JPS5986230A - ワイヤボンデイング装置 - Google Patents
ワイヤボンデイング装置Info
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- JPS5986230A JPS5986230A JP57196381A JP19638182A JPS5986230A JP S5986230 A JPS5986230 A JP S5986230A JP 57196381 A JP57196381 A JP 57196381A JP 19638182 A JP19638182 A JP 19638182A JP S5986230 A JPS5986230 A JP S5986230A
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- dending
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
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- H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
- H01L2224/7825—Means for applying energy, e.g. heating means
- H01L2224/783—Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
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- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01039—Yttrium [Y]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
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Landscapes
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、ワイヤポンディング装置に関する。
従来、半導体チップに設けられたゾンデイングツやラド
とアウタリード間に、金線などからなる極細の所ｉｌｌ
Ｎンディング線を架設するために１ワイヤがンディン
グ装置が使用されている。ワイヤデンディング装置は、
ゼンデイング線を導出するポンディングツールを有して
いる。而して、デンディングツールから？ンデイング線
３を導出しながらこれを垂直方向に上下動し、この操作
に同期してデンディングツールをがンディングノ９ッド
とアウターリード間に沿って移動することにより、デン
ディング線の架設処理を行っている。このようなワイヤ
デンディング装置は、ポンディングツールの垂直方向の
移動機構として、例えば第１図に示す構造の駆動部二を
有している。図中１は、ポンディングアームである。デ
ンディングアーム１は、その略中央部で揺動軸２に揺動
自在に支持されている。
とアウタリード間に、金線などからなる極細の所ｉｌｌ
Ｎンディング線を架設するために１ワイヤがンディン
グ装置が使用されている。ワイヤデンディング装置は、
ゼンデイング線を導出するポンディングツールを有して
いる。而して、デンディングツールから？ンデイング線
３を導出しながらこれを垂直方向に上下動し、この操作
に同期してデンディングツールをがンディングノ９ッド
とアウターリード間に沿って移動することにより、デン
ディング線の架設処理を行っている。このようなワイヤ
デンディング装置は、ポンディングツールの垂直方向の
移動機構として、例えば第１図に示す構造の駆動部二を
有している。図中１は、ポンディングアームである。デ
ンディングアーム１は、その略中央部で揺動軸２に揺動
自在に支持されている。
デンディングアーム１の一端部には、ぎンディング線３
を導出するデンディングツール４が取付けられている。
を導出するデンディングツール４が取付けられている。
デンディングツール４の他端部と揺動軸２の略中間部分
には、ローラ５が設けられている。ローラ５の外周面に
は、カム６が当接している。ぎンディングアーム１の他
端部には、カム６とローラ５とが接触して離間しないよ
うにばね７が設けられ、その端部は筐体８に固定されて
いる。而して、カム６の回転動作ヲローラ５を介してボ
ンディングアーム１に伝達することにより、デンディン
グツール４を垂直方向に沿って上下動させるようになっ
ている。
には、ローラ５が設けられている。ローラ５の外周面に
は、カム６が当接している。ぎンディングアーム１の他
端部には、カム６とローラ５とが接触して離間しないよ
うにばね７が設けられ、その端部は筐体８に固定されて
いる。而して、カム６の回転動作ヲローラ５を介してボ
ンディングアーム１に伝達することにより、デンディン
グツール４を垂直方向に沿って上下動させるようになっ
ている。
このような構造の駆動部Ｌ」を有するワイヤがンディン
グ装置は、デンディング処理の作業性を高めるため、カ
ム６を高速回転させると、カム６とローラ５とが離間し
てしまい、デンディングツール４から正常な状態でボン
ディング線３を導出することができない。このような欠
点を解消するために、デンディングアーム１゜デンディ
ングツール４．カム６等の重量を軽減することが行われ
ている。しかしながら、このような手段では、カム６の
回転速度がある値を越えると、依然としてカム６とロー
ラ５が離間する現象が起きるため、デンディング処理の
作業性を十分に高めることができなかった。
グ装置は、デンディング処理の作業性を高めるため、カ
ム６を高速回転させると、カム６とローラ５とが離間し
てしまい、デンディングツール４から正常な状態でボン
ディング線３を導出することができない。このような欠
点を解消するために、デンディングアーム１゜デンディ
ングツール４．カム６等の重量を軽減することが行われ
ている。しかしながら、このような手段では、カム６の
回転速度がある値を越えると、依然としてカム６とロー
ラ５が離間する現象が起きるため、デンディング処理の
作業性を十分に高めることができなかった。
本発明は、デンディング・ｅラドとリード間のループ長
に応じてデンディングツールのストローク量を制御でき
ると共に、ボンディング処理の作業性の向上を達成した
ワイヤデンディング装置を提供することをその目的とす
るものである。
に応じてデンディングツールのストローク量を制御でき
ると共に、ボンディング処理の作業性の向上を達成した
ワイヤデンディング装置を提供することをその目的とす
るものである。
本発明は、ボンディングアームを回転軸の回転動作によ
ってボンディング線の導出方向に沿って上下動させると
共に、この上下動操作に同期してデンディングアームを
デンディングノソツドとアウターリード間に沿って移動
できるようにして、デンディングパッドとアウターリー
ド間のループ長に応じてデンディングツールのストロー
ク量の制御を可能とし、かつ、デンディング処理の作業
性の向上を達成したワイヤボンディング装置である。
ってボンディング線の導出方向に沿って上下動させると
共に、この上下動操作に同期してデンディングアームを
デンディングノソツドとアウターリード間に沿って移動
できるようにして、デンディングパッドとアウターリー
ド間のループ長に応じてデンディングツールのストロー
ク量の制御を可能とし、かつ、デンディング処理の作業
性の向上を達成したワイヤボンディング装置である。
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第２図は、本発明の一実施例のワイヤゾンデ（ング装置
の駆動部を示す斜視図である。図中２０は、ボンディン
グアームである。デンディングアーム２０の一端部には
、金線などからなるデンディング線２１と導出するボン
ディングツール２２が取付けられている。デンディング
アーム２０の他端部は、連結体２３にて支持されている
。連結体２３は、Ｘ−Ｙステージ２４上に設けられた架
台２５に装着されている。連結体２３には、回転軸２６
が回転自在に貫挿しており、その両端部は架台２５の耳
部２５ｍにて支持されている。連結体２３に杖、回転軸
２６を回転せしめるステッピングモータ等からなる駆動
器が内蔵されている。回転軸２６は、連結体２３内で例
えば歯車機構によりデンディングアーム２０に連結して
おり、回転軸２６の回転動作によってデンディングアー
ム２０を＆ンディング１ｉＩＩ２１の導出方向に沿って
上下動させるようになっている。
の駆動部を示す斜視図である。図中２０は、ボンディン
グアームである。デンディングアーム２０の一端部には
、金線などからなるデンディング線２１と導出するボン
ディングツール２２が取付けられている。デンディング
アーム２０の他端部は、連結体２３にて支持されている
。連結体２３は、Ｘ−Ｙステージ２４上に設けられた架
台２５に装着されている。連結体２３には、回転軸２６
が回転自在に貫挿しており、その両端部は架台２５の耳
部２５ｍにて支持されている。連結体２３に杖、回転軸
２６を回転せしめるステッピングモータ等からなる駆動
器が内蔵されている。回転軸２６は、連結体２３内で例
えば歯車機構によりデンディングアーム２０に連結して
おり、回転軸２６の回転動作によってデンディングアー
ム２０を＆ンディング１ｉＩＩ２１の導出方向に沿って
上下動させるようになっている。
このような構造の駆動部を有するワイヤデンディング装
置によれば、先ず、Ｘ−Ｙステージ２４の移動操作によ
り、デンディング線２１の架設を行う例えばデンディン
グパッドの上方にボンディングツール２２を位置ずける
。次いで、回転軸２６を回転させることによシ？ンディ
ングアーム２０を降下して、デンディングツール２２を
デンディング／ｌラドの上方の所定の高さのところに設
定すると共に、デンディング線２１を導出してデンディ
ング・平ツドに取付ケる。
置によれば、先ず、Ｘ−Ｙステージ２４の移動操作によ
り、デンディング線２１の架設を行う例えばデンディン
グパッドの上方にボンディングツール２２を位置ずける
。次いで、回転軸２６を回転させることによシ？ンディ
ングアーム２０を降下して、デンディングツール２２を
デンディング／ｌラドの上方の所定の高さのところに設
定すると共に、デンディング線２１を導出してデンディ
ング・平ツドに取付ケる。
次いで、ｘ−ｙステージ２４の移動によ＃）デンディン
グアーム２０を水平移動させて、ボンディングツール２
２が次の架設点である例えばアウターリードの上方まで
導く。このぎンディングツール２２の水平移動操作に同
期して、回転軸２６の回転数を帥整することによシ、ビ
ンディングパッドとアウターリード間の所副ループ長に
応じて、ぎンディングツール２２の上下動作量を制御す
る。アウターリード部へのボ／ディング線２１の取伺け
は、デンディング・９ツドの部分で行ったと同様にして
行われる。このようにして、？ンディングツール２２の
上下動作をポンプイングツ９ツドとアウターリード間で
、回転軸２６の回転数調整により、極めて簡単にかつ正
確に行うことができる。しかも、回転軸２６の回転数を
上げること及びｘ−ｙステージ２４によるデンディング
ツール２２の水平方向の移動速度を上げることは、容易
に達成できる。
グアーム２０を水平移動させて、ボンディングツール２
２が次の架設点である例えばアウターリードの上方まで
導く。このぎンディングツール２２の水平移動操作に同
期して、回転軸２６の回転数を帥整することによシ、ビ
ンディングパッドとアウターリード間の所副ループ長に
応じて、ぎンディングツール２２の上下動作量を制御す
る。アウターリード部へのボ／ディング線２１の取伺け
は、デンディング・９ツドの部分で行ったと同様にして
行われる。このようにして、？ンディングツール２２の
上下動作をポンプイングツ９ツドとアウターリード間で
、回転軸２６の回転数調整により、極めて簡単にかつ正
確に行うことができる。しかも、回転軸２６の回転数を
上げること及びｘ−ｙステージ２４によるデンディング
ツール２２の水平方向の移動速度を上げることは、容易
に達成できる。
その結果、ボンディング処理の作業性を著しく向上させ
ることができる。
ることができる。
〔写れ、、）１の効果 ’ｔ、’
以上説明した如く、本発明に係るワイヤデンディング装
置によれば、ボンディング・やラドとリード間のループ
長に応じてデンディングツールのストローク軸を制御で
きると共に、ボンディング処理の作業性を向上させるこ
とができるものである。
以上説明した如く、本発明に係るワイヤデンディング装
置によれば、ボンディング・やラドとリード間のループ
長に応じてデンディングツールのストローク軸を制御で
きると共に、ボンディング処理の作業性を向上させるこ
とができるものである。
第１図は、従来のワイヤデンディング装置の駆動部を示
す説明図、第２図は、本発明の一実施例の駆動部を示す
斜視図である。 ２０・・・デンディングアーム、２１−ｇンディング線
、２２・・・ボンディングツール、２３・・・連結体、
２４・・・Ｘ−Ｙステージ、２５・・・架台、２５ｈ・
・・耳部、２６・・・回転軸。
す説明図、第２図は、本発明の一実施例の駆動部を示す
斜視図である。 ２０・・・デンディングアーム、２１−ｇンディング線
、２２・・・ボンディングツール、２３・・・連結体、
２４・・・Ｘ−Ｙステージ、２５・・・架台、２５ｈ・
・・耳部、２６・・・回転軸。
Claims (1)
- デンディング線を導出するデンディングツールを一端部
に有し、かつ、他端部を連結体に取付けたデンディング
アームと、該連結体に回転自在にして取付けられ、その
回転動作に同期して前記デンディングアームを前記デン
ディング線の導出方向に泪って上下動させるように前記
デンディングアームに接続された回転軸と、前記連結体
が載置されたｘ−ｙステージとを具備することを特徴と
するワイヤデンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57196381A JPS5986230A (ja) | 1982-11-09 | 1982-11-09 | ワイヤボンデイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57196381A JPS5986230A (ja) | 1982-11-09 | 1982-11-09 | ワイヤボンデイング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5986230A true JPS5986230A (ja) | 1984-05-18 |
Family
ID=16356918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57196381A Pending JPS5986230A (ja) | 1982-11-09 | 1982-11-09 | ワイヤボンデイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5986230A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5547726B2 (ja) * | 1976-12-07 | 1980-12-02 |
-
1982
- 1982-11-09 JP JP57196381A patent/JPS5986230A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5547726B2 (ja) * | 1976-12-07 | 1980-12-02 |
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