JPS6024069Y2 - 超音波探触子 - Google Patents

超音波探触子

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Publication number
JPS6024069Y2
JPS6024069Y2 JP1034280U JP1034280U JPS6024069Y2 JP S6024069 Y2 JPS6024069 Y2 JP S6024069Y2 JP 1034280 U JP1034280 U JP 1034280U JP 1034280 U JP1034280 U JP 1034280U JP S6024069 Y2 JPS6024069 Y2 JP S6024069Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ultrasonic
bonding
probe
backing material
ultrasonic waves
Prior art date
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Expired
Application number
JP1034280U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS56114181U (ja
Inventor
珪紀 山口
真一 佐野
直樹 関
雅己 今元
Original Assignee
横河電機株式会社
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Publication date
Application filed by 横河電機株式会社 filed Critical 横河電機株式会社
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  • Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は超音波探触子(以下単に探触子と記す)に関す
るものである。
更に詳しくは、電極リードをボンディングにより容易に
取り出すことができる探触子に関するものである。
超音波を送信する超音波振動子(以下単に振動子と記す
)は、一般に振動素子と、その振動素子を挾むように設
けられた2つの対向する電極面とで構成される。
この振動子から超音波を得るには、前記した2つの電極
面に急激な電圧変化を与える必要がある。
第1図は、探触子の振動子アレイ部を示した図である。
一般に、リニア走査形の探触子においては、たんざく状
に細く切断した振動微素子を第1図に示す如く構成する
すなわち、第1図において、1はバッキング材で、ゴム
系の材質で構成され、振動子アレイの背面方向に向う超
音波を吸収する効果を有する。
2は振動子アレイで、板状の大きな振動子をバッキング
材1に接着後、第1図の如く、たんざく状の一生片(以
下振動微素子と記す)に切断したものである。
前述した如く第1図の探触子から超音波を得るには、振
動微素子の両面に設けられている電極面に電圧を加える
必要があるが、そのためには、前記電極面へ電極リード
を配線しなければならない。
一般に探触子の振動微素子は非常に小さな小片であるた
め、そこへ電極リードを一本一本取付けるには、超音波
ボンディングの手段により行なわれる。
第1図において超音波ボッディングは超音波が発信され
るA面側(バッキング材と反対側)に行なわれるが、各
振動微素子まバッキング材に直に接着されているため超
音波ボンディングするための超音波が、バッキング材こ
吸収されてしまう。
そのために第1図の構成でよ、超音波ボンディングを行
なうことができない。
従って、従来では第2図に示す構成を施すことにより超
音波ボンディングを行なっていた。
第2図において、3は固形化する接着剤の層で、超音波
をあまり吸収せず、かつバッキング材との境面からの反
射が生じないようにバッキング材と音響インピーダンス
が等しい特性を有するものである。
4はホンディング部分、5は電極リードである。
その他は第1図と同様なため、その再説明を省略する。
このような第2図の探触子においては、各振動微素子が
固形化した接着剤に取付けられているため、超音波ボン
ディングを行なうことができる。
しかしながら、このような第2図の探触子では、使用す
る接着剤の層3の音響インピーダンスがバッキング材1
のそれと等しい値であることが必要なこと、超音波をあ
まり吸収しない性質であること、接着力が強固であるこ
と、接着剤3の厚みを均一に構威しなければならないこ
となどの制約があり、好ましいものでなかった。
以上の点に鑑み本考案はなされたものである。
第3図は本考案の一実施例の探触子を示す図である。
第3図の探触子において、1はバッキング材、2は振動
子アレイで、その材質及び構成は第1図で説明したので
省略する。
4はボンディング部分、5は電極リードで、これも第2
図で説明したのでその再説明は省略する。
6は本考案に係る部材である。
部材6は、超音波を吸収しない性質のもの、すなわち、
超音波ボンディングができる程度に、実質的に超音波を
吸収しない性質のもので、例えば固形化する接着剤や金
属、その他固体が用いられる。
部材6は第3図のようにボンディング部分4に相当する
振動子の背面側(バッキング側)に設けられる。
このような構成の第3図の探触子においては、ボンディ
ング部分4の振動子の背面側に超音波を実質的に吸収し
ない部材6が設けられているため容易に超音波ボンディ
ングを行なうことができる。
また一般に使用されている振動子の構造は、第5図のよ
うな構成となっている。
第5図は振動子の断面図で、2aは振動素子、2b、2
cは電極面である。
従って第5図のd部分は対向する電極面2cが存在しな
いので、この部分からは超音波が発信されない。
従ってボンディングをd部分で行なえば、第3図に示し
た部材6は、超音波を実質的に吸収しない性質でかつ適
度な機械的強度を有するものであれば、その他の性質を
考慮する必要がない。
なお部材6の形状は第3図に示したくさび形の形状に限
定するものでなく、ボンディング部分4の背面側に設け
られていれば、その形状に左右されることなく本考案は
成立する。
例えば第4図に示す如く、バッキング材1の側面全体に
まで施すよう設けても良いことは明らかである。
このように本考案によれば、部材6に用いる材質は超音
波を実質的に吸収しない性質で、かつ適度の機械的強度
を有するものであれば何んでも良く、従来の探触子て考
慮を必要とした音響インピーダンス値に対しては任意の
ものを使用することができる。
また従来の探触子では、接着剤の層3を均一な厚さに設
ける必要があったが、本考案では、その必要がなく、探
触子の加工に特別の技術を要せず、特性の良い探触子を
生産することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は探触子の振動子アレイ部を示した図、第2図は
従来の探触子を示す図、第3図は本考案の一実施例の探
触子を示す図、第4図は本考案の他の実施例を示す図、
第5図は振動子の断面図である。 1・・・・・・バッキング材、2・・・・・・振動子ア
レイ、4・・・・・・ボンディング部分、5・・・・・
・電極リード、6・・・・・・部材。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. (1)ゴム系のバッキング材と、該バッキング材に接着
    された超音波振動子のアレイと、該超音波振動子のアレ
    イへ超音波ボンディングにより取付けられた電極リード
    とからなる超音波探触子において、 前記ボンディング部分に相当する超音波振動子の背面側
    に、前記超音波ボンディングで使用する超音波を実質的
    に吸収しない部材を設けたことを特徴とする超音波探触
    子。
  2. (2)前記部分として、接着剤又は金属を用いたことを
    特徴とする実用新案登録請求の範囲第1項記載の超音波
    探触子。
JP1034280U 1980-02-01 1980-02-01 超音波探触子 Expired JPS6024069Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1034280U JPS6024069Y2 (ja) 1980-02-01 1980-02-01 超音波探触子

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JP1034280U JPS6024069Y2 (ja) 1980-02-01 1980-02-01 超音波探触子

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Publication Number Publication Date
JPS56114181U JPS56114181U (ja) 1981-09-02
JPS6024069Y2 true JPS6024069Y2 (ja) 1985-07-17

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