JPS6010640A - 半導体ウエ−ハ収納容器の移送装置 - Google Patents
半導体ウエ−ハ収納容器の移送装置Info
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- JPS6010640A JPS6010640A JP11852083A JP11852083A JPS6010640A JP S6010640 A JPS6010640 A JP S6010640A JP 11852083 A JP11852083 A JP 11852083A JP 11852083 A JP11852083 A JP 11852083A JP S6010640 A JPS6010640 A JP S6010640A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、半導体ウェーハを複数枚収納する収納容器を
−の工程から他の工程へ移送する場合等に用いられる移
送装置に関する。
−の工程から他の工程へ移送する場合等に用いられる移
送装置に関する。
半導体装置（トランジスタ、ダイオード、ＬＳＩ等）の
製造装置に半導体ウェーハ（以下、ウェーハ）を自動的
に供給する場合、まず収納容器ごと移送し、次いで各収
納容器からウェーハを１枚ずつ取出して供給するという
方式が採られる。
製造装置に半導体ウェーハ（以下、ウェーハ）を自動的
に供給する場合、まず収納容器ごと移送し、次いで各収
納容器からウェーハを１枚ずつ取出して供給するという
方式が採られる。
第１図、第２図に従来の移送装置の例を示す。
第１図において、ベルトコンベア等の供給ライン１に一
定の順序で配列された収納容器２が順次直列に送られて
くる。収納容器２は、第３図に示すように、一方が開口
された棚状に形成されており、１つの収納容器に複数枚
（例えば、２５枚程度）のウェーハ３が収納されるよう
になっている。表面の材質はウェーハ３に傷をつけない
ようにするためテフロン（商品名）とすることが一般的
であるＯ 供給ライン１の終端に到達した収納容器２は移載装置４
により中継テーブル５上に移載される。
定の順序で配列された収納容器２が順次直列に送られて
くる。収納容器２は、第３図に示すように、一方が開口
された棚状に形成されており、１つの収納容器に複数枚
（例えば、２５枚程度）のウェーハ３が収納されるよう
になっている。表面の材質はウェーハ３に傷をつけない
ようにするためテフロン（商品名）とすることが一般的
であるＯ 供給ライン１の終端に到達した収納容器２は移載装置４
により中継テーブル５上に移載される。
この中継テーブル５は収納容器２内のウェーハ３の収納
ピッチ（相対間隔）に対応するピッチで順次下降し、例
えばフォーク状の取出し装置（図示せず）によりウェー
ハ３を１枚ずつ又は複数枚同時に取出して、次の受給ラ
イン６に移載するようになっている。
ピッチ（相対間隔）に対応するピッチで順次下降し、例
えばフォーク状の取出し装置（図示せず）によりウェー
ハ３を１枚ずつ又は複数枚同時に取出して、次の受給ラ
イン６に移載するようになっている。
移載されたウェーハ３ａは受給ライン６により半導体装
置の製造装置（図示せず）の方へ送給され、空になった
収納容器２ａは回収用の移載装置（例えば、油圧シリン
ダ等）により、回収ライン７に移され、回収ライン７に
より回収される。
置の製造装置（図示せず）の方へ送給され、空になった
収納容器２ａは回収用の移載装置（例えば、油圧シリン
ダ等）により、回収ライン７に移され、回収ライン７に
より回収される。
次に、第２図の場合もほぼ同様であるが、第１図と異な
るのは、供給ライン１と回収ライン７が同一のラインで
構成され、供給ライン１の終端に油圧シリンダ等の移載
装置８と横送り機構９を設けて各ウェーハを受給ライン
６に移載するようにした点である。
るのは、供給ライン１と回収ライン７が同一のラインで
構成され、供給ライン１の終端に油圧シリンダ等の移載
装置８と横送り機構９を設けて各ウェーハを受給ライン
６に移載するようにした点である。
上記しだいず乙の移送装置においても、収納容器２は直
列に並んで運ばれてくるため、製造装置への供給順序は
供給ライン１に載置さｎた時点で決定され、その後の変
更は不可能である。そのため、ロフトの変更等により処
理順序を変更する必要が生じた場合や至急処理する必要
が生じた場合に、対応することができないという、優先
処理の点で問題があった。
列に並んで運ばれてくるため、製造装置への供給順序は
供給ライン１に載置さｎた時点で決定され、その後の変
更は不可能である。そのため、ロフトの変更等により処
理順序を変更する必要が生じた場合や至急処理する必要
が生じた場合に、対応することができないという、優先
処理の点で問題があった。
そこで、本発明は供給するウェーハの順序を自由に変更
しうる移送装置を提供することを目的とする。
しうる移送装置を提供することを目的とする。
穐
上記目的を達成するために、本発明による半導体ウェー
ハ収納容器の移送装置は、 供給ライン１と受給ライン６との中継部に、そｎぞれ前
記半導体ウェーハ収納容器２を載置可能であり、かつ、
少なくとも２個以上互に独立してその配列順序を任意に
変更して移動可能に設けられたテーブルと、 前記中継部において供給ライン１の終端から前記テーブ
ルに前記半導体ウェーハ収納容器２を移載する装置と、 前記テーブルから受給ライン６の始端部に半導体ウェー
／・３を１枚ずつ又は複数枚を前記半導体ウェーハ収納
容器２から取出して移載する装置と、前記テーブルから
空の半導体ウェーハ収納で器を回収する回収ライン７に
移載する装置と、を備えたことを特徴とするものである
。
ハ収納容器の移送装置は、 供給ライン１と受給ライン６との中継部に、そｎぞれ前
記半導体ウェーハ収納容器２を載置可能であり、かつ、
少なくとも２個以上互に独立してその配列順序を任意に
変更して移動可能に設けられたテーブルと、 前記中継部において供給ライン１の終端から前記テーブ
ルに前記半導体ウェーハ収納容器２を移載する装置と、 前記テーブルから受給ライン６の始端部に半導体ウェー
／・３を１枚ずつ又は複数枚を前記半導体ウェーハ収納
容器２から取出して移載する装置と、前記テーブルから
空の半導体ウェーハ収納で器を回収する回収ライン７に
移載する装置と、を備えたことを特徴とするものである
。
以下、図面に基づいて本発明による半導体ウェーハ収納
容器の移送装置の実施例について説明するＯ 第４図〜第１０図に本発明の実施例を示す。なお、これ
らの図において第１図〜第３図と同等のちのには同一の
符号を付して以下説明する。
容器の移送装置の実施例について説明するＯ 第４図〜第１０図に本発明の実施例を示す。なお、これ
らの図において第１図〜第３図と同等のちのには同一の
符号を付して以下説明する。
まず、第４図に第１の実施例を示す。供給ライン１と回
収ライン７は同一のラインで構成され、例えばベルトコ
ンベア等が用いられる。この供給ライン１の中継部Ｒの
側方には３列２行の移動位置（以下、ポジション）１０
ａ〜１０ｆをもった３個のテーブルＩＩＡ 、 ＩＩＢ
、 ＩＩＣが設けられている。
収ライン７は同一のラインで構成され、例えばベルトコ
ンベア等が用いられる。この供給ライン１の中継部Ｒの
側方には３列２行の移動位置（以下、ポジション）１０
ａ〜１０ｆをもった３個のテーブルＩＩＡ 、 ＩＩＢ
、 ＩＩＣが設けられている。
各テーブルＩＩＡ〜ＩＩＣは各１個の収納容器２をそれ
ぞれ載置可能であり、各ポジション１０ａ〜１０ｆを互
に独立して任意の位置に移動可能となっている。このテ
ーブル移動装置の例を第５図および第６図に示す。すな
わち、第５図は破線で示すテーブル１１を外して見た基
台１２０部分部分図、第６図はそのＶＩ・−ＶＩ断面図
である。基台１２にはテーブル１１を各ポジション１０
ａ〜１０ｆにガイドするためのガイドレール１３が設け
られており、このガイドレール１３に各テーブル１１の
下面に設けらｎたベアリング１４が嵌合されている。１
５はテーブル１１を所定の高さに支持するための支持ベ
アリングを示している。ざらに、テーブル１１の下面に
は基台１２に穿設された貫通孔１６を貫通して下方に延
在された垂下アーム１７が垂下されている。この垂下ア
ーム１７にはスライド溝１８がその下焔側が開放されて
設けら孔でいる。一方、隣接するポジション、例えば第
４図に対応して１０ｃと１．Ｏｄの中間部に相当する位
置に駆動装置２５が設置されている。この駆動装置２５
は例えば′直動モータを使用し、その回転軸に回動アー
ム１９が取付けられている。回動アーム１９の先端には
係合ピン２０が取付けら几、垂下アーム１７のスライド
溝１８に係合するようになっている。したがって、回動
アーム１９を図示する矢印の方向に回わすと、係合ピン
２０がスライド溝１８をスライドしつつテーブル１１が
ポジション１０ｃから１０ｂへ移動するこさができる。
ぞれ載置可能であり、各ポジション１０ａ〜１０ｆを互
に独立して任意の位置に移動可能となっている。このテ
ーブル移動装置の例を第５図および第６図に示す。すな
わち、第５図は破線で示すテーブル１１を外して見た基
台１２０部分部分図、第６図はそのＶＩ・−ＶＩ断面図
である。基台１２にはテーブル１１を各ポジション１０
ａ〜１０ｆにガイドするためのガイドレール１３が設け
られており、このガイドレール１３に各テーブル１１の
下面に設けらｎたベアリング１４が嵌合されている。１
５はテーブル１１を所定の高さに支持するための支持ベ
アリングを示している。ざらに、テーブル１１の下面に
は基台１２に穿設された貫通孔１６を貫通して下方に延
在された垂下アーム１７が垂下されている。この垂下ア
ーム１７にはスライド溝１８がその下焔側が開放されて
設けら孔でいる。一方、隣接するポジション、例えば第
４図に対応して１０ｃと１．Ｏｄの中間部に相当する位
置に駆動装置２５が設置されている。この駆動装置２５
は例えば′直動モータを使用し、その回転軸に回動アー
ム１９が取付けられている。回動アーム１９の先端には
係合ピン２０が取付けら几、垂下アーム１７のスライド
溝１８に係合するようになっている。したがって、回動
アーム１９を図示する矢印の方向に回わすと、係合ピン
２０がスライド溝１８をスライドしつつテーブル１１が
ポジション１０ｃから１０ｂへ移動するこさができる。
以上の構成を１組として、各隣接ポジションの間にそｎ
、ぞれ１台ずつ配置され、第４図でみれば各矢印の７ケ
所に設けられて全ポジション１０ａ〜１０ｆを任意に移
動できるようになっている。
、ぞれ１台ずつ配置され、第４図でみれば各矢印の７ケ
所に設けられて全ポジション１０ａ〜１０ｆを任意に移
動できるようになっている。
各テーブルが任意のポジションに位置したか否かは位置
検出″ｃｉ２１により検出される。位置検出器２１は、
第５図に示すように各ポジションに反射型光センサを設
ければよい。つまり、第７図に示すようにテーブル１１
の下面を反射面として発光素子２１Ａと受光素子２１Ｎ
３−を配置すわばよい。
検出″ｃｉ２１により検出される。位置検出器２１は、
第５図に示すように各ポジションに反射型光センサを設
ければよい。つまり、第７図に示すようにテーブル１１
の下面を反射面として発光素子２１Ａと受光素子２１Ｎ
３−を配置すわばよい。
また、回動アーム１９はテーブルが異る方向に移動する
場合には垂下アーム１７のスライド溝１８から離ｎ、移
動しようとする方向の溝（同じアーム１７にスライド溝
１８と直角方向に切られている）に上述の構成と同様に
駆動される他の回動アームが係合することになるが、そ
の場合に各回動アーム１９の位置を明らかにしておく必
要がある。そこで、回動アーム１９の位置検出器として
、第８図に示すように、回動アーム１９に連動する円板
２２を設け、その周縁に所定間隔で光を通す切欠２３を
設け、周縁を挾んで対向する発光素子２４Ａと２４Ｂか
らなる光センサを設け、このセンサの位置と回動アーム
１９の位置関係を予め定めておくことにより容易に回動
７−Ａ１９″現在位置を検出する０とが勢る・ １この
検出器は各ポジションに対応する駆動装置２５ごとに設
けられる。
場合には垂下アーム１７のスライド溝１８から離ｎ、移
動しようとする方向の溝（同じアーム１７にスライド溝
１８と直角方向に切られている）に上述の構成と同様に
駆動される他の回動アームが係合することになるが、そ
の場合に各回動アーム１９の位置を明らかにしておく必
要がある。そこで、回動アーム１９の位置検出器として
、第８図に示すように、回動アーム１９に連動する円板
２２を設け、その周縁に所定間隔で光を通す切欠２３を
設け、周縁を挾んで対向する発光素子２４Ａと２４Ｂか
らなる光センサを設け、このセンサの位置と回動アーム
１９の位置関係を予め定めておくことにより容易に回動
７−Ａ１９″現在位置を検出する０とが勢る・ １この
検出器は各ポジションに対応する駆動装置２５ごとに設
けられる。
さらに、中継部Ｒには供給ライン１の終端から各テーブ
ルＩＩＡ〜１１Ｃへ収納容器２を移載するための移載装
置２６が設けられている。移載装置２６さしては例えば
油圧（又は空気圧）シリンダを用い、ロッドの先端に収
納容器２に適合して円滑に移載するための保持具２７が
取付けらｎている。また、中継部Ｒにはこの移載装置２
６に隣接して空になった収納容器２ａを回収するための
回収装置２８が設けられている。この回収装置２８とし
て油圧シリンダを用い、ポジション１０ｆに移載さｎた
空の収納容器２ａを回収ライン７上に移載するようにな
っている。つまり、ロッドの先端に挾み装置２つあるい
はフォークなどを取付けて収納容器２ａを保持するよう
にすればよい。
ルＩＩＡ〜１１Ｃへ収納容器２を移載するための移載装
置２６が設けられている。移載装置２６さしては例えば
油圧（又は空気圧）シリンダを用い、ロッドの先端に収
納容器２に適合して円滑に移載するための保持具２７が
取付けらｎている。また、中継部Ｒにはこの移載装置２
６に隣接して空になった収納容器２ａを回収するための
回収装置２８が設けられている。この回収装置２８とし
て油圧シリンダを用い、ポジション１０ｆに移載さｎた
空の収納容器２ａを回収ライン７上に移載するようにな
っている。つまり、ロッドの先端に挾み装置２つあるい
はフォークなどを取付けて収納容器２ａを保持するよう
にすればよい。
次に動作を説明する。まず、各収納容器２が予め定めら
れた順序で移送されているものとする。
れた順序で移送されているものとする。
いま、ウェーハ３の移送１１コ序に変更があり、後から
くるウェーハを優先的に送る必要が生じたものとすると
、例えばポジション１０ａのテーブルＩＩＡに載置され
た収納容器２がポジションＩＱ ｃｍＫ ｔ”Ｔ！移動
さｎた後待機され、次にくる収納容器２をテーブルＩＩ
ｃにより受けたのちポジション１０ａ→１０ｂ→１０ｃ
→１０ｄの経路で移動し、各１枚ずつ受給ライン６に送
出する。空になった収納容器２のテーブル１１０は１．
Ｏｄ→１０ｅ→１０ｆと移動し、回収ライン７に移載さ
れる。なお、これは−例であり、各テーブル１１Ａ−１
１Ｃは各ポジション１０ａ〜１０ｆを相互に自由に移動
できるので、楠々のパターンで変更しうる。また、テー
ブルはＩＩＡ〜１１００３つで説明したが、少なくとも
１ケ所のポジションを空けておけば各テーブルは任意に
そのポジションを変更することができる。なお、ポジシ
ョン１０ｄにおいてウェーハ３ａを１枚ずつ受給ライン
６に移載する機構は従来と同様でよく、その他種々の構
造が考えらｎる。
くるウェーハを優先的に送る必要が生じたものとすると
、例えばポジション１０ａのテーブルＩＩＡに載置され
た収納容器２がポジションＩＱ ｃｍＫ ｔ”Ｔ！移動
さｎた後待機され、次にくる収納容器２をテーブルＩＩ
ｃにより受けたのちポジション１０ａ→１０ｂ→１０ｃ
→１０ｄの経路で移動し、各１枚ずつ受給ライン６に送
出する。空になった収納容器２のテーブル１１０は１．
Ｏｄ→１０ｅ→１０ｆと移動し、回収ライン７に移載さ
れる。なお、これは−例であり、各テーブル１１Ａ−１
１Ｃは各ポジション１０ａ〜１０ｆを相互に自由に移動
できるので、楠々のパターンで変更しうる。また、テー
ブルはＩＩＡ〜１１００３つで説明したが、少なくとも
１ケ所のポジションを空けておけば各テーブルは任意に
そのポジションを変更することができる。なお、ポジシ
ョン１０ｄにおいてウェーハ３ａを１枚ずつ受給ライン
６に移載する機構は従来と同様でよく、その他種々の構
造が考えらｎる。
以上のような一連の動作を行うためには、制御装置が必
要である。制御装置としては第９図（ａ）（ｂ）に示す
ようにマイクロコンピュータ３５を使用することができ
る。すなわぢ、当該移送装置における原則的な供給シー
ケンスをメモリ３０に設定しておき、これとは別にイン
タフェース３１を介して割込みプログラムをＲＡＭ３２
に書込むようにし、割込み信号が発生した時点でＤＭＡ
装置３４によりＲＡＭ３２の内容をＣＰＵ３３が優先的
に実行するようにすればよい。なお、割込命令の発生は
オペレータがキーボード（ＫＢ）操作により行うように
してもよいし、当該移送装置が全処理工程の一部として
の存在であｎば、全処理工程を制御するホストコンピュ
ータからの命令により行うようにしてもよい。その他プ
ログラムにより割込優先処理するように設定してもよい
。
要である。制御装置としては第９図（ａ）（ｂ）に示す
ようにマイクロコンピュータ３５を使用することができ
る。すなわぢ、当該移送装置における原則的な供給シー
ケンスをメモリ３０に設定しておき、これとは別にイン
タフェース３１を介して割込みプログラムをＲＡＭ３２
に書込むようにし、割込み信号が発生した時点でＤＭＡ
装置３４によりＲＡＭ３２の内容をＣＰＵ３３が優先的
に実行するようにすればよい。なお、割込命令の発生は
オペレータがキーボード（ＫＢ）操作により行うように
してもよいし、当該移送装置が全処理工程の一部として
の存在であｎば、全処理工程を制御するホストコンピュ
ータからの命令により行うようにしてもよい。その他プ
ログラムにより割込優先処理するように設定してもよい
。
以上の実施例では、供給ライン１から受給ライン６の入
口までは収納容器２ごとに移動させ、受給ライン６の直
前で１枚ずつのウェーッ・を送るようにしたが、これは
例えば第１０図に示すようにポジションを１．０ ａ〜
Ｌｏｇまで設け、そのうち］Ｏａ〜１０ｃを待機ポジシ
ョンとして用い、移載装置３６からテーブルに対して直
接１枚ずつ、あるいは所定枚数ごとに移載させるように
してもよい。
口までは収納容器２ごとに移動させ、受給ライン６の直
前で１枚ずつのウェーッ・を送るようにしたが、これは
例えば第１０図に示すようにポジションを１．０ ａ〜
Ｌｏｇまで設け、そのうち］Ｏａ〜１０ｃを待機ポジシ
ョンとして用い、移載装置３６からテーブルに対して直
接１枚ずつ、あるいは所定枚数ごとに移載させるように
してもよい。
また、各テーブル１１ Ａ −１１０の移動、ざらにポ
ジション１０ａ〜１０ｇの配置は平面的なものとして説
明したが、これを立体的に配置してもよく、さらにポジ
ションを必要に応じて増減することも可能である。
ジション１０ａ〜１０ｇの配置は平面的なものとして説
明したが、これを立体的に配置してもよく、さらにポジ
ションを必要に応じて増減することも可能である。
以上の通り、本発明によれば、半導体ウェーハ収納容器
の送給順序を必要に応じて自由に変更することができ、
極めて自由度の高い移送装置を提供することができる。
の送給順序を必要に応じて自由に変更することができ、
極めて自由度の高い移送装置を提供することができる。
その結果、生産効率を向上しうる。
第１図は従来の移送装置の構成を示す平面図、第２図は
従来の他の移送装置の例を干す平面図、第３図は半導体
ウェーハの収納容器を示し、（ａ）はその平面断面図、
（ｂ）は立面図、 第４図は本発明による移送装置の一実施例を示す平面図
、 １ 第５図は中継部におけるテーブルおよびテーブル駆動装
置の構造を示す平面図、 第６図は第５図のＶＩ−ＶＩ断面図、 第７図は位置検出器の例を示す断面図、第８図は回動ア
ームの位置検出器の例を示す断面図、 第９図はテーブル駆動装置の制御回路例を示すブロック
図で、（ａ）は概要図、（ｂ）は詳細図、第１０図は本
発明の他の実施例を示す平面図である。 １・・・供給ライン、２・−・半導体ウェーハ収納容器
、２ａ・・・空の半導体ウェーハ収納容器、３・・・ウ
ェーハ、３ａ・・・１枚のウェーハ、６・・・受給ライ
ン、７・・・回収ライン、１．０ ａ〜１０ｇ・・・ポ
ジション、１１Ａ〜１１Ｅ・−・テーブル、２６・・・
移載装置、２８・・・回収用移載装置。 出願人代理人 猪 股 清 第１図 第２図 第３図 第９図 （ａ） （ｂ） 第１０図
従来の他の移送装置の例を干す平面図、第３図は半導体
ウェーハの収納容器を示し、（ａ）はその平面断面図、
（ｂ）は立面図、 第４図は本発明による移送装置の一実施例を示す平面図
、 １ 第５図は中継部におけるテーブルおよびテーブル駆動装
置の構造を示す平面図、 第６図は第５図のＶＩ−ＶＩ断面図、 第７図は位置検出器の例を示す断面図、第８図は回動ア
ームの位置検出器の例を示す断面図、 第９図はテーブル駆動装置の制御回路例を示すブロック
図で、（ａ）は概要図、（ｂ）は詳細図、第１０図は本
発明の他の実施例を示す平面図である。 １・・・供給ライン、２・−・半導体ウェーハ収納容器
、２ａ・・・空の半導体ウェーハ収納容器、３・・・ウ
ェーハ、３ａ・・・１枚のウェーハ、６・・・受給ライ
ン、７・・・回収ライン、１．０ ａ〜１０ｇ・・・ポ
ジション、１１Ａ〜１１Ｅ・−・テーブル、２６・・・
移載装置、２８・・・回収用移載装置。 出願人代理人 猪 股 清 第１図 第２図 第３図 第９図 （ａ） （ｂ） 第１０図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 半導体ウェーハを収納した容器を一定の順序で移送する
移送装置において、 供給ラインと受給ラインとの中継部に、それぞれ前記半
導体ウェーハ収納容器な載置可能であり、かつ、少なく
とも２個以上互に独立してその配列順序を任意に変更し
て移動可能に設けらｎたテーブルと、 前記中継部において供給ラインの終端から前記テーブル
に前記半導体ウェーッ・収納容器を移載する装置と、 前記テーブルから受給ラインの始端部に半導体ウェーハ
を１枚ずつ又は複数枚を前記半導体ウェーハ収納容器か
ら取出して移載する装置と、前記テーブルから空の半導
体ウェーッ蔦収納容器を回収する回収ラインに移載する
装置と、を備えたことを特徴とする半導体ウェーハ収納
容器の移送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11852083A JPS6010640A (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | 半導体ウエ−ハ収納容器の移送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11852083A JPS6010640A (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | 半導体ウエ−ハ収納容器の移送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6010640A true JPS6010640A (ja) | 1985-01-19 |
Family
ID=14738649
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11852083A Pending JPS6010640A (ja) | 1983-06-30 | 1983-06-30 | 半導体ウエ−ハ収納容器の移送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6010640A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105895569A (zh) * | 2015-02-12 | 2016-08-24 | 株式会社迪思科 | 晶片处理系统 |
-
1983
- 1983-06-30 JP JP11852083A patent/JPS6010640A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105895569A (zh) * | 2015-02-12 | 2016-08-24 | 株式会社迪思科 | 晶片处理系统 |
| US10170379B2 (en) * | 2015-02-12 | 2019-01-01 | Disco Corporation | Wafer processing system |
| CN105895569B (zh) * | 2015-02-12 | 2020-10-09 | 株式会社迪思科 | 晶片处理系统 |
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