JPS59931A - 半導体素子のマウント方法 - Google Patents
半導体素子のマウント方法Info
- Publication number
- JPS59931A JPS59931A JP11012882A JP11012882A JPS59931A JP S59931 A JPS59931 A JP S59931A JP 11012882 A JP11012882 A JP 11012882A JP 11012882 A JP11012882 A JP 11012882A JP S59931 A JPS59931 A JP S59931A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive
- semiconductor element
- bonding agent
- substrate
- mounting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L24/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L24/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
- H01L2224/8319—Arrangement of the layer connectors prior to mounting
- H01L2224/83192—Arrangement of the layer connectors prior to mounting wherein the layer connectors are disposed only on another item or body to be connected to the semiconductor or solid-state body
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
- H01L2224/838—Bonding techniques
- H01L2224/8385—Bonding techniques using a polymer adhesive, e.g. an adhesive based on silicone, epoxy, polyimide, polyester
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01005—Boron [B]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01033—Arsenic [As]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/06—Polymers
- H01L2924/078—Adhesive characteristics other than chemical
- H01L2924/07802—Adhesive characteristics other than chemical not being an ohmic electrical conductor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は半導体素子のマウント方法に関するものであ
る。
る。
従来この種のマウント方法として、第1図に示すように
、セラミック、ガラスエポキシ、フェノール等よシなる
基板(1)上の必要な場所(2)に、ディスペンス(吹
付け)、スタンプ、印刷などによシ液状状態の接着剤(
3)を塗布し、該接着剤(3)の上に必要な半導体素子
(4)を乗せて一定の圧力で押しつけ、この後、熱硬化
性樹脂の場合は、温度を上げて硬化させ、常温硬化の場
合は室温で硬化を完了させるという方法があった。
、セラミック、ガラスエポキシ、フェノール等よシなる
基板(1)上の必要な場所(2)に、ディスペンス(吹
付け)、スタンプ、印刷などによシ液状状態の接着剤(
3)を塗布し、該接着剤(3)の上に必要な半導体素子
(4)を乗せて一定の圧力で押しつけ、この後、熱硬化
性樹脂の場合は、温度を上げて硬化させ、常温硬化の場
合は室温で硬化を完了させるという方法があった。
ところが本方法では、接着剤塗布からダイボンド、キュ
ア(硬化)までを数時間以内、普通状々の実験では24
時間以内に完了しないと、接着強度不足、樹脂のにじみ
などで使用不可となっていた。このため工程の無駄、ワ
イヤボンド性の低下などかあシ、高価格で信頼性に欠け
るものとなっていた。
ア(硬化)までを数時間以内、普通状々の実験では24
時間以内に完了しないと、接着強度不足、樹脂のにじみ
などで使用不可となっていた。このため工程の無駄、ワ
イヤボンド性の低下などかあシ、高価格で信頼性に欠け
るものとなっていた。
本発明はこれらの従来のものの問題点を解決するために
なされたものであり、基板上のダイボンドすべき場所に
接着剤を塗布し、該接着剤の塗布きれた基板を高温乾燥
して上記接着剤を半硬化状態にし、半導体素子を該接着
剤上に置き、上記接着剤の本硬化を行なうことによシ、
安価で信頼性の良い半導体素子が得られる半導体素子の
マウント方法を提供することを目的としている。
なされたものであり、基板上のダイボンドすべき場所に
接着剤を塗布し、該接着剤の塗布きれた基板を高温乾燥
して上記接着剤を半硬化状態にし、半導体素子を該接着
剤上に置き、上記接着剤の本硬化を行なうことによシ、
安価で信頼性の良い半導体素子が得られる半導体素子の
マウント方法を提供することを目的としている。
以下本発明の一実施例を図について詳細に説明する。
第2図にお埴て(211、tn 、 (24+はそれぞ
れ第1図の基板(1)、必要な場所(2)、半導体素子
(4)と同一のものである。(5)は本発明に使用する
接着剤であシ、基板(21Jの必要な場所(2)に塗布
する。塗布する方法はディスペンス、印刷、スタンプな
どが考えられる。塗布を完了したら、基板(21)を樹
脂が半硬化状態(Bステージ)になるまで乾燥する。こ
の状態で半導体素子C4)をBステージの接着剤(5)
上に鈑き、熱を加え、本硬化を完了する。
れ第1図の基板(1)、必要な場所(2)、半導体素子
(4)と同一のものである。(5)は本発明に使用する
接着剤であシ、基板(21Jの必要な場所(2)に塗布
する。塗布する方法はディスペンス、印刷、スタンプな
どが考えられる。塗布を完了したら、基板(21)を樹
脂が半硬化状態(Bステージ)になるまで乾燥する。こ
の状態で半導体素子C4)をBステージの接着剤(5)
上に鈑き、熱を加え、本硬化を完了する。
本発明方法によれば、基板に塗布した接着剤を半硬化状
態にしたのち、この上に半導体素子を置き本硬化するの
は伺時でも可能であるため生産調整が可能であシ、また
接着剤をBステージにするため、にじみなどがないなど
から、安価で、信頼性の高い半導体素子が得られる。
態にしたのち、この上に半導体素子を置き本硬化するの
は伺時でも可能であるため生産調整が可能であシ、また
接着剤をBステージにするため、にじみなどがないなど
から、安価で、信頼性の高い半導体素子が得られる。
以上のように本発明によれば、基板上のダイボンドすべ
き場所に接着剤を塗布し、該接着剤の塗布された基板を
高温乾燥して上記抜海剤を半硬化状態にし、半導体素子
を該接着剤上に置き、上記接着剤の本硬化を行なうこと
により、半導体素子をいつでも作シ込むことが可能なた
め生産調整が可能であシ、また接着剤をBステージにす
るため、にじみなどがなく、安価で信頼性の高い半導体
素子が得られる効果がある。
き場所に接着剤を塗布し、該接着剤の塗布された基板を
高温乾燥して上記抜海剤を半硬化状態にし、半導体素子
を該接着剤上に置き、上記接着剤の本硬化を行なうこと
により、半導体素子をいつでも作シ込むことが可能なた
め生産調整が可能であシ、また接着剤をBステージにす
るため、にじみなどがなく、安価で信頼性の高い半導体
素子が得られる効果がある。
第1図は従来の半導体素子のマウント方法を示す図、第
2図は本発明の一実施例による半導体素子のマウント方
法を示す図である。 121)・・・基板、(221・・・基板上のダイボン
ドする場所、(2滲・・・半導体素子、(5)・・・半
硬化状態にある接着剤。 なお図中、同一符号は同−又は和尚部分を示す。 代 理 人 葛 野 信 −第 第 13
2図は本発明の一実施例による半導体素子のマウント方
法を示す図である。 121)・・・基板、(221・・・基板上のダイボン
ドする場所、(2滲・・・半導体素子、(5)・・・半
硬化状態にある接着剤。 なお図中、同一符号は同−又は和尚部分を示す。 代 理 人 葛 野 信 −第 第 13
Claims (1)
- (1) 基板上のダイボンドすべき場所に接着剤を塗
布し、該接着剤の塗布された基板を高温乾燥して上記接
着剤を半硬化状態にし、半導体素子を該接着剤上に置き
、本硬化を行なうことを特徴とする半導体素子のマウン
ト方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11012882A JPS59931A (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 半導体素子のマウント方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11012882A JPS59931A (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 半導体素子のマウント方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59931A true JPS59931A (ja) | 1984-01-06 |
Family
ID=14527731
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11012882A Pending JPS59931A (ja) | 1982-06-25 | 1982-06-25 | 半導体素子のマウント方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59931A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1988003704A1 (en) * | 1986-11-13 | 1988-05-19 | M & T Chemicals, Inc. | Attachment of semiconductor die to lead frame by means of an adhesive resin |
-
1982
- 1982-06-25 JP JP11012882A patent/JPS59931A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1988003704A1 (en) * | 1986-11-13 | 1988-05-19 | M & T Chemicals, Inc. | Attachment of semiconductor die to lead frame by means of an adhesive resin |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3729628B2 (ja) | エポキシモールディングコンパウンドパッドの製造方法 | |
JP2001230274A (ja) | 実装基板及び実装方法 | |
JP3030201B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置 | |
JP2001237274A5 (ja) | ||
JPH11330162A (ja) | 半導体チップの実装方法 | |
JPS59931A (ja) | 半導体素子のマウント方法 | |
JPS608426Y2 (ja) | 半導体ウエハ−の保持基板 | |
US20020058357A1 (en) | Die attaching method | |
JP3026204B1 (ja) | ベアチップ実装方法 | |
JPS59930A (ja) | 半導体素子のマウント方法 | |
JPS61113243A (ja) | 混成集積回路の実装方法 | |
JPS6258655B2 (ja) | ||
EP0736225A1 (en) | Method of attaching integrated circuit dies by rolling adhesives onto semiconductor wafers | |
JP2569781B2 (ja) | ヒートシンク用加圧治具 | |
JPH04247640A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH0560655B2 (ja) | ||
JP2001168505A (ja) | バンプ付きワークの実装方法 | |
JPH11224883A (ja) | 樹脂封止半導体装置の製造方法および樹脂封止半導体装置 | |
JPS62252946A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH0482240A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2793899B2 (ja) | 樹脂製接着剤の接着・硬化方法 | |
JP2000156560A (ja) | 電子部品の実装装置及びその実装方法 | |
JPH0379044A (ja) | 半導体素子の樹脂封止方法 | |
JPH03284857A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH0629349A (ja) | 半導体素子の実装方法 |