JPS5988610A - 厚さ計 - Google Patents
厚さ計Info
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- JPS5988610A JPS5988610A JP19761682A JP19761682A JPS5988610A JP S5988610 A JPS5988610 A JP S5988610A JP 19761682 A JP19761682 A JP 19761682A JP 19761682 A JP19761682 A JP 19761682A JP S5988610 A JPS5988610 A JP S5988610A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
- G01B15/02—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness
- G01B15/025—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness by measuring absorption
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、例えばγ線のような放射線その細光線（本明
細書ではこれらを単に測定ビームと総称す２））を発生
ずる測定ビーム源部と測定ビーム検出部とを、測定物を
介して対向配置させる透過形、あるいは同−面上に配置
する反射形の厚さ測定器に関し、特に測定物が上下変動
と共に傾斜した場合の指示誤差を減じた厚さ計に係る。
細書ではこれらを単に測定ビームと総称す２））を発生
ずる測定ビーム源部と測定ビーム検出部とを、測定物を
介して対向配置させる透過形、あるいは同−面上に配置
する反射形の厚さ測定器に関し、特に測定物が上下変動
と共に傾斜した場合の指示誤差を減じた厚さ計に係る。
このような厚さ計は、測定物に対して非接触で厚さが計
測できるので、例えば鋼板、ガラス板等の板状物体をそ
の表面に何ら傷つけることはないので、製造ラインでひ
んばんに利用されている。
測できるので、例えば鋼板、ガラス板等の板状物体をそ
の表面に何ら傷つけることはないので、製造ラインでひ
んばんに利用されている。
しかしながら、従来周知の例えば放射線厚さ計では、測
定物が振動等によって上下に位置変動を生じたシ、基準
面から傾斜したシすると、測定値に指示誤差が生じてし
まうという欠点があった。
定物が振動等によって上下に位置変動を生じたシ、基準
面から傾斜したシすると、測定値に指示誤差が生じてし
まうという欠点があった。
これは、測定物が位置変動すると、検出器に入射する放
射線のうち散乱の量が変化することに起因する。この誤
差は、通常パスライン誤差と称されている。また、この
誤差の量は、測定物の位置変化のみならず、その測定物
の厚さによっても異なることが知られている。
射線のうち散乱の量が変化することに起因する。この誤
差は、通常パスライン誤差と称されている。また、この
誤差の量は、測定物の位置変化のみならず、その測定物
の厚さによっても異なることが知られている。
また測定物が基準面から傾斜することによシ生じる誤差
は、第１図に見られるように、当該傾斜によシ測定ビー
ムが一測定物の測定部を透過する長さが変化することに
起因する。
は、第１図に見られるように、当該傾斜によシ測定ビー
ムが一測定物の測定部を透過する長さが変化することに
起因する。
つまシ第１図において、測定ビーム線部１からの測定ビ
ームが測定物３を透過して検出部３に達するわけである
が、測定物３が基準面４に平行（θ＝０）であれば、透
過長はｔであるのに、角度１ θだけ傾くことによシ、透過長は ””ｃｏｓｔ）とな
シ、増加することが判るであろう。
ームが測定物３を透過して検出部３に達するわけである
が、測定物３が基準面４に平行（θ＝０）であれば、透
過長はｔであるのに、角度１ θだけ傾くことによシ、透過長は ””ｃｏｓｔ）とな
シ、増加することが判るであろう。
なお、第１図から判るように、測定物３が基準面４から
角度θだけ傾（と、測定部の位置もそれに伴ってΔｌだ
け変化することが認められるであろう。本願明細書にお
いては、このように測定物の傾斜と位置変動は一体不可
分のものと考え、それぞ五による測定誤差の除去を考え
ることにしている。
角度θだけ傾（と、測定部の位置もそれに伴ってΔｌだ
け変化することが認められるであろう。本願明細書にお
いては、このように測定物の傾斜と位置変動は一体不可
分のものと考え、それぞ五による測定誤差の除去を考え
ることにしている。
さて、これらの誤差を補正する手段としては、従来、次
のような手段が考えられていた。
のような手段が考えられていた。
（イ）測定位置を通過し搬送されてゆく測定物（例えば
圧延された鋼板など）に対し、測定位置をはさんでその
上流と下流にピンチローラを配しそれによって測定物が
搬送の過程で上下方向に動かないように抑えつける。
圧延された鋼板など）に対し、測定位置をはさんでその
上流と下流にピンチローラを配しそれによって測定物が
搬送の過程で上下方向に動かないように抑えつける。
（ロ）厚さ計における測定ビーノ・検出器の入［コに蜂
巣状コリメータとしての保障用障壁を設けて、放射線源
よシ放射される線源ビームの線束をせばめる方法が実公
昭３８−２４１９０「放射線応用測定器」に紹介されて
いる。
巣状コリメータとしての保障用障壁を設けて、放射線源
よシ放射される線源ビームの線束をせばめる方法が実公
昭３８−２４１９０「放射線応用測定器」に紹介されて
いる。
しかし、上記（イ）の手段では、測定位置の近傍では抑
えつけることができても、測定位置そのものにおいて抑
えつけることはできないから、誤差の発生を防止する手
段として充分有効なものとは云い難かったり また、上記←）の手段は、測定物の位置変動による測定
誤差の除去を目的としたものであり、第１図を参照して
説明した如き、測定物の傾斜により生じる誤差、つまり
傾斜によって測定ビームが測定物の測定部を透過する長
さが変化することに起因する誤差の除去を狙いとしたも
のではなかったので、誤差の除去手段としては決して充
分なものとは云えないという欠点を有していた。
えつけることができても、測定位置そのものにおいて抑
えつけることはできないから、誤差の発生を防止する手
段として充分有効なものとは云い難かったり また、上記←）の手段は、測定物の位置変動による測定
誤差の除去を目的としたものであり、第１図を参照して
説明した如き、測定物の傾斜により生じる誤差、つまり
傾斜によって測定ビームが測定物の測定部を透過する長
さが変化することに起因する誤差の除去を狙いとしたも
のではなかったので、誤差の除去手段としては決して充
分なものとは云えないという欠点を有していた。
本発明は、上述のような従来技術の欠点を解決するため
になされたものであり、従って本発明の目的は、測定物
の測定位置における誤差、しかも位置変動による誤差だ
けでな（、傾斜に起因する誤差をも補正することのでき
る厚さ計を提供することにある。
になされたものであり、従って本発明の目的は、測定物
の測定位置における誤差、しかも位置変動による誤差だ
けでな（、傾斜に起因する誤差をも補正することのでき
る厚さ計を提供することにある。
本発明は、上記目的を達成するために、測定ビーム源部
と、該測定ビーム源部から出射される測定ビームを測定
物を透過あるいは反射ぎせて検出する第１検出部とを有
し、該第１検出部による測定ビーム検出信号に基づいて
前記測定物の厚さを求める厚さ計において、前記測定物
の厚さ計基準面に対する傾きならびにそれに伴なう該基
準面からの位置の変動を検出する第２検出部と、メモリ
部と、第１の動作モードにおいて前記測定物を基準物体
として、当該基準物体の厚さおよび前記傾き（それに伴
なう位置変動）の少くとも一方を変化させ、前記第１検
出部による第１検出情報を前記傾きによって補正した補
正情報と前記第２検出部による位置変動情報とによって
、前記補正情報に応じた第３情報を前記メモリ部に順次
蓄積する手段と、第２の動作モードにおいて前記測定物
を被測定物として、前記第１検出部による第１検出情報
の前記第２検出部からの傾き情報による補正情報および
前記第２検出部による位置変動情報に従って、前記メモ
リ部に蓄積されていた前記第３情報を読出し、該第３情
報と前記補正情報との演算を行って前記被測定物の厚さ
を求める演算部とを具えたことを特徴とするものである
。
と、該測定ビーム源部から出射される測定ビームを測定
物を透過あるいは反射ぎせて検出する第１検出部とを有
し、該第１検出部による測定ビーム検出信号に基づいて
前記測定物の厚さを求める厚さ計において、前記測定物
の厚さ計基準面に対する傾きならびにそれに伴なう該基
準面からの位置の変動を検出する第２検出部と、メモリ
部と、第１の動作モードにおいて前記測定物を基準物体
として、当該基準物体の厚さおよび前記傾き（それに伴
なう位置変動）の少くとも一方を変化させ、前記第１検
出部による第１検出情報を前記傾きによって補正した補
正情報と前記第２検出部による位置変動情報とによって
、前記補正情報に応じた第３情報を前記メモリ部に順次
蓄積する手段と、第２の動作モードにおいて前記測定物
を被測定物として、前記第１検出部による第１検出情報
の前記第２検出部からの傾き情報による補正情報および
前記第２検出部による位置変動情報に従って、前記メモ
リ部に蓄積されていた前記第３情報を読出し、該第３情
報と前記補正情報との演算を行って前記被測定物の厚さ
を求める演算部とを具えたことを特徴とするものである
。
以下図面に基づいて本発明を詳述する。
第２図は、本発明による厚さ計の一実施例を示す概略構
成ブロック図である。同図において、線源１１から発生
された放射線（ｒ線）１２は測定物１３（例えば鋼板）
を透過して検出器１４に至る。検出器１４による検出放
射線量に応じて生じる検出信号１５はアナログ・デジタ
ル変換Ｈ（以下Ａ／Ｄ変換器という）１６で、デジタル
測定信号に変換された後演算処理器１７に供給される。
成ブロック図である。同図において、線源１１から発生
された放射線（ｒ線）１２は測定物１３（例えば鋼板）
を透過して検出器１４に至る。検出器１４による検出放
射線量に応じて生じる検出信号１５はアナログ・デジタ
ル変換Ｈ（以下Ａ／Ｄ変換器という）１６で、デジタル
測定信号に変換された後演算処理器１７に供給される。
この演算処理器１７で厚さ表示に必要な厚さ信号１８を
得て、これは次の演算処理器１９に送られる。
得て、これは次の演算処理器１９に送られる。
一方、測定物１３の測定点の両側に距離りだけ離れて取
シ付けられた二つの変位計２０．２１によってそれぞれ
得られた基準面２２（その基準位置をｔとする）からの
変位量２３（ｔ＋ΔＬｘ ’）および２４（ｔ＋ΔＬｚ
）は各々Ａ／Ｄ変換器２５．２６によシデイジタル変
位信号２７．２８に変換された後、演算処理器２９に送
られる。
シ付けられた二つの変位計２０．２１によってそれぞれ
得られた基準面２２（その基準位置をｔとする）からの
変位量２３（ｔ＋ΔＬｘ ’）および２４（ｔ＋ΔＬｚ
）は各々Ａ／Ｄ変換器２５．２６によシデイジタル変
位信号２７．２８に変換された後、演算処理器２９に送
られる。
演算処理器２９では、測定位置の両側における変位量Δ
４１Δｔ２と距離りとによシ測定物１３の傾き（第１図
における角度θ）および平均変位量（第１図における変
位量Δｔ）を演算し、得られた傾きの量に従って斜めの
測定に対する補正信号３０を演算処理器１９に送ると共
に、同じく得られた平均変位量の信号３１をメモリ３２
に送る。演算処理器１９では、厚さ信号１８と補正信号
３０とによシ斜めの測定補正を施した厚さ信号３３を得
る。
４１Δｔ２と距離りとによシ測定物１３の傾き（第１図
における角度θ）および平均変位量（第１図における変
位量Δｔ）を演算し、得られた傾きの量に従って斜めの
測定に対する補正信号３０を演算処理器１９に送ると共
に、同じく得られた平均変位量の信号３１をメモリ３２
に送る。演算処理器１９では、厚さ信号１８と補正信号
３０とによシ斜めの測定補正を施した厚さ信号３３を得
る。
なお測定物１３に対する上述の厚さ測定動作は、線源１
１および検出器１４を対向して、測定物１３に沿って移
動可能な所謂Ｃ形フレームの先端に固着した放射線応用
の厚さ計では周知である。
１および検出器１４を対向して、測定物１３に沿って移
動可能な所謂Ｃ形フレームの先端に固着した放射線応用
の厚さ計では周知である。
さて演算処理器１９から”ｔｉｓ力された厚さ信号３３
は、斜め測定による誤差は補正されているが、前述の平
均変位量による誤差（これを）（スライン誤差という）
ＦＪ：、補正されていないので、これを補正する必要が
ある。なお、測定物１３の中心線と厚さ計設置の床面２
２との間の距離（）（スライン）が第１図に示した如く
変化すると、厚さ測定点の相対的位置変動を生じるので
、パスラインの変化および測定点における測定物１３の
厚さ変化に応じてパスライン誤差が生じるものである。
は、斜め測定による誤差は補正されているが、前述の平
均変位量による誤差（これを）（スライン誤差という）
ＦＪ：、補正されていないので、これを補正する必要が
ある。なお、測定物１３の中心線と厚さ計設置の床面２
２との間の距離（）（スライン）が第１図に示した如く
変化すると、厚さ測定点の相対的位置変動を生じるので
、パスラインの変化および測定点における測定物１３の
厚さ変化に応じてパスライン誤差が生じるものである。
そこで、本発明では、先ず制御器３４によシ開閉スイッ
チ３５を開くと共に開閉スイッチ３６を閉じる（誤差読
取モード）。このような状態で、測定物１３をその厚さ
ｔｌが既知な基準物体とする。
チ３５を開くと共に開閉スイッチ３６を閉じる（誤差読
取モード）。このような状態で、測定物１３をその厚さ
ｔｌが既知な基準物体とする。
その厚さｔｌに応じたデジタル測定信号を得てＡ／Ｄ変
換器１６から演算処理器１９に供給する。
換器１６から演算処理器１９に供給する。
他方、変位計２０．２１により得られたアナログ信号２
３，２４をＡ／Ｄ変換器２５．２６によってデジタル変
位信号２７，２８に変換した後、演算処理器２９に供給
する。演算処理器２９では、斜め補正信号３０を演算処
理器１９へ送ると共に、デジタル平均変位信号３１をメ
モリ３２のＸアドレス端子６５に供給する。また、測定
信号１８から厚さｔｌに対応した斜め補正ずみの信号３
３を得てこれをメモリ３２のＸアドレス端子６７に供給
する。、更に、既知の厚さｔｌを表わす基準信号７１を
制御器３４から演算処理器１９に供給して、この信号７
１と測定信号１８の斜め補正ずみ信号とで必要な演算処
理を行う。これら両信号から測定物１３のパスラインの
変位量Δｌに基づく誤差を表わす信号７３を得てメモリ
３２のデータ入力端子７５に供給する。ＸおよびＸアド
レス端子６５および６７に導入された両信号３１および
３３によシ、制御器３４から読泡信号３８をメモリ３２
に供給しておくと、予め定義された記憶個所に番地指定
されて、データ入力端子７５に導入される誤差信号７３
で表わされる誤差情報がメモリ３２に記憶される。この
よ５な誤差読取シおよび記憶動作を、測定物１３を別な
厚さが既知な基準物体に順次変えて行い、あるいは同一
の厚さ既知の測定物１３の下で測定物１３の傾きを変え
ることによυ床面２２からの距離すなわちパスラインを
変えて順次繰υ返す。この繰シ返し動作は逆であっても
よい。
３，２４をＡ／Ｄ変換器２５．２６によってデジタル変
位信号２７，２８に変換した後、演算処理器２９に供給
する。演算処理器２９では、斜め補正信号３０を演算処
理器１９へ送ると共に、デジタル平均変位信号３１をメ
モリ３２のＸアドレス端子６５に供給する。また、測定
信号１８から厚さｔｌに対応した斜め補正ずみの信号３
３を得てこれをメモリ３２のＸアドレス端子６７に供給
する。、更に、既知の厚さｔｌを表わす基準信号７１を
制御器３４から演算処理器１９に供給して、この信号７
１と測定信号１８の斜め補正ずみ信号とで必要な演算処
理を行う。これら両信号から測定物１３のパスラインの
変位量Δｌに基づく誤差を表わす信号７３を得てメモリ
３２のデータ入力端子７５に供給する。ＸおよびＸアド
レス端子６５および６７に導入された両信号３１および
３３によシ、制御器３４から読泡信号３８をメモリ３２
に供給しておくと、予め定義された記憶個所に番地指定
されて、データ入力端子７５に導入される誤差信号７３
で表わされる誤差情報がメモリ３２に記憶される。この
よ５な誤差読取シおよび記憶動作を、測定物１３を別な
厚さが既知な基準物体に順次変えて行い、あるいは同一
の厚さ既知の測定物１３の下で測定物１３の傾きを変え
ることによυ床面２２からの距離すなわちパスラインを
変えて順次繰υ返す。この繰シ返し動作は逆であっても
よい。
従ってメモリ３２にはマトリクス的に誤差情報ｄが記憶
される。いま、最初パスラインを一定にして、既知の厚
ざｔｒを３段に変え、しかる後傾きを変えることによシ
バスラインを４個所に亘って変化させた場合の厚さ１ｒ
とパスラインの変位量Δｔとに対する誤差ｄの対応をマ
トリクス的に表わすと次の第１表の如くなる。
される。いま、最初パスラインを一定にして、既知の厚
ざｔｒを３段に変え、しかる後傾きを変えることによシ
バスラインを４個所に亘って変化させた場合の厚さ１ｒ
とパスラインの変位量Δｔとに対する誤差ｄの対応をマ
トリクス的に表わすと次の第１表の如くなる。
第１表
従って、この表を記憶しておいて、実際の厚さ測定の際
にこれら誤差ｄ分だけ補正すればよいことが分かる。
にこれら誤差ｄ分だけ補正すればよいことが分かる。
第３図（Ａ） ｊ （Ｂ）および（Ｃ）はそれぞれ傾き
を変えたことＫよるパスラインの変化っまシ変位量Δｔ
に対する誤差ｄの特性を示す。このように、厚さ計によ
って各種のパターンが存在する。また第４図は測定物１
３に既知の厚さ皓がｔｒ１＝９２μｍ。
を変えたことＫよるパスラインの変化っまシ変位量Δｔ
に対する誤差ｄの特性を示す。このように、厚さ計によ
って各種のパターンが存在する。また第４図は測定物１
３に既知の厚さ皓がｔｒ１＝９２μｍ。
ｔｒ２””２４３μｍ、ｊｒ３＝３２６μｍのそれぞれ
の厚さを有するアルミニウム板とした場合の傾きに基づ
く要位量Δｌ対誤差ｄの特性の一例を示す。かような誤
差情報がデジタル的にメモリ３２に番地付けされて、第
１表の如くマトリクス的に記憶されるのである。
の厚さを有するアルミニウム板とした場合の傾きに基づ
く要位量Δｌ対誤差ｄの特性の一例を示す。かような誤
差情報がデジタル的にメモリ３２に番地付けされて、第
１表の如くマトリクス的に記憶されるのである。
次に、測定物１３として厚さを求めたい被測定物を配置
して厚さ測定をなす測定モードについて説明する。制御
器３４によって開閉スイッチ３５を閉じ、開閉スイッチ
３６を開くと共に、読出信号３７をメモリ３２に供給す
る。線源１１および検出器１４を測定物１３の測定した
い点にもって行き、その厚さを示すデジタル測定信号を
得て、厚さ信号１８を演算器１９に供給する。それと同
時に、測定物１３の傾きおよびそれに基づくパスライン
の変位量Δｔを演算処理器２９で算出し、胴め補正信号
３０を送出すると共に、変位量ΔｔＫ応じた信号３１で
メモリ３２のＸアドレスを、また斜め補正ずみの厚さ信
号３３でＸアドレスをそれぞれ指定して、その番地に第
１表の如くマトリクス的に記憶されている誤差情報ｄに
応じた補正信号９１を演算器３９に供給する。演算器３
９Ｆｉ、斜め補正ずみの厚さ信号３３と補正信号９１と
で必要な補正演算を行った後表示信号を表示器４０に供
給する。従って、表示器４０では、傾き誤差もパスライ
ン誤差もない測定物１３の厚さが指示される。
して厚さ測定をなす測定モードについて説明する。制御
器３４によって開閉スイッチ３５を閉じ、開閉スイッチ
３６を開くと共に、読出信号３７をメモリ３２に供給す
る。線源１１および検出器１４を測定物１３の測定した
い点にもって行き、その厚さを示すデジタル測定信号を
得て、厚さ信号１８を演算器１９に供給する。それと同
時に、測定物１３の傾きおよびそれに基づくパスライン
の変位量Δｔを演算処理器２９で算出し、胴め補正信号
３０を送出すると共に、変位量ΔｔＫ応じた信号３１で
メモリ３２のＸアドレスを、また斜め補正ずみの厚さ信
号３３でＸアドレスをそれぞれ指定して、その番地に第
１表の如くマトリクス的に記憶されている誤差情報ｄに
応じた補正信号９１を演算器３９に供給する。演算器３
９Ｆｉ、斜め補正ずみの厚さ信号３３と補正信号９１と
で必要な補正演算を行った後表示信号を表示器４０に供
給する。従って、表示器４０では、傾き誤差もパスライ
ン誤差もない測定物１３の厚さが指示される。
ここで、変位計２０．２１の具体例としては、うず’ｔ
ｌＡｔ効果によるインダクタンス変化を応用した無接触
形の変位計があげられる。
ｌＡｔ効果によるインダクタンス変化を応用した無接触
形の変位計があげられる。
また、メモリ３２の蓄積および読出しの際の指定番地は
デジタル的に定まっているから、信号３３あるいは３１
にて示される情報で線形に定め得ないので、あるレンジ
毎に番地付けされるようにしなければならない。
デジタル的に定まっているから、信号３３あるいは３１
にて示される情報で線形に定め得ないので、あるレンジ
毎に番地付けされるようにしなければならない。
図
第５図に説明として、本発明による誤差補正のへ
有無による指示誤差の比較例を実験データとして示ず。
被測定物として、アルミニウムの厚さｄを３段階に、そ
して傾きの変化に基づ（パスラインの変位量Δｔを４段
階に変化させた場合の例である。
して傾きの変化に基づ（パスラインの変位量Δｔを４段
階に変化させた場合の例である。
これからも分かるように指示誤差が著しく低減されてい
る。
る。
なお、誤差読取モードにおいてメモリ３２に測定信号１
８の傾き補正ずみ信号と値既知な基準信号７１の差情報
を蓄積せずに、測定信号１８の傾き補正ずみ信号をその
まま蓄積して、測定モードにおいてその蓄積された傾き
補正ずみ信号を読出すと共に基準信号７１を演算器３９
に供給して、厚さ信号３３と補正演算するようにしても
よい。
８の傾き補正ずみ信号と値既知な基準信号７１の差情報
を蓄積せずに、測定信号１８の傾き補正ずみ信号をその
まま蓄積して、測定モードにおいてその蓄積された傾き
補正ずみ信号を読出すと共に基準信号７１を演算器３９
に供給して、厚さ信号３３と補正演算するようにしても
よい。
また、線源１１および検出器１４を測定物１３を挟むよ
うな配置（透過形）とすることに限られることなく、線
源１１を検出器１４と測定物１３に対して同一面上に配
置した所謂反射形としてもよい。
うな配置（透過形）とすることに限られることなく、線
源１１を検出器１４と測定物１３に対して同一面上に配
置した所謂反射形としてもよい。
ところで上述例では、メモリ３２に、補正に必要な情報
をすべて記憶しておくものとしたが、情報検出の度にあ
るいは記憶後続針処理によって補正ｉｄを変位量Δｔの
関数で表わしてもよい。従って、測定モードでの厚さ信
号３３を、かような関数でデジタル的あるいはアナログ
的に補正演算するようにする。
をすべて記憶しておくものとしたが、情報検出の度にあ
るいは記憶後続針処理によって補正ｉｄを変位量Δｔの
関数で表わしてもよい。従って、測定モードでの厚さ信
号３３を、かような関数でデジタル的あるいはアナログ
的に補正演算するようにする。
また、測定ビーム源としての線源１′１はｒ線源に限ら
れることなく、他の放射線源あるいはＬＥＤ等のような
発光源であってもよい。要は、測定ビームの透過量ある
いは反射量によって測定物１３の厚さが求められるビー
ムを発生するものでよい。
れることなく、他の放射線源あるいはＬＥＤ等のような
発光源であってもよい。要は、測定ビームの透過量ある
いは反射量によって測定物１３の厚さが求められるビー
ムを発生するものでよい。
以上詳述した如く、この発明によれば、たとえば第２図
の構成により複数個の変位計を厚さ計の両側に設は各々
の変位量から測定物の測定位置における傾きと平均変位
を得、測定ビームの測定物に対する斜め透過による誤差
と、上下位置変動誤差を補正することにより測定物が傾
斜しだシ、上下に位置変動する場合であっても高精度の
雄さ演算を行えるという利点がある。
の構成により複数個の変位計を厚さ計の両側に設は各々
の変位量から測定物の測定位置における傾きと平均変位
を得、測定ビームの測定物に対する斜め透過による誤差
と、上下位置変動誤差を補正することにより測定物が傾
斜しだシ、上下に位置変動する場合であっても高精度の
雄さ演算を行えるという利点がある。
第１図は厚さ計において測定物が傾斜することによシ測
定ビームの透過量が変化することを示した説明図、第２
図は本発明の一実施例を示す概略構成ブロック図、第３
図（Ａ） 、 （）３）および（Ｃ）は誤差パターンを
示すグラフ、第４図は変位量対誤差の特性図、第５図は
本発明による誤差補正を施した場合とそうでない場合の
指示誤差の比較を示す説明図、である。 符号説明 １１・・・・・・線源、１３・・・・・・測定物、１４
・・・・・・検出器、１７，１９，２９・・・・・・演
算処理器、３９・・・・・・演算器、４０・・・・・・
表示器、３４・・・・・・制御器、２０゜２１・・・・
・・変位計、３２・・・・・・メモリ代理人 弁理士
並 木 昭 夫 代理人 弁理士 松 崎 清 第 １ 図 第３図 （Ａ）ＣＢ） （Ｃ） 第４図 第５図
定ビームの透過量が変化することを示した説明図、第２
図は本発明の一実施例を示す概略構成ブロック図、第３
図（Ａ） 、 （）３）および（Ｃ）は誤差パターンを
示すグラフ、第４図は変位量対誤差の特性図、第５図は
本発明による誤差補正を施した場合とそうでない場合の
指示誤差の比較を示す説明図、である。 符号説明 １１・・・・・・線源、１３・・・・・・測定物、１４
・・・・・・検出器、１７，１９，２９・・・・・・演
算処理器、３９・・・・・・演算器、４０・・・・・・
表示器、３４・・・・・・制御器、２０゜２１・・・・
・・変位計、３２・・・・・・メモリ代理人 弁理士
並 木 昭 夫 代理人 弁理士 松 崎 清 第 １ 図 第３図 （Ａ）ＣＢ） （Ｃ） 第４図 第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）測定ビーム源部と、該測定ビーム源部から出射され
る測定ビームを測定物を透過あるいは反射させて検出す
る第１検出部とを有し、該第１検出部による測定ビーム
検出信号に基づいて前記測定物の厚さを求める厚さ計に
おいて、前記測定物の厚さ計基準面に対する傾きならび
にそれに伴なう該基準面からの位置の変動を検出する第
２検出部と、メモリ部と、第１の動作モードにおいて前
記測定物を基準物体として、当該基準物体の厚さおよび
前記傾き（それに伴なう位置変動）の少くとも一方を変
化させ、前記第１検出部による第１検出情報を前記傾き
によって補正した補正情報と前記第２検出部による位置
変動情報とによって、前記補正情報に応じた第３情報を
前記メモリ部に順次蓄積する手段と、第２の動作モード
においてよる第１検出情輯の前記第２検出部からの傾き
情報による補正情報および前記第２検出部による位置変
動情報に従って、前記メモリ部に蓄積されていた前記第
３情報を読出し、該第３情報と前記補正情報との演算を
行って前記被測定物の厚さを求める演算部とを具えたこ
とを特徴とする厚さ計。 ２）前記第３情報は前記第１の動作モードの前記第１検
出情報の傾きＫよる補正情報と前記基準物体の既知な厚
さ情報との差に応じた情報とし、前記演算部において前
記第２モードの前記拓１検出情報の傾きによる補正情報
と前記第３情報とのそれぞれに応じた信号で加減算を行
うようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の厚さ計。 ３）前記第３情報を前記第１モードの第１検出情報の傾
きによる補正情報に対応させ、前記演算部において前記
第２モードの第１検出情報の傾きによる補正情報、前記
第３情報および前記基準物体の既知な厚さ情報のそれぞ
れに応じた信号で所許請求の範囲第１項記載の厚さ計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19761682A JPS5988610A (ja) | 1982-11-12 | 1982-11-12 | 厚さ計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19761682A JPS5988610A (ja) | 1982-11-12 | 1982-11-12 | 厚さ計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5988610A true JPS5988610A (ja) | 1984-05-22 |
Family
ID=16377432
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19761682A Pending JPS5988610A (ja) | 1982-11-12 | 1982-11-12 | 厚さ計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5988610A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6117319A (ja) * | 1984-07-02 | 1986-01-25 | Kawasaki Steel Corp | 連続圧延機における厚み測定装置 |
| JPS6371610A (ja) * | 1986-09-16 | 1988-04-01 | Furukawa Alum Co Ltd | 圧延機における板厚測定装置 |
| JP2002267433A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 破断部検査方法及び装置 |
| JP2014021099A (ja) * | 2012-07-24 | 2014-02-03 | Toshiba Corp | 厚みプロファイル測定装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5822905A (ja) * | 1981-08-03 | 1983-02-10 | Kawasaki Steel Corp | オンライン鋼板プロフイ−ル測定装置 |
-
1982
- 1982-11-12 JP JP19761682A patent/JPS5988610A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5822905A (ja) * | 1981-08-03 | 1983-02-10 | Kawasaki Steel Corp | オンライン鋼板プロフイ−ル測定装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6117319A (ja) * | 1984-07-02 | 1986-01-25 | Kawasaki Steel Corp | 連続圧延機における厚み測定装置 |
| JPS6371610A (ja) * | 1986-09-16 | 1988-04-01 | Furukawa Alum Co Ltd | 圧延機における板厚測定装置 |
| JP2002267433A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 破断部検査方法及び装置 |
| JP4588907B2 (ja) * | 2001-03-14 | 2010-12-01 | パナソニック株式会社 | 破断部検査方法及び装置 |
| JP2014021099A (ja) * | 2012-07-24 | 2014-02-03 | Toshiba Corp | 厚みプロファイル測定装置 |
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