JPS5985121A - 厚みすべり圧電振動子およびその製法 - Google Patents
厚みすべり圧電振動子およびその製法Info
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- JPS5985121A JPS5985121A JP19441582A JP19441582A JPS5985121A JP S5985121 A JPS5985121 A JP S5985121A JP 19441582 A JP19441582 A JP 19441582A JP 19441582 A JP19441582 A JP 19441582A JP S5985121 A JPS5985121 A JP S5985121A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 11
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 34
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 abstract description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001229 Pot metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 2
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 210000003127 knee Anatomy 0.000 description 1
- 238000011031 large-scale manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002689 soil Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明ＣＪ：厚みずべり撮動を行う用徂振ｆｉ７．４）
子に関するものである３、 従来、ｌ￥みすべり圧゛収嵌動子の一例としてＡ・ｒカ
ットの水晶振動子＆；Ｉ：、気密錦、子コ４）２本の端
子ピンｖＣ１呆持バネを〃７按なと（でより！ｌを１心
−し７．２木の）呆持バ坏の曲にＺＫ品片を・支揚し７
．１”Ｙ持バネ、水晶片と接触し、ない状態でキハ・ン
グを被せ、気密端子のヘ−スとキャンプとを封止し−Ｃ
いた。Ｃ，のため部品点数か多くなり、構成が複雑であ
った。夛７辻製造９組立η・・填雑で◇す、ケト形形状
が大きくなるという欠点を持っていた。さらに水晶片Ｑ
よ２点（（て支持されるための衝撃に弱いという不都合
もあった。
子に関するものである３、 従来、ｌ￥みすべり圧゛収嵌動子の一例としてＡ・ｒカ
ットの水晶振動子＆；Ｉ：、気密錦、子コ４）２本の端
子ピンｖＣ１呆持バネを〃７按なと（でより！ｌを１心
−し７．２木の）呆持バ坏の曲にＺＫ品片を・支揚し７
．１”Ｙ持バネ、水晶片と接触し、ない状態でキハ・ン
グを被せ、気密端子のヘ−スとキャンプとを封止し−Ｃ
いた。Ｃ，のため部品点数か多くなり、構成が複雑であ
った。夛７辻製造９組立η・・填雑で◇す、ケト形形状
が大きくなるという欠点を持っていた。さらに水晶片Ｑ
よ２点（（て支持されるための衝撃に弱いという不都合
もあった。
本発明は上記欠点を除去するものであり、構成が簡単で
部品点数が少なく、製造９組立か容易であり、衝撃に強
く、外形形状の小さい厚みすべりＦ−Ｐ、屯据動子←７
ｃびその製法を提供するものである。
部品点数が少なく、製造９組立か容易であり、衝撃に強
く、外形形状の小さい厚みすべりＦ−Ｐ、屯据動子←７
ｃびその製法を提供するものである。
Ｊ４Ｊ、下布発明の一実施例を図面を参照１〜で詳細（
に説明する。
に説明する。
１’に：Ｌ Ｊ’９みずペリ、１１−范揚動子の一例で
あるＡＴカント：’ｉ（晶据動子であシ、圧電素子であ
る水晶片２と、との水晶片の外周端部に対応する周回状
の接着層６゜４と、こ才１らの接着層にエリ水晶片２の
両生面Ｖζ−ぞ−の中央部３か非接触の状態でｌ＋！、
′１着さ′ｊ′した免属板５，６とから構成：沁ハる。
あるＡＴカント：’ｉ（晶据動子であシ、圧電素子であ
る水晶片２と、との水晶片の外周端部に対応する周回状
の接着層６゜４と、こ才１らの接着層にエリ水晶片２の
両生面Ｖζ−ぞ−の中央部３か非接触の状態でｌ＋！、
′１着さ′ｊ′した免属板５，６とから構成：沁ハる。
水晶片２は平凸状の円板状をしてふ・す、厚み丁べりｊ
駆動のＦｌ動エイ・ルギを水晶片の中火部に１れ申させ
水晶片の外周価；の」、毀動変位を権め一乙小訟＜Ｌ、
”Ｉ−ある。両生面には駆動型棒７，８：ｖ；−よび引
出し１利＋７ａ、８ａが、ｆｉ、紮蒸着などＱて工り形
成し−Ｃ’ ｇ５る。接着層５．４１・；Ｌ本′Ｊ施例
では導）１．梯眉剤ｂｃより形成してあり、ノワさは２
００μｎｌオ呈度Ｖこしである。ぐ←（資）牢反５，６
しＪ水晶ハ゛２と熱膨張係数が近い薄板状の争鴇相料が
用いられ、−卜りとして鉄５０係、ニッケル５０チの鉄
ニンケル合釜が用いられている。金滅板５゜６ケ６］水
晶片２の外形形状と略同−径の円形部５ａ。
駆動のＦｌ動エイ・ルギを水晶片の中火部に１れ申させ
水晶片の外周価；の」、毀動変位を権め一乙小訟＜Ｌ、
”Ｉ−ある。両生面には駆動型棒７，８：ｖ；−よび引
出し１利＋７ａ、８ａが、ｆｉ、紮蒸着などＱて工り形
成し−Ｃ’ ｇ５る。接着層５．４１・；Ｌ本′Ｊ施例
では導）１．梯眉剤ｂｃより形成してあり、ノワさは２
００μｎｌオ呈度Ｖこしである。ぐ←（資）牢反５，６
しＪ水晶ハ゛２と熱膨張係数が近い薄板状の争鴇相料が
用いられ、−卜りとして鉄５０係、ニッケル５０チの鉄
ニンケル合釜が用いられている。金滅板５゜６ケ６］水
晶片２の外形形状と略同−径の円形部５ａ。
６ａと、円形部５ａ、６ａよ！〕突出して形成しプこ引
出し端子５１）、６ｂとから構成さｆする。七して円形
部５ａ、６ａは水晶片２の右向する面の外周端部（５を
平坦面で万・り、中央部は凹部；５０，６Ｃとナラてい
る。この、ｊ： ’＞ ＋／？、諌１１部５ｃ、６Ｃ１
ｆ：形成しておくと、接着層６．４をン；今＜シ、て・
も水１η−片２の中央部が金属板５．６に封月甥り流）
ことはなくなる。
出し端子５１）、６ｂとから構成さｆする。七して円形
部５ａ、６ａは水晶片２の右向する面の外周端部（５を
平坦面で万・り、中央部は凹部；５０，６Ｃとナラてい
る。この、ｊ： ’＞ ＋／？、諌１１部５ｃ、６Ｃ１
ｆ：形成しておくと、接着層６．４をン；今＜シ、て・
も水１η−片２の中央部が金属板５．６に封月甥り流）
ことはなくなる。
駆動１我梧７は引出し的極７ａ力・０晟附層６を介して
槃（「ＩＳ板５と拌：Ａ’ｊ！×（ｆ’１．ており、駆
μｉｉｌ〕巾極８ｄ、引出し…、極８ａカ）ら秋循層４
を介し７で冬Ａ ４１Ｖ、 ６と接ｈ“じされている。
槃（「ＩＳ板５と拌：Ａ’ｊ！×（ｆ’１．ており、駆
μｉｉｌ〕巾極８ｄ、引出し…、極８ａカ）ら秋循層４
を介し７で冬Ａ ４１Ｖ、 ６と接ｈ“じされている。
したがって水晶振動子１は引出し端子５１）、６ｂＫ亀
圧を印加することに、ｌ：す駆動される。そしてｙＫ晶
蚤動子１は、″Ｊ８６図示のようにプリント基板９の取
１月穴９ａ、９ａに引出し端子５ｂ、６ｂを挿入され、
ハ／ダ付などＶＣＪ、すｌｉｄ定さｔｌ、る。
圧を印加することに、ｌ：す駆動される。そしてｙＫ晶
蚤動子１は、″Ｊ８６図示のようにプリント基板９の取
１月穴９ａ、９ａに引出し端子５ｂ、６ｂを挿入され、
ハ／ダ付などＶＣＪ、すｌｉｄ定さｔｌ、る。
つぎに水晶撮動子１の製法につ（、−１て第７図を参照
して電防する。１１１ｊ薄板状の金属材料であり、前述
のように鉄ニツケル合金薄板である。この金属材料１０
にはプレ７なとにより中ＪＬｊに複数のスリットＶＣよ
る折返し部１１が形成１〜である。′！ｉた同様にフレ
ヌなとにエリ折返し部１１に対して対称位置にル−ム部
１２・・・・が形成され、こ、ｌ′ｒ、らのフレーム部
に支持部１６・・・・・・を介して金属板５・・・・・
、６・・・・・が形成ざ４１ている。ｉＫ板５・・・・
・・、６・・・・・・の凹部５ｃｍ、・・・ノー、ｒ、
６ｃｍ１ニー、・、・・も′ズレネつ成形時に同時に
形成される。支持部１５・・・・・・は細く形成してあ
り、容易に切断可能である。このように金属月利１０に
多数の釜属板５−・・・・、６ ・・・を形成しまたあ
と、釜属板の外周端部に対応させて接着層５・・・・・
・、４・・・・・・をスクリーン印刷などにＬシ形成す
る。このあと例えは釜舅板６・・・・土の接着層４・・
・・・・の上に水よ１・片２・・・・・・をその外周端
部を対応させて載置する。ぞしで折返し部１１８’７−
よりくシ；鳴板５・・・・・を形成してろろく百暎材料
の右半部を所返し、水晶片２・・・・・・上に乍（鏡板
５・・・・を重ねる。接着層６・・・・・・、４・・・
・・・が硬化し７ｔあと、支描部１５・・・・・・を切
断し、笛嫉材料１０より水晶振動子１・・・・・・を切
り放す。このように水晶※動子１の製造は極めて容易で
あり、特に大計生産（て最適である。
して電防する。１１１ｊ薄板状の金属材料であり、前述
のように鉄ニツケル合金薄板である。この金属材料１０
にはプレ７なとにより中ＪＬｊに複数のスリットＶＣよ
る折返し部１１が形成１〜である。′！ｉた同様にフレ
ヌなとにエリ折返し部１１に対して対称位置にル−ム部
１２・・・・が形成され、こ、ｌ′ｒ、らのフレーム部
に支持部１６・・・・・・を介して金属板５・・・・・
、６・・・・・が形成ざ４１ている。ｉＫ板５・・・・
・・、６・・・・・・の凹部５ｃｍ、・・・ノー、ｒ、
６ｃｍ１ニー、・、・・も′ズレネつ成形時に同時に
形成される。支持部１５・・・・・・は細く形成してあ
り、容易に切断可能である。このように金属月利１０に
多数の釜属板５−・・・・、６ ・・・を形成しまたあ
と、釜属板の外周端部に対応させて接着層５・・・・・
・、４・・・・・・をスクリーン印刷などにＬシ形成す
る。このあと例えは釜舅板６・・・・土の接着層４・・
・・・・の上に水よ１・片２・・・・・・をその外周端
部を対応させて載置する。ぞしで折返し部１１８’７−
よりくシ；鳴板５・・・・・を形成してろろく百暎材料
の右半部を所返し、水晶片２・・・・・・上に乍（鏡板
５・・・・を重ねる。接着層６・・・・・・、４・・・
・・・が硬化し７ｔあと、支描部１５・・・・・・を切
断し、笛嫉材料１０より水晶振動子１・・・・・・を切
り放す。このように水晶※動子１の製造は極めて容易で
あり、特に大計生産（て最適である。
なお本実施例では接着）＝＠５．４はり・叫電接着剤に
より形成しｔが、異方導電性接着剤を用い八ば接着）情
Ｓ＋ ４が水晶片２の外周端部で接触しても短絡する
ことはない。なＩｒな（）は火方導屯性接着剤は絶縁１
生の接着剤に銀粉などを２０〜４０重鍍係混ぜたもので
あり、ノ〒み方間ＶＣは導通を示し、幅方向には絶縁を
示すからである。すなわち引出し′市＋ｔＩ７ａ、８ａ
がそ八ぞれ乾属、仮５，６に導通ずるのみで、他の部分
は接触しても嗜、通しないのである。捷た接着ｊ＠５．
４を径が２０１３μｍＡ呈ＩＪ支のガフスビーズなどの
スベーザを混ぜ定接Ｉｆ剤より形成すれ（７１′、接着
時の接着層の厚さを均−ｒｔｃできる。
より形成しｔが、異方導電性接着剤を用い八ば接着）情
Ｓ＋ ４が水晶片２の外周端部で接触しても短絡する
ことはない。なＩｒな（）は火方導屯性接着剤は絶縁１
生の接着剤に銀粉などを２０〜４０重鍍係混ぜたもので
あり、ノ〒み方間ＶＣは導通を示し、幅方向には絶縁を
示すからである。すなわち引出し′市＋ｔＩ７ａ、８ａ
がそ八ぞれ乾属、仮５，６に導通ずるのみで、他の部分
は接触しても嗜、通しないのである。捷た接着ｊ＠５．
４を径が２０１３μｍＡ呈ＩＪ支のガフスビーズなどの
スベーザを混ぜ定接Ｉｆ剤より形成すれ（７１′、接着
時の接着層の厚さを均−ｒｔｃできる。
さら（で接着層６．４および水晶片２の外周鼎Ａ部をワ
ンク７、／Ｌとしてて封しトず６ Ｊ： ） Ｕこずノ
１．は水晶振！幼子−１の気密１生ＫＩｊ＝を向上さぜ
ることがでさる。
ンク７、／Ｌとしてて封しトず６ Ｊ： ） Ｕこずノ
１．は水晶振！幼子−１の気密１生ＫＩｊ＝を向上さぜ
ることがでさる。
以上ｖＫべたように本発明ｒこよれば、部品点数が少な
く小型で薄型であり、衝撃Ｖこも強い厚みすべり圧電振
動子を安価に大神に際供できる、。
く小型で薄型であり、衝撃Ｖこも強い厚みすべり圧電振
動子を安価に大神に際供できる、。
第１１ン１は本発明の一ワｌ椎例の正面図、第２１Ｖ１
は第１［ツｌ ＩＩ−Ｉｔ線断ｕｔｉ図、第６図は一方
の金属板の正面図、第４図はその底面図、第５図は水晶
片の正面図、第６図は水晶撮動子の取付状態図、第７図
は水晶撮動子の製法を示す♀属材料の正面図である１゜ １・・・・・・水晶振動子、 ２・・・・・・水晶
片、５．４・・・・・接着層、 ５．６・・・・・
・金属板、１０・・・・・・金属材料。 第３図 第４図 第７図 １ １２・
は第１［ツｌ ＩＩ−Ｉｔ線断ｕｔｉ図、第６図は一方
の金属板の正面図、第４図はその底面図、第５図は水晶
片の正面図、第６図は水晶撮動子の取付状態図、第７図
は水晶撮動子の製法を示す♀属材料の正面図である１゜ １・・・・・・水晶振動子、 ２・・・・・・水晶
片、５．４・・・・・接着層、 ５．６・・・・・
・金属板、１０・・・・・・金属材料。 第３図 第４図 第７図 １ １２・
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （」） 厚ノドづべり嶌勤を行う圧Ｉｆ素子と、この
圧電素子の両生面に、この両生面の外周端部に対応する
周回状の接着１９会によりこの両生面の中央部が非松触
の状態で固着した二つの金属板と、とＪしらの一つの金
属板よ、り突出形成１〜た引出し端子と を具備す′！、、厚みずべり圧電撮動子。 （２、特許請求の範囲第１項に粋いτ、乍倣板には圧１
１素子の対向する面の外周端部を除く部分に凹＝Ｂが設
けであることを特徴どする厚みすべり圧岨振ａすＪ子、
。 （３） 特ｉｒ−皓求の範囲第１項斗たけ第２伯Ｖこ
おいて、＠用板ｆｄＪｆ−，！素子の外形形状と略同−
であることを特徴とする１１みずべりＩＪ： ；ｉ瓦振
動子。 （４）薄板状の金属材料に折返し２部を形成し、この折
返し都のλ７１祢１１７′直に圧電素子の外形Ｖこ刈地
する二つの・戟に板を上記敞唇相料に支持さノした状態
で形成し、 二つの争；４扱のそ２ｔ″Ｌそ；Ｉ”Ｌ ６′こ上記圧
ｆｌ素子の外周端部に刈地する）闇１す１状の接着ノ斉
）ｒカ多成し、上記一方の金属板の接着）曽土に上記圧
電素子をその中火部が非接触の状態で載１直したあと上
記金属相料を折返し部より折返し、上記圧晰素子上にそ
の中央部か非接触の状態で上記他方の金属板を賊噌し、
上記接着層を硬化ざぜることを特徴どする厚ノドすべり
圧電１辰動子の製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19441582A JPS5985121A (ja) | 1982-11-05 | 1982-11-05 | 厚みすべり圧電振動子およびその製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19441582A JPS5985121A (ja) | 1982-11-05 | 1982-11-05 | 厚みすべり圧電振動子およびその製法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5985121A true JPS5985121A (ja) | 1984-05-17 |
| JPH0131804B2 JPH0131804B2 (ja) | 1989-06-28 |
Family
ID=16324219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19441582A Granted JPS5985121A (ja) | 1982-11-05 | 1982-11-05 | 厚みすべり圧電振動子およびその製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5985121A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63272104A (ja) * | 1986-09-26 | 1988-11-09 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 小型圧電発振器及びその製造方法 |
| JPS644109A (en) * | 1987-06-25 | 1989-01-09 | Murata Manufacturing Co | Piezoelectric component |
| JPS6448927U (ja) * | 1987-09-18 | 1989-03-27 | ||
| JPS6448926U (ja) * | 1987-09-18 | 1989-03-27 | ||
| JPH0195612A (ja) * | 1987-10-07 | 1989-04-13 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電部品の製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5090580U (ja) * | 1973-12-19 | 1975-07-31 | ||
| JPS52123888A (en) * | 1976-04-12 | 1977-10-18 | Matsushima Kogyo Kk | Thickness slip quartz oscillator |
-
1982
- 1982-11-05 JP JP19441582A patent/JPS5985121A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5090580U (ja) * | 1973-12-19 | 1975-07-31 | ||
| JPS52123888A (en) * | 1976-04-12 | 1977-10-18 | Matsushima Kogyo Kk | Thickness slip quartz oscillator |
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| JPS6448927U (ja) * | 1987-09-18 | 1989-03-27 | ||
| JPS6448926U (ja) * | 1987-09-18 | 1989-03-27 | ||
| JPH0195612A (ja) * | 1987-10-07 | 1989-04-13 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電部品の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0131804B2 (ja) | 1989-06-28 |
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