JPH05240730A - ガス漏洩検知方法 - Google Patents
ガス漏洩検知方法Info
- Publication number
- JPH05240730A JPH05240730A JP4280892A JP4280892A JPH05240730A JP H05240730 A JPH05240730 A JP H05240730A JP 4280892 A JP4280892 A JP 4280892A JP 4280892 A JP4280892 A JP 4280892A JP H05240730 A JPH05240730 A JP H05240730A
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- Japan
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- gas
- pressure
- sensors
- sensor
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Abstract
(57)【要約】
【目的】爆発性、毒性ガスのガス漏洩を検知する方法を
提供し、ＬＳＩ製造プロセスの安全化を図る。 【構成】処理装置の排気配管の希釈ガス流入口より下流
側とさらに下流側に圧力センサをそれぞれ設け、各圧力
センサの値あるいは両圧力センサ間の差圧によりガス漏
洩を判定し、ガス漏洩時には警報を発するとともにガス
の供給を遮断する。 【効果】ガスを用いた処理装置の配管系統及び処理装置
自体の大幅な改造なしに、低コストでガス漏洩の検知が
でき、装置の安全化、ＬＳＩ製造コストの低減が図れ
る。
提供し、ＬＳＩ製造プロセスの安全化を図る。 【構成】処理装置の排気配管の希釈ガス流入口より下流
側とさらに下流側に圧力センサをそれぞれ設け、各圧力
センサの値あるいは両圧力センサ間の差圧によりガス漏
洩を判定し、ガス漏洩時には警報を発するとともにガス
の供給を遮断する。 【効果】ガスを用いた処理装置の配管系統及び処理装置
自体の大幅な改造なしに、低コストでガス漏洩の検知が
でき、装置の安全化、ＬＳＩ製造コストの低減が図れ
る。
Description
【０００１】
【発明の利用分野】本発明はＬＳＩ製造工程において爆
発性、毒性ガスの処理装置の排気配管のガス漏洩検知方
法に関わる。
発性、毒性ガスの処理装置の排気配管のガス漏洩検知方
法に関わる。
【０００２】
【従来の技術】ＬＳＩの製造工程では、ＳｉＨ4やＨ2等
の爆発性ガスＡｓＨ3やＣｌ2等の有毒ガスが数多く用い
られ、その取り扱いに対しては、十分な注意が必要であ
る。「化学技術誌 ＭＯＬ」昭和６２年２月号２１〜３
０頁に記載されているように、ガスの排気に対しては、
不活性ガスによる希釈やスクラバ等の除害装置による有
害部分の除去の処置が一般的に行なわれており、定常的
には安全な稼動が可能となっている。図２にＳｉＨ4ガ
スの安全対策例を示す。ガスシリンダ１に貯蔵されたガ
スは自動バルブ２ａ、減圧弁３を通して処理室７に導入
される。処理後の廃ガスはポンプ８で吸引され、Ｎ2に
より希釈された後、除害装置９を通過して、大気中に排
気される。
の爆発性ガスＡｓＨ3やＣｌ2等の有毒ガスが数多く用い
られ、その取り扱いに対しては、十分な注意が必要であ
る。「化学技術誌 ＭＯＬ」昭和６２年２月号２１〜３
０頁に記載されているように、ガスの排気に対しては、
不活性ガスによる希釈やスクラバ等の除害装置による有
害部分の除去の処置が一般的に行なわれており、定常的
には安全な稼動が可能となっている。図２にＳｉＨ4ガ
スの安全対策例を示す。ガスシリンダ１に貯蔵されたガ
スは自動バルブ２ａ、減圧弁３を通して処理室７に導入
される。処理後の廃ガスはポンプ８で吸引され、Ｎ2に
より希釈された後、除害装置９を通過して、大気中に排
気される。
【０００３】シリンダキャビネット１と処理室７は、そ
れぞれ４，６のカバーで覆われており、万一、これらの
部分でガスもれしてもダクト５により局所排気されるよ
うになっている。また、自動バルブ２ａは、緊急遮断ス
イッチ２ｂにつながっており、要所に設置されたガス漏
洩センサ（図示していない）が、ガス漏れを検知した
時、自動的にガスの供給が停止するようになっている。
れぞれ４，６のカバーで覆われており、万一、これらの
部分でガスもれしてもダクト５により局所排気されるよ
うになっている。また、自動バルブ２ａは、緊急遮断ス
イッチ２ｂにつながっており、要所に設置されたガス漏
洩センサ（図示していない）が、ガス漏れを検知した
時、自動的にガスの供給が停止するようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記したガスの配管の
システムにおいて、排気配管は除害装置のメンテ等の
際、取り外すことが多い。したがって、これらの非定常
作業において配管の継手部の締め不十分や締め忘れ等の
可能性があり、このようなケアレスミスがガス漏れにつ
ながり、事故が生じた例が多い。これを防ぐには（１）
排気部自体も排気ダクト内に入れる、あるいは（２）ガ
ス漏洩センサを数多く設置する、等が対策として考えら
れるが、（１）については、操作、メンテ上の支障とな
るため通常実施できない。また（２）は一部実施されて
いるが、コスト面で負担になるとともに、ガス漏洩セン
サの信頼性がまだ十分とは言えず、誤報や検知誤差の増
大が問題となっている。
システムにおいて、排気配管は除害装置のメンテ等の
際、取り外すことが多い。したがって、これらの非定常
作業において配管の継手部の締め不十分や締め忘れ等の
可能性があり、このようなケアレスミスがガス漏れにつ
ながり、事故が生じた例が多い。これを防ぐには（１）
排気部自体も排気ダクト内に入れる、あるいは（２）ガ
ス漏洩センサを数多く設置する、等が対策として考えら
れるが、（１）については、操作、メンテ上の支障とな
るため通常実施できない。また（２）は一部実施されて
いるが、コスト面で負担になるとともに、ガス漏洩セン
サの信頼性がまだ十分とは言えず、誤報や検知誤差の増
大が問題となっている。
【０００５】本発明の目的は、上記に鑑み、信頼性が高
く、かつコスト的にも安価な排気配管の漏洩検知方法を
提供することにある。
く、かつコスト的にも安価な排気配管の漏洩検知方法を
提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明では、ガス排気配
管の希釈ガス導入部よりも下流側に、検知し得る圧力差
の生ずる間隔をおいて２個の圧力センサを設置し、その
圧力センサの差圧および絶対圧力を検知することによ
り、ガス漏洩の有無を判定する。
管の希釈ガス導入部よりも下流側に、検知し得る圧力差
の生ずる間隔をおいて２個の圧力センサを設置し、その
圧力センサの差圧および絶対圧力を検知することによ
り、ガス漏洩の有無を判定する。
【０００７】
【作用】上記のように設置したガスセンサの上流側と下
流側の差圧とその間の配管のコンダクタンスからそこを
流れているガスの流量が求まる。その間でもしガス漏洩
があれば前記の流量値が減少するので、ガス漏洩検知が
可能となる。
流側の差圧とその間の配管のコンダクタンスからそこを
流れているガスの流量が求まる。その間でもしガス漏洩
があれば前記の流量値が減少するので、ガス漏洩検知が
可能となる。
【０００８】また、下流側のガスセンサ位置よりさらに
下流側の配管でガス漏れが生じた時には、下流側のガス
センサの圧力値が低下することにより検知できる。
下流側の配管でガス漏れが生じた時には、下流側のガス
センサの圧力値が低下することにより検知できる。
【０００９】さらに、ガス漏れではないが、ガス漏れの
原因になり得る排気配管の詰まりが生じた場合には、各
圧力センサ値が増加することでその異常を検知できる。
原因になり得る排気配管の詰まりが生じた場合には、各
圧力センサ値が増加することでその異常を検知できる。
【００１０】上記したガス漏れや異常が生じた時には直
ちに警報を発するとともに、ガス供給の弁を遮断する。
これにより避難処置を促すとともに、より以上のガス漏
れの発生を防止できる。
ちに警報を発するとともに、ガス供給の弁を遮断する。
これにより避難処置を促すとともに、より以上のガス漏
れの発生を防止できる。
【００１１】
【実施例】次に本発明の実施例を図１により説明する。
図１で図２と符号の同じものは同一物である。本実施例
では圧力センサＡ（１０）を、排気ポンプの下流側でＮ
2の希釈ガスの合流した直後に設置し、圧力センサＢ
（１１）は、除害装置のさらに下流側に設置した。この
２つの圧力センサの信号値は、警報・制御器１２に送ら
れる。警報・制御器１２では２つの圧力値を後述するよ
うに処理し、ガス漏れと判定した時にはアラームを発す
るとともに自動弁２ａを緊急遮断し、ガス供給を停止す
る。
図１で図２と符号の同じものは同一物である。本実施例
では圧力センサＡ（１０）を、排気ポンプの下流側でＮ
2の希釈ガスの合流した直後に設置し、圧力センサＢ
（１１）は、除害装置のさらに下流側に設置した。この
２つの圧力センサの信号値は、警報・制御器１２に送ら
れる。警報・制御器１２では２つの圧力値を後述するよ
うに処理し、ガス漏れと判定した時にはアラームを発す
るとともに自動弁２ａを緊急遮断し、ガス供給を停止す
る。
【００１２】本実施例では、ガスシリンダ１に入ってい
るＳｉＨ4ガスを１００ｓｃｃｍの流量で処理室７に流
し、処理室でｐｏｌｙ−Ｓｉ膜を成膜するプロセスを行
なった。Ｎ2ガスは２０ｌ／ｍｉｎの流量で希釈した。
なお、排気配管は内径４０ｍｍのものを用い、ガスセン
サＡ（１０）とガスセンサＢ（１１）の配管長は約５
ｍ、ガスセンサＢ（１１）から大気放出までの配管長は
約２０ｍである。このプロセスでは、ガス漏れのない場
合は、ガスセンサＡ（１０）の検知する圧力値Ｐａおよ
びガスセンサＢ（１１）が検知する圧力値Ｐｂはゲージ
圧でそれぞれ６０Ｔｏｒｒ，３２Ｔｏｒｒであった。種
々のガス漏れのケースを調べたが、その例としてガスセ
ンサＢ（１１）の直後でガス漏れが生じた場合、Ｐｂは
２Ｔｏｒｒに低下し、また、除害装置９の上流側の継手
でガス漏れが生じた時、Ｐａは５５Ｔｏｒｒ，Ｐｂは３
０Ｔｏｒｒとなった。これらのデータをもとに、それぞ
れの圧力センサの検出値および両圧力の差（差圧）の上
限および下限を決め、その範囲からはずれた場合には、
警報・制御器１２が働くようにしてある。
るＳｉＨ4ガスを１００ｓｃｃｍの流量で処理室７に流
し、処理室でｐｏｌｙ−Ｓｉ膜を成膜するプロセスを行
なった。Ｎ2ガスは２０ｌ／ｍｉｎの流量で希釈した。
なお、排気配管は内径４０ｍｍのものを用い、ガスセン
サＡ（１０）とガスセンサＢ（１１）の配管長は約５
ｍ、ガスセンサＢ（１１）から大気放出までの配管長は
約２０ｍである。このプロセスでは、ガス漏れのない場
合は、ガスセンサＡ（１０）の検知する圧力値Ｐａおよ
びガスセンサＢ（１１）が検知する圧力値Ｐｂはゲージ
圧でそれぞれ６０Ｔｏｒｒ，３２Ｔｏｒｒであった。種
々のガス漏れのケースを調べたが、その例としてガスセ
ンサＢ（１１）の直後でガス漏れが生じた場合、Ｐｂは
２Ｔｏｒｒに低下し、また、除害装置９の上流側の継手
でガス漏れが生じた時、Ｐａは５５Ｔｏｒｒ，Ｐｂは３
０Ｔｏｒｒとなった。これらのデータをもとに、それぞ
れの圧力センサの検出値および両圧力の差（差圧）の上
限および下限を決め、その範囲からはずれた場合には、
警報・制御器１２が働くようにしてある。
【００１３】本実施例では、それぞれの圧力センサの検
出値あるいは差圧の標準値±１０％を上限および下限と
した。その場合、ガス漏れ量の検出限界は約０．３Ｔｏ
ｒｒ・ｌ／ｓｅｃであり、実用上、十分な検出能力があ
ることがわかった。上記したように本発明によれば、ガ
スの漏洩検知を特殊な装置なしにかつ処理装置の大幅な
改造なしに感度良く実施できることがわかった。また、
本実施例は、ＳｉＨ4ガスを用いたｐｏｌｙ−Ｓｉ成膜
について適用したが、他の爆発性、可燃性、毒性ガス、
例えば、Ｓｉ2Ｈ6，ＰＨ3，Ｂ2Ｈ6，Ｃｌ2，ＢＣｌ3，
ＡｓＨ3等を用いたＣＶＤやエッチング、イオン打ち込
みなど、ＬＳＩ製造工程に用いられるガスおよびプロセ
ス全般に適用できることはもちろんである。
出値あるいは差圧の標準値±１０％を上限および下限と
した。その場合、ガス漏れ量の検出限界は約０．３Ｔｏ
ｒｒ・ｌ／ｓｅｃであり、実用上、十分な検出能力があ
ることがわかった。上記したように本発明によれば、ガ
スの漏洩検知を特殊な装置なしにかつ処理装置の大幅な
改造なしに感度良く実施できることがわかった。また、
本実施例は、ＳｉＨ4ガスを用いたｐｏｌｙ−Ｓｉ成膜
について適用したが、他の爆発性、可燃性、毒性ガス、
例えば、Ｓｉ2Ｈ6，ＰＨ3，Ｂ2Ｈ6，Ｃｌ2，ＢＣｌ3，
ＡｓＨ3等を用いたＣＶＤやエッチング、イオン打ち込
みなど、ＬＳＩ製造工程に用いられるガスおよびプロセ
ス全般に適用できることはもちろんである。
【００１４】
【発明の効果】上記したように、本発明によれば、誤報
等のない正確なガス漏洩検知が安価に実現できるため、
ＬＳＩの製造工程におけるガス漏洩対策の万全化が図
れ、ガス漏洩に起因する爆発、火災事故、中毒事故を未
然に防ぐことができる。このことは最終的にＬＳＩ製品
の開発コスト、製品コストの低減につながり、この分野
の産業発展に寄与する所大である。
等のない正確なガス漏洩検知が安価に実現できるため、
ＬＳＩの製造工程におけるガス漏洩対策の万全化が図
れ、ガス漏洩に起因する爆発、火災事故、中毒事故を未
然に防ぐことができる。このことは最終的にＬＳＩ製品
の開発コスト、製品コストの低減につながり、この分野
の産業発展に寄与する所大である。
【図１】本発明の１実施例を示すガス漏洩検知システム
図である。
図である。
【図２】従来のガス配管システムの例を示す図である。
１…ガスシリンダ、２ａ…自動弁、２ｂ…緊急遮断弁、
３…圧力調整器、４，６…カバー、５…排気ダクト、７
…処理室、８…真空ポンプ、９…除害装置、１０…圧力
センサＡ、１１…圧力センサＢ、１２…警報・制御器
３…圧力調整器、４，６…カバー、５…排気ダクト、７
…処理室、８…真空ポンプ、９…除害装置、１０…圧力
センサＡ、１１…圧力センサＢ、１２…警報・制御器
Claims (1)
- 【請求項１】爆発性、可燃性、もしくは毒性のガスを用
いた処理装置のガス排気配管のガス漏洩検知方法におい
て、第１の圧力センサと第２の圧力センサを、所定の希
釈ガス流量において前記両圧力センサが検知する圧力の
差が検知限界値以上になるような間隔で、希釈ガス導入
部よりも下流側に設置し、第１および第２の圧力センサ
の圧力値によりガス漏洩を判定することを特徴とするガ
ス漏洩検知方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4280892A JPH05240730A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | ガス漏洩検知方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4280892A JPH05240730A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | ガス漏洩検知方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05240730A true JPH05240730A (ja) | 1993-09-17 |
Family
ID=12646262
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4280892A Pending JPH05240730A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | ガス漏洩検知方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05240730A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111868896A (zh) * | 2018-03-22 | 2020-10-30 | 株式会社国际电气 | 基板处理装置、半导体装置的制造方法及程序 |
-
1992
- 1992-02-28 JP JP4280892A patent/JPH05240730A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111868896A (zh) * | 2018-03-22 | 2020-10-30 | 株式会社国际电气 | 基板处理装置、半导体装置的制造方法及程序 |
| CN111868896B (zh) * | 2018-03-22 | 2023-10-24 | 株式会社国际电气 | 基板处理装置、半导体装置的制造方法及存储介质 |
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