CN113898613A - 分子泵的防凝露系统及防凝露方法 - Google Patents

Abstract

本公开披露了一种分子泵的防凝露系统及防凝露方法，所述防凝露系统包括：分子泵，包括泵体以及为所述泵体供电的电源；冷却水流道，位于所述电源内部，以利用冷却水对所述电源进行冷却；第一温度采集单元，位于所述冷却水流道处，用于采集所述冷却水的温度；加热单元，用于对所述冷却水进行加热；控制部分，与所述第一温度采集单元和所述加热单元相连，用于根据所述第一温度采集单元采集到的冷却水的温度控制所述加热单元对所述冷却水进行加热，使得所述冷却水的温度不低于所述电源内部的空气的露点温度。本申请的技术方案能够防止凝露在分子泵电源内部形成，有效避免了电源内部电子元件短路、失效的风险。

Description

分子泵的防凝露系统及防凝露方法

技术领域

本公开涉及分子泵领域，具体涉及一种分子泵的防凝露系统及防凝露方法。

背景技术

分子泵是一种真空泵，由分子泵泵体及分子泵电源组成。分子泵电源为分子泵泵体供电，分子泵电源通常是通过水冷的方式进行冷却以防止分子泵电源内部温度过高，影响电信号的传输及分子泵运行的稳定性。

然而，分子泵电源内部会形成凝露，分子泵电源内部的凝露会造成电子元件的短路及失效。现有的分子泵电源不能防止凝露在分子泵电源内部形成。

因此，亟需一种分子泵防凝露系统及凝露方法，防止凝露在分子泵电源内部形成。

发明内容

有鉴于此，本公开提供一种分子泵的防凝露系统及防凝露方法，以防止凝露在分子泵电源中上形成。

第一方面，一种分子泵的防凝露系统，包括，分子泵，包括泵体以及为所述泵体供电的电源；冷却水流道，位于所述电源内部，以利用冷却水对所述电源进行冷却；第一温度采集单元，位于所述冷却水流道处，用于采集所述冷却水的温度；加热单元，用于对所述冷却水进行加热；控制部分，与所述第一温度采集单元和所述加热单元相连，用于根据所述第一温度采集单元采集到的冷却水的温度控制所述加热单元对所述冷却水进行加热，使得所述冷却水的温度不低于所述电源内部的空气的露点温度。

可选地，所述分子泵的防凝露系统还包括，第二温度采集单元，位于所述电源内部，以采集所述电源内部的空气温度；冷却水阀，与所述冷却水流道相连，用于控制所述冷却水的流量；所述控制部分还与所述第二温度采集单元和所述冷却水阀相连，用于根据所述第二温度采集单元采集到的所述电源内部的空气温度，控制所述冷却水阀的开度，以调节所述冷却水的流量。

可选地，所述分子泵的防凝露系统还包括，所述控制部分根据所述第二温度采集单元采集的空气温度修正得到所述电源内部的空气湿度；所述控制部分根据所述空气温度及所述空气湿度计算所述电源内部的空气的露点温度。

可选地，所述第一温度采集单元位于所述冷却水流道的入口处。

可选地，所述分子泵为磁悬浮分子泵。

第二方面，提供一种分子泵的防凝露方法，所述分子泵包括泵体以及为所述泵体供电的电源，所述电源内部设置有冷却水流道，以利用冷却水对所述电源进行冷却，所述方法包括：采集所述冷却水的温度；根据所述冷却水的温度对所述冷却水进行加热，使得所述冷却水的温度不低于所述电源内部的空气的露点温度。

可选地，所述方法还包括，采集所述电源内部的空气温度；据所述电源内部的空气温度调节所述冷却水的流量。

可选地，所述方法还包括，根据所述电源内部的空气温度修正得到电源内部的空气湿度；根据所述电源内部的空气湿度和所述电源内部的空气温度，计算所述电源内部的空气的露点温度。

可选地，所述分子泵为磁悬浮分子泵。

本公开实施例提供的技术方案，能够对分子泵电源的冷却水进行加热，使冷却水的温度不低于分子泵电源内部的空气的露点温度，从而防止凝露在分子泵电源内部形成。

附图说明

图1为本公开实施例提供的一种分子泵的防凝露系统示意图。

图2为本公开实施例提供的另一种分子泵防凝露系统示意图。

图3为本公开实施例提供的一种根据电源内部水蒸气泄露速率得到电源内部湿度的方法。

图4为本公开实施例提供的一种电源内部湿度泄露速率函数示意图。

图5为本公开实施例提供的一种分子泵防凝露系统的工作原理示意图。

图6为本公开实施例提供的一种分子泵防凝露系统的另一种工作原理示意图。

图7为本公开实施例提供的一种分子泵防凝露系统的工作过程。

具体实施方式

下面将结合本公开实施例中的附图，对本公开实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本公开一部分实施例，而不是全部的实施例。

日常生活中的空气是含有水蒸气的湿空气，空气中水蒸气的含量可以用湿度来表示。湿度可以通过不同的方式来表示，例如可以用绝对湿度表示空气的湿度，例如也可以用相对湿度表示空气的湿度。空气的绝对湿度可以用来表示单位容积空气中含有的水汽质量，一般可以用mg/L做指标。在一定温度的空气中，当空气中的水蒸气含量达到最大时，该空气可以称为饱和空气，此时该空气中水蒸气的最大含量可以称为饱和水蒸气量。空气的相对湿度可以表示绝对湿度与该温度下饱和状态水蒸气量的比值，可以用百分数表达。相对湿度的大小可以用来表示空气的饱和程度，相对湿度越小，表示该空气中的水蒸气离饱和越远，尚有吸收更多水蒸气的能力，反之，相对湿度越大，则表示该空气吸收水蒸气的能力越弱。在一定压力下，温度降低，空气中饱和水蒸气含量降低，空气中的水蒸汽凝结成水珠，即为凝露，此时，该空气的温度为露点温度。

空气的状态参数可以用仪器仪表进行测试量，例如，可以使用温度测量仪器测量该空气的温度，温度测量仪器例如可以是干球温度计，还可以是温度传感器。在一些实施例中，可以通过湿度测量仪测量空气中水蒸气的含量，例如，可以用湿度传感器测量空气的绝对湿度和/相对湿度。在一些实施例中，可以通过温湿度测量仪测量空气温度参数及湿度参数中的一种或多种，例如，利用温湿度传感器测量空气的温度、绝对湿度、相对湿度、露点温度中的一种或多种。

在一些实施例中，可以利用空气的焓湿图确定空气各个参数之间的关系。作为一个示例，可以根据当前空气的温度及相对湿度在焓湿图中查出该空气的露点温度。

露点温度可以用来表示空气中水蒸气达到饱和并开始凝结为小水珠时的温度，在一些情况下当空气的温度低于露点温度时，会发生凝露的现象。例如，夏天空气的温度是30℃，空气的相对湿度为50%，此时露点温度为15℃，也就是说，温度为30℃，相对湿度为50%的空气，只有在空气温度降到15℃之下，才会出现凝露的现象。这时，从冰箱里取出一杯冰水，杯子表面的温度为2℃，杯子周围的空气碰到温度低于露点温度的杯子的表面时，就会发生凝露现象，在杯子表面形成露珠。

凝露现象给工业生产带来了一定的危害，尤其在电气设备中。在一些情况下，电气设备内部的凝露滴落在电气元件上可能造成电子元件短路，导致电气失效的问题。在分子泵领域，分子泵的电源内部上会形成凝露，影响分子泵的安全运行。下面介绍一下，现有技术中，分子泵内部凝露形成的原因及分子泵防凝露方法。

分子泵是一种可以利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度的一种真空泵。分子泵可以由分子泵泵体及分子泵电源组成，分子泵电源可以为分子泵泵体进行供电。

磁悬浮分子泵是分子泵的一种，磁悬浮分子泵可以包括转子及定子，该分子泵可以利用磁轴承产生磁力使转子悬浮在空中，实现转子与定子之间无机械接触且转子位置可主动控制的一种新型高性能分子泵。

分子泵在运行过程中，电源会升温发热，电源内温度高于电源安全工作温度时，会影响电信号的传输及转子的稳定性。

在这种情况下，可以向分子泵的冷却系统传输冷却水，通过流动的冷却水，将电源内部的热量带走，实现对电源的降温。然而，冷却水温度过冷时，会在电源的内壁上形成凝露。这是因为，过冷的冷却水使得电源组件内部空气的温度小于该温度下的水蒸气凝结为露珠时的露点温度，水蒸气从空气中析出，凝结在温度更低的固体表面上导致。

为了解决凝露现象带来的电气损伤的问题，现有技术中通过监测分子泵电源内部情况，当分子泵内部出现或即将出现凝露时，发出预警报警，可以通过调节冷却水水阀或加热电源内部的空气温度或在电源内部放置干燥装置以降低电源内部空气的湿度。

但是，现有的方案中存在不能从根本上防止凝露的形成的问题，当将电源内部的凝露消除之后，再次打开冷却系统的冷却水阀门之后，会导致电源组件内部的壁体上立刻形成一个低于露点温度的冷表面，电源内部的空气会在此冷表面上形成凝露。而对电源内部空气进行干燥除湿的方案无法应对长期湿度过高的环境，会导致干燥措施失效，且该方案的维护成本较高。

基于此问题，本公开实施例提供一种分子泵的防凝露系统，使得分子泵电源内部不会出现凝露，从而避免了凝露对电源的损伤，该分子泵可以是前文提到的磁悬浮分子泵。

图1为本公开实施例提供的一种分子泵的防凝露系统。如图1所示，该分子泵的防凝露系统100包括分子泵泵体110、分子泵电源120、冷却水流道130、第一温度采集单元140、加热单元150、控制部分160、第二温度采集单元170。

分子泵电源120可以为分子泵泵体110供电。

分子泵电源120还可以包括电源外壳，电源外壳可以包括上盖及底盖部分，上盖及底盖之间可以设置密封材料以延缓水蒸气渗入电源内部的速率，密封材料例如可以是硅胶垫。

冷却水流道130可以位于分子泵电源内部，冷却水流道130可以利用冷却水对分子泵电源进行冷却。在一些实施例中，冷却水流道130可以预埋在电源外壳的底盖中，在另一些实施例中，冷却水流道130可以铺在电源外壳的底盖上。冷却水流道130的数量可以是单根，也可以是多根。本公开对电源内部冷却水流道的布置方式不做限定，能够满足电源内部散热需求即可。

冷却水可以是用来实现热量交换的流体，可以通过冷却水在电源内部的流动带走电源内部的热量，实现分子泵电源的冷却。冷却水的水温范围可以比较宽，这样能够适应更多的应用场景。在一些实施例中，冷却水可以是一般工业现场使用的循环冷却水，水温可以在15℃~30℃之间。

在分子泵电源的外部，冷却水流道130可以有外部入口，外部入口可以与外部流道相连，在一些实施例中，冷却水流道130可以与工业现场循环水系统相连接，这样可以利用工业现场循环水实现分子泵电源内部的冷却，从而不影响整个工业现场循环水系统。

冷却水流道130上可以设置有冷却水阀180，冷却水阀180可以用于控制冷却水的流量。在一些实施例中，冷却水阀180可以布置在电源内部的冷却水流道上。在另一些实施例中，冷却水阀180可以布置在电源外部冷却水流道130的外部入口上，这样，便于人工操作及冷却水阀的维修与更换。

第一温度采集单元140可以用来采集冷却水的温度，在一些实施例中，第一温度采集单元可以是温度传感器。第一温度采集单元可以位于冷却水的流道处，在一些实施例中，第一温度采集单元可以设置在电源内部，以采集电源内部冷却水的温度。在另一些实施例中，第一温度采集单元可以放置在电源的外部，例如，可以设置在冷却水流道130的外部入口上，并贴近冷却水管的位置，这样可以避免电源内部温度对测量的影响，并且，降低了维修与更换的难度。

第二温度采集单元170，可以位于电源内中部，第二温度采集单元可以用来采集电源内部的空气温度。在一些实施例中，第二温度采集单元170可以是温度传感器。

加热单元150可以用来加冷却水，加热单元150可以放置在电源外部贴近冷却水流道位置处，这样降低了维修与更换的难度。加热单元150可以包括加热装置，加热装置例如可以是将电能转化为热能的装置。

电源内部的湿度可以利用电源内部的湿度传感器进行采集，在一些实施例中，湿度采集单元可以是湿度传感器，可以用于采集相对湿度。

在一些情况下，湿度传感器校准会带来分子泵运行不稳定的问题。以磁悬浮分子泵为例，湿度传感器的校准周期可以是2-3年，磁悬浮分子泵的使用寿命可以是5年，在分子泵使用期间需要对电源内部的湿度传感器进行校准，需要对分子泵进行断电，拆开电源设备并进行校准，这样分子泵再次启动时，因分子泵进行参数的变化，会导致分子泵运行的不稳定。在另一些情况下，湿度传感器存在测量范围与分子泵电源内部不匹配的问题，在湿度范围超过湿度传感器测量范围的环境中，湿度传感器可能存在测量不准确的问题。

图2是本公开实施例提供的一种分子泵防凝露系统示意图，可以跟据电源内部的温度修正得的电源内部的湿度，以避免使用湿度传感器带来的上述问题。

下面给出一个，根据电源水蒸气泄露速率得到电源内部湿度的具体实施方法，如图3所述。

在步骤S310，确定电源内部初始温度T0及初始湿度H0。

电源内部的初始温度T0及初始相对空气可以是电源安装时环境的温度及湿度，在一些实施例中，分子泵电源在封闭外壳及底盖前会在恒温恒湿的外界环境中安装，因此，此时环境中空气的温度及湿度可以用来表示电源内部的初始温度T0及初始湿度H0。

在步骤S320，确定此刻电源内部空气温度T1。

电源内部的温度T1可以用温度传感器采集。

在步骤S330，修正得到电源内部当前湿度H1。

对初始温度T0、初始湿度H0、当前电源内部温度T1进行修正可以得到电源内部当前湿度H1，在一些实施例中，可以电源内部水蒸气的泄露速率确定当前电源内部的湿度。

电源内部水蒸气的泄露速率可以根据实验得到，在一些实施例中，可以将分子泵放置在温湿度实验箱内，测出该电源的水蒸气的泄露速率。电源水蒸气泄露速率可以是电源内部湿度与时间的函数关系，在一些实施例中，电源内部水蒸气泄露速率可以是电源内部相对湿度与时间的对数函数，根据此函数关系可以得到t时刻电源内部的相对湿度。

作为一个示例，将内部原始温度T0原始相对湿度H0的电源，放置在温度T0，湿度为Hmax的温箱中，在电源内部放置湿度传感器用于测量电源内部的相对湿度，并以间隔的时间进行记录，就可以获得该电源水蒸气泄露速率函数。该电源水蒸气泄露速率函数例如可以如图4所示。

在图4中，可以根据电源内部的初始温度T0及初始相对湿度H0，得到电源内部水蒸气泄露函数，根据该函数关系可以查到t时刻电源内部的相对湿度H。此时电源内部的温度为T1，可以对T1做修正，得到t时刻电源内部的相对湿度H1。例如，可以根据t时刻电源内部的相对湿度H及初始温度T0计算出t时刻电源内部的绝对含水量，并基于t时刻的绝对含水量修正出T1温度时电源内部的相对湿度H1。

这样，可以避免在分子泵电源内部设置湿度传感器带来的影响分子泵运行稳定性及测量不精确的问题。

控制部分160可以由多个控制单元组成，在一些实施例中，控制部分160可以由主控单元例如可以是微控单元（MCU）、加热控制单元及冷却水阀门控制单元组成。主控单元可以集成在电源分子泵的电路板上，主控单元还可以设置在电源的外面，例如，主控单元可以是计算机。冷却水阀门控制单元可以通过控制冷却水阀门180的开度，实现冷却水流量的调节。加热控制单元可以控制加热单元150的加热功率，以实现对冷却水的加热。在一些实施例中，冷却水阀门控制单元可以是冷却水调节单元，通过冷却水调节单元调节冷却水阀门180的开度，实现冷却水流量的调节。

控制部分160可以接收传感采集到的数据，控制部分160可以接收第一温度采集单元140采集到的冷却水的温度，控制部分160也可以接收第二温度采集单元170采集到的电源内部的空气的温度。

控制部分160还可以对数据进行处理，在一些实施例中，控制部分160可以根据空气的湿度及温度计算该温度的露点温度。

作为一种可能的实现方式，控制部分160可以根据电源内部的温度及湿度，结合控制部分160中预存的露点温度计算方法，确定该空气的露点温度。露点温度的计算方法，例如可以是结合湿度、温度及露点温度对照关系式，得到露点温度，例如也可以是根据电源内部空气的温度及相对湿度确定该空气的饱和水蒸气压力并结合焓湿图，到得该空气的露点温度。

在另一些实施例中，控制部分160还可以预存有本公开实施例3提供的湿度修正算法。

下面，介绍一下本公开实施例提供的一种分子泵防凝露系统的工作原理。图5提供一种分子泵防凝露系统的工作原理示意图。

在步骤S510，采集冷却水的温度。

可以利用前文提到的第一温度采集单元140采集冷却水的温度，在一些实施例中，第一温度采集单元可以是温度传感器。可以根据第一温度采集单元140设置的位置采集不同位置处冷却水的温度，例如可以采集即将流入电源内部的冷却水的温度，例如也可以采集已经流入电源内部的冷却水的温度。

在步骤S520，根据冷却水的温度对冷却水进行加热，使冷却水的温度不低于电源内部的空气的露点温度。

控制部分160确定电源内部的空气的露点温方式有多种，例如可以是前文提到的根据电源内部的湿度及温度确定电源内部的露点温度，例如也可以是由运维人员输入露点温度，例如还可以是提前预存在控制部分160中。

控制部分160可以控制加热单元150的加热功率，使得冷却水的温度不低于电源内部的空气的露点温度。

第一温度采集单元140可以采集冷却水的温度，在一些情况下，冷却水的温度高于电源内部空气露点温度，控制部分160可以持续检测冷却水的温度，当冷却水的温度有下降的趋势时，控制部分可以提高加热单元150的加热功率。

在另一些情况下，冷却水的温度低于电源内部空气露点温度，控制部分160可以提高加热单元150的加热功率，以提高电源内部冷却水的温度。

第一温度采集单元140可以采集即将流入电源内部的冷却水的温度，在一些实施例中，由位于冷却水流道入口处的第一温度采集单元140采集冷却水的温度。这样，当冷却水的温度低于露点温度时，控制部分160可以调节冷却水的流量，防止过冷的冷却水流入电源，杜绝凝露在电源内部上形成。

作为一个示例，第一温度采集单元140采集即将流入电源的温度是10℃，此时电源内部空气的露点温度是25℃。这时，控制部分160可以控制冷却水阀180的开度，将冷却水阀关闭，防止过冷的冷却水进电源内部。控制部分160还可以控制加热单元150对即将流入电源内部的冷却水进行加热。第一温度采集单元140可以实时采集该冷却水的温度，等冷却水的温度加热至30℃之后，控制部分160可以控制冷却水阀180打开，加热后的冷却水流进电源的内部。这样，避免了过冷的冷却水流入电源内部，杜绝电源内部凝露的发生。

从以上内容，可以看出，本公开实施例提供的一种分子泵防凝露系统可以对冷却水进行加热，使冷却水的温度不低电源内部空气的露点温度，避免电源内部露点的形成。进一步的，通过加热即将流入电源内部的冷却水，彻底杜绝凝露在电源内部形成。

当分子泵电源内部温度超过电源工作的安全温度时，本公开实施例提供的分子泵防凝露系统还可以通过调节冷却水流量方式调节电源内部的温度。下面给出一种分子泵防凝露系统的另一工作原理示意图，如图6所示。

在步骤S610，采集电源内部的空气温度。

可以利用前文提到的第二温度采集单元170采集电源内部部的空气温度，第二采集单元例如可以是温度采集器。

在步骤S620，根据电源内部的空气温度调节冷却水的流量。

电源安全工作温度可以是预先存储在控制部分160中。

控制部分160在调节冷却水流量之前，可以先对采集到的电源内部空气温度及电源安全工作温度进行比较，当电源内部空气温度超过电源工作的安全工作温度时，控制部分160可以控制冷却水阀180的开度，以减少冷却水的流量，使电源内部冷热交换发生的更加充分，从而降低电源内部空气温度，使其小于安全工作温度。

作为一个示例，第二温度采集单元采集到电源内部空气温度为45℃，电源的安全工作温度是40℃时，控制部分可以关小冷却水阀门，以减小冷却水的流量。

在一些实施例中，控制部分160还可以控制加热单元150的加热功率，以调节分子泵电源内部的温度。作为一个示例，当电源内部温度高于电源安全工作温度时，控制部分160可以降低加热单元150的加热功率。

下面结合图7介绍一下本公开实施例提供的分子泵防凝露系统的工作过程。在此实施例中，控制部分可以包括由计算机、冷却水调节单元。

在步骤S701，确定电源内部初始温度T0及初始相对湿度T0。

分子泵电源可以在恒温恒湿的安装环境下封闭电源外壳及底盖，可以将分子泵电源安装时的环境温度及湿度当做初始温度T0及相对湿度H0记录在计算机的CPU中。

在步骤S702，确定冷却水的温度T2。

在分子泵第一次接通电源后开启控制部分，控制部分控制冷却水阀门的开度，将冷却水阀开度调节至100%，即关闭冷却水的阀门。

冷却水的温度T2可以由设置在冷却水流道入口的温度传感器采集，并传输至计算机，计算机可以将该温度存储在CPU中。

在步骤S703，确定当前电源内部空气温度T1。

电源内部空气温度T1可以由第二温度采集电源获取后，传输至计算机，计算机可以将该温度存储在CPU中。

在步骤S704，修正当前电源内部的相对湿度H1。

在分子泵运行过程中，计算机处理单元可以通过存储在CPU中的空气温度T1及原始温度T0、原始相对湿度H0修正计算当前电源内部相对湿度H1。修正方法可以是本公开实施例3提供的修正算法。

H1=f(T0, H0, T1)。

在步骤S705，修正得到当前电源内部空气的露点温度。

计算机处理单元通过存储在CPU中的T1、H1，计算当前电源内部空气温度的露点温度T3，关系式可以由实验确定。

T3=f(T1, H1)。

在步骤S706，比较露点温度T3及冷却水的温度T2。

在步骤S707，当T2＞T3，则不进行操作。

在步骤S708，当T2≤T3，启动加热单元对即将流入电源的冷却水进行加热。并通过计算机控制使T2=T3+X，其中X为露点温度的修正系数，修正系数可以由实验得出，例如，可以根据电源内部的热传导系数实验得出修正系数X。

在步骤S709，待即将流入电源内部的冷却水的温度T2＞T3后，开启冷却水的阀门。例如，当T2=T3+X后开启冷却水的阀门。

在步骤S710，当电源内部温度T1高于电源安全工作温度时，CPU控制冷却水调节单元及加热单元，减少冷却水流量及降低加热功率，保护电气安全。

可以看出，本公开实施例公开的磁悬浮分子泵，能够防止凝露在电源内部形成的同时，还可以监测电源内部的空气温度，使其不高于电源安全工作温度，确保电源内部的电气安全。

在上述实施例中，可以全部或部分地通过软件、硬件、固件或者其他任意组合来实现。当使用软件实现时，可以全部或部分地以计算机程序产品的形式实现。所述计算机程序产品包括一个或多个计算机指令。在计算机上加载和执行所述计算机程序指令时，全部或部分地产生按照本公开实施例所述的流程或功能。所述计算机可以是通用计算机、专用计算机、计算机网络、或者其他可编程装置。所述计算机指令可以存储在计算机可读存储介质中，或者从一个计算机可读存储介质向另一个计算机可读存储介质传输，例如，所述计算机指令可以从一个网站站点、计算机、服务器或数据中心通过有线（例如同轴电缆、光纤、数字用户线（Digital Subscriber Line，DSL））或无线（例如红外、无线、微波等）方式向另一个网站站点、计算机、服务器或数据中心进行传输。所述计算机可读存储介质可以是计算机能够存取的任何可用介质或者是包含一个或多个可用介质集成的服务器、数据中心等数据存储设备。所述可用介质可以是磁性介质（例如，软盘、硬盘、磁带）、光介质（例如数字视频光盘（Digital Video Disc，DVD））、或者半导体介质（例如固态硬盘（Solid State Disk，SSD））等。

本领域普通技术人员可以意识到，结合本公开实施例描述的各示例的单元及算法步骤，能够以电子硬件、或者计算机软件和电子硬件的结合来实现。这些功能究竟以硬件还是软件方式来执行，取决于技术方案的特定应用和设计约束条件。专业技术人员可以对每个特定的应用来使用不同方法来实现所描述的功能，但是这种实现不应认为超出本公开的范围。

以上所述，仅为本公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本公开揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本公开的保护范围之内。因此，本公开的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (9)

1.一种分子泵的防凝露系统，其特征在于，包括：

分子泵，包括泵体以及为所述泵体供电的电源；

冷却水流道，位于所述电源内部，以利用冷却水对所述电源进行冷却；

第一温度采集单元，位于所述冷却水流道处，用于采集所述冷却水的温度；

加热单元，用于对所述冷却水进行加热；

控制部分，与所述第一温度采集单元和所述加热单元相连，用于根据所述第一温度采集单元采集到的冷却水的温度控制所述加热单元对所述冷却水进行加热，使得所述冷却水的温度不低于所述电源内部的空气的露点温度。

2.根据权利要求1所述的分子泵的防凝露系统，其特征在于，还包括：

第二温度采集单元，位于所述电源内部，以采集所述电源内部的空气温度；

冷却水阀，与所述冷却水流道相连，用于控制所述冷却水的流量；

所述控制部分还与所述第二温度采集单元和所述冷却水阀相连，用于根据所述第二温度采集单元采集到的所述电源内部的空气温度，控制所述冷却水阀的开度，以调节所述冷却水的流量。

3.根据权利要求2所述的分子泵的防凝露系统，其特征在于，还包括：

所述控制部分根据所述第二温度采集单元采集的空气温度修正得到所述电源内部的空气湿度；

所述控制部分根据所述空气温度及所述空气湿度计算所述电源内部的空气的露点温度。

4.根据权利要求1所述的分子泵的防凝露系统，其特征在于，所述第一温度采集单元位于所述冷却水流道的入口处。

5.根据权利要求1所述的分子泵的防凝露系统，其特征在于，所述分子泵为磁悬浮分子泵。

6.一种分子泵的防凝露方法，其特征在于，所述分子泵包括泵体以及为所述泵体供电的电源，所述电源内部设置有冷却水流道，以利用冷却水对所述电源进行冷却，

所述方法包括：

采集所述冷却水的温度；

根据所述冷却水的温度对所述冷却水进行加热，使得所述冷却水的温度不低于所述电源内部的空气的露点温度。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，还包括：

采集所述电源内部的空气温度；

根据所述电源内部的空气温度调节所述冷却水的流量。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，还包括：

根据所述电源内部的空气温度修正得到电源内部的空气湿度；

根据所述电源内部的空气湿度和所述电源内部的空气温度，计算所述电源内部的空气的露点温度。

9.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述分子泵为磁悬浮分子泵。

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