JP2582016B2 - クリーンルームにおけるガス漏れ対策装置 - Google Patents
クリーンルームにおけるガス漏れ対策装置Info
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- JP2582016B2 JP2582016B2 JP4121103A JP12110392A JP2582016B2 JP 2582016 B2 JP2582016 B2 JP 2582016B2 JP 4121103 A JP4121103 A JP 4121103A JP 12110392 A JP12110392 A JP 12110392A JP 2582016 B2 JP2582016 B2 JP 2582016B2
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- Japan
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルームに設置
され、かつ発熱、発火などを伴う装置に対して供給する
ガスをガス漏れ検出時に自動的に停止させるためのクリ
ーンルームにおけるガス漏れ対策装置に関するものであ
る。
され、かつ発熱、発火などを伴う装置に対して供給する
ガスをガス漏れ検出時に自動的に停止させるためのクリ
ーンルームにおけるガス漏れ対策装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造においては、種々の工
程があるが、使用する製造装置（処理または加工を含
む）によっては発熱や発火を発生し、あるいは危険なガ
スを用いるものがある。例えば、シボラン、ホスフィ
ン、シラン、塩素、アンモニアなどのプロセスガスを用
いるＣＶＤ装置、エッチング装置などがあり、これら製
造装置は、通常、クリーンルーム内に設置されている。
程があるが、使用する製造装置（処理または加工を含
む）によっては発熱や発火を発生し、あるいは危険なガ
スを用いるものがある。例えば、シボラン、ホスフィ
ン、シラン、塩素、アンモニアなどのプロセスガスを用
いるＣＶＤ装置、エッチング装置などがあり、これら製
造装置は、通常、クリーンルーム内に設置されている。
【０００３】このようなクリーンルームにおいて、ガス
漏れが検出された際は、有害ガスによる危険を防止する
ため、ガス源からのガス供給の停止、発火源の動作の停
止などを行うと共に、クリーンルームに放出された有害
ガスを除害するために排気除害装置を通して大気中に放
出する操作を施し、被害を最小限に止める必要がある。
漏れが検出された際は、有害ガスによる危険を防止する
ため、ガス源からのガス供給の停止、発火源の動作の停
止などを行うと共に、クリーンルームに放出された有害
ガスを除害するために排気除害装置を通して大気中に放
出する操作を施し、被害を最小限に止める必要がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来において
は、ガス漏れ時にガスの供給停止、発火源の動作停止、
及び有害ガスの排出を止めるための各バルブの操作は現
場作業者が手動で行っているため、対応に遅れが生じや
すく、災害を大きくする恐れがあった。この傾向は装置
の設置台数が増えるほど大きくなる。
は、ガス漏れ時にガスの供給停止、発火源の動作停止、
及び有害ガスの排出を止めるための各バルブの操作は現
場作業者が手動で行っているため、対応に遅れが生じや
すく、災害を大きくする恐れがあった。この傾向は装置
の設置台数が増えるほど大きくなる。
【０００５】本発明の目的は、ガス漏れ時にガス供給の
停止、装置の停止、排気系の切替えなどを自動的に行え
るようにするクリーンルームにおけるガス漏れ対策装置
を提供することにある。
停止、装置の停止、排気系の切替えなどを自動的に行え
るようにするクリーンルームにおけるガス漏れ対策装置
を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明は、ガス源からプロセスガスの供給を受
けて発火を伴う処理を行い或いは前記ガス源から危険性
ガスの供給を受けて所定の処理を行う装置が複数に分割
したゾーンの各々に設置されるクリーンルームにおい
て、前記ゾーンの各々及び前記装置の各々の内部のガス
漏れを検知する複数のガスセンサと、有害ガスを含む排
気に対し無害化の処理を行う排気除害装置と、前記各ゾ
ーンから供給される排気を大気中または前記排気除害装
置のいずれかへ供給する複数の切替バルブと、前記ガス
センサがガス漏れを検出したときにその対応するゾーン
に関係するガス供給バルブを閉めると共に前記切替バル
ブを前記排気除害装置側へ切り換える制御部とを設ける
ようにしている。
めに、この発明は、ガス源からプロセスガスの供給を受
けて発火を伴う処理を行い或いは前記ガス源から危険性
ガスの供給を受けて所定の処理を行う装置が複数に分割
したゾーンの各々に設置されるクリーンルームにおい
て、前記ゾーンの各々及び前記装置の各々の内部のガス
漏れを検知する複数のガスセンサと、有害ガスを含む排
気に対し無害化の処理を行う排気除害装置と、前記各ゾ
ーンから供給される排気を大気中または前記排気除害装
置のいずれかへ供給する複数の切替バルブと、前記ガス
センサがガス漏れを検出したときにその対応するゾーン
に関係するガス供給バルブを閉めると共に前記切替バル
ブを前記排気除害装置側へ切り換える制御部とを設ける
ようにしている。
【０００７】
【作用】上記した手段によれば、いずれかのゾーンにお
いてガス漏れが検知されると、制御部はガス漏れの有っ
たゾーンに対してガス源からのガス供給を停止すると共
に、ガス漏れの有ったゾーン側からの排気を排気除害装
置に導き、無害化の処理を行ってから大気中に放出す
る。この結果、発火源の稼働は速やかに停止され、かつ
有害ガスは無害化された後に大気へ排出されるので、ク
リーンルーム内に災害が広まるのを防止し、建屋全体の
操業停止を防止できると共に大気中に有害ガスが放出さ
れるのを防止することができる。
いてガス漏れが検知されると、制御部はガス漏れの有っ
たゾーンに対してガス源からのガス供給を停止すると共
に、ガス漏れの有ったゾーン側からの排気を排気除害装
置に導き、無害化の処理を行ってから大気中に放出す
る。この結果、発火源の稼働は速やかに停止され、かつ
有害ガスは無害化された後に大気へ排出されるので、ク
リーンルーム内に災害が広まるのを防止し、建屋全体の
操業停止を防止できると共に大気中に有害ガスが放出さ
れるのを防止することができる。
【０００８】
【実施例】図１は本発明によるクリーンルームにおける
ガス漏れ対策装置の一実施例を示すブロック図である。
なお、実際には、クリーンルーム内に設置される装置類
は数十台に及ぶが、ここでは説明の便宜上、４台のみを
図示している。
ガス漏れ対策装置の一実施例を示すブロック図である。
なお、実際には、クリーンルーム内に設置される装置類
は数十台に及ぶが、ここでは説明の便宜上、４台のみを
図示している。
【０００９】ガス漏れ検知に伴ってガス供給の停止、装
置の停止、排気系の切替えなどの制御を自動的に行う制
御部１は、マイクロコンピュータを用いて構成され、予
め作成したプログラムにしたがって制御を実行する。こ
の制御部１の制御対称となるクリーンルーム２は、内部
が複数（ここでは４つ）のゾーン７ａ，７ｂ，７ｃ，７
ｄに区分されている。このように区分する理由は、或る
ゾーンにガス漏れが発生して操業の続行が不可能になっ
ても、他のゾーンにおける操業が続行できるようにする
ためである。ゾーン７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄの各々には
１乃至複数の製造装置（エッチング装置、ＣＶＤ装置な
どがあり、ここでは便宜上各ゾーンに１台を設置）３，
４，５，６が設置されている。
置の停止、排気系の切替えなどの制御を自動的に行う制
御部１は、マイクロコンピュータを用いて構成され、予
め作成したプログラムにしたがって制御を実行する。こ
の制御部１の制御対称となるクリーンルーム２は、内部
が複数（ここでは４つ）のゾーン７ａ，７ｂ，７ｃ，７
ｄに区分されている。このように区分する理由は、或る
ゾーンにガス漏れが発生して操業の続行が不可能になっ
ても、他のゾーンにおける操業が続行できるようにする
ためである。ゾーン７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄの各々には
１乃至複数の製造装置（エッチング装置、ＣＶＤ装置な
どがあり、ここでは便宜上各ゾーンに１台を設置）３，
４，５，６が設置されている。
【００１０】製造装置３，４，５，６に対するプロセス
ガスの供給は、ガス源８から行われ、このガス源８には
元栓としてのバルブ９（例えば、電磁バルブ）が取り付
けられている。バルブ９にはガス配管１０が接続され、
このガス配管１０には製造装置ごとに設けられたバルブ
１１，１２，１３，１４（例えば、電磁バルブ）を介し
て製造装置３，４，５，６の各々のガス入力部が接続さ
れている。
ガスの供給は、ガス源８から行われ、このガス源８には
元栓としてのバルブ９（例えば、電磁バルブ）が取り付
けられている。バルブ９にはガス配管１０が接続され、
このガス配管１０には製造装置ごとに設けられたバルブ
１１，１２，１３，１４（例えば、電磁バルブ）を介し
て製造装置３，４，５，６の各々のガス入力部が接続さ
れている。
【００１１】また、製造装置３，４，５，６の各々に
は、装置内のガス漏れを検知するためのガスセンサ１
５，１６，１７，１８が取り付けられ、さらに、クリー
ンルーム２のゾーン７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄの各々に
は、室内に対するガス漏れの有無を検知するためのガス
センサ１９，２０，２１，２２が設置されている。製造
装置３，４，５，６の各々の装置内雰囲気排気出側に
は、排気配管２３，２４，２５，２６の各々が接続さ
れ、この排気配管の各々には切替バルブ２７，２８，２
９，３０の各々が接続されている。切替バルブ２７，２
８，２９，３０の各々は、同一仕様のものが用いられ、
大気側と排気除害装置３１側のいずれか一方を選択でき
るように構成されている。プロセスガスを通常処理した
排ガスの無害化処理のために、排ガス配管３２、および
排ガス処理装置３３が製造装置に接続されている。
は、装置内のガス漏れを検知するためのガスセンサ１
５，１６，１７，１８が取り付けられ、さらに、クリー
ンルーム２のゾーン７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄの各々に
は、室内に対するガス漏れの有無を検知するためのガス
センサ１９，２０，２１，２２が設置されている。製造
装置３，４，５，６の各々の装置内雰囲気排気出側に
は、排気配管２３，２４，２５，２６の各々が接続さ
れ、この排気配管の各々には切替バルブ２７，２８，２
９，３０の各々が接続されている。切替バルブ２７，２
８，２９，３０の各々は、同一仕様のものが用いられ、
大気側と排気除害装置３１側のいずれか一方を選択でき
るように構成されている。プロセスガスを通常処理した
排ガスの無害化処理のために、排ガス配管３２、および
排ガス処理装置３３が製造装置に接続されている。
【００１２】制御部１には、ガスセンサ１５，１６，１
７，１８及びガスセンサ１９，２０，２１，２２の各検
知信号を取り込み、これに基づいてバルブ９，バルブ１
１〜１４、及び切替バルブ２７，２８，２９，３０の各
々の開閉制御、製造装置３，４，５，６の停止制御、及
び排気除害装置３１の始動制御などを実行する。
７，１８及びガスセンサ１９，２０，２１，２２の各検
知信号を取り込み、これに基づいてバルブ９，バルブ１
１〜１４、及び切替バルブ２７，２８，２９，３０の各
々の開閉制御、製造装置３，４，５，６の停止制御、及
び排気除害装置３１の始動制御などを実行する。
【００１３】次に、以上の構成による実施例の動作につ
いて説明する。
いて説明する。
【００１４】製造装置３，４，５，６が通常稼働のとき
には、制御部１によってバルブ９及びバルブ１１，１
２，１３，１４が開放されており、また、切替バルブ２
７，２８，２９，３０が大気側に切替えられている。ガ
ス源８から処理装置３，４，５，６の各々にプロセスガ
スが供給（例えば１リットル／分）され、ＣＶＤ処理及
びエッチング処理が行われ、反応後のガスが排ガス配管
３２、及び排ガス処理装置３３を介して大気中に放出さ
れる。また、クリーンルーム２および製造装置３，４，
５，６の雰囲気（ガス漏れがない時は無害）は、排気配
管２３，２４，２５，２６及び切替バルブ２７，２８，
２９，３０を介して大気中に放出される。
には、制御部１によってバルブ９及びバルブ１１，１
２，１３，１４が開放されており、また、切替バルブ２
７，２８，２９，３０が大気側に切替えられている。ガ
ス源８から処理装置３，４，５，６の各々にプロセスガ
スが供給（例えば１リットル／分）され、ＣＶＤ処理及
びエッチング処理が行われ、反応後のガスが排ガス配管
３２、及び排ガス処理装置３３を介して大気中に放出さ
れる。また、クリーンルーム２および製造装置３，４，
５，６の雰囲気（ガス漏れがない時は無害）は、排気配
管２３，２４，２５，２６及び切替バルブ２７，２８，
２９，３０を介して大気中に放出される。
【００１５】一方、ゾーン７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄのい
ずれかにおいてガス漏れが検知、例えば、７ａでガスセ
ンサ１９によってガス漏れが検知されたとする。すると
制御部１は製造装置３の稼働を停止させて発火源を止
め、同時にバルブ１１を閉めると共に切替バルブ２７を
排気除害装置３１に切替えるように制御する。これによ
り、クリーンルーム２のゾーン７ａに対してはガス源８
からの新たなガス供給は行われず、ゾーン７ａ及び排気
配管２３内に残留する有害ガスを含む排気が排気除害装
置３１に吸引される。排気除害装置３１では、導入した
有害ガスを含む排気に対し無害化処理を施した後、大気
中に放出する。なお、ガスセンサ１５がガス漏れを検知
した場合でも、ガスセンサ１９による場合と同一の処理
が実行される。また、複数のセンサが動作した場合、そ
の各々に対応する装置が停止されると共に、ゾーン関係
のバルブ閉め及びバルブ切替が行われる。
ずれかにおいてガス漏れが検知、例えば、７ａでガスセ
ンサ１９によってガス漏れが検知されたとする。すると
制御部１は製造装置３の稼働を停止させて発火源を止
め、同時にバルブ１１を閉めると共に切替バルブ２７を
排気除害装置３１に切替えるように制御する。これによ
り、クリーンルーム２のゾーン７ａに対してはガス源８
からの新たなガス供給は行われず、ゾーン７ａ及び排気
配管２３内に残留する有害ガスを含む排気が排気除害装
置３１に吸引される。排気除害装置３１では、導入した
有害ガスを含む排気に対し無害化処理を施した後、大気
中に放出する。なお、ガスセンサ１５がガス漏れを検知
した場合でも、ガスセンサ１９による場合と同一の処理
が実行される。また、複数のセンサが動作した場合、そ
の各々に対応する装置が停止されると共に、ゾーン関係
のバルブ閉め及びバルブ切替が行われる。
【００１６】このとき、ゾーン７ｂ，７ｃ，７ｄにあっ
ては、ガス漏れが検知されていないので、製造装置４，
５，６は稼働を続行している。ここで、仮にゾーン７
ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄの全てにガス漏れが検知されたと
すると、バルブ９、バルブ１１，１２，１３，１４が同
時に閉められ、製造装置３，４，５，６の稼働を全て停
止すると共に、切替バルブ２７，２８，２９，３０の全
てが排気除害装置３１側に切替えられる。
ては、ガス漏れが検知されていないので、製造装置４，
５，６は稼働を続行している。ここで、仮にゾーン７
ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄの全てにガス漏れが検知されたと
すると、バルブ９、バルブ１１，１２，１３，１４が同
時に閉められ、製造装置３，４，５，６の稼働を全て停
止すると共に、切替バルブ２７，２８，２９，３０の全
てが排気除害装置３１側に切替えられる。
【００１７】以上のように、上記した実施例によれば、
各バルブの閉塞動作及び切替動作が自動的に行われるの
で、発火源の停止及び有害ガスの拡散を最小限に留め、
かつ、建屋全体の操業停止を回避することができる。ま
た、安全性の向上が図られると共に環境保全が可能にな
る。
各バルブの閉塞動作及び切替動作が自動的に行われるの
で、発火源の停止及び有害ガスの拡散を最小限に留め、
かつ、建屋全体の操業停止を回避することができる。ま
た、安全性の向上が図られると共に環境保全が可能にな
る。
【００１８】
【発明の効果】以上説明した通り、この発明は、ガス源
からプロセスガスの供給を受けて発火を伴う処理を行い
或いは前記ガス源から危険性ガスの供給を受けて所定の
処理を行う装置が複数に分割したゾーンの各々に設置さ
れるクリーンルームにおいて、前記ゾーンの各々及び前
記装置の各々の内部のガス漏れを検知する複数のガスセ
ンサと、有害ガスを含む排気に対し無害化の処理を行う
排気除害装置と、前記各ゾーンから供給される排気を大
気中または前記排気除害装置のいずれかへ供給する複数
の切替バルブと、前記ガスセンサがガス漏れを検出した
ときにその対応するゾーンに関係するガス供給バルブを
閉めると共に前記切替バルブを前記排気除害装置側へ切
り換える制御部とを設けるようにしたので、ガス漏れ時
にガス供給の停止、装置の停止、排気系の切替えなどが
自動的に行えるようになり、クリーンルーム内における
災害を最小限にし、かつ建屋全体の操業停止を回避でき
る。また、大気中に有害ガスが放出されるのを防止する
ことができる。
からプロセスガスの供給を受けて発火を伴う処理を行い
或いは前記ガス源から危険性ガスの供給を受けて所定の
処理を行う装置が複数に分割したゾーンの各々に設置さ
れるクリーンルームにおいて、前記ゾーンの各々及び前
記装置の各々の内部のガス漏れを検知する複数のガスセ
ンサと、有害ガスを含む排気に対し無害化の処理を行う
排気除害装置と、前記各ゾーンから供給される排気を大
気中または前記排気除害装置のいずれかへ供給する複数
の切替バルブと、前記ガスセンサがガス漏れを検出した
ときにその対応するゾーンに関係するガス供給バルブを
閉めると共に前記切替バルブを前記排気除害装置側へ切
り換える制御部とを設けるようにしたので、ガス漏れ時
にガス供給の停止、装置の停止、排気系の切替えなどが
自動的に行えるようになり、クリーンルーム内における
災害を最小限にし、かつ建屋全体の操業停止を回避でき
る。また、大気中に有害ガスが放出されるのを防止する
ことができる。
【図１】本発明によるクリーンルームにおけるガス漏れ
対策装置の一実施例を示すブロック図である。
対策装置の一実施例を示すブロック図である。
１ 制御部 ２ クリーンルーム ３，４，５，６ 製造装置 ７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ ゾーン ８ ガス源 ９，１１，１２，１３，１４ バルブ １０ ガス配管 １５，１６，１７，１８，１９，２０，２１，２２ ガ
スセンサ ２３，２４，２５，２６ 排気配管 ２７，２８，２９，３０ 切替バルブ ３１ 排気除害装置 ３２ 排ガス配管 ３３ 排ガス処理装置
スセンサ ２３，２４，２５，２６ 排気配管 ２７，２８，２９，３０ 切替バルブ ３１ 排気除害装置 ３２ 排ガス配管 ３３ 排ガス処理装置
Claims (1)
- 【請求項１】 ガス源からプロセスガスの供給を受けて
発火を伴う処理を行い或いは前記ガス源から危険性ガス
の供給を受けて所定の処理を行う装置が複数に分割した
ゾーンの各々に設置されるクリーンルームにおいて、前
記ゾーンの各々及び前記装置の各々の内部のガス漏れを
検知する複数のガスセンサと、有害ガスに対し無害化の
処理を行う排気除害装置と、前記各ゾーンから供給され
る排気を大気中または前記排気除害装置のいずれかへ供
給する複数の切替バルブと、前記ガスセンサがガス漏れ
を検出したときにその対応するゾーンに関係するガス供
給バルブを閉めると共に前記切替バルブを前記排気除害
装置側へ切り換える制御部とを具備することを特徴とす
るクリーンルームにおけるガス漏れ対策装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4121103A JP2582016B2 (ja) | 1992-04-16 | 1992-04-16 | クリーンルームにおけるガス漏れ対策装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4121103A JP2582016B2 (ja) | 1992-04-16 | 1992-04-16 | クリーンルームにおけるガス漏れ対策装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05293193A JPH05293193A (ja) | 1993-11-09 |
| JP2582016B2 true JP2582016B2 (ja) | 1997-02-19 |
Family
ID=14802959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4121103A Expired - Lifetime JP2582016B2 (ja) | 1992-04-16 | 1992-04-16 | クリーンルームにおけるガス漏れ対策装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2582016B2 (ja) |
-
1992
- 1992-04-16 JP JP4121103A patent/JP2582016B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05293193A (ja) | 1993-11-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960903 |