JPS6329536A - ワイヤボンデイング装置 - Google Patents
ワイヤボンデイング装置Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、ワイヤボンディング技術、特に、半導体装置
の組立におけるワイヤボンディング工程に通用して有効
な技術に関する。
の組立におけるワイヤボンディング工程に通用して有効
な技術に関する。
半導体装での組立におけるワイヤボンディング技術につ
いては、株式会社工業調査会、昭和５９年１１月２０日
発行、［電子材料Ｊ １９８４年別冊、Ｐ１１４〜Ｐ１
２０に記載されている。
いては、株式会社工業調査会、昭和５９年１１月２０日
発行、［電子材料Ｊ １９８４年別冊、Ｐ１１４〜Ｐ１
２０に記載されている。
ところで、ボンディングワイヤの側面をペレットのボン
ディングバンドやリードフレームなどのボンディング部
位に押圧しつつ超音波を印加することによってボンディ
ングを達成する、いわゆる超音波ボンディングにおいて
は、被ボンディング物に対するボンディングワイヤの繰
り出し方向の制約から、半導体装置などの被ボンディン
グ物をウェッジなどのボンディング工具に対して逐次回
転させることが必要となる。このため、通常、彼ボンデ
ィング物は、ボンディング工具に対して回転自在に設け
られた回転テーブルに位置される。
ディングバンドやリードフレームなどのボンディング部
位に押圧しつつ超音波を印加することによってボンディ
ングを達成する、いわゆる超音波ボンディングにおいて
は、被ボンディング物に対するボンディングワイヤの繰
り出し方向の制約から、半導体装置などの被ボンディン
グ物をウェッジなどのボンディング工具に対して逐次回
転させることが必要となる。このため、通常、彼ボンデ
ィング物は、ボンディング工具に対して回転自在に設け
られた回転テーブルに位置される。
一方、この回転テーブルに対する被ボンディング物の供
給方法としては、複数の開口部が貫通して形成された搬
送治具に複数の被ボンディング物を着脱自在に保持させ
るとともに、回転テーブルを昇降自在に構成し、搬送治
具の下方から開口部を貫通して被ボンディング物を突き
上げることによって、回転テーブルの上に目的の被ボン
ディング物を載置させ、搬送治具の上方の所定の高さで
前記ボンディング操作が行われるようにすることが考え
られる。
給方法としては、複数の開口部が貫通して形成された搬
送治具に複数の被ボンディング物を着脱自在に保持させ
るとともに、回転テーブルを昇降自在に構成し、搬送治
具の下方から開口部を貫通して被ボンディング物を突き
上げることによって、回転テーブルの上に目的の被ボン
ディング物を載置させ、搬送治具の上方の所定の高さで
前記ボンディング操作が行われるようにすることが考え
られる。
〔発明が解決しようとする問題点］
しかしながら、上記のような構成のワイヤボンディング
装置では、たとえば、ベレー／ ）のボンディングバン
ドや、このポンディングパッドと接続すべきリードフレ
ームの位置を光学系などによって検出する場合、ポンデ
ィングパッドやリードフレームの高さのばらつきなどに
よる焦点位置からのずれによってボンディング部位の把
握が不正確となり、ボンディング不良やボンディング精
度の低下の原因となることを本発明者は見いだした。
装置では、たとえば、ベレー／ ）のボンディングバン
ドや、このポンディングパッドと接続すべきリードフレ
ームの位置を光学系などによって検出する場合、ポンデ
ィングパッドやリードフレームの高さのばらつきなどに
よる焦点位置からのずれによってボンディング部位の把
握が不正確となり、ボンディング不良やボンディング精
度の低下の原因となることを本発明者は見いだした。
本発明の目的は、ワイヤボンディングの精度を向上させ
ることが可能なワイヤボンディング技術を提供すること
にある。
ることが可能なワイヤボンディング技術を提供すること
にある。
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろ
う。
本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろ
う。
［問題点を解決するための手段］
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。
を簡単に説明すれば、次の通りである。
すなわち、［置される被ボンディング物を回転させる回
転テーブルの全体を昇降させる第１の上下動機構ととも
に、この第１の上下動機構とは独立に回転テーブルを上
下動させる第２の上下動機構を回転テーブルに設けたも
のである。
転テーブルの全体を昇降させる第１の上下動機構ととも
に、この第１の上下動機構とは独立に回転テーブルを上
下動させる第２の上下動機構を回転テーブルに設けたも
のである。
上記した手段によれば、たとえば、被ポンディング物の
ボンディング部位の位置を把握する光学系などに対する
被ボンディング物の焦点合わせを、回転テーブルに対す
る被ボンディング物の供給などの動作を行う第１の上下
動機構とは独立な第２の上下動機構によって正確に行う
ことができ、被ボンディング物におけるワイヤボンディ
ングが正確に行われる結果、ワイヤボンディングの精度
が向上される。
ボンディング部位の位置を把握する光学系などに対する
被ボンディング物の焦点合わせを、回転テーブルに対す
る被ボンディング物の供給などの動作を行う第１の上下
動機構とは独立な第２の上下動機構によって正確に行う
ことができ、被ボンディング物におけるワイヤボンディ
ングが正確に行われる結果、ワイヤボンディングの精度
が向上される。
［実施例］
第１図は本発明の一実施例であるワイヤボンディング装
置の要部を示す説明図である。
置の要部を示す説明図である。
昇降台１の上には、案内部材２がほぼ垂直に設けられ、
この案内部材２には、外部から回転軸３の回転角度や回
転速度などを所望の値に制御することが可能なサーボモ
ータ４の側面が、回転軸３を垂直にした姿勢で昇降自在
に係止されている。
この案内部材２には、外部から回転軸３の回転角度や回
転速度などを所望の値に制御することが可能なサーボモ
ータ４の側面が、回転軸３を垂直にした姿勢で昇降自在
に係止されている。
サーボモータ４の回転軸３の先端部には、回転テーブル
５が一体に固定されており、水平面内を回転軸３ととも
に回転されるように構成されている。
５が一体に固定されており、水平面内を回転軸３ととも
に回転されるように構成されている。
昇降台１には、この昇降台ｌの上下方向の移動を案内す
る複数のガイドポスト６が垂直に挿通されており、昇降
台１の下部に摺接される偏心カム７ （第１の上下動機
構）の回転によって、昇降台１の上に案内部材２を介し
て係止されているサーボモータ４および回転テーブル５
などの構造全体が昇降される構造とされている。
る複数のガイドポスト６が垂直に挿通されており、昇降
台１の下部に摺接される偏心カム７ （第１の上下動機
構）の回転によって、昇降台１の上に案内部材２を介し
て係止されているサーボモータ４および回転テーブル５
などの構造全体が昇降される構造とされている。
また、昇降台１の下部には、この昇降台１を偏心カム７
に密着させる方向に付勢するばね８が設けられている。
に密着させる方向に付勢するばね８が設けられている。
前記回転テーブル５の上方には、複数の開口部９が形成
された搬送治具１０が水平に設けられ、周辺部を図示し
ないＸＹテーブルなどに保持されることによって水平面
内を移動自在にされている。
された搬送治具１０が水平に設けられ、周辺部を図示し
ないＸＹテーブルなどに保持されることによって水平面
内を移動自在にされている。
この搬送治具１０の複数の開口部９には、たとえばパッ
ケージベース１１に、所定の半導体集積回路などが形成
されているペレ７）１２ （第１の部位）およびリード
フレーム１３ （第２の部位）などを固定して構成され
た被ボンディング物１４が着脱自在に載置されている。
ケージベース１１に、所定の半導体集積回路などが形成
されているペレ７）１２ （第１の部位）およびリード
フレーム１３ （第２の部位）などを固定して構成され
た被ボンディング物１４が着脱自在に載置されている。
そして、搬送治具１０を水平方向に適宜移動させ、目的
の被ボンディング物１４が保持されている開口部９を回
転テーブル５の直上に位置させたのち、偏心カム７の回
転によって昇降台１とともに上昇される回転テーブル５
が開口部９を突き抜けることにより、被ボンディング物
１４は下部を回転テーブル５に支持されて所定の高さに
上昇されるものである。
の被ボンディング物１４が保持されている開口部９を回
転テーブル５の直上に位置させたのち、偏心カム７の回
転によって昇降台１とともに上昇される回転テーブル５
が開口部９を突き抜けることにより、被ボンディング物
１４は下部を回転テーブル５に支持されて所定の高さに
上昇されるものである。
また、この時被ボンディング物１４の下部は、たとえば
真空吸着などによって回転テーブル５に固定され、該回
転テーブル５とともに回転される構造とされている。
真空吸着などによって回転テーブル５に固定され、該回
転テーブル５とともに回転される構造とされている。
さらに、搬送治具１０の上方には、超音波振動を伝達す
るホーン１５の先端に固定されたウェッジなどのボンデ
ィング工具１６が位置されており、回転テーブル５に下
部を支持されて所定の高さに上昇される被ボンディング
物１４のベレット１２の図示しない複数のボンディング
バンドとリードフレーム１３との間のボンディングワイ
ヤ１７によるワイヤボンディング操作が、回転テーブル
５を逐次所定の角度だけ回転させながら行われる構造と
されている。
るホーン１５の先端に固定されたウェッジなどのボンデ
ィング工具１６が位置されており、回転テーブル５に下
部を支持されて所定の高さに上昇される被ボンディング
物１４のベレット１２の図示しない複数のボンディング
バンドとリードフレーム１３との間のボンディングワイ
ヤ１７によるワイヤボンディング操作が、回転テーブル
５を逐次所定の角度だけ回転させながら行われる構造と
されている。
この場合、回転テーブル５が一体に固定されるサーボモ
ータ４０回転軸３には、この回転軸３とともに回転され
るフランジ部１８が一体に形成されている。
ータ４０回転軸３には、この回転軸３とともに回転され
るフランジ部１８が一体に形成されている。
このフランジ部１８の周辺部には、該フランジ部１８の
回転運動を拘束することなく上下方向に挟持する一対の
ローラ１９が設けられ、該ローラ１９は、電気−歪変換
素子２０ （第２の上下動機構）を挟持する支持部材２
０ａおよび支持部材２０ｂを介して昇降台１に固定され
ている。
回転運動を拘束することなく上下方向に挟持する一対の
ローラ１９が設けられ、該ローラ１９は、電気−歪変換
素子２０ （第２の上下動機構）を挟持する支持部材２
０ａおよび支持部材２０ｂを介して昇降台１に固定され
ている。
そして、この電気−歪変換素子２０に所定の極性の直流
電圧を印加することによって発生される該電気−歪変換
素子２０の上下方向の寸法の変化をローラ１９およびフ
ランジ部１８、さらには回転軸３を介して回転テーブル
５に伝達することにより、偏心カム７による昇降台ｌの
上下動とは独立に、回転テーブル５の上下動が精密に調
整される構造とされている。
電圧を印加することによって発生される該電気−歪変換
素子２０の上下方向の寸法の変化をローラ１９およびフ
ランジ部１８、さらには回転軸３を介して回転テーブル
５に伝達することにより、偏心カム７による昇降台ｌの
上下動とは独立に、回転テーブル５の上下動が精密に調
整される構造とされている。
サーボモータ４と昇降台１との間には、サーボモータ４
を昇降台１に接近する方向に付勢して振動などの発生を
防止するばね２１が設けられている。
を昇降台１に接近する方向に付勢して振動などの発生を
防止するばね２１が設けられている。
以下、本実施例の作用について説明する。
まず、搬送治具１０を適宜移動させることにより、ワイ
ヤボンディングすべき被ボンディング物１４が保持され
る開口部９の位置が、回転テーブル５の直上に一敗され
る。
ヤボンディングすべき被ボンディング物１４が保持され
る開口部９の位置が、回転テーブル５の直上に一敗され
る。
次に、偏心カム７を回転させると、昇降台１の上に設け
られたサーボモータ４などの機構全体が上昇され、サー
ボモータ４の回転軸３の先端に設けられた回転テーブル
５は、被ボンディング物１０の下部を支持した状態で開
口部９を突き抜けて上昇し、搬送治具１０の上方に設け
られたボンディング工具１６の下部で停止される。
られたサーボモータ４などの機構全体が上昇され、サー
ボモータ４の回転軸３の先端に設けられた回転テーブル
５は、被ボンディング物１０の下部を支持した状態で開
口部９を突き抜けて上昇し、搬送治具１０の上方に設け
られたボンディング工具１６の下部で停止される。
この時、被ボンディング物１４の下部は、真空吸着など
によって回転テーブル５に安定に固定されている。
によって回転テーブル５に安定に固定されている。
その後、回転テーブル５に固定されている被ポンディン
グ物１４におけるベレット１２のボンディングバンドの
位置やリードフレーム１３の位置などを、図示しない工
業用テレビカメラなどによって検出し、把握された位置
情報に基づいてボンディング工具１６のボンディング動
作を制御することにより、ベレット１２の図示しないボ
ンディングバンドとリードフレーム１３の一組がボンデ
ィングワイヤ１７によって電気的に接続される。
グ物１４におけるベレット１２のボンディングバンドの
位置やリードフレーム１３の位置などを、図示しない工
業用テレビカメラなどによって検出し、把握された位置
情報に基づいてボンディング工具１６のボンディング動
作を制御することにより、ベレット１２の図示しないボ
ンディングバンドとリードフレーム１３の一組がボンデ
ィングワイヤ１７によって電気的に接続される。
そして、回転テーブル５を逐次所定の角度だけ回転させ
、ワイヤボンディングすべきペレット１２のポンディン
グパッドとリードフレーム１３との配列方向を、ボンデ
ィングワイヤ１７の繰り出し方向に一致させつつ上記の
操作を繰り返すことにより、ベレット１２の複数のポン
ディングパッドとリードフレーム１３の所定の部位とが
ボンディングワイヤ１７によって個別に接続される。
、ワイヤボンディングすべきペレット１２のポンディン
グパッドとリードフレーム１３との配列方向を、ボンデ
ィングワイヤ１７の繰り出し方向に一致させつつ上記の
操作を繰り返すことにより、ベレット１２の複数のポン
ディングパッドとリードフレーム１３の所定の部位とが
ボンディングワイヤ１７によって個別に接続される。
ここで、ボンディング工具１６のボンディングワイヤ１
７によるワイヤボンディング操作を正ｔ１に行わせるた
めには、ベレット１２のボンディングバンドやリードフ
レーム１３などのボンディング部位の高さを工業用テレ
ビカメラなどの焦点位置に一敗させ、正確な位置情報を
把握することが重要となるが、本実施例においては、回
転テーブル５などが位１される昇降台１を比較的太き（
上下動させる偏心カム７とともに、回転軸３およびフラ
ンジ部１８、さらにはローラ１９などを介して回転テー
ブル５を精密に上下動させる電気−歪変換素子２０が設
けられているため、たとえば、工業用テレビカメラなど
から得られる焦点位置のずれなどの情報を、電気−歪変
換素子２０に印加される電圧などに帰還することにより
、正確な焦点合わせ操作を行わせることができるので、
正確なポンディング結果を得ることができる。
７によるワイヤボンディング操作を正ｔ１に行わせるた
めには、ベレット１２のボンディングバンドやリードフ
レーム１３などのボンディング部位の高さを工業用テレ
ビカメラなどの焦点位置に一敗させ、正確な位置情報を
把握することが重要となるが、本実施例においては、回
転テーブル５などが位１される昇降台１を比較的太き（
上下動させる偏心カム７とともに、回転軸３およびフラ
ンジ部１８、さらにはローラ１９などを介して回転テー
ブル５を精密に上下動させる電気−歪変換素子２０が設
けられているため、たとえば、工業用テレビカメラなど
から得られる焦点位置のずれなどの情報を、電気−歪変
換素子２０に印加される電圧などに帰還することにより
、正確な焦点合わせ操作を行わせることができるので、
正確なポンディング結果を得ることができる。
また、電気−歪変換素子２０による回転テーブル５の精
密な上下動によって、ワイヤボンディング操作の終了後
の被ボンディング物１４の全体を観察し、ワイヤボンデ
ィング状態の良否などを判別するモニタの焦点合わせ操
作などを行わせてもよいものである。
密な上下動によって、ワイヤボンディング操作の終了後
の被ボンディング物１４の全体を観察し、ワイヤボンデ
ィング状態の良否などを判別するモニタの焦点合わせ操
作などを行わせてもよいものである。
このように、本実施例においては、以下の効果を得るこ
とができる。
とができる。
（１）１回転テーブル５などか位置される昇降台１を比
較的大きく上下動させる偏心カム７ （第１の上下動機
構）とともに、回転軸３およびフランジ部１８、さらに
はローラ１９などを介して回転テーブル５を精密に上下
動させる電気−歪変換素子２０ （第２の上下動機構）
が設けられているため、たとえば、工業用テレビカメラ
などから得られる焦点位置のずれなどの情報を、電気−
歪変換素子２０に印加される電圧などに帰還することに
より、精密な焦点合わせ操作を行わせることができるの
で、ペレット１２のポンディングパッドやリードフレー
ム１３などのポンディング部位の位置検出の精度が向上
され、正確なポンディング結果を得ることができる。
較的大きく上下動させる偏心カム７ （第１の上下動機
構）とともに、回転軸３およびフランジ部１８、さらに
はローラ１９などを介して回転テーブル５を精密に上下
動させる電気−歪変換素子２０ （第２の上下動機構）
が設けられているため、たとえば、工業用テレビカメラ
などから得られる焦点位置のずれなどの情報を、電気−
歪変換素子２０に印加される電圧などに帰還することに
より、精密な焦点合わせ操作を行わせることができるの
で、ペレット１２のポンディングパッドやリードフレー
ム１３などのポンディング部位の位置検出の精度が向上
され、正確なポンディング結果を得ることができる。
（２）、前記ｆｉ＋の結果、たとえば回転テーブル５に
被ボンディング物１４を載せ換える際の該被ボンディン
グ物１４の高さのばらつきなどを補正することができ、
装置の稼働率が向上される。
被ボンディング物１４を載せ換える際の該被ボンディン
グ物１４の高さのばらつきなどを補正することができ、
装置の稼働率が向上される。
（３）、前記（１）、 ＋２１の結果、半導体装置の組
立工程の生産性が向上される。
立工程の生産性が向上される。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない、たとえば、第２の上下動
機構としての電気−歪変換素子２０を直接回転テーブル
５の内部に組み込む構造としてもよい。
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない、たとえば、第２の上下動
機構としての電気−歪変換素子２０を直接回転テーブル
５の内部に組み込む構造としてもよい。
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその冑景となった利用分野である半導体装置の組立に
おけるワイヤボンディングに適用した場合について説明
したが、それに限定されるものではなく、被ポンディン
グ物の高さを精密に調整することが必要とされる技術に
広く適用できる。
をその冑景となった利用分野である半導体装置の組立に
おけるワイヤボンディングに適用した場合について説明
したが、それに限定されるものではなく、被ポンディン
グ物の高さを精密に調整することが必要とされる技術に
広く適用できる。
〔発明の効果］
本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を節単に説明すれば、下記の通りである
。
て得られる効果を節単に説明すれば、下記の通りである
。
すなわち、回転テーブルに載置されて逐次回転される被
ポンディング物の第１および第２の部位を導体からなる
ポンディングワイヤによって接続するワイヤボンディン
グ装置であって、前記回転テーブルの全体を昇降させる
第１の上下動機構と、前記回転テーブルに設けられ、前
記第１の上下動機構とは独立に前記回転テーブルを上下
動させる第２の上下動機構とを備えているため、たとえ
ば、被ボンディング物のボンディング部位の位置を把握
する光学系などに対する被ボンディング物の焦点合わせ
を、回転テーブルに対する被ボンディング物の供給など
の動作を行う第１の上下動機構とは独立な第２の上下動
機構によって正確に行うことができ、被ボンディング物
におけるワイヤボンディングが正確に行われる結果、ワ
イヤボンディングの精度が向上される。
ポンディング物の第１および第２の部位を導体からなる
ポンディングワイヤによって接続するワイヤボンディン
グ装置であって、前記回転テーブルの全体を昇降させる
第１の上下動機構と、前記回転テーブルに設けられ、前
記第１の上下動機構とは独立に前記回転テーブルを上下
動させる第２の上下動機構とを備えているため、たとえ
ば、被ボンディング物のボンディング部位の位置を把握
する光学系などに対する被ボンディング物の焦点合わせ
を、回転テーブルに対する被ボンディング物の供給など
の動作を行う第１の上下動機構とは独立な第２の上下動
機構によって正確に行うことができ、被ボンディング物
におけるワイヤボンディングが正確に行われる結果、ワ
イヤボンディングの精度が向上される。
第１図は本発明の一実施例であるワイヤボンディング装
置の要部を示す説明図である。 １・・・昇降台、２・・・案内部材、３・・・回転軸、
４・・・サーボモータ、５・・・回転テーブル、６・・
・ガイドポスト、７・・・偏心カム（第１の上下動機構
）、８・・・ばね、９・・・開口部、１０・・・搬送治
具、１１・・・パッケージベース、１２・・・ペレット
（第１の部位）、１３・・・リードフレーム（第２の部
位）、１４・・・被ボンディング物、１５・・・ホーン
、１６・・・ボンディング工具、１７・・・ボンディン
グワイヤ、１８・・・フランジ部、１９・・・ローラ、
２０・・・電気−歪変換素子（第２の上下動機構）、２
０ａ、２０ｂ・・・支持部材、２１・・・ばね。
置の要部を示す説明図である。 １・・・昇降台、２・・・案内部材、３・・・回転軸、
４・・・サーボモータ、５・・・回転テーブル、６・・
・ガイドポスト、７・・・偏心カム（第１の上下動機構
）、８・・・ばね、９・・・開口部、１０・・・搬送治
具、１１・・・パッケージベース、１２・・・ペレット
（第１の部位）、１３・・・リードフレーム（第２の部
位）、１４・・・被ボンディング物、１５・・・ホーン
、１６・・・ボンディング工具、１７・・・ボンディン
グワイヤ、１８・・・フランジ部、１９・・・ローラ、
２０・・・電気−歪変換素子（第２の上下動機構）、２
０ａ、２０ｂ・・・支持部材、２１・・・ばね。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、回転テーブルに載置されて逐次回転される被ボンデ
ィング物の第１および第２の部位を導体からなるボンデ
ィングワイヤによって接続するワイヤボンディング装置
であって、前記回転テーブルの全体を昇降させる第１の
上下動機構と、前記回転テーブルに設けられ、前記第１
の上下動機構とは独立に前記回転テーブルを上下動させ
る第２の上下動機構とを備えたことを特徴とするワイヤ
ボンディング装置。 ２、前記第２の上下動機構が電気−歪変換素子からなる
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のワイヤボ
ンディング装置。 ３、半導体装置の組立に用いられることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載のワイヤボンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61171661A JPS6329536A (ja) | 1986-07-23 | 1986-07-23 | ワイヤボンデイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61171661A JPS6329536A (ja) | 1986-07-23 | 1986-07-23 | ワイヤボンデイング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6329536A true JPS6329536A (ja) | 1988-02-08 |
Family
ID=15927351
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61171661A Pending JPS6329536A (ja) | 1986-07-23 | 1986-07-23 | ワイヤボンデイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6329536A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102717314A (zh) * | 2012-06-29 | 2012-10-10 | 苏州晟成新能源科技有限公司 | 修边机 |
| JP2013189276A (ja) * | 2012-03-13 | 2013-09-26 | Seiko Instruments Inc | 昇降装置、搬送装置、搬送方法、搬送プログラム及び記録媒体 |
-
1986
- 1986-07-23 JP JP61171661A patent/JPS6329536A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013189276A (ja) * | 2012-03-13 | 2013-09-26 | Seiko Instruments Inc | 昇降装置、搬送装置、搬送方法、搬送プログラム及び記録媒体 |
| CN102717314A (zh) * | 2012-06-29 | 2012-10-10 | 苏州晟成新能源科技有限公司 | 修边机 |
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