JPS5987066A - 霧化装置 - Google Patents

霧化装置

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JPS5987066A
JPS5987066A JP19643982A JP19643982A JPS5987066A JP S5987066 A JPS5987066 A JP S5987066A JP 19643982 A JP19643982 A JP 19643982A JP 19643982 A JP19643982 A JP 19643982A JP S5987066 A JPS5987066 A JP S5987066A
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vibrator
flexural
atomization
vibration
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Naoyoshi Maehara
前原 直芳
Shinichi Nakane
伸一 中根
Kazushi Yamamoto
一志 山本
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B17/00Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
    • B05B17/04Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
    • B05B17/06Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
    • B05B17/0607Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
    • B05B17/0638Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers spray being produced by discharging the liquid or other fluent material through a plate comprising a plurality of orifices
    • B05B17/0646Vibrating plates, i.e. plates being directly subjected to the vibrations, e.g. having a piezoelectric transducer attached thereto

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明(d、灯油・軽油などの液体燃料、水、某液、記
録用インクなどの液体全微粒化するための霧化装置に関
するものであシ、さらに詳しく言えば、圧電セラミック
などの電気的振動子の超音波振動を利用して液体を微粒
化するところの超音波振動を21」用した霧化装置に関
するものである。
従来グ・jの構成とその問題点 従来、この種の霧化装置には様々の構成のものが提案さ
れている。
例えば第1図a VC示す構成(は最も代表的なもので
ア)、ヌテンレスなとより成るホーン1に圧電セラミッ
ク2を接着し、ホー71により圧電セラミック2の振動
を増巾する構成とすると共に液槽3からポンプ4にて液
体をホーン1の先端に供給するようにしたものである。
ホーン1の先端に送られた液体5は、ホーン1の先端の
振動によシいわめるキャピラリーウェーブを発生し、図
のように霧化粒子6となって飛散するものである。
第2図の従来の霧化装置として第1図すに示すものがあ
り、液槽7の底面に圧電セラミック8を装着し、超音波
振動エネルギーを直接成田に照射する構成となっている
。液中に照射された超音波エネルギーにより図のように
液面に液柱9を形成し、液面に発生するキャピラリーウ
ェーブにより霧化粒子10が飛散するものである。
上記第1.第2の従来の霧化装置は振動振巾の増巾の有
無の差はあるが基本的に超音波振動によるキャピラリー
ウェーブを利用するという点で、いわゆる超音波霧化装
置の代表例である。
一方、近年インクジェット記録装置に利用した霧化装置
であって、上記第1.第2の従来の霧化装置とはその微
粒化のメカニズムを異にするところの第3の従来の霧化
装置として第1図Cのような構成のものがある。これは
、インク室11の一端にオリフィス12を設け、他端Q
て圧電振動子13と振動板14.J:りなる振動体を設
ける構成としたものであり、圧電振動子13の振動によ
る圧力波をオリフィス12に伝え、オリフィスi 2 
jリインク微粒子15を噴射するものであシ、噴射され
たインクに相当する体積のインクは、パイプ16より目
動的に補充される構成となっている。
このこうに従来から様々の構成の麩化装置が提案されて
いるけれども、以下に述べるようにそれぞれ欠膚を有し
、特殊な用途に限定されざるを得ないぐのであった。
第1の霧化装置は、霧化粒子の鈑粒化性能や粒径の均一
性、¥化パターンの安定性などのいわゆる霧化、i、:
二能〃・十分なものではなく、さらにポンプ4(、てl
る液体供給系が極めて面倒であった。また安定なホ・−
71の振動全保証するためにはホーン・1の高い加工精
度と面倒な固定条件とが要求された。このため、装置全
体が大型化・高価格化せざるを得なかった。また、例え
ば20CC/minの霧化B、を得るに要する電力は、
5〜10wattsと太き(,0ものであった。
第2の霧化装置はポンプなどを必要としないけれども、
超音波による直接霧化を行うため、液体の物性や液面高
さによる霧化特性の変動が著しくこの補償は困難を極め
るものであった。
霧化に要する電力は著しく犬きく 、2 occ/mi
nの霧化量を得るのに50〜100wattsを要し、
しかも1〜21tKという極めて高い周波数での動作が
必要であった。このため、著しく高価なものにならざる
を得す、さらに電波障害の発生する可能性が高いという
重大な欠点を有するものであった。
第3の霧化装置は、いわゆる超音波エネルギーによる霧
化ではないために、霧化に要する電力1d著しく小さく
、かつ、非常にコンバクトナ構成であったが、圧電振動
子13の振動によるインク室11内の圧力上昇をオリフ
ィス12にインクを介して伝達するという構成であるた
め、インク中の溶存空気がいわゆるキャビテーションに
より気泡化し、安定な霧イヒができないという欠点を有
していた。したがっでインクは溶存空気を除いたものを
使用せざるを得す、それゆえ極めて汎用性に欠けるもの
であった。
発明の目的 本発明は、上記従来の欠点を一掃した霧化装置全提供せ
んとするものである。
第1の目的は構成が簡単でコンパクトであり従って低価
格な霧化装置を提供することである。
第2の目的は微粒化9粒径の均一性、霧化パターンの安
定性などのいわゆる霧化性能にすぐれ、しかも霧化量の
制御や霧化タイミングの制御などの制御性にすぐれた霧
化装置を提供することである。
第30目的(f!、、溶存空気を多量に含む一般的な液
体であってもキャビテーションの影響をほとんと受ける
ことなく安定に霧化することができる霧化装置を提供す
ることである。
発明の構成 本発明は、上記目的を達成するために以下に述る構成よ
り成るものである。
すなわち、ノズルを有するノズル板と板状の電気的振力
子とより成るたわみ襦動体と、液体が充填される加圧室
を有するボディーとを備え、前記加圧室に臨むように前
記たわみ振動体を前記ボディーに装着すると共に、前記
ノズルの振動と前記電気的振動子の振動とが互いにほぼ
逆位相となるたわみ振動モードにて前記たわみ振動体を
付勢し、前記ノズルを加振する構成としたものでるり、
前記電気的振動子の振動によりたわみ振動体のたわみ振
動を励起して前記ノズルを加振し、前記ノズルよシ前記
加圧室の液体を噴射し微粒化するものである。
実施例の説明 以下本発明の一実施例について図面と共に説明する。
第2図は本発明の一実施例の絃化装置を適用した温機の
構成を示す断面図である。
第2図において、温風機のケース1γの上面には操作部
18が設けられ、制御部19に運転指令を与える。運転
開始指令が与えられると制御部19は送風ファンモータ
20を起動し、逆風ファンモータ20は、送風ファン2
1.吸引ファン22を回転させる。したがって燃焼空気
が吸気筒23より矢印のように吸い込まれ、オリフィス
24.負荷発生部25を通ってフワラー26に送られ、
スワラ−26より旋回気流となって霧化室2了に送られ
る。そして保炎口29より燃焼室30に送られ排気筒3
1より排気される。
一方、灯油はタンク32よりパイプ33を経てレベ5−
34に送られ、レベラー34から霧化部35にパイプ3
6を経て送られる構成となっている。レベラー34は運
転停止時は灯油の液面をパイプ3e内の位置Aに制御す
るものである。
吸弓Iファン22の吐出側は連通部3了にて負圧発生部
25に連結され、吸込側は、パイプ38にて霧化部36
と連結さ几ている。したがって運転か開始されると負圧
発生部25に発生する負圧力(ΔP、>と吸引ファン2
2の両端間に発生する負圧力差(ΔP2)との和負圧力
(−ΔP−−ΔP1−ΔP2)が1&引部39に発生し
、この負圧力(−ΔP)はパイプ38.霧化部35を介
してパイプ36内の液面Aに印加される。この結果、パ
イプ36内の液面Aは上昇し、霧化部35内を灯油で充
填してパイプ38内の液面Bとなってつりあうのである
このようにして運転停止時は空でちった霧化部35内は
灯油で満たされる。
次に制御部19は内蔵する発振器40を起動して霧化部
35を付勢すると共に点火器41を起動するしたがって
、u化室27の壁面42に取付られた霧化部35からは
、霧化粒子43が噴霧され、燃焼空気と混合して保炎口
29より吐出される。
そして、点火器41にて点火されて火炎43を形成し燃
焼する。なお44は火炎センサ、46は対流ファンであ
る。
このようにして、本発明の一実施例の転化装置を適用し
た温風機は極めて簡単な構成となる。
次に、霧化部35についてさらに詳しく説明する。第3
図は霧化部35の詳細な構成を示す断面図であシ、第2
図と同符号は相箔物である。
第3図において、霧化部35は直径が約5〜15個深さ
2〜5論の加圧室46を有するボディー47と、ボディ
ー47がビス48にて固定されるケース49などによシ
構成され、ケース49はビス5Q51にて壁面42に固
定されている。加圧室A6の一面にノズル板52が設け
られ、ノズル板52の外周はボディー47(て半田付さ
れている。このノズル板52は、厚さが30μm〜10
0μmの金属性の薄板で構成され、中央部に突起部63
が設けられており、この突起部53に直径が30μm〜
100 p mのノズル54が複数個設けられている。
さら(ζ、ノズル板52(・ては直径5〜15循、厚さ
0.5〜2rrrmO円板状圧電振動子55が半田付さ
れている。圧電振動子65の中央には開口56が設けら
れ、この開口56(・てノズル54が臨んでいる。
圧電振動子55の両面(図の左右両端)(ては図示して
いないが数μm程度の電極層か設けられ、この電F= 
Rとノズル板52が半田付されている。圧電振動子55
(4,この電極方向に分極処理された圧電セラミックで
あり、リード線57.58により第4図a、b又はCの
ように交流電圧が霧化すべき景に応じて供給される。も
ちろん圧電振動子に共給される電圧は、交流電圧でなく
同図d、eのような直流パルス電圧であってもよい。供
給された交流電圧の極性に応じて圧電振動子55はその
径方向に伸縮歪を生じるが、この径方向伸縮歪は、ノズ
ル板62と圧電振動子55とが半田付てれているために
たわみ振動に変換される。すなわち、ノズル板62と圧
電振動子55とにニジ非対称バイモルフ振動体が形成さ
れ、tわみ振動体となるのである。このため、ノズル5
4も図の左右方向に加振され、加圧室46内の灯油はノ
ズル54よシ霧化粒子43となって噴射され微粒化され
るのである。この霧化粒子43の粒径はノズル54の直
径と、圧電振動子65に供給される交流電圧の繰シ返し
周波数および電圧の太ささとによって決定されるため、
均一性にすぐれ、しかも小さい霧化粒子とすることが可
能であり、さらに霧化ノくターンも突起部53の形状と
ノズル54の配置とによって自由に設定することができ
、かつ安定なパターンとなる。霧化粒子の発生タイミン
グや霧化量の制御は、第4図、1−Cに示すように交流
電圧の供給タイミングを制御するのみで極めて簡単にか
つ確実に制御することができ2.非常に良好な制御性を
有している。霧化粒子43の噴射はノズル54が加圧室
46側(第3図の右方向)に変位を生じたとき行われ、
一方反対側(第3図の左方向)に変位したとき、加圧室
46内へは、霧化粒子43となって噴射された灯油の体
積に相当する体積の灯油がパイプ36から吸い上げられ
る。なぜならば、7′ズル54に発生する灯油の表面張
力により、ノズル54から加圧室への空気流入が阻止さ
れるからである。
このようにして、圧電振動子55に交流電圧全供給する
のみで灯ン山を自給しながら霧化することがでさるので
ある。
前述したように霧化動作のメカニズムが超音波エネルギ
ーにより発生するキャピラリーウェーブを利用したもの
では々いので、圧電振動子55の消費置方は著しく小さ
く 、20 CG / minの霧化量を得るに要する
圧電振動子の入力電力は0.1〜0.2WazL−□+
のる。
次に、ノズル板52と圧電振動子55より成るたわみ振
動体の動作について、さらに詳しく説明する。第5図a
、bにおいて、第3図と同符号は相描物である。
第5図a、bに破線で示すようKたわみ振動体の振動モ
ードはノズル54と圧電振動子55の振動位相が逆位相
となるものであり、第5図a中に示した太線矢印のIう
になっている。しかも、第6図Cに示すように振動振巾
δの径方向分布は、ノズル54の近傍の振巾が大きく、
圧電振動子55の振巾が非常に小さいものとなっている
。したがって、たわみ振動体の振動によるキャビテーシ
ョン発生の可能性妙二最も大きいのがノズル54の近傍
となり、かつノズル54近傍の灯油は溶存空気が過大気
泡化する前にノズル54から噴射されてしまうので、灯
油のように溶存空気を多量に含む液体であってもキャビ
テーション気泡の影響をほとんど受けることなく、安定
に噴射し、微粒化することができる。捷り、圧電振動子
55近傍でのキャビテーションの発生は、ノズル54と
圧電振動子55との振動位相が逆位相であるために、第
5図a、bの細線矢印で示すような灯油の流れが発生し
てキャビテーション発生を抑制する方向(すなわち減圧
を抑制する方向)VtC作用するのでほとんどこの部分
でのキャビテーションによる溶存空気の気泡化は防止さ
れしかも、ノズル54の近傍て気泡か発生することがあ
ってもこの気泡は灯油の流れに沿って加圧室46の別周
方向に排除されパイプ38より杉ト出されてしまう。し
たかって、この振島モードで振動させるよう構成するこ
と1・てより安定な圧電振励子の動作か保証されるので
ある。
第6図a (rJノズル54と圧電振動子55とが同位
相の振動モードでたわみ振動するようにした場合の垂5
作を説明するもので第3図と同符号は相当物である。第
6図d中(で矢印で示したようにノズル54と圧電振動
子55とが同位相で振動する場合も、第6図b[示すよ
うにその振巾δの径方向の分布(C1ノズル54近傍が
大きく、圧電振動子55の振巾は非常に小さいものとな
る。しかしながら、このような振動モードで振動させた
場合には、第6図aに示すように溶存空気の気泡化が目
立つようになり気泡69が圧電振動子55の近傍や加圧
室46の壁面等に発生し、霧化粒子の噴射状態に乱れを
生じ安定な霧化パターンの維持が不可能となる。
第7図a ”−eは第5図、第6図の振動モードについ
てさらに詳しく説明するものであり、潟3図と同符号は
相当物である。
第7図aにおいて、圧電振動子55とノズル板52より
構成されるたわみ振動体は、第7図B、cに示すように
2つの部分にわけて考えることができる。同図Cの中央
ノズル板52′か開口56の内周に沿う固定部60で周
辺固定されてfコゎみ振動を行イ、一方同図すのように
圧電振動子55とノズル板52より成る非対称バイモル
フ振動体61がボディー47による固定部62(τて周
辺固定されてたわみ振動していると考えることかてきる
のである。なぜならば、同図すの振動部分61の振動振
巾δと同図Cの振動部分52′の振動振d〕δ′とはそ
のレベルに著しく大きな差があるからである。
同図すの振動部分61は、同図Cの振動部分52′を負
荷とする励振源であり、これら2つの振動体の共振周波
数全一致させ機械インピーダンスの整合をとることが効
率的な霧化動作を実現する上で重要である。
ところで、これらの2つの振動体61.52’i集中質
i”2および711でおきかえてモデル化して表わすと
第7図d、eのように一次元での振動系として考えるこ
とかできる。すなわち、mlは52′に相昌し、4− 
”2 (げ61の左右の振動部分である。
01お:び02 fそれぞれmlおよびm2の振動加速
度ζすると、第5図の振動モード第7図eに、第6−ゼ
の振動モードは第7図aK相当する。
第7図d、eにおいてそれぞれ固定端62に発生する振
動方向の力Fs、Fs′を考えると、同区)dにおいて Fs二m2θ2+m1σ1 同図e(でといて FS’=m2a2−m1a1 となシ FS’ (Fs となることは明白であ、!S1m とm2との機械イン
ピーダンスの整合の良さによっては、Fs′はFsに比
べて著しく小さいものとすることができる。
このことは、構造の簡単化と動作の安定化に対して極め
て重要である。
すなわち、前述したFs’が非常に小さいtめに、第5
図に示した振動モードでの動作を行う場合は第6図に示
した振動モードの場合と比収;〜て、ボディー47に要
求される振動的性1生能が非常に低レベルなものでよい
ことになる。
つまり、たわみ振動体の振動エネルギーはボディー47
に非常に伝達されにくくなり、ボディー47からみタタ
わみ振動体の機械インピーダンスか高くなるわけである
このため、ボディー47の構造が簡単なものであっても
安定なたわみ振動体の振動保証することができると共に
、ボディー4γへの振動エネルギーの伝達が少ないため
に、第6図aのように加圧室46のいたるところでキャ
ビテーション気泡59が発生することが防止され、安定
な霧化動作を簡単な構造で保証することができるのであ
る。
またビデイー47からみたたわみ振動体の機械インピー
ダンスが高いということはボディー47の取付条件がた
わみ振動体に与える影響を非常に小さいものにするので
、非常に取扱いが容易な霧化装置を実現することが可能
である。
このように1、ノズル板52と圧電振動子55との振動
位相か互いに逆位相となる振動モードで付勢する構成(
・でより、ノズル54.および圧電振動子55近傍での
キャビテーション気泡の発生を抑止するような加圧室4
6内の液体の流れを生じさせることができ、かつ、ボデ
ィー47からみたたわみ振動体の磯城インピーダンスを
高くシ、簡単々ボディー構造でもボディー47自身に振
動が伝達されて加圧室内にキャビテーション気泡が発生
したり、ボディーの取付条件で振動状態が変化しタシす
るという不都合全防止することができ、溶存空気を多量
に含む液体であっても極めて安定に霧化することができ
る。
第8図は、本発明の霧化装置の他の実施例を示す断面図
であり、第3図と同符号は相当物である。
この実施例では、ノズル板52は突起部が設けられず、
従ってノズル54よシ複数個の亘進する液滴列が発生さ
れる。
第9図は、さらに本発明の他の実施例を示す断面図であ
り、第3図と同符号は相当物である。この実施例では排
気パイプは設けられておらす、ノズル54は1個のみ設
けられていて、単一の液滴列全生成することができる。
第10図は、ざらにもう一つの本発明の実施例を示す断
面図であり第3図と同符号は相当物である。この実施例
では圧電振動子55が之わみ振動の腹にのみ設けられて
おり、圧電振動子55上に振動の節が発生しない振動モ
ードであシさえすればよいことを示している。またパイ
プ36の直径は、加圧室46の直径とほとんど同じであ
るが、本質的に加圧室46の形状が本発明に影響するも
のでないことを示している。
このように、本発明の技術思想を逸脱しない範囲で様々
な実施態様をとることができるものである。
発明の効果 以上のように本発明によれば、加圧室に液体を充填し、
前記加圧室(Cノズル板と電気的振動子とより成るたわ
み振動体を臨1せるようボディーに装着する構成とし、
ノズルと電気的振動子との振動の位相か逆位相となる振
動モードで前記たわみ振動体を付勢してノズルを加振す
るよう構成したから、!企めて構成か簡単でコンパクト
であり、従って低価格であり、しかも砺めて低消費電力
であるにもカーズーわらず微粒化9粒径の均一性、霧化
パターンの安定性、霧化動作の制御性f(優れり霧化装
置を提供することが可能である。
特に、ノズルと電気的振動子との振動が互いに逆位第2
となる振動モードでたわみ振動体を付勢する構成により
、溶存空気全多量に含む一般的な液体であってもキャビ
テーシヨンの影響全はとんど受けることなく極めて安定
に霧化することができしかも取付条件等の影響を受けに
くく取扱いが容易であるので極めて汎用性に富んだ霧化
装置を提供することか可能であシ、その工業的・誦値は
著しく大きいものである。
【図面の簡単な説明】
第1図a、bおよびCは従来の霧化装置の断面図、第2
図は本発明の一実施例の霧化装置を適用した温風機の断
面図、第3図は同霧化装置の詳細断面図、第4図a、b
、c、dおよびei17j:霧化量に応じた電気的振動
子の駆動電圧波形図、第5図aおよびbは第3図の霧化
装置のたわみ振動姿態全説明する断面図、同図Cは同た
わみ振動体の振動振巾の径方向分布図、第6図aは、同
たわみ振動体の他の振動姿態を説明する断面図、同図b
(す同振動姿態でのたわみ振動体の振動振巾の径方向分
布図、第γ図a −6は第5図および第6図のたわみ振
動体の振動姿態をモデル化して説明し比較するための断
面図およびモデル図、第8図は本発明の他の実施例を示
す霧化装置の断面図、第9図は同さらに他の実施例を示
す霧化装置の断面図、第1o図はもう1つの他の実施例
を示す霧化装置の断面図である。 46・・・・・・加圧室、47・・・・・・ボディー、
52・旧・・/ X /l/ 板、53・・・・・・突
起部、、54・・・・・・ノズル、55・・・・・・電
気的振動子(圧電振動子)、56・旧・・開口。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 N       憧− 鰍 第4図 第7図 とLIJ3tビ2 第 8 図 第9図

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)ノズル全有するノズル板と板状電気的振動子とx
    3成るたわみ振動体と、加圧室を有するボディーとを備
    え、前記加圧室に臨むよう前記たわみ振動体全前記ボデ
    ィーに装着すると共に、前記ノズルと前記電気的振動子
    との振動がほぼ逆位相となるたわみ振動モードで前記た
    わみ振動体を付勢して前記ノズルを加振する構成とした
    霧化装置。
  2. (2)前記電気的振動子に開口全段け、前記開口に前記
    ノズルが臨むよう前記たわみ振動体全構成した特許請求
    の範囲第1項に記載の霧化装置。
  3. (3)前記電気的振動子を円板状圧電振動子で構成し、
    前記たわみ振動体を円形たわみ振動体とした特許請求の
    範囲第1項又は第2項記載の6化装置。
  4. (4)前記ノズル板に突起部を設け、前記突起部に複数
    個のノズルを設ける構成とした特許請求の範囲第1項、
    第2項又は第3項に記載の霧化装置。
JP19643982A 1982-11-09 1982-11-09 霧化装置 Granted JPS5987066A (ja)

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JP19643982A JPS5987066A (ja) 1982-11-09 1982-11-09 霧化装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006075708A (ja) * 2004-09-09 2006-03-23 Optonix Seimitsu:Kk 球状超微粒子及びその製造方法

Citations (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58202070A (ja) * 1982-05-20 1983-11-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 霧化装置

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