JPS6146052B2 - - Google Patents
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- JPS6146052B2 JPS6146052B2 JP55166674A JP16667480A JPS6146052B2 JP S6146052 B2 JPS6146052 B2 JP S6146052B2 JP 55166674 A JP55166674 A JP 55166674A JP 16667480 A JP16667480 A JP 16667480A JP S6146052 B2 JPS6146052 B2 JP S6146052B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L24/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
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- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
-
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
この発明は、ワイヤボンデイング装置、特にキ
ヤピラリーアームのジヤンピング防止装置を有す
るワイヤボンデイング装置に関する。
ヤピラリーアームのジヤンピング防止装置を有す
るワイヤボンデイング装置に関する。
［発明の技術的背景］
半導体素子（IC）を作る場合には、第１図
（甲）に示すようなリードフレームイのペレツト
台座ロにパツドハを有するペレツトロ１（第１図
（乙）参照）を載置、固定し、ペレツト台座ロの
周囲に配置された端子ニと、ペレツトロ１のパツ
ドハとを金線或いはアルミニウム線（以下リード
ワイヤという）ホで電気的に接続するワイヤボン
デイング作業を行なう。なお図中ヘ，チはそれぞ
れリードフレームイの送り用孔並びに位置決め用
孔、ｇは１個の半導体素子の範囲を示している。
（甲）に示すようなリードフレームイのペレツト
台座ロにパツドハを有するペレツトロ１（第１図
（乙）参照）を載置、固定し、ペレツト台座ロの
周囲に配置された端子ニと、ペレツトロ１のパツ
ドハとを金線或いはアルミニウム線（以下リード
ワイヤという）ホで電気的に接続するワイヤボン
デイング作業を行なう。なお図中ヘ，チはそれぞ
れリードフレームイの送り用孔並びに位置決め用
孔、ｇは１個の半導体素子の範囲を示している。
ところでこの作業には、従来、第２図に示すよ
うなワイヤボンデイング装置Ａが用いられてい
た。すなわち互いに直交する鳩尾１１，１２によ
りXY2軸方向に自由に移動できる台盤１上に軸２
にて枢支され、常時リードワイヤ１５の支持端３
（この支持端３にはリードワイヤ１５を通すキヤ
ピラリー管があるので、以下キヤピラリー端３と
いう）が降下されるように、台盤１に立設した機
枠１′に一端を固定したボンデイング荷重設定用
のコイルスプリング４で付勢されたキヤピラリー
アーム５を設ける。一方台盤１上に軸７にて枢支
されたキヤピラリーアーム駆動レバー１２（以下
単に駆動レバー１２という）を設ける。この駆動
レバー１２の一端９にはローラ１０が回動自在に
支持され、このローラ１０は、台盤１上に回転自
在に軸架されたキヤピラリー昇降用カム８に、機
枠１′に一端を固定したコイルスプリング１１に
よつて圧接される。そして駆動レバー１２の他端
１３にもローラ１４が設けられ、このローラ１４
がキヤピラリーアーム５の一端５′の上面６を圧
接する状態とされる。
うなワイヤボンデイング装置Ａが用いられてい
た。すなわち互いに直交する鳩尾１１，１２によ
りXY2軸方向に自由に移動できる台盤１上に軸２
にて枢支され、常時リードワイヤ１５の支持端３
（この支持端３にはリードワイヤ１５を通すキヤ
ピラリー管があるので、以下キヤピラリー端３と
いう）が降下されるように、台盤１に立設した機
枠１′に一端を固定したボンデイング荷重設定用
のコイルスプリング４で付勢されたキヤピラリー
アーム５を設ける。一方台盤１上に軸７にて枢支
されたキヤピラリーアーム駆動レバー１２（以下
単に駆動レバー１２という）を設ける。この駆動
レバー１２の一端９にはローラ１０が回動自在に
支持され、このローラ１０は、台盤１上に回転自
在に軸架されたキヤピラリー昇降用カム８に、機
枠１′に一端を固定したコイルスプリング１１に
よつて圧接される。そして駆動レバー１２の他端
１３にもローラ１４が設けられ、このローラ１４
がキヤピラリーアーム５の一端５′の上面６を圧
接する状態とされる。
このようなワイヤボンデイング装置Ａを用いた
ボンデイング作業は、まずカム８の最大半径r1が
ローラ１０に当接すると駆動レバー１２は第２図
において時計方向に回動し、従つてキヤピラリー
アーム５は反時計方向に回動し、リードワイヤ１
５の下端（電気或いはガスで溶断され下端はボー
ル状をなしている）は移送案内枠２６，２６′中
に停止しているリードフレームイの上のペレツト
ロ１のパツドハに当接し、このパツドハにボンデ
イングされる。パツドハへのボンデイングが終わ
ると、キヤピラリーアーム５は時計方向に回動さ
れ、次いで信号により台盤１がXY2軸方向に所定
量だけ動いてリードワイヤ１５の他の部分（下端
より少し上部）がリードフレームイの所定の端子
ニに持ち来たされて同様な方法が繰り返され、リ
ードワイヤは今度は端子ニにボンデイングされ
る。端子ニにボンデイングが終了すると、キヤピ
ラリー端３が上昇し、リードワイヤ１５はガス或
いは電気で溶断され、リードワイヤ端に、溶融状
態にあるボールができる。これを繰り返し、第１
図乙に示すように順次端子ニとパツドハとをリー
ドワイヤ１５で接続していく。
ボンデイング作業は、まずカム８の最大半径r1が
ローラ１０に当接すると駆動レバー１２は第２図
において時計方向に回動し、従つてキヤピラリー
アーム５は反時計方向に回動し、リードワイヤ１
５の下端（電気或いはガスで溶断され下端はボー
ル状をなしている）は移送案内枠２６，２６′中
に停止しているリードフレームイの上のペレツト
ロ１のパツドハに当接し、このパツドハにボンデ
イングされる。パツドハへのボンデイングが終わ
ると、キヤピラリーアーム５は時計方向に回動さ
れ、次いで信号により台盤１がXY2軸方向に所定
量だけ動いてリードワイヤ１５の他の部分（下端
より少し上部）がリードフレームイの所定の端子
ニに持ち来たされて同様な方法が繰り返され、リ
ードワイヤは今度は端子ニにボンデイングされ
る。端子ニにボンデイングが終了すると、キヤピ
ラリー端３が上昇し、リードワイヤ１５はガス或
いは電気で溶断され、リードワイヤ端に、溶融状
態にあるボールができる。これを繰り返し、第１
図乙に示すように順次端子ニとパツドハとをリー
ドワイヤ１５で接続していく。
ところで、この作業はキヤピラリー昇降用カム
８の回転速度が遅い場合はこのような構成のワイ
ヤボンデイング装置Ａで充分であるけれども、能
率を向上させるためにキヤピラリー昇降用カム８
の回転速度を上げると、キヤピラリーアーム５が
それについて行けず、キヤピラリーアーム５の一
端５′の上面６と駆動レバー１２のローラ１４と
当接状態が乱れて、言わゆるジヤンピング現象を
起こし、例えばリードワイヤ１５の下端がパツド
ハに達した時、残留振動で衝撃荷重が大となり、
例えばスプリング荷重を60ｇと設定していても、
その時の荷重は200ｇ以上にもなり、その結果リ
ードワイヤ下端の上述のボールがつぶれ過ぎては
み出し量が多くなり、他の配電部分に附着し、或
いはペレツトにダメージを与え不良製品を作り出
すといつた欠点があつた。
８の回転速度が遅い場合はこのような構成のワイ
ヤボンデイング装置Ａで充分であるけれども、能
率を向上させるためにキヤピラリー昇降用カム８
の回転速度を上げると、キヤピラリーアーム５が
それについて行けず、キヤピラリーアーム５の一
端５′の上面６と駆動レバー１２のローラ１４と
当接状態が乱れて、言わゆるジヤンピング現象を
起こし、例えばリードワイヤ１５の下端がパツド
ハに達した時、残留振動で衝撃荷重が大となり、
例えばスプリング荷重を60ｇと設定していても、
その時の荷重は200ｇ以上にもなり、その結果リ
ードワイヤ下端の上述のボールがつぶれ過ぎては
み出し量が多くなり、他の配電部分に附着し、或
いはペレツトにダメージを与え不良製品を作り出
すといつた欠点があつた。
またこの欠点を除去するための技術が例えば実
開昭55−111346号公報に記載されている。この技
術を、先に示した第２図を用いて説明するなら
ば、キヤピラリーアーム５にボンデイング荷重設
定用のコイルスプリング４にさらに補助のコイル
スプリングを設け、キヤピラリーアーム５が時計
方向に回動される時のみ補助のコイルスプリング
が作用し、ボンデイング時には荷重設定用のコイ
ルスプリング４のみが作用するようにしたもので
ある。
開昭55−111346号公報に記載されている。この技
術を、先に示した第２図を用いて説明するなら
ば、キヤピラリーアーム５にボンデイング荷重設
定用のコイルスプリング４にさらに補助のコイル
スプリングを設け、キヤピラリーアーム５が時計
方向に回動される時のみ補助のコイルスプリング
が作用し、ボンデイング時には荷重設定用のコイ
ルスプリング４のみが作用するようにしたもので
ある。
この技術によると、ジヤンピング防止は取り除
かれるかもしれないが、新たに次のような欠点が
生じてしまう。すなわちキヤピラリーアーム５が
時計方向に回動していく時、補助のコイルスプリ
ング力がこのキヤピラリーアーム５に急激に作用
し、キヤピラリーアーム５に振動が発生するとい
うことである。このためキラピラリーに保持され
ているリードワイヤに曲りぐせが発生したり、リ
ードワイヤによりパツドハと端子ニとの間に形成
されるループ形状が乱れてしまい、不良製品を作
り出してしまう。
かれるかもしれないが、新たに次のような欠点が
生じてしまう。すなわちキヤピラリーアーム５が
時計方向に回動していく時、補助のコイルスプリ
ング力がこのキヤピラリーアーム５に急激に作用
し、キヤピラリーアーム５に振動が発生するとい
うことである。このためキラピラリーに保持され
ているリードワイヤに曲りぐせが発生したり、リ
ードワイヤによりパツドハと端子ニとの間に形成
されるループ形状が乱れてしまい、不良製品を作
り出してしまう。
［発明の目的］
本発明は上記の欠点を除去するために成された
もので、ジヤンピング現象を除去可能とするとと
もに、キヤピラリーアームに振動を生じさせるこ
とのないワイヤボンデイング装置を提供すること
を目的とする。
もので、ジヤンピング現象を除去可能とするとと
もに、キヤピラリーアームに振動を生じさせるこ
とのないワイヤボンデイング装置を提供すること
を目的とする。
［発明の実施例］
以下本発明の一実施例について説明する。第３
図は本発明に係わるワイヤボンデイング装置の一
実施例の正面図を示し、先に説明した第２図と同
一部品には同一符号を付し、その説明は省略す
る。軸２には腕杆１６を枢支し、腕杆１６に設け
られた当接部材、この実施例では腕杆１６に螺合
したねじ杆１７の上端１８を、キヤピラリーアー
ム５の一端５′の下面１９に当接可能に配置す
る。キヤピラリー昇降用カム軸８１には、更に、
最大半径r1′がカム８の最大半径r1より僅かに小さ
くその他はカム８と同一のカム曲線を有する別の
カム２０を固定する。そしてこのカム２０に、軸
７に枢支した腕杆作動レバー２１の一端に設けら
れたローラ（第３図においてはローラ１０と重な
つて見えない）を機枠１′に一端を固定したコイ
ルスプリグ１１′で圧接させる。腕杆作動レバー
２１はその他端にもローラ２２を有し、このロー
ラ２２が腕杆１６の自由端の上面２３に当接する
ように配置し、腕杆１６には、その上面２３が腕
杆作動レバー２１に設けられたローラ２２に圧接
されるように、機枠１′に螺合した調節ねじ杆２
４に一端を取付けたコイルスプリング２５の他端
を取付けてある。
図は本発明に係わるワイヤボンデイング装置の一
実施例の正面図を示し、先に説明した第２図と同
一部品には同一符号を付し、その説明は省略す
る。軸２には腕杆１６を枢支し、腕杆１６に設け
られた当接部材、この実施例では腕杆１６に螺合
したねじ杆１７の上端１８を、キヤピラリーアー
ム５の一端５′の下面１９に当接可能に配置す
る。キヤピラリー昇降用カム軸８１には、更に、
最大半径r1′がカム８の最大半径r1より僅かに小さ
くその他はカム８と同一のカム曲線を有する別の
カム２０を固定する。そしてこのカム２０に、軸
７に枢支した腕杆作動レバー２１の一端に設けら
れたローラ（第３図においてはローラ１０と重な
つて見えない）を機枠１′に一端を固定したコイ
ルスプリグ１１′で圧接させる。腕杆作動レバー
２１はその他端にもローラ２２を有し、このロー
ラ２２が腕杆１６の自由端の上面２３に当接する
ように配置し、腕杆１６には、その上面２３が腕
杆作動レバー２１に設けられたローラ２２に圧接
されるように、機枠１′に螺合した調節ねじ杆２
４に一端を取付けたコイルスプリング２５の他端
を取付けてある。
次に上記実施例の作動について説明する。まず
カム８が時計方向に回動し、キヤピラリー昇降用
カム８の最大半径r1が近づいて駆動レバー１２が
時計方向に回動して行く時、その途中までは腕杆
作動レバー２１も同様に駆動レバー１２と同一ス
トロークで時計方向に回動して行く。このためキ
ヤピラリーアーム５は、その一端５′が駆動レバ
ー１２ローラ１４と、腕杆１６のねじ杆１７の上
面１８とによる挟持状態で上昇させられることと
なり、キヤピラリーアーム５は、軸２を中心に反
時計方向に回動させられ、キラピラリー端３は下
降する。ところが、駆動レバー１２がカム８の最
大半径r1により回動し、ローラ１４が最高の位置
にまで回動する時点までに、腕杆作動レバー２１
のローラ２２はすでにもつと低い位置で最高の回
動位置に達する。これはカム２０の最大半径
r1′がカム８の最大半径r1より小さいためである。
このためキヤピラリーアーム５が反時計方向に最
高に傾く前に腕杆１６はローラ２２で反時計方向
の回動を止められるとともに、最終的にローラ１
４もキヤピラリーアーム５の一端５′と離れ、リ
ードワイヤ１５の下端がリードフレームイ上のペ
レツトロ１のパツドハ或いは端子ニに当接する時
はコイルスプリング４のみによる圧力で接する。
カム軸８１の回動がさらに進むと、まず駆動レバ
ー１２のローラ１４がキヤピラリーアーム５の一
端５′の上面６に当接するため、キヤピラリーア
ーム５は当初このローラ１４により軸２を中心に
時計方向に回動される。さらにカム軸８１の回動
が進むと、腕杆１６に設けられたねじ杆１７の上
端１８がキヤピラリーアーム５の一端５′の下面
１９に当接するとともに、このねじ杆１７が駆動
レバー１２に設けられたローラ１４の下降ストロ
ークと同一ストロークで下降する。このためキヤ
ピラリーアーム５の一端５′は、ローラ１４と、
ねじ杆１７による挟持状態で下降させられること
になる。その後、台盤１がXY2軸方向に所定量だ
け動き、上記と同様な動作でリードワイヤ１５が
リードフレームイの端子ニにボンデイングされ
る。以後は従来と同様にリードワイヤ１５にボー
ルが形成され１回のワイヤボンデイング工程が終
了する。
カム８が時計方向に回動し、キヤピラリー昇降用
カム８の最大半径r1が近づいて駆動レバー１２が
時計方向に回動して行く時、その途中までは腕杆
作動レバー２１も同様に駆動レバー１２と同一ス
トロークで時計方向に回動して行く。このためキ
ヤピラリーアーム５は、その一端５′が駆動レバ
ー１２ローラ１４と、腕杆１６のねじ杆１７の上
面１８とによる挟持状態で上昇させられることと
なり、キヤピラリーアーム５は、軸２を中心に反
時計方向に回動させられ、キラピラリー端３は下
降する。ところが、駆動レバー１２がカム８の最
大半径r1により回動し、ローラ１４が最高の位置
にまで回動する時点までに、腕杆作動レバー２１
のローラ２２はすでにもつと低い位置で最高の回
動位置に達する。これはカム２０の最大半径
r1′がカム８の最大半径r1より小さいためである。
このためキヤピラリーアーム５が反時計方向に最
高に傾く前に腕杆１６はローラ２２で反時計方向
の回動を止められるとともに、最終的にローラ１
４もキヤピラリーアーム５の一端５′と離れ、リ
ードワイヤ１５の下端がリードフレームイ上のペ
レツトロ１のパツドハ或いは端子ニに当接する時
はコイルスプリング４のみによる圧力で接する。
カム軸８１の回動がさらに進むと、まず駆動レバ
ー１２のローラ１４がキヤピラリーアーム５の一
端５′の上面６に当接するため、キヤピラリーア
ーム５は当初このローラ１４により軸２を中心に
時計方向に回動される。さらにカム軸８１の回動
が進むと、腕杆１６に設けられたねじ杆１７の上
端１８がキヤピラリーアーム５の一端５′の下面
１９に当接するとともに、このねじ杆１７が駆動
レバー１２に設けられたローラ１４の下降ストロ
ークと同一ストロークで下降する。このためキヤ
ピラリーアーム５の一端５′は、ローラ１４と、
ねじ杆１７による挟持状態で下降させられること
になる。その後、台盤１がXY2軸方向に所定量だ
け動き、上記と同様な動作でリードワイヤ１５が
リードフレームイの端子ニにボンデイングされ
る。以後は従来と同様にリードワイヤ１５にボー
ルが形成され１回のワイヤボンデイング工程が終
了する。
第４図はこの実施例の２個のカム８，２０のカ
ム線図を示したものであり、この図を用いて本実
施例のジヤンピング防止機構についてさらに説明
を加える。２個のカム８，２０において、ペレツ
トロ１のパツドハの位置Ｉでは線ab間は一致
し、２個のカム曲線は同じ様に降下していく。こ
のためこの間はキヤピラリーアーム５の一端５′
が、駆動レバー１２のローラ１４と腕杆１６のね
じ杆１７とで挟持されながらキヤピラリー端３が
降下していくことになる。次いで一方のカム８の
カム曲線はbcdeをたどり、他方のカム２０のカ
ム曲線はbeをたどる。このためこの間はキヤピ
ラリーアーム５のキヤピラリー端３がコイルスプ
リング４の弾力のみにてワイヤボンデイング作業
が行なわれることを示している。そして再び二つ
のカムのカム曲線はｅ、ｆと一致し、キヤピラリ
ーアーム５の一端５′は、再び駆動レバー１２の
ローラ１４と腕杆１６のねじ杆１７とで挟持され
ながらキヤピラリー端３は上昇する。次いで線fg
間において台盤１はXY2軸方向に移動し、キヤピ
ラリーアーム５のキヤピラリー端３はパツドハの
位置より端子ニの位置に移動し、更に二つのカ
ム８，２０のカム曲線はghと一致するので、キ
ヤピラリーアーム５の一端５′はローラ１４とね
じ杆１７とで挟持されつつキヤピラリー端３は端
子ニの方に降下し、カム曲線hijkとキヤピラリー
端３はコイルスプリング４のみの弾力によりワイ
ヤボンデイング作業を行なう。そしてカム曲線kl
は、キヤピラリーアーム５の一端５′が、ローラ
１４とねじ杆１７とで再び挟持されてキヤピラリ
ー端３が上昇させられることを示す。
ム線図を示したものであり、この図を用いて本実
施例のジヤンピング防止機構についてさらに説明
を加える。２個のカム８，２０において、ペレツ
トロ１のパツドハの位置Ｉでは線ab間は一致
し、２個のカム曲線は同じ様に降下していく。こ
のためこの間はキヤピラリーアーム５の一端５′
が、駆動レバー１２のローラ１４と腕杆１６のね
じ杆１７とで挟持されながらキヤピラリー端３が
降下していくことになる。次いで一方のカム８の
カム曲線はbcdeをたどり、他方のカム２０のカ
ム曲線はbeをたどる。このためこの間はキヤピ
ラリーアーム５のキヤピラリー端３がコイルスプ
リング４の弾力のみにてワイヤボンデイング作業
が行なわれることを示している。そして再び二つ
のカムのカム曲線はｅ、ｆと一致し、キヤピラリ
ーアーム５の一端５′は、再び駆動レバー１２の
ローラ１４と腕杆１６のねじ杆１７とで挟持され
ながらキヤピラリー端３は上昇する。次いで線fg
間において台盤１はXY2軸方向に移動し、キヤピ
ラリーアーム５のキヤピラリー端３はパツドハの
位置より端子ニの位置に移動し、更に二つのカ
ム８，２０のカム曲線はghと一致するので、キ
ヤピラリーアーム５の一端５′はローラ１４とね
じ杆１７とで挟持されつつキヤピラリー端３は端
子ニの方に降下し、カム曲線hijkとキヤピラリー
端３はコイルスプリング４のみの弾力によりワイ
ヤボンデイング作業を行なう。そしてカム曲線kl
は、キヤピラリーアーム５の一端５′が、ローラ
１４とねじ杆１７とで再び挟持されてキヤピラリ
ー端３が上昇させられることを示す。
上記実施例においては、ボンデイング時にはコ
イルスプリング４による適圧なボンデイング圧に
よりボンデイング作業を行なうことができる。そ
してボンデイング作業以外の時には、キヤピラリ
ーアーム５の一端５′は、駆動レバー１２に設け
られたローラ１４と、腕杆１６に設けられたねじ
杆１７とによる挟持状態となるため、ジヤンピン
グ現象を完全に防止することが可能となる。さら
に注目する点は、同じジヤンピング現象を防止す
るにしても、従来技術で説明したようにキヤピラ
リーアーム５に振動を生じせしめることがないと
いうことである。すなわち、ローラ１４に押圧さ
れてキヤピラリーアーム５が軸２を中心に時計方
向に回動される時、キヤピラリーアーム５の一端
５′は腕杆１６に設けられたねじ杆１７に当接し
て挟持状態となるわけであるが、この腕杆１６の
ねじ杆１７は、第４図を用いて説明したように、
ローラ１４と同一ストロークでカム２０により移
動するようになつているためである。このため、
リードワイヤ１５に曲りぐせが発生したり、ルー
プ形状に乱れ等を生じさせることなくジヤンピン
グ現象を除去することができる。さらにねじ杆１
７の腕杆１６に対する突出量、或いは調整ねじ杆
２４の回動量を調整することにより、ローラ１４
とねじ杆１７とでキヤピラリーアーム５の一端
５′を挟持する時の挟持圧を調整することも可能
となる。
イルスプリング４による適圧なボンデイング圧に
よりボンデイング作業を行なうことができる。そ
してボンデイング作業以外の時には、キヤピラリ
ーアーム５の一端５′は、駆動レバー１２に設け
られたローラ１４と、腕杆１６に設けられたねじ
杆１７とによる挟持状態となるため、ジヤンピン
グ現象を完全に防止することが可能となる。さら
に注目する点は、同じジヤンピング現象を防止す
るにしても、従来技術で説明したようにキヤピラ
リーアーム５に振動を生じせしめることがないと
いうことである。すなわち、ローラ１４に押圧さ
れてキヤピラリーアーム５が軸２を中心に時計方
向に回動される時、キヤピラリーアーム５の一端
５′は腕杆１６に設けられたねじ杆１７に当接し
て挟持状態となるわけであるが、この腕杆１６の
ねじ杆１７は、第４図を用いて説明したように、
ローラ１４と同一ストロークでカム２０により移
動するようになつているためである。このため、
リードワイヤ１５に曲りぐせが発生したり、ルー
プ形状に乱れ等を生じさせることなくジヤンピン
グ現象を除去することができる。さらにねじ杆１
７の腕杆１６に対する突出量、或いは調整ねじ杆
２４の回動量を調整することにより、ローラ１４
とねじ杆１７とでキヤピラリーアーム５の一端
５′を挟持する時の挟持圧を調整することも可能
となる。
［発明の効果］
本発明は、カムの回転速度を上げてもキヤピラ
リーアームはジヤンピング現象を起こさず、従つ
てペレツトにダメージを与えて不良製品を出すこ
とがない。またワイヤボンデイングの作業は、キ
ヤピラリーアームは予め適正に設計されているコ
イルスプリングの圧力のみを作用させて行なえる
ので、優良品を作れる正確、確実なワイヤボンデ
イング作業を極めて能率的に行なうことができ
る。そしてキヤピラリーアームに不必要な振動を
生じせしめることも防止できる。
リーアームはジヤンピング現象を起こさず、従つ
てペレツトにダメージを与えて不良製品を出すこ
とがない。またワイヤボンデイングの作業は、キ
ヤピラリーアームは予め適正に設計されているコ
イルスプリングの圧力のみを作用させて行なえる
ので、優良品を作れる正確、確実なワイヤボンデ
イング作業を極めて能率的に行なうことができ
る。そしてキヤピラリーアームに不必要な振動を
生じせしめることも防止できる。
第１図（甲）はリードフレームの一部の平面
図、第１図（乙）は第１図（甲）中の丸印の箇所
の拡大平面図、第２図は従来のワイヤボンデイン
グ装置の正面図、第３図は本発明のワイヤボンデ
イング装置の一実施例の正面図、第４図は第３図
に示す２個のカムのカム曲線を表わすカム線図を
各々示す。 １……台盤、４，１１，１１′，２５……コイ
ルスプリング、５……キヤピラリーアーム、８…
…キヤピラリー昇降用カム（第１のカム）、１２
……キヤピラリーアーム駆動レバー、１４……ロ
ーラ、１５……リードワイヤ、１６……腕杆、１
７……ねじ杆、２０……カム（第２のカム）、２
１……腕杆作動レバー。
図、第１図（乙）は第１図（甲）中の丸印の箇所
の拡大平面図、第２図は従来のワイヤボンデイン
グ装置の正面図、第３図は本発明のワイヤボンデ
イング装置の一実施例の正面図、第４図は第３図
に示す２個のカムのカム曲線を表わすカム線図を
各々示す。 １……台盤、４，１１，１１′，２５……コイ
ルスプリング、５……キヤピラリーアーム、８…
…キヤピラリー昇降用カム（第１のカム）、１２
……キヤピラリーアーム駆動レバー、１４……ロ
ーラ、１５……リードワイヤ、１６……腕杆、１
７……ねじ杆、２０……カム（第２のカム）、２
１……腕杆作動レバー。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 台盤に回動自在に支持され、他端にキヤピラ
リーを有するキヤピラリーアームと、台盤に回動
自在に支持され、一端が回転駆動される第１のカ
ムに追従し、他端が前記キヤピラリーアームの一
端上面に接するキヤピラリーアーム駆動レバー
と、前記台盤とキヤピラリーアームとの間に装着
され、常時キヤピラリーアームの一端を前記キヤ
ピラリーアーム駆動レバーの他端側に付勢すると
ともに、前記キヤピラリーにボンデイング圧を設
定するスプリングとを具備するワイヤボンデイン
グ装置において、前記台盤に回転駆動される前記
第１のカムとは別の第２のカムをさらに設け、前
記キヤピラリーアームの一端下方には、この第２
のカムに追従した上下動が伝達され、前記キヤピ
ラリーアームの一端を前記キヤピラリーアーム駆
動レバーの他端と協同して挟持状態とする挟持部
材を設けるとともに、ボンデイング時、前記キヤ
ピラリーアーム駆動レバーの他端並びに前記挟持
部材と、前記キヤピラリーアームの一端との間に
間隙を有するようにそれぞれ第１、第２のカムの
カム曲線を設定したことを特徴とするワイヤボン
デイング装置。 ２ 挟持部材は、台盤に回動自在に支持されキヤ
ピラリーアームの一端下面との当接部材を有する
腕杆と、この腕杆に第２のカムに追従した上下動
を伝達する台盤に回動自在に支持された腕杆作動
レバーと、から成ることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載のワイヤボンデイング装置。 ３ 当接部材が、腕杆に対してその突出量を調整
可能とするねじ杆より成ることを特徴とする特許
請求の範囲第２項記載のワイヤボンデイング装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55166674A JPS5791529A (en) | 1980-11-28 | 1980-11-28 | Cam type wire bonding head with capillary arm jumping preventing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55166674A JPS5791529A (en) | 1980-11-28 | 1980-11-28 | Cam type wire bonding head with capillary arm jumping preventing device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5791529A JPS5791529A (en) | 1982-06-07 |
| JPS6146052B2 true JPS6146052B2 (ja) | 1986-10-11 |
Family
ID=15835614
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55166674A Granted JPS5791529A (en) | 1980-11-28 | 1980-11-28 | Cam type wire bonding head with capillary arm jumping preventing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5791529A (ja) |
-
1980
- 1980-11-28 JP JP55166674A patent/JPS5791529A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5791529A (en) | 1982-06-07 |
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