JPS60100431A - 物品薬液処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体集積回路を形成する基板等に対しエツ
チング、洗浄燕手等を行なう物品薬液処理装置に関する
ものである。

従来例の構成とその問題点 薬液処理槽は通常第１図に示すように、薬液槽１から発
生する酸、アルカ１ハ溶剤等の蒸気が、作業側開口部２
に出ていかないように、局所排気口３から矢印Ａ方向に
吸引されるようになっており、開口部２を除き、カバー
４で囲まれている。

このように、薬液処理槽１における局所排気は。

作業をする人への安全対策のため一般に行なわれ公知で
ある。

従来の薬液処理装置は、第２図に示すように、処理され
るべき物品６を着脱移載可能なアーム６Ａ。

６Ｂと薬液槽７からなる薬液処理空間８と前記アーム６
Ａ、６Ｂを駆動する駆動部空間９とが、１枚の隔壁１０
によってへたてられており、アーム６Ａ、６ＢのＣ方向
及び隔壁１０に滑った動作部分について隔壁１０に開口
部１１が設けられている。壕だ、薬液槽７を囲むように
カバー１２が設けられており、メンテナンス等のために
開けることができるよう扉１３が設けられている。・１
．１５液槽７から発生する蒸気をＪＪＩ気するだめの１
，１１気１１１４が上部に設けられており矢印Ｂ方向に
排気される。

アーム６Ａ、６Ｂは第３図のＪ：うに、矢印り、Ｅ方向
に開くことができる。薬液槽７には、ガイド１６が設け
られており、アーム６Ａ、６ＢＫよって移載される物品
６を案内する。

このような装置においては、薬液槽７からの蒸気を排気
口１４から排気されるものの、隔壁１０の開口部１１か
ら、駆動部空間９の空気を薬液処理空間８に吸い込み、
駆動部空間９において発生するほこりやオイルミストに
より、物品６及び、薬液槽７を汚染するという問題があ
る。

この問題解決のために、第４図に示す装置が考えられて
いる。この装置は前記第２図に示す従来例のアーム６Ａ
、６Ｂをアーム１６Ａ、１６Ｂのように構成することに
より、アーム１６Ａ、１６ＢはＣ方向及び隔壁１７．１
８に沿った方向の動作について、開口部１９はアーム１
６Ａ、１６Ｂの巾の寸法よりも少し広いだけでよく、筐
だ、ゴム製のカバー２０を設けることにより、開口部１
９をさらに小さくできるというものである。しかし、こ
の装置においても、開口部１９はあり、小さくなったと
しても、その分空気の流速が高くなり、駆動部空間９の
空気を巻き込む問題や、カバー２０とアーム１６人、１
６Ｂの接触によりごみを発生するという問題がある。

発明の目的 本発明は上記従来の問題点を解決するものである。

発明の構成 本発明の物品薬液処理装置は、物品を順次薬液処理可能
な複数個の薬液槽と、前記薬液槽間を物品の移載可能な
物品移載装置と、前記薬液槽と物品移載装置の駆動部と
の間にあり、部分開口した複数個の隔壁と、前記隔壁間
に設けられた分離壁と、液回収用ドレンパンと、隔壁間
から吸引する吸引装置から構成されており、薬液槽から
発生ずる蒸気と、駆動部から発生するほこり、オイルミ
ストを共に複数個の隔壁の間から吸引することにより、
薬液槽側と駆動部との空気の流通をなくし、物品及び薬
液槽の汚染をなくしたものである。

実施例の説明 以下に本発明の一実施例を第６〜８図にもとづいて説明
する。

第５図は、本発明の実施例である薬液処理装置の全体斜
視図である。図において、２１は第６図に示すような基
板カセットであり、基板カセット２１には、例えば集積
回路を形成するセラミック基板やガラス基板２２が複数
枚収納されている。２３は薬液槽であり複数個並んでい
る。２４Ａ、２４Ｂは薬液槽間で基板カセット２１を移
載するメインアーム、２５Ａ、２５Ｂは薬液槽２３内も
しくはそのとなりの槽との間を移動させ、揺動が可能な
６槽アームである。２６，２７，２８はそれぞれ系統別
の排気口である。これらの構成を、第７図。

第８図にもとづき、さらに詳しく説明する。基板カセッ
ト２１は開閉可能なメインアーム２４人。

２４Ｂでつかまれて、薬液槽２３上を移載される。

メインアーム２４　Ａ、２４　Ｂは所定の薬液槽２３上
で停止し、矢印Ｆ方向に移°動し、最下端において、第
８図の矢印Ｈ方向、工方向に開き、基板カセット２１を
各槽アーム２５　Ａ＋　２５　Ｂに移し、その後矢印Ｆ
の反対方向へ移動する。その後、各槽アーム２５Ａ、２
６Ｂは、基板カセット２１を案内して、矢印Ｃ方向へ移
動して、基板カセット２１を薬液槽２３に浸漬する。２
９．３０は開閉可能な扉である。丑だ、メインアーム２
４Ａ。

２４Ｂ、各槽アーム２５Ａ、２５Ｂと、これらを駆動す
る駆動部との間には、２枚の隔壁３１．３２が設けられ
ており、これらの隔壁３１．３２には。

それぞれ開口部３３ｙ　３４＋　３５＋　３６がある。

隔壁３１．３２の間には、第８図の分離壁３７゜３８が
設けられており、排気口２６（またば２７゜２８）につ
ながっている。３９は液を受けるドレンパンである。

駆動部について、さらに詳しく説明する。

４０　＋　４１はメインアーム２４Ａ、２４Ｂを開閉可
能なようにガイドするガイド軸である。４２幻メインア
ームを支持するブロックであり、４３はモーター、４４
はボールスクリュー軸、４５は水平駆動モーター、４６
はピニオン、４７はラック、４８．４９はローラー、６
０，６１はガイド軸である。メインアーム２４　Ａ、２
４　Ｂは、モーター４３によりボールスクリュー軸４４
を回転させ、矢印Ｆ方向に動作し、水平駆動モーター４
６にょリピニオン４６を回転させラック４７とのかみ合
いにより水平移動させられる。また、メインアーム２４
　Ａ、２４　Ｂは、ガイド軸４０．４１によりガイドさ
れ、例えばエアーンリンダーによって開閉される。同様
に、各槽アーム２５　Ａ、２６　Ｂはモーター５２によ
ってボールスクリュー５３を回転することにより矢印０
方向に移動する。また、フレーム６４は２本のガイド軸
５６．６６で摺動可能なよ゛うに支持され、モーター６
７によるビニオフ５８０回転をラック５９に伝達し、水
平方向に移動可能である。

上記の構成において、薬液槽２３から発生する蒸気は、
隔壁３１の開口部３３．３４を通って排気口２６から外
へ排出される。また、駆動部４０〜６９から発生するほ
こり、オイルミストなどは、隔壁３２の開口部３５，３
６を通って、排気口２６から外へ排出され乞。排気口２
６の先には排気装置６０が設けられており、強制排気を
行なう。隔壁３１．３２の間で液化した薬液等は下のド
レンパン３９に回収される。まだ、分離壁３７．３８に
より仕切られており、薬液の種別毎の排気が可能である
。

発明の効果 このように１本発１ＪＩＪ？：Ｊ薬液検測と、駆動部１
１１１との間に隔壁を兼ねた排気口を形成するため、互
いに汚染、駆動部の酸化等の影響を及ぼすことがない。

１だ排気系統を個別にとることができるとともに液の回
収もできる効果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は公知の局所排気装置を示す（＋１１断′１Ｔ１
１図。 第２図は従来例の薬液処理装置を示す側断面図。 第３図は目部分正面図、第４図は別の従来例の薬液処理
装置の部分側断面図、第６図は本発明の一実施例である
薬液処理装置の全体斜視図、第６図は基板カセツトの斜
視図、第γ図、鉱同実施例の薬液処理装置の１１！ｌ断
面図、第８図は同部分１「面図である。 ２３・・・・・・薬液槽、２４　Ａ、２４　Ｂ・・・・
・・メインアーム、２　ｓ　Ａ、２６　Ｂ　・−＝−各
槽アーム、４０−５９・・・・・駆動部、３１．３２・
・・・・・隔壁、３７．３８・・・°゛°分離壁、３９
・・・パ・ドレンパン、２６・・・・・・吸引口。 ６０・・・・・・排気装置。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図 ＠２図 ′ｌブＳ 第５図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 物品を順次薬液処理可能な複数個の薬液槽と、前記薬液
   槽間を物品の移載可能な物品移載装置と、前記薬液槽と
   物品移載装置の駆動部との間にあり。 部分開口した複数個の隔壁と、前記隔壁間に設けられた
   分離壁と、液回収用ドレンパンと、隔壁間から吸引する
   吸引装置とからなる物品薬液処理装置。