JPS60107749A - 光ディスク検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ビデオディスク等の光ディスクのゴミ、欠陥
等によるドロップアウトを検査する光デイスク検査装置
に関するものである。

従来例の構成とその問題点 光ディスクにおいては、製造工程上でのゴミの付着や欠
陥等によるドロップアウトが光ディスクの品質を左右す
るため、ドロップアウトの検査が重要である。光ディス
クの製造工程は、第１図に示すような４つの工程よりな
る。第１の工程は光ディスクの原盤を作成する工程で、
普通ガラス円板にフォトレジストを塗布し、それに高パ
ワーのレーザーを照射して情報トラックあるいはトラッ
クアドレス用の溝を形成する。第２の工程はスタンバ工
程で、原盤にニッケル等の電鋳によってスタンバディス
クを作成する。第３の工程はレプリカ工程で、スタンバ
ディスクから紫外線硬化樹脂や射出成形等により情報ト
ラックを写し取り大量のレプリカディスクを作成する。

第４の工程は蒸着工程で、レプリカディスクに記録用光
ディスクの場合は記録材料を蒸着し、再生専用光ディス
クの場合はアルミを蒸着する。以上の４つの工程をへて
光ディスクは完成するが、それぞれの工程においてゴミ
の付着や欠陥が生じ光ディスクのドロップアウトになる
。

以下に従来のドロップアウトを検査する光デイスク検査
装置について説明する。

第２図は従来の光デイスク検査装置の一例の概略図を示
すものであり、１はレーザー光源で半導体レーザーより
なり一定光量のレーザー光を発光する。２はコリメータ
レンズでレーザー光源１からのレーザー光を平行光にす
る。３は偏光ビームスプリッタ、４はλ／４波長板であ
る。５は対物レンズ、６は対物レンズ５をフ１−カス及
びドラッギング方向に動作させる光学ピックアップであ
り、ボイスコイルモータ等の既知の駆動手段にて構成さ
れる。７は検査用光ディスク（以下ディスクと呼ぶ）で
ある。８はハーフミラ−でディスク７からの反射光を分
割する。９は集光レンズ、１０は分割ミラーである。１
１はフォーカス制御用光検出器で２分割の光検出器より
構成され、各々の光検出器の差動出力にて７お一カス誤
差信号をイ！Ｊ、珠だ、光検出器の和出力よりフォーカ
ス和信号を得る。１２はフォーカス制御回路で１１のフ
ォーカス狂信シ号にてフォーカス系のループゲインを制
御し、フォーカス誤差信号より光学ピックアップ６をフ
（−カス方向に動作させる。１３はトラッキング制御用
光検出器で）］−カス制御用光検出器１１と同様な構成
にてトラッキング誤差信号およびｌ・ラッギング和信号
を得る。１４はトラッキング制御回路で１２と同様な構
成にて、１３のトラッキング和信号にてトラッキング系
のループゲインを制御し、トラッキング誤差信号より光
学ピックアップ６をトラッキング方向に動作させる。

１５は光検出器でディスク７からの反射光を受光する。

１６はドロップアウトコンパレータ回路で光検出器１５
からの信号をドロップアウト検出電圧と比較し、ドロッ
プアウトを検出する。１７はドロップアウトカウンタ回
路でドロノプアウトコンパレ〜り回路１６からの信号を
カウントしてドＯノブアウト数を表示する。なお、図中
の光学系部に記載し／ζ矢印はレーザー光路を示してい
る。

以上のように構成された従来の光デイスク検査装置につ
いて、以下その動作について説明する。

レーザー光源１から出たレーザー光はコリメータレンズ
２を通過し平行光となり偏光ビームスプリッタ３、λ／
４波長板４を介し、対物レンズ６によりディスク７（で
形成された情報トラックに集光される。この時、ディス
ク７の情報トラックは面振汎及び偏芯をともなって回転
しているので、所定の１ｒ′１報トランク筑レーザー光
を集光させるために、後述する）Ａ−カス誤差信号及び
トラッキング誤差信号に基づいた駆動電圧を光学ピック
アップ６Ｖこ加えて対物レンズ６をフォーカス及びトラ
ッキング方向に動作させ、レーザー光を所定のトラック
に追従させている。ディスク７がらの反射光は入射光路
と逆光路をたどシ、λ／４波長板４を２度通過すること
により入射光と９００偏光された光となり偏光ビームス
プリッタ３を直進して、ハーフミラ−８に入いる。反射
光はハーフミラ−８によって２方向に分かれ、一方は集
光レンズ９に他方は光検出器１６に入射すム集光レンズ
９を出た反射光は分割ミラー１０によって分割され、一
方はフォーカス制御用光検出器１１に集光され、他方は
ドラッギング制御用光検出器１３に集光さＩする。フォ
ーカス制御用光検出器１１及びトラッキング制御用光検
出器１３は２分割の光検出器より構成され、各々の光検
出器からの出力の差動を得ることによりフォーカス誤差
信号及びトラッキング誤差信号を作り出し、丑だ、各々
の光検出器からの出力の和信号よりフォーカス和信号及
びドラッギング和信号を作り出す。フォーカス誤差信号
を前述した光学ピックアップ６をノオーカス方向に駆動
しフィードバックするフォーカス制御回路１２ｉ／（て
フォーカス制御がなされる。さらに、）Ａ−カス制御回
路１２において、フォーカス制御用検出器１１のフォー
カス和信号より、前述のフオーカス系のフィードバック
制御のループゲインの制御がなされる。同様にトラッキ
ング制御用光検出器１３からの出力よりトラッキング制
御回路１４にて、トラッキング差動出力よりトラッキン
グ和信号を得て光学ピックアップ６をトラッキング方向
に駆動しフィードバックし、また、トラッキング和信号
にてフィードバックループゲインの制御を行ないトラッ
キング制御がなされ、所望の情報トラックに追従してい
る。一方、光検出器１６は１個の光検出器より構成され
、ディスク７の情報トラックからの反射光量に比例した
出力が得られる。例えばディスク７の情報トラックにゴ
ミが付着していればその部分での反射光量が減９、光検
出器１６には光量変化として検出される。この光検出器
１６からの出力をドロップアウトコンパレータ回路１６
に入力し、ドロップアウト検出電圧と比較してドロップ
アウトを検出し、しかる後ドロップアウトカウンタ回路
１７にてドロップアウト個数等を計数して表示する。

しかしながら上記のような構成では、レーザー光源１か
ら発光するレーザー光量が一定であり、かつドロップア
ウトコンパレータ回路１６のドロップアウト基準電圧が
一定であるため、同一の反射率からなる光ディスクでな
ければ、平均反射光量が異なり従ってゴミ、欠陥等によ
る光検出器１６の出力電圧も異なりドロップアウト計数
も変化し正しい検出が行なえないことになる。特に、光
ディスクのドロップアウトの原因は前述したように原盤
、スタンパ、レプリカ、蒸着の４つの工程でのゴミの付
着や欠陥によるものであり、各々の工程でのドロップア
ウトの出方が正確に把握できれば、工程の改善が容易に
行なえるが、一般には４つの工程におけるディスクの反
射率は異なっており、また、同一工程における反射率も
異なっておシ、従来の光デイスク検査装置では正しいド
ロップアウトの検出が不可能であり、的確なディスクの
評価、工程改善が行なえないという問題を有していた。

。 発明の目的 本発明は上記従来の問題点を解消するもので、反射率の
異なる原盤、スタ、ンパ、レプｖ　力、　Ｘｆｉの各工
程におけるディスク、′−１た、同一工程で反射率の異
なるディスクのドロップアウト検出を一台の装置にて正
確に行なえる光デイスク検査装置を提供することを目的
とする。

発明の構成 本発明は光デイスク上に形成された情報トランクからの
平均反射光量を検出し、平均反射光量に応じてドロップ
アウト検出レベルを制御するドロップアウト検出制御手
段を有する光ディスク、検査装置であり、光ディスクか
らの平均反射光量に応じてドロップアウト検出レベルを
制御することにより、反射率の異なる光ディスクのドロ
ップアウトを正確Ｖこ検査することができるものである
。

実施例の説明 第３図は本発明の第１の実施例における光デイスク検査
装置の概略図を示すものである。なお、第３図において
第２図と同一番号の部品は従来の構成と同一部品を示し
ており説明は省略する。第３図において、１８はローパ
スフィルタ回路で、光検出器１６からの出力の低周波成
分を取り出す。

１ｔａｕＡ／Ｄ変換回路で、ローパスフィルタ回路１８
の光検出出力のアナログ信号をデジタル信号に変換する
。２０はマイクロコンピュータ−（以下マイコンと呼ぶ
）で、本装置の制御を行なう。

２ｏのマイコンは、１９のＡ／Ｄ　ｆｉ換器より、ディ
スクＴの平均反射率を得て、演算を行ない、平均反射率
に対応したデータを設定する。２１はＤ／Ａ変換器で、
マイコン２０よシ出力された平均反射率に応じたデジタ
ル信号をアナログ信号に変換しドロップアウトコンパレ
ータ回路の検出電圧とする。

以上のように構成されたこの実施例の光デイスク検査装
置について、以下その動作を説明する。

レーザー光源１から発光したレーザー光が、光学系を介
して、ディスク７の情報トラックに追従している。ディ
スク７からの反射光が光検出器１６に入射し、光検出器
１６の出力はドロップアウトコンパレータ回路１６とロ
ーパスフィルタ回路１８に分配される。光検出器１６の
出力はローパスフィルタ回路１８を通過することにより
、ゴミ、欠陥等のいわゆるドロップアウト成分やディス
ク７の情報トラックにあるアドレス信号及びセクタ信号
等の高周波成分が除去され光ディスク７の情報トラック
の平均反射光量の電圧が出力される。この電圧を１９の
Ａ／Ｄ変換回路でアナログ信号をデジタル信号に変換し
、マイコン２ｏで、１９のＡ／Ｄ　変換されたデジタル
信号の１トラック分を読み取り、光ディスク７の情報ト
ラックの１トラック分の平均反射光量を演算し、また、
前記平均反射光量に応じたドロップアウト検出レベルを
算出したデジタル信号を２１のＤ／Ａ　変換器に出力す
る。Ｄ／八へ換器２１は、マイコン２ｏからのデジタル
信号をアナログ信号に変換し、ドロップアウトコンパレ
ータ回路１６の検出電圧となる。

すなわち、光ディスク７の情報トランクの平均反射光量
に応じたドロップアウト検出レベルでドロップアウトコ
ンパレータ回路１６にてドロップアウトの検出を行ない
、ドロップアウトカウンタ回路１７においてドロップア
ウト個数等を計数し検査することができる。

以」二のようにこの実施例によれば、光検出器１６の出
力をローパスフィルタ回路１８を通しＡ／Ｄ変換器１９
．マイコン２ｏにて検出し、検出信号に対応したドロッ
プアウト検出レベルを算出し、Ｄ／Ａ　変換器２１にて
変換することによシ、異なる反射率の光ディスク７から
の平均反射光量に対応したドロップアウト検出レベルを
設定することができるため、異なる反射率の光ディスク
７のドロップアウトを同一条件にて検査でき、また、光
デイスク製造工程における反射率の異なる原盤ディスク
、スタンパディスク、レプリカディスク。

記録材料蒸着後の完成ディスクのドロップアウトの検出
ができる。

上記実施例においては、光検出器１６を別（１６１に設
けだが、これを）Ａ−カス制御用光検出器１１あるいは
トラッキング制御用光検出器１３と兼用してもよい。こ
の場合、フォーカス制御用光検出器１１及びトラッキン
グ制御用光検出器１３０２分割の光検出器の和信号にて
代用する。

発明の効果 本発明の光デイスク検査装置は光デイスク上に形成され
た情報トラックからの平均反射光量を検出し、平均反射
光量に対応したドＯ−）プアウト検出レベルを制御する
手段を有することにより、反射率の異なる光ディスクの
ドロップアウトを同一条件下で検出できるため、光デイ
スク製造工程における反射率の異なる原盤ディスク、ス
タンバディスク、レプリカディスク、記録材料蒸着後の
完成ディスク各々のドロップアウトを一台の光デイスク
検査装置にて検査できるので光学系の相異等に起因する
ドロップアウトの出方のバラツキがなく正確な検査が行
なえ、完成ディスクの評価およびディスク製造工程のド
ロップアウトの要因が把握しやすく、その実用的効果は
大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は光ディスクの製造工程を示すブロック図、第２
図は従来例における光デイスク検査装置の概略図、第３
図は本発明の一実施例における光デイスク検査装置の概
略図である。 １・・・・・・レーザー光源、２・・・・・コリメータ
レンズ、３・・・・・・偏光ビームスプリッタ、４・・
・・・・λ／４波長板、６・・・・・・対物レンズ、６
・・・・・・光学ピックアップ、Ｔ・・・・・・光ディ
スク、８・・・・・・ハーフミラ−１９・・・・・集光
レンズ、１ｏ・・・・・・分割ミラー、１１・・・・・
・フォーカス制御用光検出器、１２・・・・・・フォー
カス制御回路、１３・・・・・・トラッキングｆｌｉｌ
Ｊ御用光検出器、１４・・・・・・Ｉ・ラッキング制御
回路、１５・・・・・・光検出器、１６・・・・・・ド
ロップアウトコンパレータ回路、１７・・・・・・ドロ
ップアウトカウンタ回路、１８・・川口−パスフィルタ
回路、１９・・・・・・Ａ／Ｄ　変換回路、２０・・・
・・・マイクロコンピュータ−１２１・・・・・・Ｄ／
Ａ　変換器、。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図 第２図 第３図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）　レーザー光を光学系を介して光デイスク上に形
   成された情報トラックに照射し、この情報トラックから
   の反射光を光検出器に受光して前記情報トラックのゴミ
   、欠陥等を検査するよう構成し。 前記情報トラックからの平均反射光を検出する手段と前
   記平均反射光に応じて前記情報トラックのゴミ、欠陥等
   を検出する手段を制御する検出制御子役を設けた光デイ
   スク検査装置。
2. （２）平均反射光を検出する手段を光検出器からの低周
   波成分を取り出すローパスフィルタ回路により構成した
   特許請求の範囲第１項記載の光デイスク検査装置。
3. （３）光検出器とし基レーザー光を光デイスク上の情報
   トラックに制御するためのフォーカス制御用光検出器あ
   るいはトラッキング制御用光検出器の少なくとも一方を
   兼用するようにした特許請求の範囲第１項または第２項
   記載の光デイスク検査装置。