JPS62174638A - 光記録媒体製造検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は蒸着あるいはスパッタリング方法で製造される
相変化型光記録媒体に反射率変化を起こし、前記光記録
媒体を記録及び消去が可能になる様にする（以下これを
初期化という）光記録媒体製造検査装置に関するもので
ある。

従来の技術 一般に、’ｒｅ酸化物を中心とする薄膜は、その形成時
には相対的に光学定数の小なる状態であるだめ、記録方
向として光学定数の大なる状態から小なる状態への変化
を使う場合には、ひとまず薄膜の光学定数を大なる状態
へ変えておくことが必要である。従って前記薄膜を使っ
た光記録媒体を製造するには光記録媒体製造装置で初期
化する必要がある。前記初期化は、光学式記録再生装置
で１トラツクずつ行うことも可能であるが処理時間が多
くかかるので、ディスク製造時に初期化専用装置を用い
ることが有効である。

従来の記録媒体製造装置では、例えば特開昭６０−１０
６０３１号公報に示されているように、光学定数ｎ、に
等を大なる状態から小なる状態、あるいは小なる状態か
ら犬なる状態へと、いずれの方向でも情報記録又は消去
可能である光記録媒体に大パワーで連続出力のレーザー
光を幅広くディスク上に照射し、光ディスクの全面を高
速に光学常数が高い状態に変化させることにより光記録
媒体を初期化していた。

発明が解決しようとする問題点 しかしながら、この装置では欠陥検査のため再度ディス
クを走査しなければならない。従って、ディスク製造工
程としてはリスクが生じ、コストアップになるという問
題点があった。

問題点を解決するだめの手段 本発明は反射率の変化を利用して情報を記録及び消去で
きる相変化型光記録媒体に、反射率変化を起こす所定の
パワー密度を有し複数トラックにまたがる第１のビーム
を照射する第１の光学系と、フォーカス、トラッキング
制御及び欠陥を検出する信号を導く第２の光学系とを備
え、前記第１のビームで前記光記録媒体に反射率変化を
起こすと同時に前記第２の光学系にて反射率変化後の欠
陥検査をするものである。

作　　用 本発明は上記した構成により、所定のパワー密度を有し
複数トラックにまたがる第１のビームを相変化型光記録
媒体に照射することによって前記光記録媒体の全面に反
射率変化を起こし高速に前記光記録媒体を初期化すると
同時に、７オーカス、トラッキング制御及び欠陥を検出
する信号を導く第２の光学系にて反射率変化後の欠陥検
査をし、ディスク製造工程のリスクを少なくできる。

実施例 図は本発明の実施例を示した図であり、１はレーザー光
源で一定光量のレーザー光を発光する。

２はコリメータレンズでレーザー光源１からのレーザー
光を平行光にする。３は偏光ビームスプリッタ。４はＡ
／４波長板である。６はハーフミラ−である。６は対物
レンズ、７は対物レンズ６をフォーカス及びトラッキン
グ方向に動作させる光学ピックアップであり、ボイスコ
イルモータ等の既知の駆動手段にて構成される。８はデ
ィスクである。９はハーフミラ−である。１０は光検出
器でディスク８からの反射光を受光する。１１は集光レ
ンズ、１２は分割ミラーである。１３はフォーカス制御
用光検出器で２分割の光検出器より構成されている。１
４はトラッキング制御用光検出器でフォーカス制御用光
検出器１３と同様な構成である。１５はＡｒレーザーで
ある。１６はコリメータレンズでレーザー光源１６から
のレーザー光を平行光にする。１７は情報を記録するト
ラック溝、１８はレーザー光源１からのレーザー光でデ
ィスク８上に形成された約φ１μｍのビーム、１９はレ
ーザー光源１６からのレーザー光でディスク８上に形成
された複数トラックにまたがるビームである。

以上のように構成された光記録媒体製造検査装置につい
て以下その動作について説明する。レーザー光源１から
出たレーザー光はコリメータレンズ２を通過して平行光
となり偏光ビームスプリッタ−３、′／４波長板４を介
し、・・−フミラー６で反射させ対物レンズ６の光軸か
らずらせて対物レンズ６に入射させディスク８上に約φ
１μｍのビームを形成する。ここでディスク８は面振れ
及び芯振れをともなって回転しているので、所定の情報
トラックにレーザービーム１８を集光させるために、後
述するフォーカス誤差信号及びトラッキング誤差信号に
基づいて光学ピックアップ７に駆動電圧を印加して対物
ンンズ６をフォーカス方向及びトラッキング方向に動作
させ、レーザー光を所定のトラックに追従させている。

ディスク８からの反射光は入射光路と逆光路をたどり、
′／４波長板４を２度通過することにより入射光と９０
’偏光された光となり偏光ビームスプリッタ３で分離さ
れ、ハーフミラ−９によって２方向に分かれ、一方は光
検出器１ｏに他方は集光レンズ１１に入射する。集光レ
ンズ１１を出だ反射光は分割ミラ−１２によって分割さ
れ、一方はフォーカス制御用光検出器１３に集光され、
他方はトラッキング制御用光検出器１４に集光される。

フォーカス制御用光検出器１３及びトラッキング制御用
光検出器１４は２分割の光検出器より構成され、各々の
光検出器からの差動出力によりフォーカス誤差信号及び
トラッキング誤差信号を作り出す。これらの誤差信号を
前述した光学ピックアップ７に駆動電圧を印加すること
によりフォーカス制御及びトラッキング制御がなされる
。一方レーザー光源１５から出たレーザー光はコリメー
タレンズ１６を通過してハーフミラ−６を介して対物レ
ンズ６に入射させ、ディスク８上に複数トラックにまた
がるビーム１９を形成する。前記ビーム１８にて所定の
情報トラックにトレースさせ、前記ビーム１９において
前記光記録媒体の反射率変化を起こすと同時に前記光検
出器１０にて反射率変化後の欠陥検査をする。ここでビ
ーム１８は所定の情報トラックを１回転トレースした後
接数トラフクジャンピングする様にし、前記光記録媒体
の全面にわたって一様にかつ高速に反射率変化をさせ、
同時に反射率変化後の欠陥検査を可能にしている。

発明の効果 以上述べてきたように、本発明によれば相変化型光記録
媒体の反射率変化と同時に反射率変化後の欠陥検査が可
能となるので、ディスク製造リスクが小さくなりコスト
ダウンを図ることができ光記録媒体製造検査装置として
は極めて有効である。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例における光記録媒体製造検査装置
の原理図である。 １．１５・・・・・・光源、２，１６・・・・・・コリ
メータレンズ、３・・・・・・偏光ビームスプリッタ、
４・・・・・・λ／４波長板、６．９・・・・・・ハー
フミラ−１６・・・・・・対物レンズ、７・・・・・・
光学ピックアップ、８・・・・・・光ディスク、１０・
・・・・・欠陥検査用光検出器、１１・・・・・・集光
レンズ、１２・・・・・・分割ミラー、１３・・・・・
・フォーカス制御用光検出器、１４・・・・・・トラッ
キング制御用光検出器、１７・・・・・・情報トラック
、１８・・・・・・光源１で形成された約φ１μｍのビ
ーム、１９・・・・・・光源１５で形成された複数トラ
ックにまたがるビーム０ 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名す劃
ミラー

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）反射率の変化を利用して情報を記録及び消去でき
   る相変化型光記録媒体に、反射率変化を起こす所定のパ
   ワー密度を有し複数トラックにまたがる第１のビームを
   照射する第１の光学系と、フォーカス、トラッキング制
   御及び欠陥を検出する信号を導く第２の光学系とを備え
   たことを特徴とする光記録媒体製造検査装置。
2. （２）第１のビームで光記録媒体に反射率変化を起こす
   と同時に第２の光学系にて反射率変化後の欠陥検査をす
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光記録
   媒体製造検査装置。
3. （３）欠陥検査の手段として、あるトラックを１回転ト
   レースして、第１のビームで反射率変化を起こすと同時
   に第２の光学系で前記トラックの欠陥検査をした後、前
   記第１のビームの照射にて反射率変化を起こすトラック
   本数分以内のジャンピングをし、トラックを１回転トレ
   ースして前記操作を繰り返すことを特徴とする特許請求
   の範囲第１項または第２項記載の光記録媒体製造検査装
   置。