JPS6012292A - レーザ光による穴あけ加工法及び当該加工法を実施するための加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、比較的薄いエレメント乃至加工材、たとえば
金属薄板もしくは積層板ｔ、とくに〕くルスス形−ザ光
によって穴あけする方法に係る。本発明はさらに前記方
法全実施するための装置に係る。

比較的薄い板形ｉたは積層形板材會穴あけ加工するため
の公知方法では、高エネルギの衝撃、たとえばレーず光
パルスが使用されている。フランス特許出願ＰＲ−Ａ第
８２．１３９８８号は、エネルギ光とくにレーザにニジ
加工さ扛る一連の穴の、加工材表面上の位置を検査１１
調整する力法會開示している。しかし、実際は、この特
許は所定の配置に従って個々の穴を正しく位置決めする
手段？開示するにすぎない。穴の位置のみに関連するこ
の検査と調整は、加工材と同じ厚さ方向に、またはレー
ザ光源の反対側に、穴が所望の幾何学形をもつべく保証
することを許容しない。

ヨーロッパ特軒ＥＰ−Ａ第００１３６５７号は、たとえ
ばレーザ形の穴あけ加工用ビームの放射パラメータ’ｅ
　１ｉ１Ｊ御するため、加工される穴？貫く放射ビーム
が検出され使用されるという穴あけ加工法を開示してい
る。この方法は、検出ビームと穴６けビームとが別々で
ある場合、あるいは加工さｎた部品がビームの照射側と
反対側かう支持部品で裏打ちされる場合に適合する。穴
あけ用発振器による放射ビームの直接検出と、これと結
合した制＃素子の調整は非常に複雑で、ある種の利用に
は適さない。第２の放射ａｈるいは支持部品の使用がこ
の方法またはその実施を不都合に複雑にしてしまう。

レーザ発振器によって放射さ扛るような高エネルギ、高
密度のビームの一定範囲の１パルス”について、一定厚
みの、通常はかなシ薄めの材料を穴あけ加工しうろこと
がわかっている。この場合の厚さはもちろん材料の性質
と加工される穴の直径に圧右される。材料がさらに厚く
、お工び／または穴径がさらに大である場合はもちろん
パルスエネルギを増加しく時間を変えずに瞬間エネルギ
を増すか、瞬間エネルギを変えずに時間ｔ−ｍやすか、
あるいは両方を同時に増やすかによって９、さらにレー
ザビームの焦点距ｌ！Ｉｔ変えることができる。しかし
当業者に周知の植々の理由のため、加工された穴は、穴
の直径がご゛く小さい（たとえばおよそ０．１瓢のオー
ダ又はそれ以Ｆ）場合を除いて、穴あけ厚さが一定限界
を越えるとたちまち不規則性を生じる。従って穴は比較
的不規則な１クレー／″形状ｔなし、所期の使用目的（
７ｔとえは発汗冷却用多孔素子、音＃ないし防振被膜、
等々〕に不適となる。比較的厚めの素子および／または
比較的大きな直径の穴（たとえば厚さ０．８晴、直径数
１０分の１）について、よシ大きなエネルギ、より長い
時間の単一のパルスではなく、値数の連続パルスにより
加工ｔおこなうことが通常は好ましいのは以上の理由に
よる。しかし、このパルス列の特性の１つのあらゆる偏
差が穴の品質に影響しうるから、パルス列を直接的また
は間接的に検査しなｉ’ｊｎばｔらないことは明らかで
ある。

本出願人は、たとえば穴の加工位置でパルス列のエネル
ギに減少させるいくつかの偏差は、”めくら穴”もしく
は穴の通υ不良會生じることがあることｔ確認した。

レーザパルス列によって穴あけ加工ｔおこなう場合には
、穴あけ加工のメカニズムをよ＜理解シておくことが必
要である。

厚さが極く薄く、穴径が充分に小さければ、加工材表向
へのエネルギの焦束によシ材料は溶融し、局部的に沸騰
（または昇華ンする。

従って： 一一力では、刀ロ工材は局部的に穴あけされ、＃記のヨ
ー−ツバ！！＃ｔ！ｆＥ　Ｐ−Ａ第００１３６５７号は
この段階でのビーム検出を開示している。

−他力では、上記のようにフランス特許出５ＦＲ−Ａ第
８２．１３９８８号では、所定の配置に対する穴の位置
を検出し、必要があれば修正するために閃光が用いられ
ている。

一最後に、本発明の特徴として、加工材上のエネルギ凛
東の著しい局在性のため蒸気とスラグの排出が特定の雑
音を発生する。この雑音はとくに除去される材料物質の
量によって変化する。

つま９パルスがめくら大を加工したか、通り不足の大を
加工したか、それとも穴の補正ｔおこなったかに↓つて
音に差異がある。

もちろん、穴の所在および／またはｘを１耳で”検査し
、さらに発生音全専門家が聴いて“下した判定にＪ：９
調整の修正をすることもできるだろう。だが、この検査
は主観的で、−力では信用がおけず、他方ではリアルタ
イムまたは少くとも準すアルメイムでの記録や不良の修
正に′Ｊ？こなりことができない。

上に述べたような方法および装置の欠点を避は几うえで
、本発明の目的の１つは、レーザパルス列により多重孔
が設けられる薄形加工材の個々の大について、加工材の
レーザ光が照射される側の反対面に有効かつ適正（つま
り正しい１修正”つきで）に有効かどうかｔ検定するこ
とであって、この検査は加工材がレーザパルスを照射さ
れるたびごとに発生する音響信号にもとづく自動的手段
によって１穴ごとにおこなわれる。

さらに本発明の目的の１つは、この音響法による定常管
理ｔ１必要な場合は、加工中に生じうる穴の仕上げ不良
に対応する音響信号の偏差？発見し、さらに適正に開い
た穴（つまりとくにレーザ光と反対側の面で正しく修正
された）の獲得ｔめざしてレーザパルスの特性（−間エ
ネルギ、持続時間、焦点距離、パルス数または速度）を
修正するために使用することである。

この修正は、手動ないし手探りによシ機械を停止し調整
するか、あるいは好ましい解決法としては１閉ループす
なわち、後続の大全正確にするため少くとも準リアルタ
イムで、あるいは結果の見込みのよい変形例では加工中
の穴とリアルタイムで、レーザの作用パラメータに必要
な変更に指令することによっておこなうことができる。

実際に、本発明は穴あけおよび大の誤差修正に少くとも
２つのパルスを必要とする場合はとくに有利である。し
かし本発明は、穴あけおよび修正が単一のパルスでおこ
ないうる場合にも適合する。

最初のパルスが穴あけに使用され、第２のパルスが穴の
修正用である場合もある。最初のパルスのさい、加工材
の発する比較的強い音は、第１パルスであけられた穴の
、４４２パルスによる修正に相当する少し弱めの音と耳
で明確に識別することができる。この第２パルスから発
する音の著しい減少から、この場合穴が正しく開けられ
ていると判定することができる。

しばしば、穴がもつと深くおよび／または［径がさらに
大である場合は、穴ｔ−あける尺めに数回のパルス（た
とえば３−４回）が必要であシ、さらに数回のパルス（
比とえば２−３回ンが穴を修正しおよび／または穴が正
しくあけられ、正しく修正されたかどうかｔ検査するた
めに用いら詐る。

同様にレーザパルス列による衝撃音のなかで、あまり強
くない音を発したパルス（たとえは４＠３番目の）が耳
で聞きわけられる。何故ならこのパルスが穴ｔあけたか
らで、この場合第４番目のパルスは、すでにあけられた
が不完全であった穴を正しく修正したため、さらに弱い
ｆ’に発する。

以上説明したタイプのレーザによる穴めけ加工法は、本
発明に従い、少くとも次の段階を包有することｔ％徴と
するニ ー所定限界値に対する信号の振幅ろ波 −信号の論理形式化 一個々のレーザパルスに対応する第２信号の送出−第２
信号の論理形式化 −２つの信号の設定 一個々の穴あけに必要なパルスに対応する信号の記憶化 −得られた結果を記録値に比較 一比較結果の形式化 この過程には更に次の段階が付加されるニー穴あけ加工
の検査および個々の穴の正確な修正手段？構成する結果
の表示および１Ｉｃｉ録Ｌシ有利には、信号の周波数ろ
過を含むｇ１補足段階が付加される。

本方法の１適用例によれば、レーザの作用ノ（ラメータ
（ビームの瞬間エネルギ、時間、焦点距離、パルス数ま
たは速度ンのうら少くとも１つの変更が、不正確と判定
された結果（穴のふさが９、貫通不良または修正不良）
の表示に反応して作業者が手動的に操作することにより
おこなわれる。

水力法の他の有利な適用によれは、水力法にさらに次の
補足段階が付加されるニ ー検査結果のレーザの制御計算機への伝送−レーザ発振
器もしくは加工材に影響する公差から生じ、加工穴の＊
に影響する偏差を修正する几め、レーザの作用パラメー
タの少くとも１つ、とくにレーザ光の集束点の位置の自
動修正よル有利には、処理チェーン内で分析される音響
信号の特性は、信号残置または音響レベルである。

エフ有利には、検査によって異常が検出された場合、本
発明方法は、レーザの作用のリアルタイム制御全可能な
ら−しめる後続の穴への移行が始まる以前に大めけ加工
および修正をおこなうより１、プログラム化したパルス
に相対させて補足レーザパルスに発出することにＬり自
動修正をおこなう。

本＠明方法集施のためのレーザによる穴あけ加工装置は
次の素子を包有することｔ％徴とするニー加工材の近傍
に配置されており、音響信号を発出する音響センサ ー一定範囲の限界値に対する信号の音響レベルの振幅フ
ィルタ ー′″０”および１”の形での信号の論理形式化ｔおこ
なうアナログ−ディジタルタイプの第１変換器 一レーザかう発し、レーザ光のパルス忙対応する信号全
地理するアナログ−ディジタルタイプの１４２変換器 −７４１および第２変換器から送られる信号の位相化ｔ
おこなうレジスタ ーレジスメ内で作られた情＠を貯蔵するメモリーレジス
メから送らｎた信号を記録値と比軟するコンパレータ ー加工材を穴あけ＠修正するために必要なパルスの理論
数ｔあうわす記録値ｔコンパレータに付与する記録素子 一コンパレータの出力信号を受取る表示・計数素子。

工９有利には、本発明装置はさらにコンパレータの出力
信号を受取る制御計算機を包有しておシ、レーザの作用
パラメータの少くとも１つがこの信号かＰ）得られた結
果に従属する。

以下に本発明のレーザによる穴あけ加工装置の実施例に
つき、図面に沿って説明する。図かられかるように、本
発明では音響制御およびレープの作用パラメータの調節
は１耳で”おこなわれず１適正装置によシ実施されてい
る。

′ｓ１図は、穴あけされる被加工材料にレーず光を照射
するさいに発する音ＩＰ＜強度ま几は周波数ろ彼のない
プランクノイズンの、時間の関数としての変化ｔ−めら
れナダイヤグラムである。符号１の示す部分はレーザ光
の照射に先立つバックグラウンド雑音に相当し、符号２
の示す部分はいわゆるレーザパルスに相当し、符号３の
示す部分はし一ザパルスの結果とし′て生じた音４に相
当し、符号４の示す部分はバックグラウンド雑音へのり
帰に相当する。

第２図は、〒力ではパルス列に、他力では発出される音
響に相当する、時間の関数としての３つのダイヤグラム
奮示す。上のダイヤグラムは、個個の穴について４つの
パルスで穴あけと修正がおこなわれる場合の時間の関数
としてのエネルギ準位ｔらられす。

中央のダイヤグラムは、４つのパルスでおこなわれる穴
あけと修正について第１図の条件に類似の条件の下で生
ずる生の音響を略図で示す。

好ましい実施例について以下に説明するが、この音響信
号の総量を取扱うための限界装置が存在するにのため、
音響信号の処理後、第２図の下部に示す記録は、′記録
”信号で与えられる待機と比較してｓ２の中央のダイヤ
グラムにあられれる音響に関する″論理レベル”に対応
する。

このダイヤグラムから下記の事柄が容易に判明するニ ー図示の例では、パルスは全部正確に同一である。

図示のエネルギ準位はほぼ１ミリ秒の時間と数１０ヘル
ツの周波数を有しており、マったく類似している。

一夫々のパルス列の各パルス（つまり夫々の穴について
の）によって発出される信号は、最初の２つのパルスに
ついては近似的な総量値ｔもち、第３のパルスについて
はより小さく、第４０パルスについてはさらにずっと小
さい。また、論理信号は正確に同一であり、パルス列の
最初の３パケス０．についてはｌに等しく、最後の１／
＜ルスについてはゼロに等しい。

中央と下側のダイヤグラムは次のように解釈できる。図
示の例の夫々のパルス列について、最初の２つは、先ず
粗加工、つぎに堀下げによって穴ｔしたいに形成してい
くパルスに相当し、第３のパルスはレーザと向＠あう側
の穴あけをおこなうが、誤差修正は不完全である。第４
のパルスは穴の完全修正と、穴が実際に適正にろけられ
修正されているかどう力島の管理に相当する。

この段階では、修正面で不正確な太めけｔおこない、あ
るいは極端な場合では１穴に生じることもおる６異常”
の存在に注意しなければならない。

これはと＜Ｋ、レーザパルスの特性に偏差がある場合に
あてはまる。これはまた、たとえば薄板の穴あけの場合
、さらに厚みが不ぞろいである積層材料の場合はいっそ
う、平均厚さくさらに最小厚さンカら通常公差に対応す
る最大厚さに移る場合にもあてはまる。この点について
は、鋼または超合金の金属薄板の厚さ公差は通例ではお
よそ１０％であることを想起されたい。

この種の１異常”の場合、さらに詳しい説明の会はなし
に当業者には発生音響の総量、さらには音響の論理レベ
ルは、第２図に示す形ｔもはやとらないことが容易に理
解されよう。とくにもし穴あけが得られなかつ友シ、誤
差修正がめる質をもたなかったシナれば、第２図の場合
の夫々の四番目のパルスは正常な場合よシ強度の音響を
生じるであろう。そしてとくに第２図下側のダイヤグラ
ムでは、第４のパルスに相当する第４の論理レベルは、
ゼロではなく、先の３つのパルスと同じレベル（すなわ
ち１）になるであろう。

第３図は、マイクロホンによって送られる信号の処理チ
ェーンの機能を示すブロック図である。

図中の符号１１はマイクロホンを示す。信号はまず、現
場のバックグラウンド雑音の急増？取除く（あるいは少
くともかなシの程度減らす）ための周波数フィルタ１２
に送られる。実際に実験によれば、パルス會受信するた
びごとに穴あけさｎる材料の発する雑音は、主として、
たとえば超合金については％　２ｔＨの厚さについてお
よそ２０００乃至３０００ヘルツである周波数帯内に限
定されることがわかる。これら２つの限界の間の音響は
、これらの限界以外のすべての現場内鑵ｆｔ−除去し、
それ故装置の精度を向上させる。ただし留意すべきこと
は１この周波数フィルタは音響レベルの高い環境条件内
で装置が使用される場合にだけ必要とされる点である。

このように処理された音響信号は、装置１４によって調
節された限界値？平行して受信する振幅または音響レベ
ルフィルタ１３を通過する。この限界値は、七ｎ以下で
あれば穴がいわゆる正確にあけられ、誤差修正される音
響レベルを決定する。したがってフィルタ１３の出力信
号は、穴あけまたは誤差修正パルスに相当する音と、穴
がちけらｎ修正されたことｔあられすいわゆる”無音”
区域との連続した列でおる。第２　図（Ｄ　４　パルス
式の穴あけの場合ｙフィルタ１３は、第４および最終パ
ルスに相当する音響レベルのすぐ上側に調節される。フ
ィルタ１３から発するこの信号はつぎにアナログーディ
ジメル変換器ｌ５に移る。

これと平行して、周知形の素子１６がレーザパルスを検
出し、別のアナログ−ディジタル変換器１７に送る。処
理後、信号は変換器１５の信号と共に、変換器１５およ
び１７の発する信号を位相化するレジスタ１８に送らｎ
る。

情報はこのレジスタ１８から、一時的に蓄積しておく（
穴が有効にあけられ修正される時間）ため、メモリ１９
に送られる。

この同じ情報は、穴あけし修正するために必要なパルス
の理論数ｔめられす記録値全素子２１から受取るコンパ
レーア２０に送られる。このコンバレー／２０は、完成
され誤差修正された穴についてプログラム化された最終
パルスの付与時に発生する音の論理レベル全テストする
。論理レベルがゼロであ扛は、つまり音のａ発生象がと
くに記録菓子２１によって知られる、最終パルスの限界
値未満であれば、穴が正確にわけられたことｔ意味する
。反対に、この論理レベルが１に等しければ、穴が盲穴
であるか、誤差修正が不完全であることｔ意味する。

本発明の単純形では、素子２２の表示と計数によって穴
の加工不良が証明されると、操作者は鏝に説明するよう
に、主として装置全停止し、レーザの作用パラメータｔ
−調節することによって手作業による調整をおこなう。

ｆｔＬ、い具体例では、レーザの特性は、コンパレータ
２０の出力側から出発して、レーザのパラメータの少く
とも１つ全制御伝達する装置２３にニジ自動的にｗＮ節
さｎる。この！Ｉ制御伝達装置２３については後に説明
する。　− 実際に、装置の停止を必要とするす作業ＩＪＩ４整合お
こなうことは可能である。従ってレーザの作用パラメー
タ修正のために数種の変形例が可能であって、とくに下
記のパラメータ修正が可能である。

−パルスの瞬間エネルギ ーパルス持続時間 一レーザ光の集束点の位置 −たとえば補足パルスの付加によるパルス数−パルスの
速度 もちろんこれらの作動パラメータの数個を同時に、適切
にカロエされ修正さｎた穴ｔ１必ｇならば手探シによっ
て得るまで、修正することも可能である。

好ましい自動調整法では、穴についてのあらゆる異常は
、第３図に示したものに類似の装置２２内で表示書計数
される。他力では、コンパレータの発する音響信号は、
加工中の穴について検出される不慮の異常に従ってこの
穴？考慮するための準リアルタイムでの制御に使用され
る。たとえば、板材の公差の’Ｆｌａの厚さかう上限の
厚さに１ｌＩ１間的に移行することはできないし、また
レーザ光の作用パラメータの不慮の偏差は例外的に瞬間
的にしか生じないことも容易に理解される。したがって
、補正調整は準リアルタイムでおこなわれ、それ故現に
加工中の穴についてではなく、次の穴についてだけ充分
に有効である。

レーザの作用パラメータの、準リアルタイムでのこの自
動制御全実施するため、これらのノ（ラメータの１つ（
とくに下記のいずれか）を選択制御することができる。

一パルスエネルギ ーパルスの持続時間 一集束点の位置 一パルス数 一パルス速度。

最も有利な解決は、通常、レーザ光の集束点の位置を操
作することにある。

この璋すアルメイム制御においては、たとえば好ましい
解決法で次の穴についてレーザ光の集束点の位置を修正
する危め考慮さｎるのは、とくにプログラム化され几最
終パルスの音＃信号であることをよ＜４１′Ｉｓすべき
である。制御作動ｔ−”準すアアルメイム”と記したの
はこのためであって、実際に、このパルスまたは先行の
パルスの特性を修正するためプログラム化された最終の
穴に関する情報葡使用することは、この場合実際上不可
能であって、穴あけおよび穴の誤差修正はこれらの特性
によって徐々に決定さ扛る。この装置が１または数種の
穴あけ特性の修正を可能にするのは、後続の穴について
だけである。この１異常”によってあられされた事柄の
変化の鈍さを考慮すれば、容認しうる品質の多孔部材葡
得るために多くの場合充分でるる。

しかし、さらに改良された変型例では、この穴あけ・誤
差修正装置のパラメータをリアルタイムで（もはや準リ
アルタイムではなくン制御することができる。従っても
はやコンバレー／２０のレミルを操作するのでなく、各
パルスについての、第１．第２１等々・・・第ｎ　−１
およびｎ番目のパルスについての指標レベルに相対する
比較によって、音響レベルフィルタ１３ｖｊ−操作すべ
きである。この場合、夫々のパルスについて生じる音響
のこの指標レベルに対する偏差が、瞬間エネルギ、持続
時間、集束点の位置ま几は速度等々のレーザ光の作用パ
ラメータの少くも１つｔ操作し、あるいはとくに有利で
あると考えられる変形例では、たとえば補足パルスを用
いてパルス数を操作することを可能にするであろう。

このパルス数の補足による操作の場合、レーザパルスの
衝撃数は、加工材と結びついた１座標系と同じ場所で補
足パルスを有効に生じうるために必要な予備を含んでい
る。以上説明した本発明の具体例では、通常穴の数は限
定されている。いくつかの場合には、加工すべき大の数
は連続しｆｃｉｔＬ列ｔなしてきわめて多く、経済面か
らみて、レーザパルスと同期化された加工材の自動移動
装置を用いる必要が感る。

個々の穴の加工・修正に対して数回のパルスが用いられ
るという、レーザによる多型式の穴あけ加工のためのこ
の種の自動移動および同期化装置を第４図に示す。この
装置は、第３図に機能が示されており、第４図には示さ
れていない本発明の装置に結合される。

第４図には、レーザ５１の制御筒５０が示される。この
レーザ５１はパルス発振形でも連続発振形でもよいが、
後者の場合は、レーザ光は当業者によく知られた手段、
たとえばシャッタによってパルス形に切断される。この
レーザ５１では、図示しない装置が加工材の表面上にパ
ルスを集束させる。焦点距離は周知の手段によって調節
され、レーザ光５２は少くとも１個のミラー５３によシ
５２′に従って送られる。きラー５３は周知の方法で結
ｔｓｓｓ’により多型式を加工される材料の移動に同期
化される。図示の例は燃焼室の回転部材５４で、図示し
ない軸受を備えた工具で両端上支持されており、たとえ
ば電気モータ５５によシ、減速装置たとえば輪列５６に
介して回転される。

好ましくは、多型式が加工される材料の運動およびレー
ザパルスとのミラー５３０図示しない同期化は下記のよ
うにおこなわれる。

通常、誤差修正に使用される最後から２番目のパルスま
些は最後のパルス（検査の役割を釆す〕について、ミラ
ーはその下流側で光軸５２が加工材に対して垂直ｔなす
ように方位決定される。夫夫の先行パルスについて（や
む奮えなければ後続のパルスノ、ミラー５３と加工材５
４の同期化は、パルスの衝撃ｔ１加工材と結びついた１
座標系内で加工材上の最後から２番目のパルス（または
最後の）と同じ衝撃点に位置させるためにおこなわれる
。この同期化装置は次のように説明することができる。

加工材に対して画直なレーザパルスに対して、「進相」
は鏡の同期化回転に工夛生じる。

この進相値は、衝撃の速度、加工材の移動速度、加工材
に対する衝撃の序数に左右される（加工表面に対して光
軸が垂直な光束による衝撃の後に１または数回の衝撃が
ある場合は「遅延相」である）。

もちろん、ミラーは１つの穴に対応す４　パルス列の第
１番目のパルスに対する適正位置から回転して、次の穴
の最初の位置に戻る。

当業者に周知のこの方法は、理論的には視誤差に比較し
うる不良を生じるが、衝撃の速度（当面の場合では１秒
に２０−５０回以上であり、かつこの速度の増加をさま
たげるものは何もない）と、加工材の比較的遅い移動速
度とｔ考慮すｎば、これらの不良は完全に無視しうる。

論理レベλに達するために処理される、第３図の計算機
２３によって得られるようなｆ＃倍信号、制御箱５０に
周知の方法で送られ、制御箱は必要な場合には、レーザ
の作用パラメータの少くとも１つを結線５７によって修
正する。

【図面の簡単な説明】

第五図は、レーザ光の照射によって大めけされる材料か
ら発する音４１１信号の一例の説明図、第２図は、第１
の穴（図の左部分）、第２の穴（図の中央ハ第ｎ番目の
穴（図の右部分）および４個のパルスによる穴あけおよ
び誤差修正全目的としてレーザパルスおよび被加工材料
かう発する音響信号のダイヤグラムの説明図、第３図は
、音響信号の処理工程の機能を示すブロック図、第４図
は、多数のマルチプル・パーホレーションを有する被加
工材料の穴あけ加工に本発明全適用するための装置の説
明図である。 １１・・・ｆ＃センチ、１２・・・ろ波器、１３・・・
振幅フィルタ、１５・・・第１変換器、１７・・・第２
変換器、１８・・・レジスタ、１９・・・メモリ、２０
…コンパレータ、２１・・・記録調子、２２・・・＃′
Ｉ−数・表示系子、２３・・・計ＪＩ１．機。 ｒｔｍ八弁へＩ士今　村　元 ｒつ ぐ 第１頁の続き ０発　明　者　ジャン−ポール・ルイ フランス国７７５５０モヮシ・クラ マイエル・リュ・ビニール−キ ユリ９３ ０発　明　者　ジョルジュ・ナルシ フランス国７７０００ムーラン・ス フワール・ドウ・ボールガール

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１７エレメント上へのレーザ光の衝突によって生じる
   音響４８号をこのエレメントの近傍で受信し、さらにこ
   の信号の特性を処理チェーン内で分析するレーザによる
   エレメントの穴あけ加工法において、少くとも下記の段
   階： 所定限界値に対する信号の振幅ｐ波、 信号の論理形式化、 比較として、レーザによる各衝撃に対応する第２信号の
   発出、 第２信号の論理形式化、 ２つの信号の位相化、 各穴あけに必要な衝撃に対応する信号の記憶化、記録値
   について得られる信号の比較、 次に、比較結果の形式化と処理過程への補足段階の追加
   、 夫々の穴の正確な穴あけおよび補正の調整手段となる結
   果の表示と記録 かうなるレーザによる穴あけ加工法。 （２）　前記のエレメント上へのレーザ光の衝突によっ
   て生じ、このエレメントの近傍で受信される音響信号の
   処理チェーンの最初の段階が前記信号の周波数戸波から
   なる特許請求の範囲第１項に記載のレーザＩｃよる穴あ
   け加工法。 （３）　前記のレーザの作用パラメータの少くとも１つ
   が１Ｍ！Ｊ、が不正確と判定される表示に対応する操作
   者の手動的操作によって補正ｄれる％許請求の＃Ｆ８第
   １項または第２項に記載のレーザによる穴あけ加工法。 （４）　前記処理過程に対し、下記の補足段階二レーザ
   制御計算機への調整結果の伝送、レーザの作用パラメー
   タの少くとも１つの自動補正 を付加する特許請求の範囲第１項ま几は第２項に記載の
   レーザによる穴あけ加工法。 ｆ５１　繭ｉＱの自動補正がレーザ光の焦点の位置に対
   しておこなわれる特許請求の範囲第４項に記載のレーザ
   による穴あけ加工法。 （６）前記の処理チェーン内で分析される音響信号の特
   性が音の強さまたは音のレベルである特許請求の範囲第
   １項乃至第５項のいずれかに記載のレーザによる穴あけ
   加工法。 （７）　曲１己のレーザの作用パラメータの少くとも１
   つ′の補正がもっばら後続の穴についてのみ開始される
   特許請求の範囲第４項乃至第６項のい丁れかに記載のレ
   ーザによる穴あけ加工法。 （８）　前記の自動補正が、後続の穴への移行開始以曲
   に、加工中の穴を穴あけおよび修正するための補足パル
   スを生じ、レーザの作用のリアルタイム制御ｔ−得るこ
   と全許容することに１９成る特許請求の範囲第４項に記
   載のレーザによる穴あけ加工法。 （９）　少くとも下記の素子： エレメントの近傍に配置されており、音響信号を発出す
   る音響センサ、 一定範囲の限界値に対する信号の音響レベルの振幅フィ
   ルタ、 ０”および１″の形での信号の論理形式化をおこなうア
   ナログ−ディジタルタイプの第１変換器、 レーザから発し、レーザ光のパルスに対応する信号？処
   理するアナログ−ディジタルタイプの第２変換器、 第１および第２変換器から送られる信号の位相化をおこ
   なうレジスタ、 レジスタ内で作らｔ’ＬｆｃｆＷ＠に貯蔵するメモリ、
   およびレジスタから送りｔ′Ｌ九信号を記録値と比較す
   るコンパレータ、 レジスタから送られた信号ｔｇＣ録値と比較するコンパ
   レータ、 エレメントを穴あけ・修正する几めに必要なパルスの理
   論数をあられす記録値をコンで（レータに付与する記録
   素子、 コンパレータの出力信号を受取る表示・針数素子 を包有する特許請求の範囲ｙ４１項に記載の方法実施の
   ためのパルス型のレーザによるエレメントの穴あけ加工
   装置。 （１１前記の音響センサおよび振幅フィルタ間に信号の
   周波数フィルタ會包有する特許請求の範囲第９項に記載
   のレーザによる穴あけ加工装置。 αυ　前記のコンパレータの出力信号を受取る制御計算
   機をも民有しており、この信号から得られた結果に対し
   てレーザの作用パラメータの少くとも１つｔ従属せしめ
   る％ｆｆ請求の範囲第９項または第１０項に記載のレー
   ザによる穴あけ加工装置。