JPS5995434A - 圧力センサ− - Google Patents
圧力センサ−Info
- Publication number
- JPS5995434A JPS5995434A JP20576182A JP20576182A JPS5995434A JP S5995434 A JPS5995434 A JP S5995434A JP 20576182 A JP20576182 A JP 20576182A JP 20576182 A JP20576182 A JP 20576182A JP S5995434 A JPS5995434 A JP S5995434A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- pressure sensor
- photoresist
- etching
- accuracy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0042—Constructional details associated with semiconductive diaphragm sensors, e.g. etching, or constructional details of non-semiconductive diaphragms
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は圧力センサーの構造に関丁Φ。
不発明の口重に、小型で刀１つ安価な圧力センサー會提
供することにある〇 最近、家−製品や回動車などにマイクロコンピュータ−
が導入されるようになっているが、それに伴ない各４ｊ
センサーへの袂望がいろいろと強１つている。軸に圧力
センサは小型・安１曲なものが切望されている。その１
こめに、８１基板上に抵抗増ｒ形成し、反対力１らエツ
チングにエリダイヤフラム上杵つ１ξ半１．４体圧力セ
ンサが開発さＲ”している。
供することにある〇 最近、家−製品や回動車などにマイクロコンピュータ−
が導入されるようになっているが、それに伴ない各４ｊ
センサーへの袂望がいろいろと強１つている。軸に圧力
センサは小型・安１曲なものが切望されている。その１
こめに、８１基板上に抵抗増ｒ形成し、反対力１らエツ
チングにエリダイヤフラム上杵つ１ξ半１．４体圧力セ
ンサが開発さＲ”している。
こしは圧力に１６じて生じｔｃ’Ｒ圧ダイヤフラムの変
形企ピエゾ抵仇の友化にエリ、咲出てるものである。
形企ピエゾ抵仇の友化にエリ、咲出てるものである。
特徴として、バッチ処理で製造できる、周辺回路もモノ
リシックに果績できるなどがあるが、−髪補償回路が絶
対に必要で′Ｄ１つそのＡ世が大変に面倒であること、
外部の雰囲気の影響を受Ｑプや丁く隔離する必要のある
１こめに容器の構造に工大が必要であＶ）複雑となって
し１９などの欠点があり、未だ民生用愼器にほわずかし
た用いられていない。
リシックに果績できるなどがあるが、−髪補償回路が絶
対に必要で′Ｄ１つそのＡ世が大変に面倒であること、
外部の雰囲気の影響を受Ｑプや丁く隔離する必要のある
１こめに容器の構造に工大が必要であＶ）複雑となって
し１９などの欠点があり、未だ民生用愼器にほわずかし
た用いられていない。
不発明は、家電製品や自動車などの民生城益に大量に組
み込まｎること葡目ざして発条されたものであり、水晶
でダイヤフラム會形成するという新規な横這に関するも
のである。以下凶■とともに本発明を説明していく。
み込まｎること葡目ざして発条されたものであり、水晶
でダイヤフラム會形成するという新規な横這に関するも
のである。以下凶■とともに本発明を説明していく。
第１図は不発明の圧力センサーの製造方法ケ示しており
、１は水晶薄・仮、２Ｖ″ＩＡｕ、Ｏｒなど７）＞らな
る金！、劇模、３はフオトレジス）ｋ表わ丁。さて第１
図（ａ）において水晶４仮１の両王囲に第−増目として
Ｃ１−Ｘ第二ノ曽目としてＡｕｃ）ｌ厚膜２會蒸涜・ス
パッタなどの手法にエリ設ける。次にフォトレジスト３
ｉ前記金ｈ４ ＩＩ・４２上に塗布し、第１図（ｂ）に
示す二うに路ｔｔ−現像にエリダイヤフラム慎域のフォ
トレジスト？除云ｒ石。次に渠１図（Ｃ）のようにフォ
トレジスト５に復ゎれていないダイヤフラム穎域の金＃
）４ ｋ’ ２ ’Ｌフォトレジスト？マスクとしてエ
ツチングし麻云する。最段に第１図（ｄ）で示すように
、？１」えばフッ融とフッ化アンモニウムの混合液で金
橋瑛２會マスクとしてエツチングしダイヤフラム５？形
成するのである。この除、ダイヤフラム５の厚みｔμエ
ツチング時間国エリ太１７１＝に管理できるが、史に積
度を上げるためには公知の計測手段、例えば光字計測に
工９ｔ？測定し逐仄追い込んでゆけば艮い。
、１は水晶薄・仮、２Ｖ″ＩＡｕ、Ｏｒなど７）＞らな
る金！、劇模、３はフオトレジス）ｋ表わ丁。さて第１
図（ａ）において水晶４仮１の両王囲に第−増目として
Ｃ１−Ｘ第二ノ曽目としてＡｕｃ）ｌ厚膜２會蒸涜・ス
パッタなどの手法にエリ設ける。次にフォトレジスト３
ｉ前記金ｈ４ ＩＩ・４２上に塗布し、第１図（ｂ）に
示す二うに路ｔｔ−現像にエリダイヤフラム慎域のフォ
トレジスト？除云ｒ石。次に渠１図（Ｃ）のようにフォ
トレジスト５に復ゎれていないダイヤフラム穎域の金＃
）４ ｋ’ ２ ’Ｌフォトレジスト？マスクとしてエ
ツチングし麻云する。最段に第１図（ｄ）で示すように
、？１」えばフッ融とフッ化アンモニウムの混合液で金
橋瑛２會マスクとしてエツチングしダイヤフラム５？形
成するのである。この除、ダイヤフラム５の厚みｔμエ
ツチング時間国エリ太１７１＝に管理できるが、史に積
度を上げるためには公知の計測手段、例えば光字計測に
工９ｔ？測定し逐仄追い込んでゆけば艮い。
以上のように成形された水晶ダイヤフラム音用いた圧力
センサーの一災Ｍ ？ｌｌを第２図に示す。ここで圧力
センサー２０μ、ダイヤフラム５が形成された水晶板１
と、水晶又はセラミック〃為らなる基似１２、及び両者
を接層する非等α注接看剤１３、史にダイヤフラム５と
羞仮１２に互いに対向子べく形成されたＡｕ膜（下地に
Ｏｒ、第二増目としてＡｕ膜の二層でも町、１ｏ、１１
とそれぞれ外部に引き出されたＩＱａ、１１ａの夕を部
端子刀為ら成っている。な２ここでは悟号として電極１
０．１１間に形成される靜′−谷蛍を用いている。
センサーの一災Ｍ ？ｌｌを第２図に示す。ここで圧力
センサー２０μ、ダイヤフラム５が形成された水晶板１
と、水晶又はセラミック〃為らなる基似１２、及び両者
を接層する非等α注接看剤１３、史にダイヤフラム５と
羞仮１２に互いに対向子べく形成されたＡｕ膜（下地に
Ｏｒ、第二増目としてＡｕ膜の二層でも町、１ｏ、１１
とそれぞれ外部に引き出されたＩＱａ、１１ａの夕を部
端子刀為ら成っている。な２ここでは悟号として電極１
０．１１間に形成される靜′−谷蛍を用いている。
ここで載板１２ａ水晶板１と熱膨鍛率が同じ楊枝で＼〃
）つ慎械旧強願の彊いものが迷ばれる。−また外部端す
１１ａは、心愼映１１刀１ら基・；収１２に設け１ζス
ルーホールにエリ引き出さ扛ているが、他の外部端子１
０ａのように接合部から引き出しても良いことに−う葦
でもない。
）つ慎械旧強願の彊いものが迷ばれる。−また外部端す
１１ａは、心愼映１１刀１ら基・；収１２に設け１ζス
ルーホールにエリ引き出さ扛ているが、他の外部端子１
０ａのように接合部から引き出しても良いことに−う葦
でもない。
ここで接合材料１３として非導或注按虐ｉ；１が用いら
れているが導μ注でも刀為まわない。従って半田も可能
である。ただし、′睡億の外し引き出しは′電極ＩＱ、
１１同志導刈しないようにする必要がある。
れているが導μ注でも刀為まわない。従って半田も可能
である。ただし、′睡億の外し引き出しは′電極ＩＱ、
１１同志導刈しないようにする必要がある。
このような圧力センサーは、第３図の工うな形 −でＢ
とうことかできる。ｊ４５図で、圧力センサー２０の外
部′電極端子１Ｑａ、１１ａにはリード端子ｚｓ、ｚ６
がそｎぞれ接続されており外部心気回路（図示せず）と
導逃している。圧力センサー２０は電極端子ＩＱａ、１
１ａ、及び記２図に示した接合”Ｊ １３ ’に抹収す
る目的で通常の′祇子部品と同様佃廂モールド３０でダ
イヤフラム以外七榎っている。以上の圧力センサーに圧
力測定子べき恢６斤のケーシング３１に成づ創３２によ
ってセットされる。
とうことかできる。ｊ４５図で、圧力センサー２０の外
部′電極端子１Ｑａ、１１ａにはリード端子ｚｓ、ｚ６
がそｎぞれ接続されており外部心気回路（図示せず）と
導逃している。圧力センサー２０は電極端子ＩＱａ、１
１ａ、及び記２図に示した接合”Ｊ １３ ’に抹収す
る目的で通常の′祇子部品と同様佃廂モールド３０でダ
イヤフラム以外七榎っている。以上の圧力センサーに圧
力測定子べき恢６斤のケーシング３１に成づ創３２によ
ってセットされる。
以上のように不発明に沖′誦にｌｊＧ年な栴這で圧力セ
ンサーを提供できるという従２ζでに考えられないＡｌ
１魚を有している。
ンサーを提供できるという従２ζでに考えられないＡｌ
１魚を有している。
ところで水晶の１慎として、
１、 優れ友デｐ性俸であること
２ 父定ンよ材料であること
５７ツば系の額でエッチング力ｌ工できることの３点が
孕けら几るが、こ乳にエリ ａ、商いステイフネスとそ几に起因する高周波ンスボン
ス ｂ、 艮好なヒステリシス特１生と再現任Ｃ０雰囲気の
影・＋りを受けないので、むき出し構造が可能 α、バッチ処理が可能 という大きなメリットが存在することになる。従って第
１図から第３図で説明してきた本発明の圧力センサーで
は、上記ａとｂの項目刀）ら重積１毘、ご刀）ら小型・
女徊、ｄ ｐ＞ら安１１という特徴が見出せるであろう
。
孕けら几るが、こ乳にエリ ａ、商いステイフネスとそ几に起因する高周波ンスボン
ス ｂ、 艮好なヒステリシス特１生と再現任Ｃ０雰囲気の
影・＋りを受けないので、むき出し構造が可能 α、バッチ処理が可能 という大きなメリットが存在することになる。従って第
１図から第３図で説明してきた本発明の圧力センサーで
は、上記ａとｂの項目刀）ら重積１毘、ご刀）ら小型・
女徊、ｄ ｐ＞ら安１１という特徴が見出せるであろう
。
本発明を更に詳ｉｉ’ｌＢに説明する。第４図はダイヤ
プラム全周辺−疋の円板と児なしにノ勅合のダイヤフラ
ムの模式図であり、厚みｔ１直径２ａ、圧力ｑとしてい
る、さて、中心からの距ｆｉｌｌ ’Ｌ ｒとした時に
は、圧力ｑとダイヤフラムの１こゎみ蛍ω（ｒ）の関係
は微小変形５１１１生理ｊｎｉ Ｉｃ Ｌり求めると人
のようになる。
プラム全周辺−疋の円板と児なしにノ勅合のダイヤフラ
ムの模式図であり、厚みｔ１直径２ａ、圧力ｑとしてい
る、さて、中心からの距ｆｉｌｌ ’Ｌ ｒとした時に
は、圧力ｑとダイヤフラムの１こゎみ蛍ω（ｒ）の関係
は微小変形５１１１生理ｊｎｉ Ｉｃ Ｌり求めると人
のようになる。
・（・）＝−□〔、−（勺・〕・
６４ｋ ａ
ここで、Ｅ：ヤング率
シ：ボアソン比
（１）式から、ダイヤプラム径２ａ−２腿、水晶ｔＺカ
ット（水晶板の法、尿がＺ′肺−水晶の光学軸一方間に
半行なもの９とした時の圧力とたわみの関係？求めゐと
第５図のようになった。ここで最大１こわみとはダイヤ
プラム中心、即ちｒ＝ｏでの１こわみω（０）？示して
いる、図において、イ１１ロ、ハ二はそれぞｎダイヤフ
ラム厚ｔが、６ｏμｍ。
ット（水晶板の法、尿がＺ′肺−水晶の光学軸一方間に
半行なもの９とした時の圧力とたわみの関係？求めゐと
第５図のようになった。ここで最大１こわみとはダイヤ
プラム中心、即ちｒ＝ｏでの１こわみω（０）？示して
いる、図において、イ１１ロ、ハ二はそれぞｎダイヤフ
ラム厚ｔが、６ｏμｍ。
８０μ？ｎ１１００μｍ、２０１０μｍの揚＠を示して
いる、従って、測足対１禄の圧力レンジに応じて厚み寸
法ｔｉ通当に退べば艮いことがわ刀する。
いる、従って、測足対１禄の圧力レンジに応じて厚み寸
法ｔｉ通当に退べば艮いことがわ刀する。
第２図において、ダイヤフラム５と基似１２に設けた電
・ｉり１０，１１間の静−容１璽とすると＋１１式から
求筐る圧力ｑにおけるたゎみ放ω（ｒ）の関係を用いて
、 ａ’ ｒｄｒ Ｃ＝２π” ｏ Ｇ−ｍ（ｒ） ”’ ”・（
２）ここで、ε：ダイヤフラムと端板ＩＢ１の誘電率ａ
′：電恒牛径 Ｇ二圧力０における１ζゎみ霊 となる。ダイヤフラム径２ａ＝２ｗ＋ｍ、Ｇ＝６０μｍ
水晶は２カツト板とした時の関糸全第６図に示した。こ
こで、ｋ、ｋｌ’；Ｉダイヤフラム厚℃＝６０μ７７１
．。
・ｉり１０，１１間の静−容１璽とすると＋１１式から
求筐る圧力ｑにおけるたゎみ放ω（ｒ）の関係を用いて
、 ａ’ ｒｄｒ Ｃ＝２π” ｏ Ｇ−ｍ（ｒ） ”’ ”・（
２）ここで、ε：ダイヤフラムと端板ＩＢ１の誘電率ａ
′：電恒牛径 Ｇ二圧力０における１ζゎみ霊 となる。ダイヤフラム径２ａ＝２ｗ＋ｍ、Ｇ＝６０μｍ
水晶は２カツト板とした時の関糸全第６図に示した。こ
こで、ｋ、ｋｌ’；Ｉダイヤフラム厚℃＝６０μ７７１
．。
ｋ’、 ｋ’ｌ”ｊ ｔ ＝ ７０ μｍであること葡
示し、ｋ、に’はダイヤフラム及び基板の対間する部分
の電極の半径が３ ａ ／ １ ［１（ａ ：ダイヤフ
ラム径）のもの、ｋ、に’は電極がダイヤフラムの周辺
部（′嶋協輻２ ａ ／ １０ ）で対間しているもの
會そルぞル示し、第７図に一実施例葡図示しておい友。
示し、ｋ、に’はダイヤフラム及び基板の対間する部分
の電極の半径が３ ａ ／ １ ［１（ａ ：ダイヤフ
ラム径）のもの、ｋ、に’は電極がダイヤフラムの周辺
部（′嶋協輻２ ａ ／ １０ ）で対間しているもの
會そルぞル示し、第７図に一実施例葡図示しておい友。
凶刃≧ら、ダイヤフラムの中心近傍に屯’Ｖ＝設けた場
合に、圧力と１７ ｏの関係ば極めて艮い直線となるが
、周辺部に電極を設け１ζ場合には圧力に対し１ ／
ｃがほとんど変化のしないことが認められる。この事実
は、ダイヤフラム中央部と周辺部で形成される静電容量
をそれぞれ比奴することで容易にて各種要因（例えばダ
イヤフラムの形状・寸法や電極の形状・寸法）Ｉｌ′ｉ
：エリ化じた特注のＣばらつきヶ取り除くことが’］’
ＨＱであることを示し、水晶のもつ直線性と合わせて容
易に副硝娑化が狙えることを示している、当然、中心部
に設けた電極のみでも高積度なものは得られることに−
９１でもない。
合に、圧力と１７ ｏの関係ば極めて艮い直線となるが
、周辺部に電極を設け１ζ場合には圧力に対し１ ／
ｃがほとんど変化のしないことが認められる。この事実
は、ダイヤフラム中央部と周辺部で形成される静電容量
をそれぞれ比奴することで容易にて各種要因（例えばダ
イヤフラムの形状・寸法や電極の形状・寸法）Ｉｌ′ｉ
：エリ化じた特注のＣばらつきヶ取り除くことが’］’
ＨＱであることを示し、水晶のもつ直線性と合わせて容
易に副硝娑化が狙えることを示している、当然、中心部
に設けた電極のみでも高積度なものは得られることに−
９１でもない。
更１／ＣＹＡＧ（イツトリウム・アルミニウム・ガーネ
ット）レーザーの板長ｄ９１．０６μｍでは水晶は透明
なので、第２図の状慈で外〃）らＹＡＧレーザー光によ
り内部の金属薄膜葡浴屏・隊云することで１極面瑣？変
えることが可Ｕになので、容易にゼロ調歪が行なえるた
めに沖富に虚厘注ににんでいることも人さな利点となっ
ている。
ット）レーザーの板長ｄ９１．０６μｍでは水晶は透明
なので、第２図の状慈で外〃）らＹＡＧレーザー光によ
り内部の金属薄膜葡浴屏・隊云することで１極面瑣？変
えることが可Ｕになので、容易にゼロ調歪が行なえるた
めに沖富に虚厘注ににんでいることも人さな利点となっ
ている。
不発明の他の実施νす？第８′Ａに示す。ここでに簡単
の１こめに、水晶板１と基板２、及び電極ＩＱ。
の１こめに、水晶板１と基板２、及び電極ＩＱ。
１１のみ示しである。第ａＡｔグ下請」−極１１が部分
区ヘスとなっており、上側電極は全面嶋毬となっていて
、第７凶とに逆になっている。
区ヘスとなっており、上側電極は全面嶋毬となっていて
、第７凶とに逆になっている。
不発明の玩明では、ダイヤフラムと基板とで構成さ几る
空隙部の４−気について百及していな〃≧つたが、共生
でも大気圧に珠１これた雰囲気（Ｎ２又は空気などンで
も可能であり、本発明の何ら限定するところでにない。
空隙部の４−気について百及していな〃≧つたが、共生
でも大気圧に珠１これた雰囲気（Ｎ２又は空気などンで
も可能であり、本発明の何ら限定するところでにない。
以上本発明によれば、小型・軽重で刀１つ構這が間早な
ため安ＩＩＩＩｌな圧力センサー全提供することができ
る。史に、水晶自材の付つ愛れた直後性及び本発明の′
屯極構遺にエリ置祠度化が町目巨となる。
ため安ＩＩＩＩｌな圧力センサー全提供することができ
る。史に、水晶自材の付つ愛れた直後性及び本発明の′
屯極構遺にエリ置祠度化が町目巨となる。
以上のように、本発明の効果ｒＩ絶大でありその工業的
１曲１直は而い。
１曲１直は而い。
第１図μ本発明の圧力センサーの製造方法７示す断面図
である。 第２図は本発明の圧力センサーの一実施νす會示す断面
図である。 第３図ば不発明の圧力センサーの匠用方法會説明する模
式図である、 第４図は本発明の詳細な説明するためのダイヤフラムの
模式図である。 第５図に本発明の詳細な説明するだめの圧力とダイヤフ
ラムの１こわみ量の関係？示すグラフである。 渠６図に本発明の詳細な説明するだめの圧力と静低容瀘
の関係會示すグラフである。 第７凶は本発明の圧力センサーの池の災施例？示す断面
図である。 第８凶は本発明の圧力センサーの他の実施例を示す断面
図であな。 １・・・水晶板 ５・・・ダイヤフラム １２・・・基板 ＩＱ、１１・・・金槌膜 ２０・・・圧力センサ 以 上 出願人 株式会社第二謂工舎 代理人 弁理士埴土 務
である。 第２図は本発明の圧力センサーの一実施νす會示す断面
図である。 第３図ば不発明の圧力センサーの匠用方法會説明する模
式図である、 第４図は本発明の詳細な説明するためのダイヤフラムの
模式図である。 第５図に本発明の詳細な説明するだめの圧力とダイヤフ
ラムの１こわみ量の関係？示すグラフである。 渠６図に本発明の詳細な説明するだめの圧力と静低容瀘
の関係會示すグラフである。 第７凶は本発明の圧力センサーの池の災施例？示す断面
図である。 第８凶は本発明の圧力センサーの他の実施例を示す断面
図であな。 １・・・水晶板 ５・・・ダイヤフラム １２・・・基板 ＩＱ、１１・・・金槌膜 ２０・・・圧力センサ 以 上 出願人 株式会社第二謂工舎 代理人 弁理士埴土 務
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１１少なくとも水晶板からエッチングカロエに工って
形成されたダイヤフラムと、前記水晶板ケ叉持する基板
と、前記ダイヤフラム及び前記水晶板に設けられている
金属薄膜とによって構成されていることに％徴とする圧
力センサー。 （２、特許請求の範囲第１項において、ダイヤフラム及
び基板に設けらｎた′ｋＬ極のどちらか一万又は両方と
も複数に分割されていることｔ有機とする圧力センサー
、 （３）特許請求の範囲第２項において、分割きれた′Ｉ
ｔ極の一力はダイヤフラムの中央部、他方はダイヤプラ
ムの周辺部に対応していることＹ ＃ ｉｔとする圧力
センサー。 （４）特許請求の範囲第１項において、レーザー光によ
って金属薄膜を除去することでゼロ点調螢盆行なうよう
にしたことｔ何機とする圧力センサ０ （５） 少なくとも水晶板７７）Ｉ−）エツチング那
工によって形成さｎ罠ダイヤフラムと、前記水晶板全叉
狩する基板と、前記ダイヤフラム及び前記水晶板に設け
られている金ｋＡ薄膜とによって構Ｊａされており、刀
≧つ前記ダイヤフラム部以外ぼ佃脂モールドで榎われて
いることｔ時機とする圧力センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20576182A JPS5995434A (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | 圧力センサ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20576182A JPS5995434A (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | 圧力センサ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5995434A true JPS5995434A (ja) | 1984-06-01 |
Family
ID=16512226
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20576182A Pending JPS5995434A (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | 圧力センサ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5995434A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63104420U (ja) * | 1986-12-26 | 1988-07-06 | ||
| JPS63130512U (ja) * | 1987-02-20 | 1988-08-26 | ||
| JPS63176120U (ja) * | 1987-06-26 | 1988-11-15 | ||
| JPS6414216U (ja) * | 1987-07-10 | 1989-01-25 | ||
| FR2880987A1 (fr) * | 2005-01-18 | 2006-07-21 | Sagem | Procede de gravure d'une galette en matiere cristalline |
-
1982
- 1982-11-24 JP JP20576182A patent/JPS5995434A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63104420U (ja) * | 1986-12-26 | 1988-07-06 | ||
| JPS63130512U (ja) * | 1987-02-20 | 1988-08-26 | ||
| JPS63176120U (ja) * | 1987-06-26 | 1988-11-15 | ||
| JPS6414216U (ja) * | 1987-07-10 | 1989-01-25 | ||
| FR2880987A1 (fr) * | 2005-01-18 | 2006-07-21 | Sagem | Procede de gravure d'une galette en matiere cristalline |
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