JPS60101715A - 磁気デイスク媒体 - Google Patents

磁気デイスク媒体

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JPS60101715A
JPS60101715A JP20806183A JP20806183A JPS60101715A JP S60101715 A JPS60101715 A JP S60101715A JP 20806183 A JP20806183 A JP 20806183A JP 20806183 A JP20806183 A JP 20806183A JP S60101715 A JPS60101715 A JP S60101715A
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JP
Japan
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film
magnetic disk
aminosilane
magnetic
lubricant
Prior art date
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Pending
Application number
JP20806183A
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English (en)
Inventor
Mitsutoshi Hoshino
星野 光利
Akira Terada
寺田 章
Shungo Sugawara
菅原 駿吾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
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Priority to FR8416969A priority patent/FR2554625B1/fr
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 不発8Aは、磁性膜を被覆する潤滑層が7ミノシラン化
合物展を介して該磁性膜上の無機シリコン化合物層と化
学結合し、固定化することにより潤滑層の均一化および
長期安定性を高めた磁気ディスク媒体に関する。
一般にスパッタディヌクなどの磁気ディスクの記録、再
生においてはコンタクト弓リート・ストップ方式(C8
S方式)が主に採用されている。皺C5S方式では操作
開始¥jまたれ停止時にはヘッドと磁気ディスク面とを
接触状態にし、磁気ディスクにIjT要の回転を与える
ことによりヘッドに浮上刃を与え、磁気ディスク面とヘ
ッド間に空気層を形成し、この状態で記録。
再生を行う。そのためl!触次状態の摩耗と磁気ディス
(とヘッド間の姿勢の変化がヘッドにかかる荷重を不均
一に名せヘッドおよび磁気ディスク表面に傷を主するこ
とがある。また潤滑剤のaI類により、ないしは七の塗
布量が多過ぎるとヘッドと磁気ディスク間の吸着力が異
常に大きくなり、そのため回転開始時または停止時にヘ
ッドの破壊と磁気ディスクの表面の損傷を招くヘッドク
ラッシュを起こす可能性がある。更に記録再生中に突発
的にヘッドが磁気ディヌクの媒体に接触し、ヘッドと磁
気ディス媒体間に大きな摩擦力が働き、ヘッドおよび磁
気ディスク媒体が破壊ちれることがしばしば起こる。こ
のような現象を防止しヘッドおよび磁気ディスク媒体を
保護するために磁性膜表面に潤滑層を形成することが行
なわれている。該gfR層として、従来スパッタディス
クの潤滑に、は次のような潤滑層が形成されて込る。即
ち、磁性腰上に無機レリコン化合物朧が設けられ、該膜
上にフッ素化カーボン系潤滑剤であるパー70ロボリエ
ーテル(例えば商品名クライトツクス五43AC又はA
D、フオブリンYR,Z)−Eたはカルボキシル基言有
ハーフ0ロボリエーテル(fil、tは商品名クライト
ツクス157Fs)6るいはシリコーンオイルなどを塗
布していた。しかし、パー70ロボリエーテルやシリコ
ーンオイルは磁気ディスク媒体の高速回転時にこれらの
潤滑剤が磁気ディスク媒体の中央部から外周部へ移行し
、@滑剤膜厚に偏よりか生じ・1.そのため前述したヘ
ッドと磁気デ1ヌク媒体間の摩耗、ヘッドクラッシュ、
衝突などを有効に防止できないという問題がある。また
、カルボキシル基含有フッ素化ポリエーテルの使用によ
っても無機シリコン化合物とカルボキシル基間が第1図
に示すように弱い水素結合によってM台場れているため
、@滑剤であるカルボキシル基含有フッ素化ポリエーテ
ルの磁気ディスク媒体表面への固定が十分になされず、
潤滑剤膜厚に偏よりが生じ、そのためヘッドと磁気ディ
スク媒体間の摩耗、衝突による損傷を有効に防止するこ
とができなかった。
本発明、はこのような従来の間辿点を解消した磁気ディ
スク媒体?I−提供するものであって、その構成は、磁
性膜の表面に無機シリコン化合物膜が形成された磁気デ
ィスク媒体におい工、該無機シリコン化合物膜の表面に
7・ミノシランが塗布され該アミノシランと無機シリコ
ン化合物膜とが組合反応により化学結合しアミノシラン
化合物膜が形成されると共に、更に該アミノシラン化合
物膜流面にカルボキシル基含有フッ素化カーボン系潤滑
剤が鳳布され、上記アミノシラン化合物との酸塩基反応
により化学結合した潤滑層が形成されることt−%黴と
する。
以下に本発明を図面に・基づいて詳細に睨明する。
第2図は本発明に係る磁気ディスク媒体の一例を示す断
面図であル、同図において、磁気ディスク媒体はアルミ
ニウム基&lと、その上に被覆されたアルマイト層2と
、該アルマイト層2の研摩面上に被覆されたFeを主成
分とする磁性膜3と、この磁性膜3上にスピンコーティ
ングおよび熱処理によって形成された無機シリコン化合
物膜4と、この無機シリコン化合物膜上に形成されたア
ミノシラン化合物膜5と、このアミノシラン化合物層5
上に塗布されたカルボキシル基含有フッ素化カーボン系
潤滑剤膜6とから構成され、該潤滑剤膜6が上記アミノ
シラン化合物膜5を介して無機シリコン化合物膜4と固
定的に結合した#滑層を形成している。
アルマイト層2を有するアルミニウム基板lは均一かつ
平滑な表面に仕上げられており、中心線平均粗さく0.
02μm程腿に加工されている。
次に無機シリコン化合物膜4はメトキシシランやエトキ
シシランなどのアルコキシシランのエタノールあるいは
エタノール系混合溶剤による溶液を磁気ディヌク媒体に
スピンコードした後熱処理して形成ちれる。該無機シリ
コン化合物M4の化学組成は5i(J、に近く、共有結
合からなる5i−0[合と、水素結合からなるS j−
OHe・・0結合が三次元的に網状に遅なった無機島分
子である。尚ここで実!ljIは共有結合を、破iは水
素結合をあられす。該無機シリコン化合物膜4の表面に
アミノシランが塗布され、該無機シリコン化合物と7ミ
ノシランとの脱水鰯合反応によりアミノシラン化合物1
1!5が形成される。第3図は無機シリコン膜上の7ミ
ノシランの配同状態を示す説明図である。アミノシラン
化合物と無機シリコンとの結合は次式(υに示すように
アミノアルコキシシラン(Nl2(CH2)2NH(C
H,)38i(0勾。
NHxccH2) 3si (OR)sなど。ここでR
はアルキル基葡示すJの加水分解物と無機シリ(コンの
シラノール基とが脱水組合反応を起こし、5i−0−8
i結合葡形成することにより終了了る。この反I5は常
温でも起こるが100℃〜200℃に加熱すれはより確
実に反応が進む。
1〜Hz (Ct(z ) s−S 1−OH十HO−
Si(エチル−r−アミノプロピルポリメトキシシラン
、r−7ミノブロビルボリエトキシシラン等が挙げられ
る。
次に上記アミノシラン化合物M5にカルボキシル基含有
フッ素化カーボン系潤滑剛腹6が塗布され、上記アミノ
シラン化合物と該潤滑剤との酸塩基反応により賦@滑剤
膜6と7ミノシラン化合物膜5とは化学的に結合する。
カルボキシル基含有フッ素化カーボン系潤滑剤としては
1、 l、 2− トリクロロ−1,2,2−)リフロ
オロエタン(フレオン113)などの遺E性、7ツ素化
溶剤中にカルボキシル基含有7ノ化カーボン(例えに商
品名クライトックス157Fsなど)を少量溶かしたも
のを用いれはよい。かがるカルボキシル基含有フッ化カ
ーボン系潤滑剤としてはパーフロロポリエーテル亘合体
、カルボキシル基含有パー70ロボリエーテルが挙げら
れる。尚該潤滑剤の塗布方法としてはヌビンコーティン
グ法、スプレー法、潤滑剤溶液へ浸漬する方法などによ
り行うことができる。該潤滑剤の塗iによりフッ化カー
ボン中のカルボキシル基とアきノシラン化合物が酸塩基
反応により容易に化学結合し、強固に磁気ディスク媒体
上に同定される。ここで第4嫡に、磁気ディスク媒体上
の7ミノシラン化合物(酌に化学的に結合したカルボ中
シル基せ有フッ化カーボン(すの配向状態を示す。カル
ボンM含有フッ化カーボン系潤滑剤はこのように、7ミ
ノ基と酸塩基反応によシ化学結合することにより周体化
し、磁気ディスク媒体の記録再生時の高速回転によって
も周辺部へ流れることにょる偏よりを生じず、そのため
、長期間にわたって安定な磁気ディスク媒体の走行vi
−達成することができる。また潤滑剤の化学的安定性も
増し、潤滑剤劣化による摩擦係数の増加、摩耗、衝突な
どによるヘッドおよび磁気ディスク媒体の損傷を確実に
防止できる。
因に、ヘッドと磁気ディヌク媒体間の80℃。
80%相対湿度下の放置時間に−る摩擦係数の変化を第
5図に示す。図中(J)は、アミノシラン塗布後カルボ
キシル基含有フン化カーボン系潤滑剤(商品名クライト
ックス157Fs )をさらに塗布した本発明に係る磁
気ディスク媒体でる力、1)は無機シリコン層上に単に
カルボキシル基含有フッ素化カーボン系潤滑剤を塗布し
た磁気ディスクの媒体である。グラフから明らかなよう
に1)に比べて<1)の放置時間による変化は非常に小
さく、**係数に影響するフッ素化カーボン糸詞滑剤の
化学的安定性が顕著に増加して^ることか判る。
以上説明したように、本発明によれは磁気ディスク媒体
上の無機シリコン属に7ミノシラン化合ql?Jを結合
し、さらにカルボキシAI基含有7ツ・素化カーボンに
@塩基反応により化学結合させて鈎滑層を形成すること
により、フッ素化カーボン系潤滑剤t−磁気ディスク表
向にgR固に結合させることができ、さらに#潤滑剤の
化学的安定性を増し、@滑剤劣化による#4?I#性能
の低下を押えることができる。このため、ヘッドと磁気
ディスク媒体間の摩耗を少なくシ、ヘッドの衝突による
is、倶湯を抑えることが出来るため、磁気ディスク媒
体の長期間にわたる高信頼性の走行上行なうことができ
る利点がめる。
【図面の簡単な説明】
m1図はカルボキシル基含有フッ素化カーボン系潤滑剤
の無機シリコン化合物膜上の配向状態を示す説明図、第
2図は本発明の磁気ディスり媒体の実施例を示す断面囚
、第3図はアミノシラン化合物の無機シリコン化合物膜
上の配回状態を示す説明図、第4図はアミノシラン化合
物上にカルボキシル基官有7ツ索化カーボンが赦埴基反
応により軸合した無機シリコン化合物膜上の配向状態を
示すPJ!!、BA図、第5図は本発明に係る磁気ディ
スク媒体中と比較例の鍼気ディスク媒体叩とを80℃、
80%相対湿に下に放置した時のg捺保数の放置時間に
よる変化を示したグツ7でめる。 図 甲、 (1)にカルボキシル基宮石フッ素化カーボン、(11
)は無機シリコン化付物膜茨面、(111°ンは無機シ
リコン化合物、 (1■)はアミノシラン化付物、 実線は共五鰯合を示し\ 破#は水素結−fk示す。 1a@*アルミニクム基板 2・嘩・アルマイト層 3・・@磁性膜 4φ・・無機シリコン化合物膜 5・・−7ミノシラン化合物腹 6・e−カルボキシル赫官有フッ素化カーボン:ir−
、潤fft剤展 %許出願人 日本’4t 4K N、 #;公社 代 理 人 弁理士元 石 士 部 (他1名〕 第1図 第2図 第3図 H2 (CH2)2 H 第4図 (CH2)3 第5図 かlり時間(日) 手続補正書 昭和59年8月15日 特許庁長官殿 1事件の表示 昭和58年特許願第208061号 2、発明の名称 磁気ディスク媒体 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 東京都千代田区内幸町1丁目1番6号 (422)日本電信電話公社 代表者 貿 緩 行 4、代理人 郵便番号107 東京都港区赤坂−丁目9番15号 日本短波放送会館 6、補正の対象 ■ 明細書の「特許請求の範囲」および「発明の詳細な
説明」の欄 0図 面 7、補正の内春 ■ 明細書第1頁第5行目から同頁最下行目に記載する
特許請求の範囲を別紙1の通り訂正する。 ■ 明細書第3真下から5行目の記載「フオブリン」を
「フオンブリン」と訂正する。 ■ 明細書第4頁第12行目の記載「・・・なされず、
潤滑剤・・・」を次のように訂正する。 「・・・なされず、そのtこめ蒸発による潤滑剤の消失
を防ぐことができなかっtこ。又、高速回転時潤滑剤・
・・」 ■ 明細書第6頁第8行目の記載「アルコキシシラン」
を「アルコキシシラン」と訂正する。 ■ 明細書第7真下から8行目から第10頁第3行目の
記載「上記アミノシラン化合物・・ことが判る。」を別
紙2の通り訂正する。 ■ 図面第1図を別紙の通り訂正する。 8、添付書類の目録 ■ 別紙 1(訂正特許請求の範囲) −通■別紙2 
−通 ■ 訂正図面(第1図) −通 別紙1 訂正特許請求の範囲 (1)磁性膜の表面に無機シリコン化合物膜が形成され
た磁気ディスク媒体において、該無機シリコン化合物膜
の表面にアミノシランが塗布され該アミノシランと無機
シリコン化合物膜とが縮合反応により化学結合しアミノ
シラン化合物膜が形成されると共に、更に該アミノシラ
ン化合物膜表面にカルボキシル基含有フッ素化カーボン
系潤滑剤が塗布され、上記アミノシラン化合物との酸塩
基反応により化学結合した潤滑層が形成されることを特
徴とする磁気ディスク媒体。 (2) カルボキシル基含有フッ素化カーボン系潤滑剤
としてカルボキシル基 パーフロロポリエーテル重合体
を用いることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の
磁気ディスク媒体。 別紙2 上記アミノシラン化合物としては、N−β−アミノ−エ
チル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−β
−アミノエチル−γ−アミノプロピルメチルジメ〜トキ
シシラン、N−β−アミノエチル−7−アミノプロピル
ジメチルメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエト
キシシラン、γ−アミノプロピルメチルジェトキシシラ
ン、γ−アミノプロピルジメチルエトキシシラン等が挙
げられる。なお、該アミノシラン化合物のアルコキシ基
はメトキシ基あるいはエトキシ基のいずれでもよい。因
に本発明において用いられる上記アミノシラン化合物の
例を第1表に示す。又これら第1表中のアミノシラン4
L合物の分類を第2表に示す。 第 2 表 三級アミ:/ 3a、 3b、 6a、 6b、 7a
、 7b、 16a、 16b。 ピリジニウム 10 次ニ上記アミノシラン化合物膜5にカルボキシル基含有
フッ素化カーボン系潤滑剤膜6が塗布され、上記アミノ
シラン化合物と該潤滑剤との酸塩基反応により該潤滑剤
膜6とアミノシラン化合物膜5とは化学的に結合する。 カルボキシル基含有フッ素化カーボン系潤滑剤としては
1.1.2−)リクロロ−1,2,2−)リフロオロエ
タン(フレオン113’)、パーフルオロテトラヒドロ
フラン(フロリナー)FC−33゜3M社)などの速乾
性、フッ素化溶剤中にカルボキシル基含有フッ化カーボ
ン(例えば商品名クライトックス157 FSなど)を
少量溶がしたものを用いればよい。かかるカルボキシル
基含有フッ素化カーボン系潤滑剤としてはカルボキシル
基含有パーフロ四ポリエーテルが挙げられる。尚該潤滑
剤の塗布方法としてはスピンコーティング法、スプレー
法、潤滑剤溶液へ浸漬する方法などにより行うことがで
きる。該潤滑剤の塗布によりフッ素化カーボン中のカル
ボキシル基とアミノシラン化合物が酸塩基反応により容
易に化学結合し、強固に磁気ディスク媒体上に固定され
る。ここで第4図に、磁気ディスク媒体上のアミノシラ
ン化合物0切に化学的に結合したカルボキシル基含有フ
ッ素化カーボンfitの配向状態を示す。カルボン酸含
有フッ素化カーボン系潤滑剤は乙のように、アミノ基と
酸塩基反応により化学結合することにより固体化し、磁
気ディスク媒体の記録再生時の高速回転によっても周辺
部へ流れることによる偏よりを生ぜず、そのため、長期
間にオ〕たって安定な磁気ディスク媒体の走行を達成す
ることができる。また潤滑剤の化学的安定性も増し、潤
滑剤劣化による摩擦係数の増加、摩耗、衝突などによる
ヘッドおよび磁気ディスク媒体の損傷を確実に防止でき
る。 因に、ヘッドと磁気ディスク媒体間の80℃。 80%相対湿度下の放置時間による摩擦係数の変化を第
5図に示す。図中(I)は、アミノシラン塗布後カルボ
キシル基含有フッ素化カーボン系潤滑剤(商品名クライ
トックス157FS)をさらに塗布した本発明に係る磁
気ディスク媒体であり、(■)は無機シリコン層上に単
にカルボキシル基含有フッ素化カーボン潤滑剤を塗布し
た磁気ディスクの媒体である。グラフから明らかなよう
に(It)に比べて(I)の放置時間による変化は非常
に小さく、摩擦係数に影響するフッ素化カーボン系潤滑
剤の化学的安定性が顕著に増加していることが判る。 以下に、本発明の実施例および参考例を示す。 〈実施例1〉 第2表に示す1級アミンのシラン化合物中の1つをエチ
ルアルコールに0.005%〜1vo1%溶解し、無機
シリコン膜を有するスパッタ形磁気R膜媒体上にスピン
コーティングにより塗布した。塗布後、該媒体を100
℃で15分間恒温槽中で加熱する。更に該磁気薄膜媒体
(以下磁気ディスクという)を室温に冷却後、該磁気デ
ィスクの表面にスピンコーティングにより、フロリナー
トFC77を溶媒とした0、001%〜0.5wt%濃
度のカルボキシル基含有パーフルオロアルキルポリエー
テル(デュポン社製、商品名クライトックス157FS
)を塗布する。 上記方法により作成した磁気ディスクについて摩擦係数
を測定したところ静摩擦係数、動摩擦係数は共に02以
下であった。 尚、このとき使用した磁気ヘッドはスライダl1li 
0.30 mm Mn Znフェライト製チーバフラシ
ト形スライダである。更に80℃、80%RH雰囲気の
恒温槽中に100日間放置した後も摩擦係数は約20%
しか増加しなかった。 又、コンタクト・スタート・ストップ(CSS)試験を
5万回以上行った後にも磁気ディスク上に磁気ヘッドの
摩耗跡を全く残さず、磁気ヘッド上にも摩耗痕が全く認
められなかった。 磁気ディスクと磁気ヘッド間の吸着力は80℃、80%
RH恒温恒湿槽中に磁気ディスクを100日間放置した
後も充分に小さく、磁気ヘッドの吸着現象は全く認めら
れなかった。 又、S!ウェハ上に本実施例で用いたアミノシラン化合
物を比較的厚い膜にて塗布し、更にその上にクライトッ
クス157 FSを薄く層状に塗布すると、これら両孔
合物は室温で容易に反応し固体になる。この固体物の吸
着力は液状のクライトックス157 FSの約と〜−と
小さい。乙の乙とから明らかなように本実施例の磁気デ
ィスク媒体においても、磁気ヘッドとの吸着力を抑制す
もための固体潤滑剤が形成されており、従ってその吸着
力はクライトックス157 FSの液状物に比べ丁〜−
に小さくなっている。 〈実施例2〉 第2表に示す2級アミンのシラン化合物中の1つを00
05〜0.5vo1%のエチルアルコールに溶解したも
のを実施例1と同様の磁気薄膜媒体上にスピンコーティ
ングにより塗布した。 塗布後該媒体を115℃、15分間恒温槽中で加熱し磁
気ディスクとした。該磁気ディスクの表面にスピンコー
ティングによりフロリナー) FC? 7を溶媒とした
0、001〜0.5+vt%濃度のクライトツクス15
7 FSを塗布した。 上記磁気ディスクの摩擦係数、C8S試験結果、吸着力
はそれぞれ以下の通りであった。 摩擦係数 02以下 〈実施例3〉 第2表に示す3級アミンのシラン化合物中の1つを0.
005〜0.8vo1%のエチルアルコールに溶解した
ものを実施例1と同様の磁気薄膜媒体上にスピンコーテ
ィングにより塗布した。 塗布後該媒体を120℃、15分間恒温槽中で加熱し磁
気ディスクとした。該磁気ディスクの表面にスピンコー
ティングによりフロリナートFC77を溶媒とした00
01〜0.5wt%濃度のクライトックス157 FS
を塗布した。 上記磁気ディスクの摩擦係数、CSS試験結果、吸着力
はそれぞれ以下の通りであった。 摩擦係数 02以下 〈実施例4〉 第2表に示すピリジニウムのシラン化合物中の1つを0
.007〜0.5vo1%のエチルアルコールに溶解し
たものを実施例1と同様の磁気薄膜媒体上にスピンコー
ティングにより塗布した。塗布後該媒体を130℃、1
5分間恒温槽中で加熱し磁気ディスクとした。′該a1
気ディスクの表面にスピンコーティングによりフロリナ
ートFC77を溶媒とした0、02wt%濃度のクライ
トックス157 FSを塗布した。 上記磁気ディスクの摩擦係数、CSS試験結果、吸着力
はそれぞれ以下の通りであった。 摩擦係数 0.2以下 〈実施例5〉 第2表に示す1級アミンのシラン化合物中の1つをエチ
ルアルコール0005〜1 vo1%溶解し、無機シリ
コン膜を有するスパッタ形磁気薄膜媒体上にスピンコー
ティングにより塗布した。塗布後、該媒体を100℃で
15分間恒温槽中で加熱する。 更に該磁気薄膜媒体即ち、磁気ディスクを室温に冷却後
、該磁気ディスクの表面にスピンコーティングにより、
フロリナートFC77を溶媒とした0、001〜0.1
wt%濃度のカルボキシル基含有パーフルオロポリエー
テル(構造式HOOCCF2−(0−C2F4)、−(
0−CF2)、−0CF2COOH)を塗布する。 上記方法により作成した磁気ディスクについて摩擦係数
を測定したところi¥1摩擦係数、動摩擦係数は共に0
2以下であった。 尚、このとき使用した磁気ヘッドはスライダ幅0・2朧
のMn−Znフェライト製テーパフラット形スライダで
ある。更に80℃、80%RH雰囲気の恒温槽中に10
0日間放置した後も摩擦係数は約15%しか増加しなか
った。 又、コンタクト・スタート・ストップ(CSS)試験を
7万回以上行った後にも磁気ディスク上に磁気ヘッドの
摩耗跡を全く残さず、磁気ヘッド上にも摩耗痕が全く認
められなかった。 磁気ディスクと磁気ヘッド間の吸着力は80℃、80%
RH恒温槽中に磁気ディスクを100日間放置した後も
充分に小さく、磁気ヘッドの吸着現象は全く認められな
かった。 又、SIウェハ上に本実施例で用いたアミノシラン化合
物を比較的厚い膜にて塗布し、更にその上に両末端カル
ボキシル基含有パーフルオロポリエーテルを薄く層状に
塗布すると、これら両孔合物は室温で容易に反応し固体
になる。この固体物の吸着力は液状のクライトことから
明らかなように本実施例の磁気ディスク媒体においても
、磁気ヘッドとの吸着力を抑制するための固体潤滑剤が
形成されておす、従ってその吸着力は両末端カルボキシ
ル基含有パーフルオロポリエーテルの液状物に〈実施例
6〉 1.5%濃度のテトラエトキシシランのセカンダリ−ブ
タノール溶液を濾過段磁気ディスクの磁性膜上に周速1
500rpm (1分間の回転数)でスピンコーティン
グにより塗布した。該磁気ディスクを低温で予知熱し、
さらに200℃〜300℃で1 hr〜3 hr加熱し
て酸化シリコン(無機シリコン)膜を形成する。 第2表中の1級アミンのアミノシラン化合物(la、 
lb、 2a、 2b、 19a、 19b中の1つ)
をセカンダリ−ブタノールまたはn−ブタノール溶剤で
濃度0.02%〜0.1%の溶液とする。該溶液を濾過
後、周速200Orpmで該磁気ディスク上にスピンコ
ーティングによって塗布する。スピンコーテイング後、
100℃で1゜分〜30分間清浄空気中で加熱する。溶
剤にパーフロロテトラヒト四フラン(商品名:フロリナ
ートFC−77、住人3M社製)を用いた濃度0.00
5〜002%のカルボキシル基含有パーツ四ロボリエー
テル(商品名:クライトックス157FS、デュポン社
製)の溶液を濾過後、前記アミノシラン塗布後の磁気デ
ィスク面に該溶液を室温で、周速2500 rpmでス
ピンコーティングによって塗布する。スピンコ−ティン
グの時間は該パーフロロポリエーテル中より溶剤を除去
するために5分〜10分行なう。 上記方法により作成した磁気ディスクについて摩擦係数
を測定したところ静摩擦係数、動摩擦係数は共に02以
下であった。 なお、このとき使用した磁気ヘッドζよスライダ幅03
11TIInのMn Znフェライト製テーノ(フラッ
ト形スライダである。更に80’e、80%RH雰囲気
の恒温恒湿槽中に100日間放置した後も摩擦係数は約
30%しか増加しな力)っtこ。又、コンタクト・スタ
ート・ストップ(CSS)試験を5万回以上行った後ζ
こも磁気ディスク上に磁気ヘッドの摩耗跡を全く残さず
、磁気ヘッド上にも摩耗痕が全く認められなかった。磁
気ディスクと磁気ヘッド間の吸着力は80℃、80%R
H恒温恒湿槽中りこ磁気ディスクを100日間放置した
後も充分(と小さく、磁気ヘッドの吸着現象【よ全く認
められなかった。 50℃10””Torrの真空中に30日間ディスクを
放置した後の摩擦係数は0.15と低く、かつ、初期値
との変動が無かった。一方上記作製工程中、アミノシラ
ン溶液のスピンコーティングを除いて作製した磁気ディ
スクでは摩擦係数は約0.25と大きくなった。 まtこ本発明による磁気ディスクの潤滑剤は120℃1
0””Torr 20分間の放置によっても、アミノシ
ランを塗布しないカルボキシル基含有パーフロロポリエ
ーテルの潤滑剤層が初期値の32%の膜厚に減少してし
まうのに対し、93%と非常に潤滑剤保持能力が優れて
いtコ。 さらに、本発明による磁気ディスク上の潤滑剤層は、デ
ィスクの径方向で±1μmの厚さに塗布でき、潤滑剤層
厚さの均一性に優れた磁気ディスクを作製できる。 く参考例〉 第2表中の一級アミンを無機シリコン膜を有する磁気媒
体に塗布し、更に100℃、15分両川熱し、冷却した
。次いで、0.01wt%のクライトックス143AD
(カルボキシル基を分子中に全く含まないパーフルオロ
アルキ)Lポリエーテル、デュポン社製商品名)をスピ
ンコードにより塗布し磁気ディスクを作製しtこ。 該磁気ディスクの摩擦係数、C8S試験結果(よそれぞ
れ以下の通りであり、本発明の磁気ディスクに比べ、カ
ルボキシル基を含まなシ)/(−フルオロポリエーテル
溶液を塗布したものはその性能が悪い。 摩擦係数 03 第1図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1) 磁性膜の表面に無機シリコンイー勢膜が形成さ
    れた磁気ディスク媒体において、該無機シリコン化合物
    膜の表面にアミノシランが塗布され該アミノシランと無
    機シリコン化合物膜とが組合反応により化学結合しアミ
    ノシラン化合物膜が形成石れると共に、更に該アミノシ
    ラン化合物膜表向にカルボキシル基含有フッ素化カーボ
    ン系潤滑剤が塗布され、上記アミノシラン化合物との酸
    塩恭反応により化学結合した潤滑層が形成されること′
    kIf!i徴とする磁気ディスク媒体。
  2. (2) カルボキシル毒含有フッ素化カーボン系潤滑剤
    トしてパーフロロ・ポリエーテル重合体を用いることを
    特徴とする特許請求の範囲第五項記載の磁気ディスク媒
    体。
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