JPS5998293A - 半導体工場などにおける警報および制御装置 - Google Patents
半導体工場などにおける警報および制御装置Info
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- JPS5998293A JPS5998293A JP20688882A JP20688882A JPS5998293A JP S5998293 A JPS5998293 A JP S5998293A JP 20688882 A JP20688882 A JP 20688882A JP 20688882 A JP20688882 A JP 20688882A JP S5998293 A JPS5998293 A JP S5998293A
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- G08B—SIGNALLING OR CALLING SYSTEMS; ORDER TELEGRAPHS; ALARM SYSTEMS
- G08B17/00—Fire alarms; Alarms responsive to explosion
- G08B17/10—Actuation by presence of smoke or gases, e.g. automatic alarm devices for analysing flowing fluid materials by the use of optical means
- G08B17/117—Actuation by presence of smoke or gases, e.g. automatic alarm devices for analysing flowing fluid materials by the use of optical means by using a detection device for specific gases, e.g. combustion products, produced by the fire
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、超ＬＳＩ工場などにおける製造工程におい
て発生する処理ガスの漏洩あるいは火災発生を検出し、
消火装置などの防災装置および製造工！を適切に制御す
る半導体工場などにおける警報および制御装置に関する
ものであ０ 近鉱大きな飛−を遂げてｂる超ＬＳＩなどの半導体工場
では、シリコンクエバに絶縁膜を設ける際、シランガス
を使用するが、このような処理ガスは有害であるととも
にその濃度が、２〜５チ以上になると空気中の酸素と反
応し着炎燃焼して危険であり、ある超ＬＳＩ工場でこれ
らガス亦−蒙因と思われる火−災−ｉ＝発生し、ただｂ
の損害を被むつに０ この発明は以上の点にかんがみ、漏洩した処理ガ子が、
ガス自体の状態または空気中の酸素と反応し燃焼し燃焼
生成物を発生してｂる状態の−ずれをも検出するように
し、事前にあるいと は火災の初期段階にｂｌｗて適切な制御が行なうことが
できる半導体工場などの警報卦よび制御装置を提供する
ものである。
て発生する処理ガスの漏洩あるいは火災発生を検出し、
消火装置などの防災装置および製造工！を適切に制御す
る半導体工場などにおける警報および制御装置に関する
ものであ０ 近鉱大きな飛−を遂げてｂる超ＬＳＩなどの半導体工場
では、シリコンクエバに絶縁膜を設ける際、シランガス
を使用するが、このような処理ガスは有害であるととも
にその濃度が、２〜５チ以上になると空気中の酸素と反
応し着炎燃焼して危険であり、ある超ＬＳＩ工場でこれ
らガス亦−蒙因と思われる火−災−ｉ＝発生し、ただｂ
の損害を被むつに０ この発明は以上の点にかんがみ、漏洩した処理ガ子が、
ガス自体の状態または空気中の酸素と反応し燃焼し燃焼
生成物を発生してｂる状態の−ずれをも検出するように
し、事前にあるいと は火災の初期段階にｂｌｗて適切な制御が行なうことが
できる半導体工場などの警報卦よび制御装置を提供する
ものである。
以下この発明の一実施例を半導体ウェハに絶縁膜を形成
させる際に使用され、＆ＣＶＤ装置（Ｃｈｅｍｉｃａｌ
Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ）およびその周
辺装置に用−た場合について、図面により説明する０ 第１図にｂｕて、１はシランガスボンベ％２ケアンモニ
アガスボンベ、３はこれらボンへｅ収納する格納箱、６
は配管４，５を通じてシランガスとアンモニアガスを供
給し半導体ウェハに絶縁膜を形成させる窒化膜形成装置
（ＣＶＤ）、８は装置６から配管７′ｆ通じて流出され
る未反応のシランガスに酸素を供給し強制的に酸化反応
させる。すなわち燃焼処理する除害装置、ｌＯは除害装
置８より排気ダクト１１へ放出されるガスの状蝋？監視
するために配管９間に設けられた検出箱、１２は形成装
置６内を真空に−ｔ″る真空ポンプ、１３は室内の空気
を排気する排気口である。また格納箱３と検出箱１０と
には、シランガスなどの処理ガスの漏洩を検出するガス
検出器Ｇ１．Ｇ２と、ガスが燃焼したことにより生ずる
燃焼生成物を検出する火災感知器ＤＩ、Ｄ２とが設けら
れる。この場合ガス検出器Ｇｌ、Ｇ２としてはガス粒子
による散乱先出 を検出する光学的なガス検知器も使用できるが、特公昭
５５−１４３８０号公報で一酸化炭素の検出素子として
知られてｂる酸化第二スズの組成物中に白金黒全含有し
た金属酸化物半導体をシランガスの雰囲気中でエージン
グすると、０゜２−０．５４以上の低濃度のシランガス
に応答する、この実施例に好適なガス検出器が得られる
。また燃焼生成物を検出する火災感知器として光電式煙
感知器とイオン化式煙感知器が使用できるが、縦軸にそ
れぞれの感知器の出力、横軸にシランガスの燃焼生成物
の濃度が示された第３図の特性曲線図によれば、光電式
煙感知器ａよりもイオン化式煙感知器すの方がシランガ
スの燃焼生成物に対し高感度でより早期にその発生が検
出できる。さらに上記検出器Ｇｌ、Ｇ２と感知器Ｄ１．
Ｄ２は第２図に示すように、格納箱３内に設けられたガ
ス検出器Ｇｌと火災感知器Ｄｉは第１のＯＲ回路０ＲＩ
−に、検出箱ｌＯ内に設けられたガス検出器Ｇ２は直接
また火災感知器Ｄ２はインバータＩｉ介して第２のＯＲ
回路ＯＲ２に接続され、それら出力は第３のＯＲ回路Ｏ
Ｒ３に接続され、その出力は火災警報あるｂは消火装置
などの防災装置あるいは半導体製造工程を適切に制御す
る図示されなり継電装置に接続される。
させる際に使用され、＆ＣＶＤ装置（Ｃｈｅｍｉｃａｌ
Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ）およびその周
辺装置に用−た場合について、図面により説明する０ 第１図にｂｕて、１はシランガスボンベ％２ケアンモニ
アガスボンベ、３はこれらボンへｅ収納する格納箱、６
は配管４，５を通じてシランガスとアンモニアガスを供
給し半導体ウェハに絶縁膜を形成させる窒化膜形成装置
（ＣＶＤ）、８は装置６から配管７′ｆ通じて流出され
る未反応のシランガスに酸素を供給し強制的に酸化反応
させる。すなわち燃焼処理する除害装置、ｌＯは除害装
置８より排気ダクト１１へ放出されるガスの状蝋？監視
するために配管９間に設けられた検出箱、１２は形成装
置６内を真空に−ｔ″る真空ポンプ、１３は室内の空気
を排気する排気口である。また格納箱３と検出箱１０と
には、シランガスなどの処理ガスの漏洩を検出するガス
検出器Ｇ１．Ｇ２と、ガスが燃焼したことにより生ずる
燃焼生成物を検出する火災感知器ＤＩ、Ｄ２とが設けら
れる。この場合ガス検出器Ｇｌ、Ｇ２としてはガス粒子
による散乱先出 を検出する光学的なガス検知器も使用できるが、特公昭
５５−１４３８０号公報で一酸化炭素の検出素子として
知られてｂる酸化第二スズの組成物中に白金黒全含有し
た金属酸化物半導体をシランガスの雰囲気中でエージン
グすると、０゜２−０．５４以上の低濃度のシランガス
に応答する、この実施例に好適なガス検出器が得られる
。また燃焼生成物を検出する火災感知器として光電式煙
感知器とイオン化式煙感知器が使用できるが、縦軸にそ
れぞれの感知器の出力、横軸にシランガスの燃焼生成物
の濃度が示された第３図の特性曲線図によれば、光電式
煙感知器ａよりもイオン化式煙感知器すの方がシランガ
スの燃焼生成物に対し高感度でより早期にその発生が検
出できる。さらに上記検出器Ｇｌ、Ｇ２と感知器Ｄ１．
Ｄ２は第２図に示すように、格納箱３内に設けられたガ
ス検出器Ｇｌと火災感知器Ｄｉは第１のＯＲ回路０ＲＩ
−に、検出箱ｌＯ内に設けられたガス検出器Ｇ２は直接
また火災感知器Ｄ２はインバータＩｉ介して第２のＯＲ
回路ＯＲ２に接続され、それら出力は第３のＯＲ回路Ｏ
Ｒ３に接続され、その出力は火災警報あるｂは消火装置
などの防災装置あるいは半導体製造工程を適切に制御す
る図示されなり継電装置に接続される。
次に上記装置の作用につめて説明する。窒化Φ
膜形成装置６は、このげに半導体ウェハを入れ、真空ポ
ンプ１２により真空にした後、シランガスボンベｌとア
ンモニアガスボンベ２とを開きシランガスとアンモニア
ガスとを装置６に供給し半導体ウェハに必要な窒化膜、
すなわち絶縁膜を生成させる。また未反応ガスを含んだ
処理後のガスは除害装置８にお−て強制的に酸化反応さ
れて安全なものとして配管９を通じて排気ダクト１１よ
り排出される。
ンプ１２により真空にした後、シランガスボンベｌとア
ンモニアガスボンベ２とを開きシランガスとアンモニア
ガスとを装置６に供給し半導体ウェハに必要な窒化膜、
すなわち絶縁膜を生成させる。また未反応ガスを含んだ
処理後のガスは除害装置８にお−て強制的に酸化反応さ
れて安全なものとして配管９を通じて排気ダクト１１よ
り排出される。
一方このような状態にお−て、シランガスボンベ１より
シランガスが空気中の酸素と反応し着炎燃焼しなり程度
の少量漏れると、そのガス自体を検出しガス検出器Ｇ１
が動作し、またガスボンベ１よりシランガスが漏れる量
が多く直ちに空気中の酸素と反応し着炎燃焼してしまう
場合はその燃焼生成物により火災感知器Ｄ１が動作し、
ＯＲ回路ＯＲ１，０Ｒ３ｉ介して図示されない火災警報
や消火装置などの防災装置あるいはこの製造工程を制御
する継電装置を動作させる。また検出箱１０にお−ては
、除害装置８が正常に動作してｂる間は、配管９を介し
て焼却された燃焼生成物が配管９を通じて排気ダクト１
１へ排出されるので、ガス検出器Ｇ２と火災感知器Ｄ２
はインバータ■の作用によりｂずれもＯＲ回路０Ｒｚｔ
動作させなり０ところが除害装置８が故障し未処理のま
まのシランガスが放出されると、ガス検出器Ｇ２がまた
は火挺感知器Ｄ２がインバータ１０作用によりＯＲ回路
ＯＲ２を動作させ、ＯＲ回路０Ｒ３ｅ通じて図示されな
り火災警報や消火装置などの防災装置あるｂは製造工程
を制御する継電装置を動作させる。
シランガスが空気中の酸素と反応し着炎燃焼しなり程度
の少量漏れると、そのガス自体を検出しガス検出器Ｇ１
が動作し、またガスボンベ１よりシランガスが漏れる量
が多く直ちに空気中の酸素と反応し着炎燃焼してしまう
場合はその燃焼生成物により火災感知器Ｄ１が動作し、
ＯＲ回路ＯＲ１，０Ｒ３ｉ介して図示されない火災警報
や消火装置などの防災装置あるいはこの製造工程を制御
する継電装置を動作させる。また検出箱１０にお−ては
、除害装置８が正常に動作してｂる間は、配管９を介し
て焼却された燃焼生成物が配管９を通じて排気ダクト１
１へ排出されるので、ガス検出器Ｇ２と火災感知器Ｄ２
はインバータ■の作用によりｂずれもＯＲ回路０Ｒｚｔ
動作させなり０ところが除害装置８が故障し未処理のま
まのシランガスが放出されると、ガス検出器Ｇ２がまた
は火挺感知器Ｄ２がインバータ１０作用によりＯＲ回路
ＯＲ２を動作させ、ＯＲ回路０Ｒ３ｅ通じて図示されな
り火災警報や消火装置などの防災装置あるｂは製造工程
を制御する継電装置を動作させる。
なお上記実施例では、ガス検出器と火災感知器とを別個
に設けたが、両者を一体としかつ第２図の回路機能を組
み込むようにしてもより。
に設けたが、両者を一体としかつ第２図の回路機能を組
み込むようにしてもより。
この発明は以上のように半導体製造工程など、シランガ
スなどの有毒で可燃無性の処理ガスを使用する箇所に、
処理ガス自身の漏洩を検出するガス検出器と、このガス
の燃焼による燃焼生成物を検出する火災感知器とを設は
ｂずれの形の漏洩にも対処できるようにしたので、阜前
にあるいは火災の初期段階において適切な制御が行なう
ことができる半導体工場などにおける警報および制御装
置が得られる効果がある。
スなどの有毒で可燃無性の処理ガスを使用する箇所に、
処理ガス自身の漏洩を検出するガス検出器と、このガス
の燃焼による燃焼生成物を検出する火災感知器とを設は
ｂずれの形の漏洩にも対処できるようにしたので、阜前
にあるいは火災の初期段階において適切な制御が行なう
ことができる半導体工場などにおける警報および制御装
置が得られる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例の概略図、第２図はその回
路図、第３図は光電式煙感知器とイオン化式煙感知器と
の特性曲線図である。 １・・・シランガスボンベ、３・・・格納箱、６・・・
窒化膜形成装置、８・・・除害装置、１０・・・検出箱
、１１・・・排気ダクト％ Ｇ ｌ ＊ Ｇ ２・・・
ガス検出器、Ｄｌ、Ｄ２−・・燃焼生成物を検出する火
災感知島第１図 第２図 ］ａｌ 第３図 濃度
路図、第３図は光電式煙感知器とイオン化式煙感知器と
の特性曲線図である。 １・・・シランガスボンベ、３・・・格納箱、６・・・
窒化膜形成装置、８・・・除害装置、１０・・・検出箱
、１１・・・排気ダクト％ Ｇ ｌ ＊ Ｇ ２・・・
ガス検出器、Ｄｌ、Ｄ２−・・燃焼生成物を検出する火
災感知島第１図 第２図 ］ａｌ 第３図 濃度
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｌ。半導体製造工程など、シランガスなどの有毒で可燃
性の処理ガスを使用する箇所に、該処理ガスの漏洩を検
出するガス検出器と、該処理ガスの燃焼生成物を検出す
る火災感知器とを設け、検出器または感知器のいずれか
の出力変化により警報を発するとともに消火装置などの
防災装置および半導体製造工程などを制御することを特
徴とする半導体工場などにおける警報および制御装置。 ２、ガス検出器と出力側にインバータを備えた火災感知
器とが排気ダクトに設けられた特許請求の範囲第１項記
載の半導体工場などにおはる警報および制御装置。 ３、ガス検出器と火災感知器とが処理ガスボンベ７５ｆ
収納された格納箱に設けられた特許請求の範囲第１項記
載の半導体工場などにおける警報および制御装置。 ４、ガス検出器は、その検出素子が金属酸化物半導体よ
りなる特許請求の範囲第１項なりし第３項のｂずれかに
記載された半導体工場などにかはる警報および制ａ装置
。 ５、火災感知器が、イオン化式煙感知器である特許請求
の範囲第１項な−し第３項のｂずれかに記載された半導
体工場などにお汁る警報および制御装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20688882A JPS5998293A (ja) | 1982-11-27 | 1982-11-27 | 半導体工場などにおける警報および制御装置 |
| EP19830111572 EP0112492B1 (en) | 1982-11-27 | 1983-11-19 | Alarm and control system for semiconductor manufacturing plants |
| DE8383111572T DE3381099D1 (de) | 1982-11-27 | 1983-11-19 | Alarm- und steuerungssystem einer herstellungsanlage fuer halbleiter. |
| ES527814A ES8505125A1 (es) | 1982-11-27 | 1983-11-25 | Sistema de alarma y control para plantas de fabricacion de semiconductores |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20688882A JPS5998293A (ja) | 1982-11-27 | 1982-11-27 | 半導体工場などにおける警報および制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5998293A true JPS5998293A (ja) | 1984-06-06 |
Family
ID=16530706
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20688882A Pending JPS5998293A (ja) | 1982-11-27 | 1982-11-27 | 半導体工場などにおける警報および制御装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0112492B1 (ja) |
| JP (1) | JPS5998293A (ja) |
| DE (1) | DE3381099D1 (ja) |
| ES (1) | ES8505125A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03241824A (ja) * | 1990-02-20 | 1991-10-29 | Fujitsu Ltd | 減圧気相成長装置 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR910000246Y1 (ko) * | 1984-07-11 | 1991-01-18 | 히로시 세끼 | 복합화재 검출기 |
| WO2005091238A2 (en) * | 2004-03-23 | 2005-09-29 | Du Plessis Jacobus Petrus Fran | Fire preventing or extinguishing system for an appliance |
| US20140358300A1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-12-04 | Macronix International Co., Ltd. | Portable Control System for Cylinder Cabinet |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4826497A (ja) * | 1971-08-10 | 1973-04-07 | ||
| JPS5323195A (en) * | 1976-08-16 | 1978-03-03 | Otsuka Kagaku Yakuhin | Method of treating flame resistance for inflammable organic material and flame resisting composition |
| JPS5721350A (en) * | 1980-05-28 | 1982-02-04 | Naarden International Nv | Perfume composition and use |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2180423B3 (ja) * | 1972-04-17 | 1975-06-20 | Securitex Sarl | |
| FR2226813A5 (en) * | 1973-04-04 | 1974-11-15 | Cifal | Inflammable product fire prevention system - has IR radiation detector injecting cooling fluid and operating alarm |
| US3955186A (en) * | 1974-05-17 | 1976-05-04 | Compugraphic Corporation | Character image generation apparatus and CRT phototypesetting system |
| US4069018A (en) * | 1976-09-28 | 1978-01-17 | Weyerhaeuser Company | Explosive gas monitoring method and apparatus |
| US4219806A (en) * | 1978-09-15 | 1980-08-26 | American District Telegraph Company | Dual alarm gas detector |
| US4267889A (en) * | 1978-12-27 | 1981-05-19 | Williams Robert M | Explosion suppression system for fire or explosion susceptible enclosure |
| US4369647A (en) * | 1980-03-21 | 1983-01-25 | New Cosmos Electric Company Limited | Gas leakage detector |
-
1982
- 1982-11-27 JP JP20688882A patent/JPS5998293A/ja active Pending
-
1983
- 1983-11-19 EP EP19830111572 patent/EP0112492B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1983-11-19 DE DE8383111572T patent/DE3381099D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1983-11-25 ES ES527814A patent/ES8505125A1/es not_active Expired
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4826497A (ja) * | 1971-08-10 | 1973-04-07 | ||
| JPS5323195A (en) * | 1976-08-16 | 1978-03-03 | Otsuka Kagaku Yakuhin | Method of treating flame resistance for inflammable organic material and flame resisting composition |
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|---|---|---|---|---|
| JPH03241824A (ja) * | 1990-02-20 | 1991-10-29 | Fujitsu Ltd | 減圧気相成長装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| ES527814A0 (es) | 1985-04-16 |
| EP0112492B1 (en) | 1990-01-10 |
| ES8505125A1 (es) | 1985-04-16 |
| EP0112492A3 (en) | 1987-08-26 |
| DE3381099D1 (de) | 1990-02-15 |
| EP0112492A2 (en) | 1984-07-04 |
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