JPS6290507A - 外形形状自動測定装置 - Google Patents
外形形状自動測定装置Info
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- JPS6290507A JPS6290507A JP12824086A JP12824086A JPS6290507A JP S6290507 A JPS6290507 A JP S6290507A JP 12824086 A JP12824086 A JP 12824086A JP 12824086 A JP12824086 A JP 12824086A JP S6290507 A JPS6290507 A JP S6290507A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、円柱あるいは楕円柱状等の製品の外形形状を
非接触状態で迅速かつ精度よく測定することができる外
形形状の自動測定装置に関するものである。
非接触状態で迅速かつ精度よく測定することができる外
形形状の自動測定装置に関するものである。
７従来、例えば円柱あるいは楕円柱状の製品の外形形状
、特に曲面度の測定には、１法公差を加味した限界ゲー
ジを作成し、その限界ゲージに製品を当接して寸法を検
出測定したり、あるいは接触針を製品表面に接触させて
寸法を測定する装置等が知られている。しかしながら、
これらのいずれの装置も製品に直接限界ゲージあるいは
接触針等が接触するものであるので、例えば肉薄のセラ
ミックハニカム等の脆弱製品の測定には不向きなもので
あった。
、特に曲面度の測定には、１法公差を加味した限界ゲー
ジを作成し、その限界ゲージに製品を当接して寸法を検
出測定したり、あるいは接触針を製品表面に接触させて
寸法を測定する装置等が知られている。しかしながら、
これらのいずれの装置も製品に直接限界ゲージあるいは
接触針等が接触するものであるので、例えば肉薄のセラ
ミックハニカム等の脆弱製品の測定には不向きなもので
あった。
本発明の外形形状自動測定装置は、従来のこのような測
定装置の欠点を全て解決するためのもので、円柱あるい
は楕円柱状等の製品の外形形状、とりわけ曲面度を非接
触状態で迅速かつ精度よく測定することができる装置で
あり、連続的に凸な面を持つ被測定物を載置して回転す
るターンテーブルと、該ターンテーブルの回転角度を検
出するロータリエンコーダと、前記ターンテーブル上の
被測定物を間にはさんで対向する少なくとも一対の平行
光線投光部および平行光線受光部とよりなる平行光線測
定器と、基準の位置を示す基準測定片と、基準円柱径Ｒ
の信号、真の形状に対応した設計形状データ信号、寸法
公差信号を記憶した記憶回路と１、平行光線受光部より
の基準円柱の実測値信号をロータリエンコーダよりの回
転角度信号および予め記憶した基準円柱径Ｒの信号とよ
りターンテーブルの中心と基準測定片までの距離りを求
める演算手段と、平行光線受光部よりの被測定物の実測
値信号をロータリエンコーダよりの回転角度信号および
予め演算したターンテーブルの中心と基準測定片までの
距離りの信号とよりターンテーブル中心より被測定物の
外形までの距離ｒ（θ）を求める演算手段と、この距離
ｒ（θ）のＸ、 Ｙ方向のずれＬｔ （ｄｐ＋ 、
ｄｐｚ 、ｄＱ＋ 、 ｄＱｚ ）を補正演算する手段
と、この測定値の角度ずれ星（α１゜α２．α１．α４
）の補正量を演算する手段と、予め記憶した真の形状に
対応した設計形状データ信号と比較してＸ、 Ｙ方向・
角度補正演算手段と補正値と実測値との差と予め記憶し
た公差を比較演算する手段を具備した／ｊｉ算器とより
成り、被測定物を回転しながら平行光線を照射した被測
定物の外形形状を自動的に測定および公差内であるが否
かを判定することを特徴とする外形形状自動測定装置に
関するものである。
定装置の欠点を全て解決するためのもので、円柱あるい
は楕円柱状等の製品の外形形状、とりわけ曲面度を非接
触状態で迅速かつ精度よく測定することができる装置で
あり、連続的に凸な面を持つ被測定物を載置して回転す
るターンテーブルと、該ターンテーブルの回転角度を検
出するロータリエンコーダと、前記ターンテーブル上の
被測定物を間にはさんで対向する少なくとも一対の平行
光線投光部および平行光線受光部とよりなる平行光線測
定器と、基準の位置を示す基準測定片と、基準円柱径Ｒ
の信号、真の形状に対応した設計形状データ信号、寸法
公差信号を記憶した記憶回路と１、平行光線受光部より
の基準円柱の実測値信号をロータリエンコーダよりの回
転角度信号および予め記憶した基準円柱径Ｒの信号とよ
りターンテーブルの中心と基準測定片までの距離りを求
める演算手段と、平行光線受光部よりの被測定物の実測
値信号をロータリエンコーダよりの回転角度信号および
予め演算したターンテーブルの中心と基準測定片までの
距離りの信号とよりターンテーブル中心より被測定物の
外形までの距離ｒ（θ）を求める演算手段と、この距離
ｒ（θ）のＸ、 Ｙ方向のずれＬｔ （ｄｐ＋ 、
ｄｐｚ 、ｄＱ＋ 、 ｄＱｚ ）を補正演算する手段
と、この測定値の角度ずれ星（α１゜α２．α１．α４
）の補正量を演算する手段と、予め記憶した真の形状に
対応した設計形状データ信号と比較してＸ、 Ｙ方向・
角度補正演算手段と補正値と実測値との差と予め記憶し
た公差を比較演算する手段を具備した／ｊｉ算器とより
成り、被測定物を回転しながら平行光線を照射した被測
定物の外形形状を自動的に測定および公差内であるが否
かを判定することを特徴とする外形形状自動測定装置に
関するものである。
本発明の更に詳しい構成を、−具体例を示す第１図およ
び第２図に基づいて説明すれば、被測定物１を定位置に
おいて回転するためのターンテーブル２が設けられ、該
ターンテーブル２上には被測定物ｌをターンテーブル２
のほぼ中央に載置するためのガイド板３が設けられてい
る。更にターンテーブル２の回転軸４には、ターンテー
ブル２の回転角度を検出するロータリエンコーダ５が直
結して設けられている。そしてターンテーブル２上の被
測定物ｌを間にはさんで少な（とも一対の平行光線投光
部６および平行光線受光部７からなる平行光線測定器８
が対向して設置されている。
び第２図に基づいて説明すれば、被測定物１を定位置に
おいて回転するためのターンテーブル２が設けられ、該
ターンテーブル２上には被測定物ｌをターンテーブル２
のほぼ中央に載置するためのガイド板３が設けられてい
る。更にターンテーブル２の回転軸４には、ターンテー
ブル２の回転角度を検出するロータリエンコーダ５が直
結して設けられている。そしてターンテーブル２上の被
測定物ｌを間にはさんで少な（とも一対の平行光線投光
部６および平行光線受光部７からなる平行光線測定器８
が対向して設置されている。
また、測定の基準となる拮’＜ＪＩＵ／１１１１定片９
が第１図の９口く設置されている。
が第１図の９口く設置されている。
また、平行光線投光部６および平行光線受光部７とより
なる少なくとも一対の平行光線測定器８は、図面に示す
ごとく、被測定物１の例えば上端部Ａ、中央部Ｂおよび
下端部Ｃのように複数個所に設けることにより、製品の
軸方向の歪あるいは直角度なども同時に測定できるもの
である。
なる少なくとも一対の平行光線測定器８は、図面に示す
ごとく、被測定物１の例えば上端部Ａ、中央部Ｂおよび
下端部Ｃのように複数個所に設けることにより、製品の
軸方向の歪あるいは直角度なども同時に測定できるもの
である。
なお、平行光線の照射に際しては、第１図に示すように
被測定物１の一方の側のみに平行光線を照射して、照射
幅に比して寸法の大きい被測定物の測定を行う。
被測定物１の一方の側のみに平行光線を照射して、照射
幅に比して寸法の大きい被測定物の測定を行う。
こうして平行光線受光部７からの測定に関与した信号お
よびロータリエンコーダよりの回転角度に対応した信号
をそれぞれ演算器１ｏに入力し、被測定物１の外形形状
を測定する外形形状自動測定装置である。
よびロータリエンコーダよりの回転角度に対応した信号
をそれぞれ演算器１ｏに入力し、被測定物１の外形形状
を測定する外形形状自動測定装置である。
本発明は以上述べたような構成より成るものであるので
、例えば楕円形状よりなる被測定物１をターンテーブル
２上に載置し、平行光線投光部６より平行光線を例えば
第１図に示すように、被測定物１の外周にその一部が衝
突して直進が阻害されるように照射し、直進が阻害され
なかった平行光線が平行光線受光部７によってその量が
検出されるように構成しである。まず簡単って寸法のわ
かっている基準円柱Ｉｆを第３ａ図の如く載置し、測定
曲線ｅ （θ）から演算器１０によって平均ｅ５値を求
める。これよりターンテーブル中心０と基準測定片まで
の距離りを下記の式で定義する。
、例えば楕円形状よりなる被測定物１をターンテーブル
２上に載置し、平行光線投光部６より平行光線を例えば
第１図に示すように、被測定物１の外周にその一部が衝
突して直進が阻害されるように照射し、直進が阻害され
なかった平行光線が平行光線受光部７によってその量が
検出されるように構成しである。まず簡単って寸法のわ
かっている基準円柱Ｉｆを第３ａ図の如く載置し、測定
曲線ｅ （θ）から演算器１０によって平均ｅ５値を求
める。これよりターンテーブル中心０と基準測定片まで
の距離りを下記の式で定義する。
Ｌ＝Ｒ＋ｅｆｉ
例えば第１図においてターンテーブル中心０よりターン
テーブル２の回転角度θにおける被測定物ｌの下端部の
半径ｒは、既知のターンテーブル中心Ｏと基準測定片ま
での距離りから受光長Ｓを減することによって極めて簡
単に求めることができる。このようにして、ターンテー
ブル２の各回転角における半径ｒをそれぞれ求めること
により、被測定物ｌの外周寸法、歪の程度などを測定す
ることができる。また、被測定物１の上端部、中央部お
よび下端部におけるそれぞれ半径ｒの測定値を比較する
ことにより、被測定物Ｉの直角度をも求めることができ
る。
テーブル２の回転角度θにおける被測定物ｌの下端部の
半径ｒは、既知のターンテーブル中心Ｏと基準測定片ま
での距離りから受光長Ｓを減することによって極めて簡
単に求めることができる。このようにして、ターンテー
ブル２の各回転角における半径ｒをそれぞれ求めること
により、被測定物ｌの外周寸法、歪の程度などを測定す
ることができる。また、被測定物１の上端部、中央部お
よび下端部におけるそれぞれ半径ｒの測定値を比較する
ことにより、被測定物Ｉの直角度をも求めることができ
る。
なお、前述のとおりターンテーブル２上には被測定物１
をターンテーブル２のほぼ中央に載置するためにガイド
仮３が設けられているが、実際にはターンテーブル２の
中心に被測定物１がｙｔ＆置されることはほとんどなく
ずれているのが普通である。すなわち、設計形状をもっ
た標準円柱をターンテーブル２上にターンテーブルの中
心軸と設計形状をもった標準円柱の中心軸とを一敗させ
て載置して１回転させると、設計形状の回転角θに対応
して第４図に示すようにｒ ＝ Ｒ１＋（Ｄ＋ ／ ２
−Ｒｌ）ｃｏｓθ又はｒ ＝ Ｒ２＋ （Ｄｉ ／ ２
−Ｒ２）ｓｉｎθを求めることができ、これを曲線で表
わすと真の形状の設計形状をもった標準円柱については
第５図の曲線ａとなる。これに対し前述のとおり実際の
測定では被測定物の中心がずれているので、測定曲線は
第５図の曲線すのようになる。
をターンテーブル２のほぼ中央に載置するためにガイド
仮３が設けられているが、実際にはターンテーブル２の
中心に被測定物１がｙｔ＆置されることはほとんどなく
ずれているのが普通である。すなわち、設計形状をもっ
た標準円柱をターンテーブル２上にターンテーブルの中
心軸と設計形状をもった標準円柱の中心軸とを一敗させ
て載置して１回転させると、設計形状の回転角θに対応
して第４図に示すようにｒ ＝ Ｒ１＋（Ｄ＋ ／ ２
−Ｒｌ）ｃｏｓθ又はｒ ＝ Ｒ２＋ （Ｄｉ ／ ２
−Ｒ２）ｓｉｎθを求めることができ、これを曲線で表
わすと真の形状の設計形状をもった標準円柱については
第５図の曲線ａとなる。これに対し前述のとおり実際の
測定では被測定物の中心がずれているので、測定曲線は
第５図の曲線すのようになる。
前記位置ずれを演算器１０により補正する一興体例を示
すと、まず中心位置についての補正値は、第５図に示す
ように、 長径方向ｒ （ｄ ｐ、＋ｄ ｐｚ ） ／２短径
方向ｒ ’ （ｄｑ＋＋ｄｑｚ ）／２また、回転方
向すなわち角度について、前記中心位置の補正後の曲線
Ｃと所定の点θ。における曲ＭＡａとの角度差α１．α
２．α３．α４から最少二乗法により から求められるαを角度すれと定義する。
すと、まず中心位置についての補正値は、第５図に示す
ように、 長径方向ｒ （ｄ ｐ、＋ｄ ｐｚ ） ／２短径
方向ｒ ’ （ｄｑ＋＋ｄｑｚ ）／２また、回転方
向すなわち角度について、前記中心位置の補正後の曲線
Ｃと所定の点θ。における曲ＭＡａとの角度差α１．α
２．α３．α４から最少二乗法により から求められるαを角度すれと定義する。
こうして、真の形状すなわら設計形状をもった標準円柱
の長径Ｄｔ、短径Ｄｓ、小半径Ｒ１、大半径Ｒ２の値に
上で求めた長軸方向、短軸方向、角度のずれを加え、演
算器１０に実際の被測定物と同じ中心軸において設計形
状のデータに変換した測定曲線と被測定物のデータとの
差および公差との比較演算をする。このようにして求め
られた値および合否の判定を必要により表示記録するも
のである。
の長径Ｄｔ、短径Ｄｓ、小半径Ｒ１、大半径Ｒ２の値に
上で求めた長軸方向、短軸方向、角度のずれを加え、演
算器１０に実際の被測定物と同じ中心軸において設計形
状のデータに変換した測定曲線と被測定物のデータとの
差および公差との比較演算をする。このようにして求め
られた値および合否の判定を必要により表示記録するも
のである。
なお、前記具体例は楕円形状の被測定物についで述べた
が、楕円形状以外に円形状あるいは連Ｖε的に凸な形状
等についても演算方法が異なるのみで、全く同様に検出
測定することができるのである。
が、楕円形状以外に円形状あるいは連Ｖε的に凸な形状
等についても演算方法が異なるのみで、全く同様に検出
測定することができるのである。
上述の説明をフローチャートで示すと第６図の通りであ
る。
る。
先ず、第３ａ図において説明したように、前もって半径
Ｒの寸法がわかっている基準円柱１１をターンテーブル
２上に載置し、平行光線測定器８の平行光線投光部６よ
り基準円柱１１に平行光線を投光させ、他端の平行光線
受光部７で受光させることにし、ターンテーブル２を回
転させ、ターンテーブル２の回転中心と基準測定片９ま
での距離りを測定する。この距離りは既知であるとして
先に説明したが、本発明の演算器１０内での演算は次の
ように行う。
Ｒの寸法がわかっている基準円柱１１をターンテーブル
２上に載置し、平行光線測定器８の平行光線投光部６よ
り基準円柱１１に平行光線を投光させ、他端の平行光線
受光部７で受光させることにし、ターンテーブル２を回
転させ、ターンテーブル２の回転中心と基準測定片９ま
での距離りを測定する。この距離りは既知であるとして
先に説明したが、本発明の演算器１０内での演算は次の
ように行う。
基準円柱１１の半径Ｒの値は既知であるので、このＲの
値を演算器１０の記憶回路に記憶させておく。
値を演算器１０の記憶回路に記憶させておく。
平行光線投光部６よりの平行光線が第３ａ図に示すよう
に標準物体１１にその一部が衝突して直進が阻害される
ように照射し、直進を阻害されなかった平行光線が平行
光線受光部７によってその量ｅが検出される。演算器１
０での演算は基準円柱実測値ｅと、ロータリエンコーダ
５よりの回転角度位置θとより各回転角度の基準円柱よ
りの実測値ｅ （θ）が求められる。
に標準物体１１にその一部が衝突して直進が阻害される
ように照射し、直進を阻害されなかった平行光線が平行
光線受光部７によってその量ｅが検出される。演算器１
０での演算は基準円柱実測値ｅと、ロータリエンコーダ
５よりの回転角度位置θとより各回転角度の基準円柱よ
りの実測値ｅ （θ）が求められる。
この基準円柱よりの実測値Ｃ（θ）Ｇ！、第３ｈ図Ｇこ
示ずように、各回転角度（９０°、１８０°、２７０°
。
示ずように、各回転角度（９０°、１８０°、２７０°
。
３６０°）において、若干の差があり、ｅ（０）の平均
値をｅ６とすると、基準円柱１１よりのＭｉｌｌ定デめ
られる。
値をｅ６とすると、基準円柱１１よりのＭｉｌｌ定デめ
られる。
このようにして求められた基準円柱実測値の平均値ｅ、
と先に記憶回路に記憶させておし）て栽４＋￥円柱半径
Ｒとを演算器１０で加算することにより、ターンテーブ
ル２の中心より基準測定片９までの距離１．は Ｌ＝Ｒトｅ、、ｌ として求められる。
と先に記憶回路に記憶させておし）て栽４＋￥円柱半径
Ｒとを演算器１０で加算することにより、ターンテーブ
ル２の中心より基準測定片９までの距離１．は Ｌ＝Ｒトｅ、、ｌ として求められる。
この距離しを演Ｗ、器１０の記憶回路に記憶させておく
。なお記ｔα回路には、寸法公差人力、４Ｄと、設計形
状データ人力ｒ０（θ）とを記憶させておく。
。なお記ｔα回路には、寸法公差人力、４Ｄと、設計形
状データ人力ｒ０（θ）とを記憶させておく。
ここで、ターンテーブル２上の基準円柱１１を取除き、
被測定物ｌをターンテーブル２上に載置し、基準円柱の
実測値ｅ （θ）を求めたと同しようＧこ、被測定物１
の実測値Ｓと回転角度信号θとより、各角度における実
測値Ｓ（θ）を求め、この実測値Ｓ（θ）と、前記ター
ンテーブルの中心と基準測定片９との距ｋｇ Ｌとより
、ターンテーブル中心からの距離ｒの各回転角（θ）の
距離ｒ （θ）＝Ｌ−３（θ）を演算する。
被測定物ｌをターンテーブル２上に載置し、基準円柱の
実測値ｅ （θ）を求めたと同しようＧこ、被測定物１
の実測値Ｓと回転角度信号θとより、各角度における実
測値Ｓ（θ）を求め、この実測値Ｓ（θ）と、前記ター
ンテーブルの中心と基準測定片９との距ｋｇ Ｌとより
、ターンテーブル中心からの距離ｒの各回転角（θ）の
距離ｒ （θ）＝Ｌ−３（θ）を演算する。
次に、Ｘ、Ｙ方向のずれ量ｔｌｐ＋ 、 ｄｐｉ 、ｄ
Ｑ＋ 。
Ｑ＋ 。
ｄｑ２演算をし、ΔＸ、Δｙの補正量
ｌ ｘ ＝ （ｄｐ＋ ＋ｄｐ、 ） ／ ２Ａ ｙ
＝ （ｄｑ＋ ＋ｄＱｚ ） ／ ２を演算し、第５図
曲線Ｃに示すような補正をした補正曲線ｒ＋（０）を演
算して、角度のずれα、。
＝ （ｄｑ＋ ＋ｄＱｚ ） ／ ２を演算し、第５図
曲線Ｃに示すような補正をした補正曲線ｒ＋（０）を演
算して、角度のずれα、。
α２．α３．α４を演算する。
上述の角度のずれα１．α２．α□、α４から最少二乗
法により から求められる角度の補正量αを演算する。
法により から求められる角度の補正量αを演算する。
この角度の補正量αと、前記Ｘ方向（長軸方向）、Ｙ方
向（短軸方向）の１１１１正１，４Ｘ、、ｄＹとを記憶
回路に記憶した設計形状データ人力ｒ。（θ）とで演算
し、Ｘ、Ｙ方向および角度の補正曲線ｒｚ（θ）を求め
る。この補正値ｒｚ（θ）と実測値ｒ （θ）の差およ
び記４１回路に記憶された寸法公差人力ＡＤとを比較演
算し、 を求めて、演算値および合否の判定を表示記録するので
ある。
向（短軸方向）の１１１１正１，４Ｘ、、ｄＹとを記憶
回路に記憶した設計形状データ人力ｒ。（θ）とで演算
し、Ｘ、Ｙ方向および角度の補正曲線ｒｚ（θ）を求め
る。この補正値ｒｚ（θ）と実測値ｒ （θ）の差およ
び記４１回路に記憶された寸法公差人力ＡＤとを比較演
算し、 を求めて、演算値および合否の判定を表示記録するので
ある。
本発明は以上１本べたとおり、被測定物にＪｌｌ二接状
状態その被測定物の外形形状を精度よく測定することが
できるものであり、円柱あるいは楕円形状等の接触によ
り破壊しやすい物品の外形形状の測定に適しており、し
かも１個当りの測定時間が２〜３秒間秒間色非常に短時
間に測定できるものであって、例えばセラミ・７り／’
％ニカＪ、構造体等の外形形状の測定に利用できるもの
であり、産業上極めて有用な測定装置である。
状態その被測定物の外形形状を精度よく測定することが
できるものであり、円柱あるいは楕円形状等の接触によ
り破壊しやすい物品の外形形状の測定に適しており、し
かも１個当りの測定時間が２〜３秒間秒間色非常に短時
間に測定できるものであって、例えばセラミ・７り／’
％ニカＪ、構造体等の外形形状の測定に利用できるもの
であり、産業上極めて有用な測定装置である。
第１図および第２図は本発明の具体例の上面および側面
を模式的に示す説明図、 第３図は本発明のターンテーブル中心と基準測定片まで
の距離を測定する具体例を示す説明図、第４図は被測定
物が楕円形状の場合の説明図、第５図は被測定物が楕円
形状の場合の位置ずれにともなう１回転の線図の説明図
、 第６図は演算器のフローチャートを示す図である。 １・・・被測定物 ２・・・ターンテーブル３
・・・ガイド板 ４・・・回転軸重・・ロータ
リエンコーダ６・・・平行光線投光部７・・・平行光線
受光部 ８・・・平行光線測定器９・・・基準測定片
１０・・・演算器１１・・・基Ｙ１ζ円柱 第１図 第３図 （ａ） （ｂ）
を模式的に示す説明図、 第３図は本発明のターンテーブル中心と基準測定片まで
の距離を測定する具体例を示す説明図、第４図は被測定
物が楕円形状の場合の説明図、第５図は被測定物が楕円
形状の場合の位置ずれにともなう１回転の線図の説明図
、 第６図は演算器のフローチャートを示す図である。 １・・・被測定物 ２・・・ターンテーブル３
・・・ガイド板 ４・・・回転軸重・・ロータ
リエンコーダ６・・・平行光線投光部７・・・平行光線
受光部 ８・・・平行光線測定器９・・・基準測定片
１０・・・演算器１１・・・基Ｙ１ζ円柱 第１図 第３図 （ａ） （ｂ）
Claims (1)
- １、連続的に凸な面を持つ被測定物を載置して回転する
ターンテーブルと、該ターンテーブルの回転角度を検出
するロータリエンコーダと、前記ターンテーブル上の被
測定物を間にはさんで対向する少なくとも一対の平行光
線投光部および平行光線受光部とよりなる平行光線測定
器と、基準の位置を示す基準測定片と、基準円柱径Ｒの
信号、真の形状に対応した設計形状データ信号、寸法公
差信号を記憶した記憶回路と、平行光線受光部よりの基
準円柱の実測値信号をロータリエンコーダよりの回転角
度信号および予め記憶した基準円柱径Ｒの信号とよりタ
ーンテーブルの中心と基準測定片までの距離Ｌを求める
演算手段と、平行光線受光部よりの被測定物の実測値信
号をロータリエンコーダよりの回転角度信号および予め
演算したターンテーブルの中心と基準測定片までの距離
Ｌの信号とよりターンテーブル中心より被測定物の外形
までの距離ｒ（θ）を求める演算手段と、この距離ｒ（
θ）のＸ、Ｙ方向のずれ量（ｄｐ＿１、ｄｐ＿２、ｄｑ
＿１、ｄｑ＿２）を補正演算する手段と、この測定値の
角度ずれ量（α＿１、α＿２、α＿３、α＿４）の補正
量を演算する手段と、予め記憶した真の形状に対応した
設計形状データ信号と比較してＸ、Ｙ方向・角度補正演
算手段と補正値と実測値との差と予め記憶した公差を比
較演算する手段を具備した演算器とより成り、被測定物
を回転しながら平行光線を照射した被測定物の外形形状
を自動的に測定および公差内であるか否かを判定するこ
とを特徴とする外形形状自動測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12824086A JPS6290507A (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 | 外形形状自動測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12824086A JPS6290507A (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 | 外形形状自動測定装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11060078A Division JPS5537919A (en) | 1978-09-11 | 1978-09-11 | Automatic outer configuration measurement device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6290507A true JPS6290507A (ja) | 1987-04-25 |
| JPS6334405B2 JPS6334405B2 (ja) | 1988-07-11 |
Family
ID=14979959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12824086A Granted JPS6290507A (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 | 外形形状自動測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6290507A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03154814A (ja) * | 1989-11-10 | 1991-07-02 | Shinagawa Refract Co Ltd | 出力補正機能付き変位測定装置 |
| WO2013125483A1 (ja) * | 2012-02-23 | 2013-08-29 | 住友化学株式会社 | ハニカム構造体の検査方法、ハニカム構造体の製造方法、ハニカム構造体、封口用マスクの設計方法、及びハニカム構造体の検査プログラム |
| JP2017181315A (ja) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | 株式会社キーエンス | 変位計の測定結果を表示するプログラム、変位計システムおよび変位測定方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4899754A (en) * | 1986-10-03 | 1990-02-13 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Flat, conformable, biomedical electrode allowing removal of electrical lead wire |
| JP5388916B2 (ja) | 2010-03-17 | 2014-01-15 | 日本碍子株式会社 | ハニカム成形体の乾燥方法 |
-
1986
- 1986-06-04 JP JP12824086A patent/JPS6290507A/ja active Granted
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|---|---|---|---|---|
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| JP2017181315A (ja) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | 株式会社キーエンス | 変位計の測定結果を表示するプログラム、変位計システムおよび変位測定方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6334405B2 (ja) | 1988-07-11 |
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