气的露点；
判定部，其根据所述第二温度检测器的检测结果以及由所述计算部计算出的所述露点，判定是否满足流入开始条件或者振荡开始条件，该流入开始条件是开始向所述激光装置的内部流通所述冷却水的条件，该振荡开始条件是从所述电源部向所述激光振荡器提供驱动电流来在所述激光振荡器中开始激光振荡的条件；以及
控制部，其按照所述判定部的判定结果，对设置于从所述冷却水供给装置供给的冷却水的配管的开闭阀的开闭、或者从所述电源部向所述激光振荡器的驱动电力的供给进行控制，
所述控制部构成为：在所述判定部将由所述计算部计算出的所述露点与由所述第二温度检测器检测出的冷却水温度进行比较后判定为满足了(露点)+(第一规定温度差)≤(冷却水温度)的关系以及(激光振荡时的冷却水温度的下限容许温度)≤(冷却水温度)≤(激光振荡时的冷却水温度的上限容许温度)的关系这两方的关系的时间点，所述控制部打开设置于所述配管的所述开闭阀来开始向所述激光装置的内部流通冷却水，之后向所述激光振荡器提供驱动电流来开始激光振荡，
在激光振荡中，所述冷却水供给装置构成为持续供给被控制为第一规定温度范围内的冷却水，该第一规定温度范围是从所述激光振荡时的冷却水温度的下限容许温度到所述激光振荡时的冷却水温度的上限容许温度的范围，并且，所述除湿器构成为持续进行除湿以维持(露点)+(第一规定温度差)≤(冷却水温度)的关系。
2.根据权利要求1所述的激光装置，其特征在于，
所述除湿器具有超过根据将从所述激光装置的外部向所述激光装置的内部的空气侵入流量抑制为规定的值以下的壳体的密封度以及所述激光装置的容许环境条件而假定出的、从所述激光装置的外部向所述激光装置的内部侵入的每单位时间的最大水分量的除湿能力。
3.根据权利要求1或2所述的激光装置，其特征在于，
所述除湿器构成为在从所述冷却水供给装置向所述激光装置的内部供给冷却水的期间内持续除湿。
4.根据权利要求1或2所述的激光装置，其特征在于，
所述除湿器被控制为使所述激光装置的内部的空气的露点进入比所述第一规定温度范围低温的第二规定温度范围内，在所述露点进入所述第二规定温度范围内之后，所述除湿器被控制为使所述露点不脱离所述第二规定温度范围内。
5.根据权利要求1～4中的任一项所述的激光装置，其特征在于，
所述激光装置还具备对所述激光装置的内部的空气的温度进行调整的空气温度调节器，
基于来自所述控制部的指令，通过所述空气温度调节器进行控制，使得由所述第一温度检测器检测的所述激光装置的内部的空气的温度进入第三规定温度范围内，该第三规定温度范围具有与所述第一规定温度范围的下限温度大致同温的下限值、或者比所述第一规定温度范围的下限温度高温的下限值，
在所述激光装置的内部的空气的温度进入所述第三规定温度范围内之后，通过所述空气温度调节器进行控制，使得所述激光装置的内部的空气的温度不脱离所述第三规定温度范围内。
6.根据权利要求5所述的激光装置，其特征在于，
所述除湿器是以下方式的除湿器：将流入到所述除湿器的空气冷却到露点温度以下，使该空气在所述除湿器内的结露部进行结露，由此进行除湿，
所述激光装置还具备对从所述除湿器流出的空气进行加热的加热部，
所述加热部通过所述控制部被控制为：该加热部以使所述激光装置的内部的空气的温度不低于所述第三规定温度范围的下限温度的方式进行大致最小限度的加热。
7.根据权利要求5所述的激光装置，其特征在于，
通过所述空气温度调节器将所述激光装置的内部的空气的温度控制为所述第三规定温度范围内或所述第三规定温度范围的下限温度以上，
所述激光装置具备检测所述激光装置的外部温度或所述壳体的温度的第三温度检测器，
所述第三规定温度范围被设定为随时间变化的条件，所述第三规定温度范围的下限温度被设定为所述第一规定温度范围的下限温度与第二规定温度差相加而得到的温度以及由所述第三温度检测器检测出的温度减去第三规定温度差而得到的温度中的较高一方的温度，
所述激光装置的内部的空气温度被控制为所述第三规定温度范围内或所述第三规定温度范围的下限温度以上。
8.根据权利要求6所述的激光装置，其特征在于，
通过所述加热部将所述激光装置的内部的空气的温度控制为所述第三规定温度范围内或所述第三规定温度范围的下限温度以上，
所述激光装置具备检测所述激光装置的外部温度或所述壳体的温度的第三温度检测器，
所述第三规定温度范围被设定为随时间变化的条件，所述第三规定温度范围的下限温度被设定为所述第一规定温度范围的下限温度与第二规定温度差相加而得到的温度以及由所述第三温度检测器检测出的温度减去第三规定温度差而得到的温度中的较高一方的温度，
所述激光装置的内部的空气温度被控制为所述第三规定温度范围内或所述第三规定温度范围的下限温度以上。
9.根据权利要求1～8中的任一项所述的激光装置，其特征在于，具有以下功能：
除了对所述激光装置发出完全停止指令的情况以外，即使在未对所述激光装置发出启动指令的期间内，也通过所述湿度检测器、所述第一温度检测器、所述计算部、所述判定部以及所述控制部来始终地或者以规定的时间为间隔地监视所述激光装置的内部的空气的湿度和温度，当所述激光装置的内部的空气的露点与所述第一规定温度差相加而得到的温度变得高于由所述第一温度检测器检测出的所述激光装置的内部的空气的温度时，所述除湿器自动开始运转来进行除湿。
10.根据权利要求1～8中的任一项所述的激光装置，其特征在于，
所述激光装置还具备第四温度检测器，该第四温度检测器检测相对于所述发热部件位于大致相同的位置或上游侧的所述配管内的冷却水的温度、或者与相对于所述发热部件位于大致相同的位置或上游侧的所述配管热接触的构件的温度，
所述激光装置具有以下功能：除了对所述激光装置发出完全停止指令的情况以外，即使在未对所述激光装置发出启动指令的期间内，当所述空气的露点与所述第一规定温度差相加而得到的温度变得高于由所述第四温度检测器检测出的温度以及由所述第一温度检测器检测出的所述激光装置的内部的空气的温度中的至少任一个时，所述除湿器也自动开始运转来进行除湿。
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